Verbundprojekt Greiferbaukasten für die Mikrosystemtechnik S. Fabian

piezosystem jena

10/2001

Anwendung von Miniaturgreifernin der Mikromontage

Ing. S. Fabian

piezosystem jena GmbH

www.piezojena.com

Verbundprojekt Greiferbaukasten für die Mikrosystemtechnik S. Fabian

piezosystem jena

10/2001

Faserschalter mit piezoelektrischen Biegewandlern

Vorteile: • geringe Umschaltzeiten (1-3ms)• geringe Koppelverluste (0,7-2,5dB)• geringe Rückreflektion (> 55dB)

• optische Meßsysteme• Spektroskopie• Lasertechnik• Telekommunikation

Einsatzgebiete:

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piezosystem jena

10/2001

Montagewerkzeuge für halbautomatische Fertigung von Faserschaltern

Ziel: optimale Positionierung und Orientierung von optischen Bauteilen

• Mikroprismen

• Mikrospiegel

• Mikrolinsen

• Glasnuten zur Faserpositionierung

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piezosystem jena

10/2001

Grundprinzip Faserschalter 1 auf n (SM)

Kollimations- optik aktives

Prisma

Ausgangs-faserarray

Fokusieroptik

Eingangsfaser

Aktuator

passives Prisma

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piezosystem jena

10/2001

Prismenanordnung einer 4x4 Matrix (SM)

Fokusierlinsen

geschaltete Kanäle

Fasern

Fasern

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piezosystem jena

10/2001

Justage der Mikroprismen

Lagetoleranzen:

Verkippung um x-Achse: 0,3°

Verdrehung um z-Achse: 2,8°

Versatz in x,y-Richtung: 150µm

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piezosystem jena

10/2001

Keramikscheibe mit Aussparungen für Mikroprismen

Keramikscheibe mit Bohrungen zur Ansaugung

Aluminiumrahmen mit Deckel und Vakuumanschluss

Schematischer Aufbau eines Saugreifers für 1xn Schalter

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piezosystem jena

10/2001

Montage der Prismen mit Matrix-Sauggreifer

Aussparungmit Ansaug-öffnung

Mikro-prismen

Nähnadel