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DISCO DAD 3650 ブレード交換マニュアル 瀬戸口 良太 (Mita Lab TEL: 26730) 2016/11/04

Ver2.0 VDEC 太田 (ext:21506)2016/12/28

Ver2.1 VDEC 太田 (ext:21506)2017/01/25)Z1/Z2の運用変更のため。変更箇所は青字です

マニュアル持ち出し禁止。 電子版は TakedaCR Wikiにあります。 URL: http://takeda-cr.t.u-tokyo.ac.jp (学内のみ)

1. 注意点 旧ダイサーは逆ネジでネジを締めていたが、本装置は順ネジである。

ネジを締めるときは絶対にトルクレンチを使用すること。過度な力をかけないように。

斜めに器具をはめると加工精度が落ち、更には故障の原因になるので、しっかりとまっすぐはめるよう意識

すること。無理に固定しようとしないこと。

基本的に Z1側のブレードはガラス(VDG)、Z2側のブレードはシリコン(VDS)とする。

自前のブレードを使用する際はプロセス終了後に元のブレードに戻すこと。ブレード情報も元に書き換える

ことを忘れない(P6)Z1側は直径59mm までのフランジ用ブレード、Z2側は2インチハブブレードが使用出来る。

2. ブレードの構造と交換用治具本項ではブレードの構造と、ブレード交換の際に使用する特殊な治具について説明する。

2.1. ブレードの構造

ブレードの構造は VDS と VDG で異なる。VDG(図1)はブレードを装置側のフランジに挟む部品（部品 A）と、ブ

レードと部品 A を装置に固定するための部品（部品 B）で構成されている。一方 VDS はブレードと部品 A が

一体となっている(図2)。

その為、VDG のほうが VDSより部品が一つ多い。

図1 VDGの構造 for Glass 図2 VDSの刃 for Si

図3 部品 A(VDGのみ)for Glass

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2.2. 治具

ブレード交換時には主に2つの治具とトルクドライバーを使用する。

治具 A

治具 A は部品 A を取り外すときに使用する。はさみのようになっており、部品を掴みそのまま付け外し

を行う。VDG の部品 A の大きさと VDS の部品 A に相当する部分の大きさが異なるため、それぞれ別の

治具があることに注意。また、無理に広げると壊れてしまうのであまり広げすぎないようにすること。

治具 B

治具 B（図5）は部品 B を取り外しするときに使用する。治具背面を押すと図6のように爪が出て来る。そ

の爪で部品を掴み、トルクドライバーにより部品を着脱する。爪で部品を掴んだあと、軽く左右に回すと

爪がしっかりと引っかかる。治具 B は VDS、VDG ともに共通である。

図5 治具 B 図6 爪が出ている

図4 治具 A。VDGと VDSで異なる。

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3. ブレード交換 VDS/Si用の場合 3.1. トップメニュー内“F4ブレードメンテナンス”をクリック。

3.2. ブレードメンテナンス内“F1ブレード交換”をクリック。クリックすると装置正面の加工チャンバの扉が開く。

3.3. 手動で開ける扉があるのでそれを開ける。

図7 ブレード交換画面。交換するブレードの選択を間違えないこと。

図8 手動ドア(Glass側ブレード)

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3.4. まず部品 B を取り外す。治具 B の背面を押し、爪を出し部品 B に引っ掛けたら背面を離し治具 B を部品に

固定する。このとき軽く左右に治具 B を回すと爪が部品 B をいい具合に掴む。

3.5. 治具 B を回し、部品 B を外す。重要なことなので再度書くが、本装置は順ネジである。そのまま取り外すと

治具 B が部品 B を掴んだまま外れる。

図9 部品 Bの取り外し。爪が引っかかったら背面を離す。

図10 取り外したあとの治具 B。部品 Bが掴まれている。

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3.6. 次に部品 A を取り外す。治具 A を洗濯バサミの要領で開き、部品 A を掴む。そしてまっすぐ部品 A を取り

外す。VDS はこのとき刃が一緒についてくるが、VDG では部品 A のみが取れるので、このあと刃を手で取る

こと。

3.7. 新しいブレードを用意し、それを取り付ける。刃先に触れないよう注意すること。VDS の場合、治具 A を使っ

てブレードを掴むと良い。このとき斜めに入れないように注意する。

3.8. 部品 B を軽く取り付ける。部品 B を掴んだ治具 B をスピンドルの軸にはめ込み、軽く順ネジに回す。

図11 部品 A を取り外す。このとき治具 A を開きすぎないこと。

図12 VDSを取り付ける

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3.9. 部品 B を軽く固定したら、治具 B を外し画面上の“F12スピンドルロック ON/OFF”をクリックし、スピンドルの

ロックを解除する。

3.10.スピンドルを自分で回し、ブレードが斜めに装着されていないか確認する。斜めに取り付けられていたら再

度取り付け直す。

3.11.まっすぐ装着できていることを確認し、“F12スピンドルロック ON/OFF”をクリックしスピンドルをロックする。

3.12.再度部品 B を治具 B で掴み、今度はトルクドライバーを使用してトルクドライバーが2回カチッと鳴るまでト

ルクドライバーを回す。 取り付け用工具をはずす。

3.13.手動の扉を閉め、画面右側黄色の“顕微鏡部カバー オープン/クローズ”をクリックし自動扉も閉める。

3.14.交換したブレードのデータを入力する。F4“ブレードメンテナンス”_F1”ブレード交換”_“交換するブレード”の

欄に交換した側の番号を選択する。

標準シリコン用ブレードの場合 /Z2

1. 画面下部“ユーザーブレード選択”をクリック。

2. “27HEED”を選択し、画面下部の“選択（交換した側）”をクリック。

3. “EXIT”をクリックし、“ENTER”をクリック。

標準ガラス用ブレードの場合 /Z1

1. 画面下部“ユーザーブレード選択”をクリック。

2. “AAA”を選択し、画面下部の“選択（交換した側）”をクリック。

3. “EXIT”をクリックし、“ENTER”をクリック。

自前のブレードの場合

1. ブレード交換画面で交換した側の品種と各種パラメータを変更し、“ENTER”をクリック。

2. 今後もそのブレードを使用する場合は“ユーザーブレード選択”をクリックし、“ユーザー登録”をクリ

ックすると便利である。

3.17. 画面右下“Direct”をクリックし、“スピンドル”と“切削水”を ON に

して5分待つ。

3.18. アイドリングが終了したら、“スピンドル”と“切削水”を OFF して

“次へ”クリック。

3.19. センサ位置合わせセットアップを行う。

F6 マシンメンテナンス_F6センサ位置合わせセットアップ選択し、

”Z1Z2スタート”をクリック。

摩耗量=通常0,000～0.009㎜

3.20. セットアップが正常終了したらブレード交換終了だが、ブレード交

換時一本目の切断には強制的にヘアライン合わせ（本マニュア

ル第6章）が行われるので注意が必要である。

図13 部品 Bをトルクドライバーで固定する

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4. ブレード交換 VDG/Glass用の場合

4.1. 3.1～3.6までと同じように作業を行う。ただし、3.6ではブレードまではずれるが、ここでは押さえ金具のみ外

れる（②）ので、続けて手で直接ブレードを取り出す（③）

4.2 新しいブレードを直接手で取り付け（③）、部品 Aをとりつける（②）

治具 A で部品 Aを掴み、取り外したときと同様に斜めにならないようにまっすぐ取り付ける。

4.3. 以降は、3.8．～3.20 を行う。

①

③

②

部品 A

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参考：ブレード情報の表示例

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