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AKUSTISCHES MIKROSYSTEM IM MEHRLAGENDESIGN Strukturüberwachung von Faser- verbundbauteilen Akustische Mikrosysteme ermöglichen den zerstörungsfreien Nachweis von Schädigun- gen in Verbundwerkstoffen auf Basis geführter, akustischer Wellen. Im Gegen- satz zu externen, separaten Prüfsystemen, erfolgt die Zustandsüberwachung (engl. Structural Health Monitoring – SHM) kon- tinuierlich mit strukturintegrierten oder ap- plizierten Sensormodulen. Das Haupt- designmerkmal ist die vollständige Einbet- tung von bereits gesinterten PZT-Formteilen in grüne LTCC-Lagen. Die komplette elek- trische Verdrahtung und Anbindung der Piezokeramik ist durch die Mehrlagentech- nologie gewährleistet. Des Weiteren bietet das gesinterte akustische Mikrosystem der Piezokeramik Schutz vor äußeren mecha- nischen und chemischen Einflüssen. Leistungsangebot - Entwicklung und Herstellung akustischer Mikrosysteme auf Grundlage von LTCC- Mehrlagentechnologie - Designentwicklung und Simulation auf Basis vorhandener Technologie- und Simulationserfahrungen - Elektromechanische Charakterisierung und Applikationstests FRAUNHOFER-INSTITUT FÜR KERAMISCHE TECHNOLOGIEN UND SYSTEME IKTS 1 Mikrosystem: Keramisches Mehrlagensubstrat mit inte- grierten Piezowandlern und innerer Verdrahtung. 2 Mikrosystem: komplettiert mit Schaltung. Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS Winterbergstraße 28 01277 Dresden Ansprechpartner Dr. Andreas Schönecker Telefon 0351 2553-7508 [email protected] www.ikts.fraunhofer.de 1 2 Schematischer Aufbau des realisierten akustischen Mikrosystems

FRAUNHOFER-INSTITUT FÜR KERAMISCHE TECHNOLOGIEN UND ... · Acoustic microsystems allow for non-de-structive evaluation of damages in fiber re-inforced composite materials using guided

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Page 1: FRAUNHOFER-INSTITUT FÜR KERAMISCHE TECHNOLOGIEN UND ... · Acoustic microsystems allow for non-de-structive evaluation of damages in fiber re-inforced composite materials using guided

AKUSTISCHES MIKROSYSTEMIM MEHRLAGENDESIGN

Strukturüberwachung von Faser-

verbundbauteilen

Akustische Mikrosysteme ermöglichen den

zerstörungsfreien Nachweis von Schädigun-

gen in Verbundwerkstoffen auf Basis

geführter, akustischer Wellen. Im Gegen-

satz zu externen, separaten Prüfsystemen,

erfolgt die Zustandsüberwachung (engl.

Structural Health Monitoring – SHM) kon-

tinuierlich mit strukturintegrierten oder ap-

plizierten Sensormodulen. Das Haupt-

designmerkmal ist die vollständige Einbet-

tung von bereits gesinterten PZT-Formteilen

in grüne LTCC-Lagen. Die komplette elek-

trische Verdrahtung und Anbindung der

Piezokeramik ist durch die Mehrlagentech-

nologie gewährleistet. Des Weiteren bietet

das gesinterte akustische Mikrosystem der

Piezokeramik Schutz vor äußeren mecha-

nischen und chemischen Einflüssen.

Leistungsangebot

- Entwicklung und Herstellung akustischer

Mikrosysteme auf Grundlage von LTCC-

Mehrlagentechnologie

- Designentwicklung und Simulation auf

Basis vorhandener Technologie- und

Simulationserfahrungen

- Elektromechanische Charakterisierung

und Applikationstests

F R A U N H O F E R - I N S T I T U T F Ü R K E R A M I S C H E T E C H N O L O G I E N U N D S Y S T E M E I K T S

1 Mikrosystem: Keramisches

Mehrlagensubstrat mit inte-

grierten Piezowandlern und

innerer Verdrahtung.

2 Mikrosystem: komplettiert

mit Schaltung.

Fraunhofer-Institut für Keramische

Technologien und Systeme IKTS

Winterbergstraße 28

01277 Dresden

Ansprechpartner

Dr. Andreas Schönecker

Telefon 0351 2553-7508

[email protected]

www.ikts.fraunhofer.de

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Schematischer Aufbau des realisiertenakustischen Mikrosystems

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F R A U N H O F E R I N S T I T U T E F O R C E R A M I C T E C H N O L O G I E S A N D S Y S T E M S I K T S

Fraunhofer Institute for Ceramic

Technologies and Systems IKTS

Winterbergstrasse 28

01277 Dresden, Germany

Contact

Dr. Andreas Schönecker

Phone +49 351 2553-7508

[email protected]

www.ikts.fraunhofer.de

Structural health monitoring of fiber

reinforced composites

Acoustic microsystems allow for non-de-

structive evaluation of damages in fiber re-

inforced composite materials using guided

acoustic waves. In contrast to externally ap-

plied test systems, the state of health can

continuously be controlled by using struc-

tural-integrated or applied sensor modules.

As main design and technology feature of

the developed acoustic microsystem, al-

ready sintered piezoceramic transducers are

embedded in green LTCC sheets. The multi-

layer is then formed by post firing. The

complete electric wiring and material bond

of the piezoceramic is guaranteed by the

LTCC multilayer technology. Besides, the

sintered acoustic microsystem offers protec-

tion of the piezoceramic against external

mechanical and chemical loads.

Services offered

- Development and fabrication of acoustic

microsystems based on LTCC multilayer

technology

- Custom designs and simulation based on

our comprehensive experience in tech-

nology and simulation

- Electromechanical characterization and

application tests

ACOUSTIC MICROSYSTEM INMULTILAYER DESIGN

1 Microsystem: ceramic multi-

layer substrate with integrated

piezoelectric transducers and in-

ternal wiring.

2 Microsystem: completed

with electronic circuit.

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Design of the developed acoustic microsystem