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1567
AAbbildungslinse, 662Abhebetechnik, 267Ableitelektrode, 1138Ableitung, partielle, 176Abscheiden, 210Absolutdruck, 460Absolutdrucksensor, 489Absolute Temperatur, 223Absorption, 1161Abstandsmessung, 616, 618Abstrahlverhalten
Elektronikplatine, 1487kleine Platine über angeschlossene
Koaxialkabel, 1487Abtasttheorem, räumliches, 1409Abtragen, elektrochemisches, 348
E-Feld, 350mit oszillierender Werkzeugelektrode, 351Prozessaufbau, 349Prozessenergiequelle, 350Spülung, 350
Abweichungbekannte systematische, 24unbekannte systematische, 23, 24von der Linearität, 40
Adatom, 224Adiabatenkoeffizient, 613Adsorption, 1063Adsorptionschromatographie, 1120Advanced Materials, 324Advanced Silicon Etching (ASE), 281Aerodynamik, 880Aerosol, 1009, 1010, 1015, 1050
monodisperses, 1059
Aerosolelektrometer, 1019, 1047Aufbau, 1048
Aerosolsensor, 1047Auflader-Elektrometer-Kombinationen,
1047photoakustischer, 1056photoelektrischer (PAS), 1047, 1055, 1057
Aerosolstrahl, 1029, 1031Aethalometer, 1054-1056Alarmgerät, 996Ammoniakelektrode, 1166Amperometrie, 1148Amplituden-Auswerteverfahren, 710AMR-Effekt, 74AMR-Sensor mit Barberpolen, 598Analog-Digital-Umsetzung, 1183
mit Zeit als Zwischengröße, 1183nach dem Kompensationsprinzip, 1186schnelle, 1187
Anemometerschaltung, 878Anemometrie, 114Anfangswertprobleme, 172Anglasen, 298Anguss, 357Anisotrop-Magneto-Resistive- (AMR-)Prinzip,
711Anisotropie, 265Anisotropiewandler, magnetoelastischer, 529Annealing, 387Anodic Bonding, 287, 465Ansaugrauchmelder, 1473
mit Rohrsystem, 1475Anschlussunsicherheit an Messeinrichtungen,
495Apertur, synthetische, 1406, 1410
Sachverzeichnis
H. Tränkler und L. Reindl (Hrsg.), Sensortechnik, DOI: 10.1007/978-3-642-29942-1, © Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2014
1568 Sachverzeichnis
Autokollimationsprinzip, 1100Auxiliary Partikelfilter (APF), 1249Avalanche-Photodiode, 972Azimutfrequenz, 1235
BBackground Limited Infrared Photondetector-
(BLIP-)Detektivität, 968Badewannenkurve der Ausfallrate von
Elektronik, 402Bahnerosion, 334Balgengaszähler, 796Ball-Wedge-Bonden, 298, 300Bändermodell, 81, 82, 96
zur Photoemission, 93Bandgap-Engineering, 112Bandstrahlungspyrometer, 982, 984Barber Pole, 77
Anordnung, 598Barrel-Reaktor, 264Basis-Emitter-Spannung von Transistoren, 909Basisfunktion, unisolvente, 182Bauelement, Zuverlässigkeit, 401Bayes-Klassifikator, 1433Bayes-Rekursion, 1237, 1241
Assoziationsproblem, 1255Näherungslösungen für vektorwertige
Zustände, 1244Bayes’sche Inferenz, 26Bayes’sche Wahrscheinlichkeitstheorie, 22Behälterverwiegung, 525Belegtheitsgitter, 1264Beleuchtungsazimut, 1235Berechnungsindex, 1023Bernoulli’sches Gesetz, 811, 817Bernsteinpolynom, 169Beschleunigungsgrenzwertschalter, 559Beschleunigungsmessung, 497Beschleunigungssensor, 543
Amplitude, 549Bandbreite, 550Blockschaltbild, 546Empfindlichkeit, 550induktiver, 556kapazitiver, 554Kreisstruktur, 546magnetischer, 556Messprinzip, 544mit Rückkopplung, 546
Application Layer, 1548Approximation, 162Approximationsverfahren, 1196
L1-Approximation, 1196L2-Approximation, 1196Tschebyscheff-Approximation, 1196
Argon-Ionenlaser, 653Aspect Ratio Dependent Etching
(ARDE), 282Ätzen
anisotropes, 272elektrochemisches, 271, 278
in anisotropen Lösungen, 279in einem HF-Elektrolyt, 278
isotropes, 260, 272nasschemisches, 260Passivierungsschichten, 275
Ätzgefäß, doppelwandiges öltemperiertes, 274
Ätzlösung, 262Ätzprozess, 260Ätzrate
für Silizium, 274Richtungsabhängigkeit, 274von Siliziumdioxid, 276
Ätzverhaltenanisotropes, 260isotropes, 260
Aufdampfanlage, thermische, 444Aufdampfen, reaktives, 229Auflichtprinzip, 708Aufnehmer, siehe auch Sensor
induktiver, 579magnetischer, 5995mit Änderung der Induktivität, 579mit Änderung der Kapazität, 592mit Widerstandsänderung, 574optischer, 646
Aufweckverfahren, 1338Ausbreitungsdämpfung, 616Ausgangsgröße
Erwartungswert, 31Unsicherheitsfortpflanzung, 31
Ausgangssignal, 6elektrisches, 56
Ausgangsspanne, 454Temperaturgang, 455
Auslaufzähler, 795Autofokustaster, 701
Messprinzip, 702
1569Sachverzeichnis
mit Gassensoren, 1477Brandmeldeanlage
Aufbau, 1455Feldbus, 1459Gleichstromlinientechnik, 1458Primärleitung, 1458prinzipielle Struktur, 1457Verbindung Melder Zentrale, 1457
Brandmelder, 1046mit Streulichtmesskammer, 1471Prüfverfahren, 1460
Brandmeldetechnik, 1449Ansaugrauchmelder, 1473Lüftungskanalmelder, 1473Messprinzipien, 1460Sonderformen von Meldern, 1473Wärmemelder, 1472
linearer, 1475Wärmestrahlungsmelder, 1472
Brechzahlschwankung, 696Breitbandstörgröße, 1484Bricard-Konstante, 1466Brown’sche Bewegung, 147Brückenschaltung, 1178Buckingham π-Theorem, 145, 149Bulk Micromachining, 271Bündelausgleichsrechnung, 693Burn-in-Test, 420Burst, 609, 618, 846Bus-Schnittstelle, 3Busphysik, 1543
drahtlose Medien, 1545Lichtnetz, 1545Lichtwellenleiter, 1545
Bussystem, 1459serielles, für die Sensorebene, 1536
CCAN-Bus, 1459
Kollisionsauflösung, 1547Cantilever, 1098Carrier Burst, 1342Cellular neural network (CNN), 691Charge-Balancing-Umsetzer, 1185Charged-Coupled-Devices (CCD), 110Chemical Vapour Deposition (CVD), 446Chemilumineszenz-Gerät, 1109Chemisorption, 1064
optischer, 558Phasengang, 549piezoelektrischer, 557piezoresistiver, 556Rauschen, 550, 553resonanter, 559statisches Verhalten, 544thermischer, 558
BESOI-Prozess, 290Best Fit, 458beta-Staubmeter, 1051Bewegungsdetektion, 998
mit Dopplerverfahren, 624Bewegungsmelder, 996, 997Bézier-Splines, 170Bias-Sputtering, 233Bias-Zerstäubung, 233Biegebalken-Sensorelement, 446Biegeschwinger, 640Biegewandler, piezoelektrischer, 1369Bildauswertung, 676
Linienextraktion, 676Schnittlinienauswertung, 676
Bildfusion einer Fokusserie, 1231Bildsensor, 659Biosensor, 1165Bit-plane-stack, 680Black Silicon, 282Blendenmessung, 823Block-Code, 716Bohren, 378
Maskentechnik, 379Bolometer, 952, 999
Arrays, 954Empfindlichkeit, 952
Boltzmann-Transportgleichung, 147Bonden, eutektisches, 296Bondwerkstoff, 119
gebräuchliche Drähte, 121Bootstrap-Filter, 1248Borosilikat, 288Boyle-Mariottesches Gesetz, 821Brandalarm, 1449Branderkennung, 1450, 1461
Kenngrößen, 1452Messgrößen, 1452
Integration über dem Ort, 1454Integration über der Zeit, 1453organisatorische Verfahren, 1454
1570 Sachverzeichnis
Kriechen, 520Messkörperformen, 516Messverstärker, 522reale Verschaltung, 519Teilauslastung, 522TK0, 521typische Kenngrößen, 520
Messtechnik, 507Bauformen, 510Dehnung, 508k-Faktor, 508physikalische Zusammenhänge, 508Temperaturganganpassung, 510
Sensor, 433Tracking, 453
Dehnungstensor, 60Designprozess, 144Desorption, 1064Detektionskonzepte, 665Detektor, 656
für die Brandmeldetechnik, 1449positionsempfindlicher, 658, 665
Diamant-Hohlbohrer, 327, 328Diamantwerkzeug, rotierendes, 324Diazonaphthochinon, 259Dickschichttechnik, 290
Siebdruckverfahren, 291Die-Bonden, 467Dielektrika, 129Dielektrizitätszahl, 744Differential-Photodiode, 667Differentialdrossel, 580Differentialgleichung
eindimensionale, 159Fundamentallösung, 160gewöhnliche, 154
numerische Lösung, 172partielle, 144, 154, 156, 174
erster Ordnung, 156integrale Form, 180zweiter Ordnung, 156
quasilineare, 156schwache Form, 181
Differentialoperator, 174Differentialtransformator, 581
linearer variabler (LVDT), 581Dreikammersystem, 581Sensor, 582Zweikammersystem, 581
Chemisorptionsaktivierungsenergie, 1067Chi-Quadrat-Test, 40Chopperfrequenz, 91Clip-On-Gage, 578Clustering, 1257CMOS
Kamerachip, 989Sensor, 661
CO2-Laser, 370Coated-wire-Elektroden, 1145Coriolis-Massedurchflussmessung, 888
Anwenderaspekte, 895Messrohre, 892typische Bauformen, 896
Coriolis-Massemesser, 893Corioliskraft, 888Corona-Auflader, 1019Coulomb-Streuung, 113Coulter-Prinzip, 1017Coulter-Zähler, 1037, 1038CSMA/CA, 1546CSMA/CD, 1546Cunningham-Korrektur, 1019Curie-Temperatur, 81Czochralski-Verfahren, 204
DD-Flip-Flop, 624Data Link Layer, 1546Datenassoziation, probabilistische, 1260Datenintegration durch Fuzzy Logic, 1296Datensätze, diskrete, 162Dauermagnet, 599Dauermagnetdraht, 599DC-Sputtern, 231Debye-Temperatur, 79Deep Reactive Ion Etching (DRIE), 279, 280Defekterkennung mittels Beleuchtungsserien,
1233Dehnungsänderung, 436Dehnungsmessstreifen (DMS), 434, 576
Drehmomentaufnehmer, 534berührungslose Übertragung, 536Messkörperformen, 535Schleifringübertragung, 536
Kraftaufnehmer, 514Anwendung, 523Hysterese, 520
1571Sachverzeichnis
Drehmomentsensor, 493Drehratensensor, 560
Messprinzip, 560Lock-in-Effekt, 568
Drehschleusenzähler, 796Drehwinkelsensor, 604Drehzahlmessung, 775
Koinzidenz-Verfahren, 787mit Wiegandsensor, 783optische Verfahren, 784Zählverfahren, 787
Drehrichtungserkennung, 790Dynamik und Genauigkeit, 789Frequenzmessung, 788Mittelwertverfahren, 790Periodendauermessung, 788
Drehzahlsensor, 775Drei-Elektrodensensor, 1071Dreielektrodensystem, 1150Drift-Diffusions-Gleichung, 149Driften, 43Drosselspule, 580Druckaufnehmer, 434
Kenngrößen, 450Messelementeformen, 441Messgrößentransformation, 435mit Dünnfilm-DMS, 443mit Metallfolien-DMS, 438
Druckhysterese, 466Druckmessumformer, 436, 767Drucksensor, 43, 129, 460
Anforderungen, 488Anwendungen, 488für Automobilanwendungen, 489in der industriellen Automatisierungstech-
nik, 490kapazitiver, 472, 476
Ausführungsformen, 484Funktionsprinzip, 476Herstellungsverfahren der Messzelle, 479Kennlinien, 486Linearität, 485Signalverarbeitung, 481Temperaturdrift, 485
Kenndaten, 470Messdaten, 44miniaturisierter, für medizinische
Anwendungen, 490piezoelektrischer, 487
Differenzdividierte, 163finite, 172
Differenzdruck, 460Differenzdrucksensor, 460Differenzprinzip, 12-14Differenzsignal, 15Differenzverstärker
mit Offsetkorrektur, 1180zweistufiger, 1179
Diffusion, 238Diffusionsgleichung, 148Diffusionsgrenzstrom, 1148Diffusionsofen, 213Diffusionsprofil, 240Diffusionsspannung, 1136Digital-Analog-Umsetzer, 1186Digitalumsetzung, 1183Dimensionsanalyse, 145, 149Dioden-Array-Spektrometer, 1099Diodenlaser, 370, 376, 654Diodenlaserspektroskopie, 1106Direktpotentiometrie, 1146Direktschreiben von Metallen, 388Distanzsensor, 607, 608
Bewegungsdetektion mit Dopplerverfahren, 624
Doppelstabsonde, kapazitive, 746Dotieratom, 239, 244Dotierung von Halbleitern, 238Drahtbonden, 298Drahterosion, 334Drahtpotentiometer, 575Drallreduzierer, 825Drallzähler, 815, 816Drehen, 340Drehflügelmelder, 740Drehgeber, 604Drehkolbengaszähler, 797Drehkondensator, 606Drehmomentaufnehmer nach dem
induktiven Prinzip, 538Drehmomentkalibrieranlage, 532Drehmomentmessung, 531
Messung des Aktionsmomentes, 532Messung des Reaktionsmomentes, 534mittels Tauchanker, 539nach dem piezoelektrischen Prinzip, 540nach dem Wirbelstromprinzip, 540
1572 Sachverzeichnis
Messrohrgestaltung, 847Messrohrquerschnitt, 848Mitführungseffekt, 841unvollständige Profilintegration, 856Wandlereinbau, 850Wärmezähler, 864
V-Konus-Verfahren, 826Venturikanalmessung, 837Verdrängungszähler, 796
Drehkolbengaszähler, 797Drehschleusenzähler, 796Ovalradzähler, 798Trommelgaszähler, 799
Volumenzähler mit Messflügeln, 800volumetrische Messverfahren, 794Wandlertechnik, siehe auch dort, 859
Wanddurchschallung, 862Wandentkopplung, 863
Wirbelzähler, 802Wirkdruckverfahren, 825
Durchflussrechner, 805Durchflusssensor mit axial versetzten
Wandlern, 852Durchflusssonde, magnetisch-induktive, 834Durchlassspannung, 909Durchlicht-Verfahren, 784, 785Durchlichtprinzip, 706, 707Durchlichtrauchmelder, 1470, 1471Dynode, 94
EEchoprofil, 1416, 1423
Korrelationsergebnisse, 1429Lageerkennung, 1425
Echoprofilspeicherung, 1422Echtzeitethernet in der Sensoranbindung, 1555Edlén-Formel, 698Effekt
anisotroper magnetoresistiver (AMR-Effekt), 74
direkter piezoelektrischer, 61inverser piezoelektrischer, 61magnetoresistiver, 72, 597piezoresistiver, 63pyroelektrischer, 91thermoelektrischer, 89
Eimerkettenschaltung, 660Einelement-IR-Pyrometer, 987
piezoresistiver, 461, 464Abgleich, 473analoge Signalverarbeitung, 474Chipmontage, 466Gehäusevarianten, 466Signalverarbeitung, 473Temperaturkompensation, 473Versorgungsspannung, 475weiche Montage, 467
verschiedene Herstellungstechnologien, 486Drucksensormembran, 281Dual-Stope-Umsetzer, 1184Dükerleitung, 836Dunkelfeld-Maske, 251Dunkelreferenz, 680Dünnfilm-Druckaufnehmer, 433, 449
Aufbau, 448Dünnfilm-Metall-Temperatursensor, 914Dünnschicht-Widerstand, 293Dünnschichtbolometer, 953Dünnschichtheizwiderstände, 117Dünnschichttechnik, 291Durchflussgleichung, 822Durchflusskoeffizient, 820Durchflussmessung, 793
Auslaufzähler, 795Federscheibendurchflussmesser, 829Flügelradzähler, 802Klappendurchflussmesser, 829konventionelle Messung mit Höhendiffe-
renzverfahren, 836Laufzeitmessung, 843magnetisch-induktive, 829
an offenen Gerinnen, 838Aufbau, 831Bewertung, 835Diagnoseverfahren, 834Störsignale, 832Wertigkeitsfunktion, 831
Messung in offenen Gerinnen, 836Pegelmessung, 836thermische Luftmassenmessung,
siehe auch dort, 868Turbinenradzähler, 800Ultraschall, 840
Fehlereinfluss, 853Laufzeitmessung, 843Laufzeitverfahren, 838Luftmassenmesser, 864
1573Sachverzeichnis
Enzymelektroden, 1165Epitaxie, 113, 238, 241Erdgasindustrie, 1123Erosion von nicht-leitfähigen Materialien, 335Erosionstheorie, elektrothermische, 332Ersatzschaltbild, elektrisches, 98Erstarrungstemperatur, 120Erweichungstemperatur, 120Euler-vorwärts-Integration, 173Excimer-Laser, 372, 386Exergie, 1348Extinktionseffizienz, 1026Extinktionssensor, 1028Extraordinary MagnetoResistance Effekt
(EMR), 596
FFabry-Perot-Etalon, 1091Fahrdynamik, 1210Failure Mode and Effects Analysis (FMEA), 421Fanningscher Reibungsfaktor, 153Faraday’scher Käfig, 1047Faraday’sches Induktionsgesetz, 829, 830Faserkreisel, 564
interferometrischer, 566Faserlaser, 370FD-Gitter, 179Federscheibendurchflussmesser, 829Fehler
absoluter, 7relativer, 7systematischer, 10
Fehlerfortpflanzung, 10Fehlerfortpflanzungsgesetz, 10Fehlerphysik, 405Fehlerrechnung, klassische, 22, 23
relevante Größen, 24Fehlerselektivität, 1405Feld-/Leitungskopplung, 1512Feldbus, 1459Feldeffekttransistor, 961
gassensitiver, 1072ionenselektiver, 1146
Feldmesssonde, 330Feldplatte, 73, 596, 597, 784Fermi-Energie, 78Fernfeld, 610Ferroelektrika, 57
Einflusseffekt, 10Einflusskorrektur, 13Einfügedämpfung, 629Eingangsgröße
Bewerten, 36Darlegen der Kenntnisse, 34mathematisches Bewerten der
Kenntnisse, 28Einkristall, 200Einmassenschwinger, 562Einperlmethode, 769Einrichtung, elektrische, 1484Einstein-Gleichung, 85, 92Einsteinsche Summenkonvention, 61Einzelsensor, 1175Electrochemical Machining (ECM), 348Electrostatic Discharge (ESD), 411
Ausfallmodelle, 412Klassen der ESD-Empfindlichkeit, 412
Elektret-Mikrophon, 1055Elektroden
gasselektive, 1144ionenselektive, 1138
Elektromagnetische Verträglichkeit (EMV), 1483
Elektrometer, 1053Elektron Hopping, 84Elektronenbindungsenergie, 92Elektronenstrahl-Schreibverfahren, 249, 250Elektronenstrahlverdampfer, 225, 227Elektronic Grade Silicon (EGS), 204Elektronikhardware
Ausfallursachen, 404Stressfaktoren, 404
Elementar-DrucksensorKenndaten, 470zeitliche Drift, 471
Elementarsensor, 914Emissionsspektrometrie, 266Empfangsempfindlichkeit, 630Empfangsverstärker, 620Encoder, 604Endpunkterkennung, 265Energy Harvesting, 1348
Transponder, 1326Entladestrom, 333Entladung, elektrostatische, 411Entladungslampe, elektrodenlose, 1101Environmental Testing, 417
1574 Sachverzeichnis
Fouriertransformation, 160schnelle, 1417
Franklin-Oszillator, 1182Fräsen, 340Fraunhofer’sche Zone, 610Fremdatom, 80
im Silizium, 239Frequenz-Digital-Umsetzung, 1188Frequenzbereichsabtastung, 1380Fresnel’sche Zone, 610FTIR-Spektrometer, 1097Füllstandmessung, 725, 729
Drehflügelmelder, 740Druck- und Kraftmessungen, 766Einperlmethode, 769elektrische Verfahren, 744Flüssigkeiten, 727gebräuchliche Prozessanschlüsse, 734Grenzstandmessung, 732hydrostatische, 767, 768Impulsradar mit Hornantenne, 756kapazitive Messung, 745
Messung zwischen Sonde und Behälterwand, 745
Messung zwischen zwei Sonden, 748Näherungsschalter, 749
konduktive Messtechnik, 750kontinuierliche Messung, 732Laufzeitmessung, 752Lichtlaufzeitmessung, 765Lotsystem, 743Messgeräte, 730
analoge Ausgangssignale, 731Baugruppen, 730elektrischer Anschluss, 731Prozessanschluss, 733
Messverfahrenberührendes, 728berührungsloses, 728
optische Grenzstandmessung, 771pneumatische, 769potentiometrische Messung, 751quasikontinuierliche Messung, 732Radarmesstechnik, 755
FMCW-Radar, 760geführtes Radar, 761, 762Impulslaufzeitverfahren, 758
Radiometrie, 770Schüttgüter, 726
Fertigungsstreuung, 1202Festkörpermembranelektroden, 1142Festpunktmethode, 457Feuchtesensor, 1398Feuermelder, 1456Fiber Optical Gyroscope (FOG), 566Fick’sches Gesetz, 238Field-assisted Bonding (FAB), 286Filterfotometer, 1091Finite Differenzen, 172
für die Lösung von PDEs, 176Operatoren, 174, 175
durch Shiftoperator ausgedrückt, 176Wirkung, 175
Finite set statistics (FISST), 1256Flächenkamera, 691Flachspule, 1200Flammenionisationsdetektor, 1116, 1117, 1121Flammenmelder, 1472Fleißfaktor, 23Fließinjektionsanalyse, 1147Flip-Chip-Bonding, 302, 303Float-Zone-Verfahren, 205Flügelradzähler, 802Fluorid-Elektrode, 1142Fluorpolymer, 1367Flüssiganalyse, 1134Flüssigmembranelektroden, 1143Flussspannung, 88
von Dioden, 909Flycutting, 340, 342FMCW-Entfernungsmessung, 626Fokussierlinse, 662Folie, modulkompensierende, 439Folien-DMS, 511, 577
Aufbau, 512Kriechanpassung, 513
Folienpotentiometer, 575Foliensensor, magnetischer, 603Formabtrag mit Laserstrahlung, 384Formanisotropie, 75Formwerkzeug, mikrostrukturiertes, 366
Herstellung, 366Fotoätztechnik, 438Fotolithografie, 470Fotometrie, photoakustische, 1108Fotovoltaik, 1356Four-Terminal-Gauge, 464Fourier’sche Wärmeleitungsgleichung, 146
1575Sachverzeichnis
Cross- Flow Modulation, 1090MULTOR, 1085NDIR-Geräte, 1079nicht fotometrisch arbeitendes, 1111Personen- und Anlagenschutz, 1093Ultramat, 1085UNOR, 1084
Gaschromatographie, 1119, 1123Gasfilterkorrelation, 1092, 1094Gaslaser, 653Gassensor, 1063
elektrochemischer, 1069Gassignal, 1470Gasströmungsmessung, 851Gastheorie, kinetische, 1074Gate-Oxid, 1072Gating, 1257Gauge-Faktor, 435, 461Gauß-Effekt, 68, 72Gauß-Profil, 239Gauß’sche Fehlerfortpflanzung, 31Gauß’sche Normalverteilung, 29, 244Gauß’sche Unsicherheitsfortpflanzung, 32Gaußkurve, 1426Gebäudethermografie, 994, 995Gefahrendetektor, 1451Gefahrenmeldeanlage, 1450, 1455
Versagen, 1456Gegenkopplung, 16Gehäusewerkstoff, 129
Anwendungsbereiche, 138Keramik, Anwendungsbereiche, 140Kunststoff, 140
Eigenschaften, 140Generations-Rekombinationsrauschen, 944Gesamtfehler, Aufspaltung, 9Gesamtrauschen, 945Gesamtstrahlungspyrometer, 982Geschwindigkeitssonde, magnetisch-induktive,
834Gesetz von Stefan und Boltzmann, 938Gewichtskraftmessung, 497Giant Magnetoresistance, (GMR), 77, 115Gitterebene, 200Gitterspektrometer, 1100Glaselektroden, 1138, 1147Gleichlichtprinzip, 951Gleichlichtpyrometer, 981Gleichspannungs-Sputteranlage, 445
Schwimmer, 737Sonden- und Antennenbauformen, 734Technologien, 736thermische, 773Ultraschallmesstechnik, 753Verdränger, 737Vibrationsgrenzschalter, 741Wägetechnik, 769
Füllstandsensor, 729, 745, 763Fundamentallösung
der Diffusionsgleichung, 160der Poissongleichung, 162der Wellengleichung, 161
Funkkanal, 1327Fernfeld, 1327Nahfeld, 1329
Funkkommunikation, 1336Funkschalter, 1371Funksensor, 1324Funksensorsystem, 1324
Aufbau, 1324Fusion einer Fokusserie, 1230Fuzzifizierung, 1298Fuzzy Logic, 1208, 1296
Andock-Manöver, 1304Anwendungsfelder, 1301Einsatzbereiche, 1296Grundbegriffe, 1297Grundlagen, 1296Kollisionsvermeidung, 1304Objekterkennung mit Ultraschall, 1434Realisierung, 1296
Fuzzy-Mengen, 1298
GGaAlAs-Diodenlaser, 655Galerkinmethode, 181Gallium-Arsenid-Diodenlaser, 653Galvanometerscanner, 376Gas filter correlation, 1102Gas Sensitive MOSFET, 1073Gas-Halbleiter, 1063Gas-Nitrieren, 383Gasanalysator, siehe GasanalysegerätGasanalyse, physikalische, 1079Gasanalysengerät, 1079, 1124
Binos-Gerät, 1093Conthos, 1113
1576 Sachverzeichnis
Halbleiterwafer, 248Halbleiterwerkstoffe für die Sensorik, 106Halbwellen-Longitudinalresonator
Schallabstrahlung, 633Schwingungsform, 633
Halbzeug, 362Abkühlen, 368Aufbringen der Prägekraft, 367Erwärmung, 367Evakuieren der Prozesskammer, 367Herstellung, 366
Hall-Effekt, 67, 595Drucksensor, 1192, 1193
Hall-Koeffizient, 71Hall-Sonde, 330Hallgenerator, 596, 597, 784Hallspannung, 70Hamming-Distanz, 1535Harmonischer Oszillator, 155Harmonisches Radar, 1382Harnstoffsensor, 1165, 1166Hartlote, 122Hartstoffbearbeitung mit Ultraschall, 311
Verfahrensbeschreibung, 312HDRC-Chips, 661Heaviside’sche Stufenfunktion, 172Heißfilm, zylindrischer, 875Heißfilmluftmassenmesser, 875Heißleiter, 905Heißprägen, 362, 369
großflächiges, 368Helium-Ionisationsdetektor, 1121Helium-Neon-Laser, 653Hellfeld-Maske, 251Heterodyn-Detektion, 686Heterostruktur-Halbleiterkristallbauelement,
112HF-Kathodenzerstäubung, 232HgCdTe-Photodiode, 972Hilbert-Transformation, 1421Hilfselektrode, 332Hochfrequenz-Feldeffekttransistor, 113Hochleistungsdiodenlaser, 376Hochvakuumverfahren, 222Hohlraumstrahler, 941Holographie, 1420Homoepitaxie, 241Hooke’sches Gesetz, 515Hopping-Prozess, 85
Gleichspannungsmessverstärker, 522Gleichstromlinientechnik, 1458Gleichungstypen, 154Glucose, 1165GMR-Sensor, 599Gray-Code, 715Green’sche Funktion, 161Grenzschichttheorie, 876Grenzstandmessung
kapazitive, 749mit Mikrowellen, 772mit Ultraschall, 772optische, 771
Grenzwert für die Abweichung von der Linearität, 39
Grenzwertsatz, zentraler, 33Größenklassierer, elektrostatischer, 1018Großwasserzähler, 802Guard-Prinzip, 593Guide to the Expression of Uncertainty
in Measurement (GUM), 22Bestimmen der erweiterten Messunsicher-
heit, 37Ermittlungsmethode Typ A/B, 29Kombinieren der Erwartungswerte und
der Standardunsicherheiten, 37Linearisierungseffekt, 32Unsicherheitskonzept, 24Workbench, 37
GUM, siehe Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement
Gyroscopes, 541
HHalbleiter, 83, 111
Detektor, 656, 668extrinsischer, 906intrinsischer, 906optische Materialien, 110Reinraumbereiche, 197unkompensierter, 83
Halbleiter-Adsorbat-Komplex, 1067Halbleiter-Dioden-Laser, 1106Halbleitergassensor, 1066Halbleiterlaser, 370, 653Halbleiterprozess, 387Halbleiterverbindung für die
Hybridintegration, 138
1577Sachverzeichnis
Informationsreduktion im Sensor, 1213Informationsverarbeitungssystem (IVS), 4Infrarot-Flammenmelder, 1472Infrarot-Strahlungssensoren zur berührungslo-
sen Temperaturmessung, 929Infrarotsensor
Ansprechzeit, 948Anwendungen, 975Frequenzabhängigkeit, 948Frequenzverhalten der Empfindlichkeit, 949Kenngrößen, 976Modulationsübertragungsfunktion, 976Photonensensor, 965physikalische Detektivitätsgrenze, 950punktförmige Temperaturmessung, 976pyroelektrischer, 960, 998rauschäquivalente Leistung, 947Rauschen, 943Seebeck-Effekt, 956Sensorkenngrößen, 941Sicherheitstechnik, 996Spannungsempfindlichkeit, 962Spektralbereich, 942spektrale Empfindlichkeit, 942spezifische Detektivität, 947Temperaturkoeffizient der Empfindlichkeit,
963thermische, 948thermoelektrische, 1956Wärmeleitwert, 950Zeitkonstante, 948
Infrarotstrahlung, 931Inner-Lead-Bonden, 303Instrumentenverstärkerschaltung, 489Instrumentierungssystem, 4, 5
dominierende Struktur, 19, 20Integration, numerische, mittels Interpolation,
170Interdigitalwandler, 1386Interferenz, 694Interferenzeffekt, 694Interferenzfilter, 1096Interferometer, 694, 696, 1097
holografischer, 700zur Messung mehrdimensionaler
geometrischer Größen, 699zur Wegmessung, 698
Interpolation, 716Abtastung
Horizontal-Rohrreaktor, 220Anordnung der Elektroden und
Substrate, 221Hybrid, 1382Hydrosol, 1009Hydrosolstrahl, 1029Hypothesendichte-Filter,
probabilistischer, 1262Hysterese, 458, 471
IImager, 989Immunoelektroden, 1168Immunosensor, 1168Impedanz, akustische, 613Impedanzauswertung, 601Importance-Sampling, 1247Impuls-Drehzahlsensor, 780Impuls-Echo-Prinzip, 618Impulsbildung
aktiver induktiver Sensor, 781passiver induktiver Sensor, 782
Impulsdrahtsensor, 600Impulsformung, 785Impulsgenerator, 763Impulsradar, 759Impulsstromauswertung, 601In-situ-Fotometer, 1095Inductively Coupled Plasma (ICP), 283Inductosyn, 710Induktionswandler, 1368
Funktionsprinzip, 1370Inertialsensor, 541Information, stochastische
auf Digitalrechnern, 1238Informationsfusion
für multisensorielle Systeme, 1209Abstraktionsebenen, 1228Datenfusion, 1228Entscheidungsfusion, 1229Hard Decision Fusion1224Informationserfassung, 1212JDL-Modell, 1223Merkmalsfusion, 1228Omnibus-Modell, 1224Strukturen, 1222Symbolfusion, 1229Verarbeitungsschema, 1225
1578 Sachverzeichnis
dynamische, 719mit Trägerfrequenz, 720statische, 716
digitale, 717, 719durch Kettenbrüche, 167mit Hilfsphasen, 717mit kubischen Splines, 1195numerische Integration, 170rationale, 168
Interpolationsfunktion, 162Ionenätzen, reaktives, 264Ionenimplantation, 238, 244Ionenstrahlätzen, 261, 263Ionenstrahllithographie, 248Ionenstrom, 1463Ionentiefenätzen, reaktives, 279, 280, 957Ionisationskammer, 1046, 1464, 1465Ionisationsrauchmelder, 1463, 1466
Ionisationsrauchmelder, 1463schematischer Aufbau, 1464
IR-Filterfotometer, 1091, 1097ISFETs, 1145ISO-GUM-Verfahren, 24
als schrittweises Verfahren, 33, 34Bayes-Laplace’sche Grundlage, 28Grundprinzipien, 26
Isolatoren für die Hybridintegration, 137Isolierwerkstoff, 129, 130Isotopenverdünnungs-Massenspektrometrie,
22
JJacobi-Matrix, 185, 1281JEDEC-Normen, 412Johnson-Rauschen, 943Joint Integrated Probabilistic Data Association
(JIPDA), 1260Joint Probabilistic Data Association (JPDA),
1260Justiereinrichtung, 12
KK-Faktor, 577Kalibrierfaktor, 39Kalibrierfaktorverschiebung, 813
durch Abrieb und Korrosion, 814durch Temperaturänderung, 813
Kalibrierpunkt, 41Kalibrierung, 12, 43
Stabilität, 42von linearen Sensoren, 39von nichtlinearen Sensoren, 46
Kalman-Filter, 1208, 1243, 1251, 1265adaptives, 1284erweitertes, 12, 44, 1280
Herleitung der Kovarianzmatrizen, 1316, 1317
Herleitung der Algorithmen, 1271in der Praxis, 1276unscented, 1244Variationen, 1284vergrößertes, 1278
Kaltleiter, 906Strom-Spannungskennlinie, 922
Kaltleiterwiderstand, 907Kamera
3-D-Kamera, 687TOF-Kamera, 688
Kapazitätsmessbrücke, 481Kapillarsäule, 1121Kármán’sche Wirbelstraße, 806, 810Kaskadenimpaktor, 1018Katodenzerstäubung, 222, 229
herstellbare Schichten, 237Kelvin-Durchmesser-Spektrum, 1034Kennlinien-Linearisierung, 483Keramikwerkstoff, physikalische Daten, 141Keramikwiderstände
mit Heißleitercharakteristik, 84mit Kaltleitercharakteristik, 86
Kettenbruch, 167Keyhole, 374Kirchhoff'sches Strahlungsgesetz, 936Klappendurchflussmesser, 829Klassierer, elektrostatischer, 1017Klebstoff, 122
Anwendungsgebiete, 125Eigenschaften, 125Übersicht, 124
Knallgasreaktion, 213Koaxialleitung, 1521Kodierter Lichtansatz, 679, 680KOH-Ätzlösung, 273Kohlendioxid-Laser, 653Kohlrausch-Prinzip, 1153Koinzidenz-Verfahren, 787
1579Sachverzeichnis
Kollektorstrom, 99Kolloid, 1009
Konditionierung, 1040Kollokationsmethode, 181Kompensationsprinzip, 12, 16, 1176Kompensationssensor, magnetischer, 602Kompensationsstruktur, 277Kondensationskernzähler, 200, 1032, 1034Konduktometrie, 1152
Anwendungen, 1160elektrodenlose Verfahren, 1157Kohlrausch-Prinzip, 1153Messzellenkontrolle, 1160Temperatur, 1158Vierelektroden-Zellen, 1157Zweielektrodensystem, 1153
Kontakt-Metallisierung, 268Kontaktbelichtung, 253Kontaktierverfahren, 298
Drahtbonden, 298Kontaminationsquellen in Verbindung
mit Reinräumen, 198Konzentrationsmessungen in Flüssigkeiten,
1133optische Detektion, 1161
Absorption, 1161Brechungsindex, 1163Membranen, 1163Reflexion, 1162
Koppelschwinger, 638richtscharfer, 641
Kopplungsimpedanz, 1522Kopplungsreduzierung, 1519, 1520Korrektur von statischen Sensoreigenschaften,
12Korrekturfunktion, Restabweichung, 49Kostendegression, 17Kraft auf angeströmte Körper, 827Kraftaufnehmer, 495, 496
dynamische Messungen, 504induktiver, 529Kriechen, 501Lasteinleitungsfehler, 503magnetoelastischer, 528parasitäre Belastungen, 502, 503piezoelektrischer, 525
Eigenschaften, 526Reproduzierbarkeit, 501Temperatureinflüsse, 500
Umwelteinflüsse, 504Vorschriften und Normen, 496Wiederholbarkeit, 501
Krafterzeugung, Totlastanlage, 494Kraftmessbolzen, magnetoelastischer, 530Kraftmessung, 493
Einflussfaktoren, 498Genauigkeitsangaben, 498Hysterese, 499Kenngrößen, 498Linearitätsabweichung, 498Messprinzipien, 497Temperatureinflüsse, 500
Kraftnormale, nationale, 495Kraftsensor, 493Kreis, magnetischer, 580Kreismembran, isotrop geätzte, 464Kreuzkorrelationsfunktion, 1428Kristallatom, 57Kristallebene, 200Kronecker-Delta, 1254Kugelwelle, 612Künstliche Intelligenz (KI), 1308Kunststoffschweißen, 377Kupferspule, 258
LLab-On-Chip-Anwendung, 257Labor-Gaschromatographie, 1120Ladungstransfer-Modell, 1065Lagertankmessung, 756Lagrange-Interpolation, 164
baryzentrische Form, 165Lambdasonde, 1077
Funktionsweise, 1078Lambert-Beer’sches Gesetz, 1026, 1082, 1161Lambert-Strahler, 936Längenmesssystem, 705
inkrementales, 703Längenskala, 146Langevin-Ionen, 1045Langwegsensor, 589
induktiver, 591mit induktiven Näherungsschaltern, 590mit magnetfeldempfindlichen Aufnehmern,
600mit Schirmrohr, 592
Laplace-Gleichung
1580 Sachverzeichnis
2D FD-Lösung, 1772D FE Lösung, 183
Laplacetransformation, inverse, 160Laser
Lichtlaufzeitmessung, 752Schweißverfahren, 476Speckles, 667
Laserabtrag, 384Laserbonden, 389
von Glas und Silizium, 388Laserdiode, 667, 1022Laserdistanzsensor, Schwimmertechnologie,
739Laserfotometer, 1106Laserhärtung, 382Laserinterferometrie, 266Laserpartikelzähler, 1032Laserscanner, 688, 689
3D-Laserscanner, 688Laserstrahl, 370, 651, 674
Abtragen, 384Beschriften, 383Bohren, 378Brennschneidverfahren, 380Direktschreiben von Metallen, 388Kapillarbildung, 375Löten, 381Ritzen/Perforieren, 380Schweißen, 372Trennen, 379Wärmeleitung, 373
Laserstrahldurchschweißen, 377Laserstrahltransmissionsfügen, 389Lasertrimmen, 293Laufzeitmessung, 752
Füllstandmessung, 752Laufzeitverfahren, 682
Profilmessung, 687LC-Transponder, induktiv gekoppelter, 1374Leerstellendiffusion, 241Legierung, 118, 383
für die Hybridintegration, 135Leitkleber, 122Leitung
Ein-/Auskopplung, 1499Leitungskopplung/Signalintegrität, 1494leitungsungebundene Kopplung, 1504symmetrische, 1507unsymmetrische, 1507
Leitungskopplung, 1494Leitungsschirm, 1520Lenz’sche Regel, 584Lesegerät, 1375, 1379Leuchtdiode, 647, 650, 667
schematischer Aufbau, 651weiße, 652
Lichtblitz-Stroboskop, 777Lichtextinktion, 1055Lichtfleck, 665Lichtgeschwindigkeit, 682Lichtlaufzeitmessung, 765Lichtlaufzeitverfahren, 687Lichtlinie, 673Lichtpunkt-Triangulationssensor, 662
Aufbau, 663Eigenschaften, 668Einsatzmöglichkeiten und -grenzen, 669
Lichtquelle, 648, 667Lichtschnittsensor, 671
3D-Vermessung, 678Aufnahmegeometrie, 675Detektoren, 671Lichtquellen, 671Streifenprojektion, 677
Lichttaster, 771Lichtvorhang, 672Lichtwellenleiter, 1107Lift-off-Technik, 267LIGA-Verfahren, 257, 304
Fertigungsschritte, 305Lignin, 354Linear-Positionssensor, gepulster induktiver,
582, 583, 591Linearfehlersignal, 499Linearisierung, 1269
durch Differenzprinzip, 15durch inverses Korrekturglied, 14in der Messkette, 13, 14
Linearisierungspolynom für PT-100-Sensoren, 1530
Linearität, eingeschränkte, 45Linearitätsabweichung, 457Linearitätsfehler, 9Linearmesssystem, 705Linienstreuer, 617Lithiumniobat, 62Lithographie, 247Local Area Network (LAN), 1529
1581Sachverzeichnis
Longitudinaleffekt, 57Lorentz-Kraft, 69Lorentz-Sensor, magnetischer, 428Lote, 119
Anwendungsbereiche, 122Löten, 381Lotka-Volterra-Gleichung, 155Lotsystem, 743Lotwerkstoff, 123Low angle scattering instrument (LASI), 1030Low Pressure Chemical Vapour Deposition
(LPCVD), 217, 276, 446Prozessparameter, 218
Low Temperature Oxid-Schicht, 284Luftmassenmesser
Einbauspiele, 886Kombination von Sensoren, 885mechanischer Aufbau, 884mikromechanischer, 877mit Zusatzsensorik, 887
Luftmassenmessung, thermische, 868Aufbau, 872Auswerteschaltung, 878Funktionsprinzipien, 871Kontaminationsschutz, 883Sensoren, 873
Luftspule, 588Luftultraschall
Distanzsensor, 609Entfernungsmesser, 1422
Lüftungskanalmelder, 1473, 1474Lumineszenzdiode, 1027Lumineszenzstrahler, 648, 650LVDT, siehe Differentialtransformator,
linearer variabler
MMachzahl, 811Mackereth-Sensor für Sauerstoff, 1150, 1151Magnetfeld, 595
Sensorwerkstoff, 113Magnetostriktion, 77, 603Magnetowiderstandswerkstoff, 115Magnetronkathoden, 236Magnetronsputtern, 234, 235Manufacturing Message Specification
(MMS), 1551Markoff-Prozess, 422
Mask-Aligner, 252Masken-Justier- Belichtungsmaschine, 252Maskenherstellung, 248
mittels Pattern Generator, 250Trägermaterial, 250Transmission von Gläsern, 251
Massenbestimmung, 1053partikelgrößenabhängige, 1053
Massenstrommessung von Gasen, 868Massenträgheitsmoment, 889Masterfertigung, 338Materialbearbeitung mit dem Laserstrahl, 370Materialkosten, 18Matrixmethode, 173Matrixnotation, 60Maxwell′sche Gleichung, 1519Mean-time-to-failure (MTTF), 398Mehrgangpotentiometer, 604Mehrkomponenten-Prozessanalysen-
Spektrometer, 1099Mehrkomponenten-Prozessfotometer, 1091Mehrkomponentenkraftmessung, 527Mehrobjekt-Poisson-Verteilung, 1262Mehrschichtmetallisierung, 269Mehrwellenlängenholographie, 700Membran-Biegebalkensystem, 451Mengen, unscharfe, 1297Mengenmesseinrichtung, 793Merkmalskarten, 1265Messabweichung, 26Messaufnehmer, optischer, 648Messbrücken, 1177
Brückendiagonalspannung, 1177Messen
digitales, 704einer Länge, 704eines Winkels, 704
Messergebnis, 38Messunsicherheitsangabe, 38Messunsicherheitsbudget, 38
Messgerät, 26Antwort, 44eingeschränkte Auflösung, 41gekapseltes, 705kalibrierter Bereich, 47Korrektur für die Nichtlinearität, 50lineares, 40
Ursache-Wirkungs-Schema, 40Messabweichung, 26
1582 Sachverzeichnis
Messunsicherheitsbilanz für eine Messung, 46
Nichtlinearität, 48offenes, 705Unsicherheitsbalken, 46Verhalten, 46
MessgrößeMessen eines unbekannten Wertes, 45Umsetzung in ein elektrisches
Ausgangssignal, 55Zuverlässigkeit, 18
Messgrößentransformation, 434Messionisationskammer, 1465Messkette, Linearisierung, 13, 14Messmedien, flüssige, 1133Messoszillator, 1181Messprinzip
induktives, 709, 710interferentielles, 712, 713magnetisches, 711optisches, 712photoelektrisches, 706, 709
Messprozess, 28Messrohr, 892
Rohrgeometrie, 892, 893Messsignal, elektrisches, 3Messsystem, 705Messtechnik, optische, 647
Strahlungsquellen, 648Messung
Modellieren, 35reale, 43Ursache und Wirkung, 26, 27
Messunsicherheit, 21Ermittlung bei Messungen mit
Sensoren, 38erweiterte, 33, 37
Messunsicherheitsanalyse, 30Bewertung von Eingangsgrößen, 30
Messunsicherheitsansatz, 22, 23Messunsicherheitsbilanz, 38, 43, 45, 48-50Messverfahren
absolutes, 714inkrementales, 705, 707
Messzellenkapazitive, 472keramische mit Dickschicht, 487piezoresistive, 467, 472
Metall, 118für die Hybridintegration, 133
für Leiterbahnen, 119Verdampfungsrate im Hochvakuum, 224
Metallfolien-DMS, 439Druckaufnehmer, 442
Metallisierung, 268Metalloxid-Halbleiter, 1065Metalloxidgassensor, 1066, 1068
mikromechanische Sensorplattformen, 1068prinzipieller Aufbau, 1068
Metallwiderstands-Temperatursensor, 917Methode
der kleinsten Quadrate, 181der Unterdomänen, 181
Metropolis-Hastings-Sampling, 1246Microhotplates, 1068Mie-Theorie, 1020, 1467Mikrobolometer, 954Mikrocontroller, 19, 1203Mikrodrahtschneiden, elektrochemisches, 350Mikroenergiewandler, 1348
für Strömungen, 1372Mikrofräsen, elektrochemisches, 350Mikrofunkenerosion, 332, 336Mikromechanik, 271Mikrometerskala, 146Mikroschaltkreise, 1006Mikrospiegel, 689Mikrospritzguss, 358
Anwendungsbeispiele, 360Maschinen, 359
Mikrostreifenleitung, 1490Mikrosystemtechnik, ultrapräzise
Fertigung, 338Mikrotechnologie, 193Mikrowellen, Grenzstandmessung, 772Mikrowellenschranke, 772Miller’sche Indizes, 200Modco-Folie, 439Modell der Auswertung, 26, 27, 35Modellbildungsverfahren, 35
Anzeige-/Ausgabeeinheiten (IND), 36Assistenzsystem, 25Parameterquellen (SRC), 36Transformationseinheiten (TRANS), 36
Modellierung, 12, 143der Messung, 35diskretes Modell, 147kontinuierliches Modell, 147
Moiré-Effekt, 671, 706
1583Sachverzeichnis
Moiré-Streifen, 679Molekulardynamik, 147Molekularsieb-Chromatographie, 1120Molybdän, Temperaturabhängigkeit des spezi-
fischen elektrischen Widerstandes, 81Monte-Carlo-Simulation, 31, 33, 45Moody-Diagramm des Reibungsfaktors, 154MR-Effekt, 72Multi-Bernoulli-Verteilung, 1240Multi-Chip-Module (MCM), 19Multi-Hopp-Netzwerk, 1340Multi-Hypothesen-Tracking, 1258Multi-Periodendauermessung, 1189Multi-Sensorsystem, 10Multialkalikathode, 112Multikomponenten-Spektrometer, 1096, 1119Multilayer-Platine, 1490, 1491Multisensordatenfusion, 1290Multisensorsystem, 1206
Datenfusion, 1207Multispektralpyrometer, 940, 985
NNachdiffusion, 241Nachtsichtgerät, 992Näherungsschalter, 588, 600
induktiver, 605kapazitiver, 749
Nahfeld, 610NDIR-Gerät, 1087NDT-Silizium, 206Negative Temperature Coefficient Thermistor,
905Neodym-YAG-Laser (Nd:YAG), 370Nernst-Gleichung, 1137, 1139Nernst-Sonde, 1077Netze, neuronale, 1307
Funktionsweise, 1313Konzept, 1309Vorteile, 1313
Netzwerkssimulation, 145, 1492Neumann’sche Randbedingung, 183Neutron Transmutation Doping (NTD), 206Newton-Approximation, 163Newtonscher Algorithmus, 163Nichtlinearität, 47Niederdruckimpaktor, elektrischer, 1053Nikolsky-Gleichung, 1140, 1141
Normale, 704Normecho, 1416, 1426
Subtraktion, 1425Novolak, 259npn-Phototransisor, 98
bipolarer, 98NTC-Thermistor, 915, 919
Widerstands- und Temperaturtoleranz, 922Nulldurchgangsdetektion, 843Nullpunktfehler, 9Nullpunktsdrift, 43Nullpunktverschiebung, 42, 45Nullsignal, 450
thermische Änderung, 451Nutzsignalverfälschung, 1501
OOberflächen-Mikromechanik, 283Oberflächendiffusion, 224Oberflächenmikromechanik, 480, 484Oberflächenwellen (OFW)
akustische, 1386Identifizierungsmarken, 1391strahlungsgekoppelte, 1391Temperaturtransponder, 1394Transponder zur Messung der Temperatur,
1392Objekterkennung mit Ultraschall, 1403
Anwendungen, 1437Aufnahme von Objektsituationen, 1405
Abtast-Systeme, 1407Anordnung der Wandler, 1406Auflösungsvermögen, 1411Einsatzparameter, 1405
Auswertung der Phaseninformation, 1441Auswertung des Empfangsechos, 1422
Differenzprofile, 1424inverses Filter zur Objektidentifikation,
1430Korrelationsanalyse, 1427Subtraktion des Normechos, 1425
bildgebendes System, 1403Einsatzparameter, 1405Inspektionssystem, 1404Klassifikation, 1431
mit Methoden der Fuzzy-Logik, 1434neuronale Netze, 1434numerische, 1432
1584 Sachverzeichnis
objektselektives System, 1403positionsinvariante Objekterkennung, 1442Rekonstruktion der Objekteigenschaften,
1413Holographie, 1420räumliche Übertragungsfunktion, 1416Rückfaltung, 1417Übertragungsmodell, 1413zeitliche Übertragungsfunktion, 1414
Occupancy Grids, 1208, 1237ODE (ordinary differential equation), 154Offline-Photogrammetrie, 693Öffnungswinkel, 614Offsetspannung, 473OFW-Transponder, 1388, 1395
Messung von Druck, Drehmoment und Beschleunigung, 1396
Open Gate FET, 1072Opferschicht, 283Optik, 646Ortsselektivität, axiale, 1405Oszillator
freischwingender, 585gedämpfter harmonischer, 1364
Oszillatorfrequenz, feste, 585Oszillatorschaltung, 588Oszillatorsignal, 582Outer-Lead-Bonden, 303Ovalradzähler, 798Ozonanalysator, 1105
PParabolantenne, 757Parabolspiegeloptik, 1035Parallel-Umsetzer, 1187Parallelplattenreaktor, 219, 264Parametermodell, konzentriertes, 145Partialecho, 1416, 1426Partikel, 1006
Lichtstreuung, 1020Partikel-Messtechnik, 1005
Coulter-Zähler, siehe auch dort, 1037Diffusionseffekt, 1015Kondensationskernzähler, 1032optische Partikelzähler für Gase, 1029optische Sensoren, 1020Partikeleigenschaften aus photometrischen
Sensorsignalen, 1028
Probennahme, 1010anisokinetische, 1013
Trägheits- und Gravitationseffekte, 1010Partikeldurchmesser, 1012, 1040
aerodynamischer, 1017, 1019beweglichkeitsäquivalenter, 1017Streulichtintensität, 1024, 1025
Partikelfilter, 1246Bootstrap-Filter, 1248Mehrmodell-Filter, 1252mit Hilfsvariable, 1249Rao-Blackwellisierter, 1250, 1253Vorschlagsfunktion, 1247
Partikelgrößensortierung, 1016Partikelgrößenverteilung, 1040Partikelkonzentrationsmessung, 1014Partikelmassen-Sensor, 1048Partikelmessung
elektroresistivein Flüssigkeiten, 1037für Gase, 1045
Partikelsensor, 1007Eichung, 1057, 1058
Partikelstromsensor, optischer, 1035Partikelzähler, optischer, 200, 1029
für Flüssigkeiten, 1035, 1036Pulsverarbeitung, 1041Randeffekt, 1044Streusignal, 1036Verminderung der Zähleffizienz, 1043
Partikelzählermessung, 1041Fehler aufgrund der Zählstatistik, 1041Fehler aufgrund von inhomogener Emp-
findlichkeit im Messvolumen, 1043Koinzidenzfehler, 4042
Parts-count-Modellierung, 421Parts-stress-Methode, 421Pascalsches Gesetz, 767Passivierung, 269Pattern-Generator, 249PDE (partial differential equation), 154Pegelmessung, 836Pegelverschiebung, 1179Pellistor, 1076Peltier-Effekt, 911, 1359Perkussionsbohren, 379Permanentmagnet, 781Permutationsmatrix, 186Phased Array, 1408
1585Sachverzeichnis
Phasen-Auswerteverfahren, 710Phasenlaufzeitmessung, 685Phasenschiebe-Verfahren, 681Phosphorsilicat-Glass-Schicht, 284Phosphorsilikatglas, 217, 270Photodiode, 96, 98, 656, 970
Ausführungsformen, 657effektive Quantenausbeute, 972für höchstauflösende Thermobildgeräte, 972Mehrelementsensor, 973spezifische Detektivität, 970Strom/Spannungskennlinie, 657Stromempfindlichkeit, 970
Photodiodenmatrixsensor, 974Photoeffekt
äußerer, 92innerer, 94
an einem pn-Übergang, 96Photoelektronenvervielfacher, 112Photoelement, 96, 98
analoge Signale, 706Photoemissionszelle, 1056Photogrammetrie, 690, 692Photoionisationsdetektor, 1118Photokathode, 112Photolack, 251
hochaufbauender, 256Photolawinendiode, 657Photoleiter (Photowiderstände), 969Photolithographie, 241
Herstellung von Reticle und Masken, 249Prozessschritte, 252
Photomaske, Polarität, 251Photometer, 1162Photomultiplier, 109, 112Photonenausstrahlung, spektrale, 966, 967Photonensensor, 938, 965
Eigenhalbleiter, 965Snapshot Funktion, 992Störstellenhalbleiter, 965
Photoresiste, 256Phototransistor, 98Photowiderstand, 94, 969Photozelle
Beschaltung, 93schematischer Aufbau, 93
Physical Vapour Deposition (PVD), 222Physics-of-failure-Modell, 405Physisorption, 1064
Piezoeffekt, 57longitudinaler Schereffekt, 58Transversaleffekt, 58transversaler Schereffekt, 58
Piezoelektrizität, 57Piezokonstante, 461Piezokristall-Massensensor, 1049Piezowerkstoff, 108Piezowiderstandskoeffizient, 64Piezowiderstandswerkstoff, 113PIN-Diode, 658
Grenzfrequenz, 659Pitot-Rohr, 816Plancksches Wirkungsquantum, 936Plasma Enhanced Chemical Vapour
Deposition (PECVD), 218, 276, 446Plasma-Nitridschicht, 218Plasmaabscheidung, 218Plasmaätzen, 263, 265Plasmastrippen, 264Platin-Temperatursensor, 914
charakteristische Kenndaten, 920Platine, 1486Plattenkondensator, 747
pyroelektrischer, 92Plattformwaage, 524Plattformwägezellen, 505PLCD-Wegsensor, 601
typische Kennwerte, 602Ploughing Process, 345pn-Halbleiterübergang, 97
Beschaltung, 98pn-Übergang, 279Poissongleichung, Fundamentallösung, 162Poisson’sche Querzahl, 63Polisilizium-Mikrobrücke, 284Polyetheretherketon, 512Polygonscanner, 378Polygonzug-Interpolation, 1194Polymer
bei GehäusenAnwendungsbereiche, 138
thermoplastisches, 363, 364Polymerfolien, piezoelektrische (PVDF), 628Polymethyldisiloxan, 366Polymethylmethacrylat (PMMA), 260Polynom, 165
Integration, 171Interpolation, 1195
1586 Sachverzeichnis
Polysilizium, 66, 265, 285Positionssignal, lineares, 599Positive Temperature Coefficient, 906Potentialabschätzung für verschiedene
Materialsysteme, 1354Potentiometer, 575Potentiometrie, 1134
Bezugselektrode, 1136Geräteausstattung, 1135Redoxmessung, 1136
Potenzfunktion, 11Poynting-Vektor, 1329Präsenzdetektion, 622, 624Prinzip der maximalen Informationsentropie,
28, 30Probabilistic Data Association (PDA), 1260Probability Density Function, siehe auch Wahr-
scheinlichkeits-Dichteverteilung, 28Problem
inverses, 36schlecht gestelltes mathematisches, 36
Produktfunktion, 11Profilmessung mit Laufzeitverfahren, 687Projektionsbelichtungsgerät, 254Proportionalitätsgrenze, 515Proximity-Belichtung, 253Prozess-Gaschromatographie, 1120Prozessgaschromatograph, 1123Prüftechnik, zerstörungsfreie, 419
automatisierte, 419Pseudo-Halleffekt, 65Pseudo-Random-Code, 716Pseudorauschsignal, 685PTC-Thermistor, 915, 919Puls-Weiten-Modulation, 481, 482Pulscodemodulation (PCM), 1190Pulsed Electrochemical Machining (PEM), 351
Oszilation, 353Pulskompressionsradar, 1380Pulslaufzeitmessung, 684Pulsradar, 685, 1380Pulsverarbeitung bei Partikelzählern, 1041Punktschweißen, 375Punktstreuer, 616pvT-Diagramm, 364, 365Pyrolyse, 258Pyrometer, 976
Kenngrößen, 977punktförmig messender, 986
QQuanten-Topf-Photodiode, 972Quanten-Topf-Struktur, 1005Quantenausbeute, 109Quantenstruktur, 112Quantenzähler, 95Quantisierung, digitalen, 41Quarz, 62, 203Quarz-Halogen-Lampe, 1031Quarz-Temperatursensor, 913Quarzkristall, 58Quarztiegel, 204Quecksilberanalysator, 1103Queranker, 580
RRadargleichung, 617Radarmesstechnik, Füllstandmessung, 755Radarsensor, Schwimmertechnologie, 739Radial-Dickenkoppler-Prinzip, 859Radialdehnung, 436Radiant, 704Radio Frequency Identification, siehe RFIDRadiometer, 770, 989, 992Raman-Streuung, 1476Randwertprobleme, 173Rapid Thermal Annealing (RTA), 246Räuber-Beute-Gleichung, 155Rauchansaugsystem, 1474Rauchmelder, 1453
deckenbündiger, 1478Kombination mit Temperatur- und Gassen-
sor, 1469optischer, 1467, 1468punktförmige, 1461
Rauschanalyse, 946Rauschen
1/f-Rauschen, 945weißes, 946
Rauschminimierung, 946Rayleigh-Länge, 674Rayleigh-Streuung, 1023RC-Oszillator, 593Reactive Ion Etching (RIE), 264Reaktionsdrehmomentmessung, 535Rechtecksignal, 707Redoxelektrode, 1136Redoxmessung, 1136
1587Sachverzeichnis
Reedketten, 738Referenzimpuls, 714Referenzmarken, 714
abstandscodierte, 714Reflektronomie, 1476Reflexions-Verfahren, 784Reflexionsphotometer, 1162Reflow-Lötverfahren, 381
Abgleichen, 382Vergüten von Oberflächen, 382
Refraktometer, 698Regression, lineare, 40Regressionsmodell, 40Reibungsfaktor
Moody Diagramm, 154Reinraum
Kontaminationsquellen, 197mit turbulenter Verdünnungsströmung, 196mit turbulenzarmer Verdrängungsströ-
mung, 196, 197Partikelmessung, 199und Mensch, 197
Reinraumklassen, 194nach US Federal Standard, 195
Reinraumkleidung, 198, 199Reinraumkonzept, 194Reinraumtechnik, 193Relativdruck, 460Relativitätstheorie, spezielle, 563Relaxationsoszillator, 483, 1181, 1182Reliability Block Diagram (RBD), 422Replikationsverfahren, 338Resampling, 1248Réseau (Bezugsgitter), 692Residuen, gewichtete, 180Resolver, 710Resonanzfrequenz, 551Resonanzscanner, 378Reticle-Herstellung, 248Reynolds-Zahl, 806
minimale, 810RFID-Sensor, 1344RFID-Transponder, 1390Richtgewinn G, 614Riesenmagnetowiderstand, 77Ring Laser Gyroscope (RLG), 567Ringlaserkreisel, 567Robustness Validation, 411Runge-Kutta-Methode, 174
Ruß-Sensor, 1054Rußbestimmung
aufgrund des photoakustischen Effekts, 1055
durch Echtzeitmessung von Filterschwär-zungsgraden, 1054
Rußpartikel, 1054, 1059
SSagnac-Effekt, 562, 568Sandstrahltrimmen, 293Sättigungsstrom, 910, 1465Sauerstoffmessung, magnetische, 1113Sauerstoffsensor, 1077, 1150
magnetopneumatischer, 1115Schallabstrahlung, Wirkungsgrad, 632Schalldruck, 609
Winkelabhängigkeit, 635Schalldruckgrenzwerte, 633Schallfeldgröße, 609Schallführung, 847Schallgeschwindigkeit, 609, 613Schallgeschwindigkeitskompensation,
automatische, 844Schallintensität, 614
entfernungsabhängige Abnahme, 616Schallleistung, 614Schallschnelle, 609Schallsender, Entfernungs- und
Richtungsabhängigkeit, 634Schallstrahler, isotroper, 614Schallweg, parasitärer, 857Schallwellenwiderstand, 613Schalter-Kondensator-Technik, 483Schaltkontakt, 118Scheiben-Verbindungstechnik, 465Scheimpflugkorrektur, 662, 663Schereffekt
longitudinaler, 58transversaler, 58
Scherkraftaufnehmer, 521Schichttechnik, 290Schlichten, 384Schlitzsensor, 589
als Langwegaufnehmer, 590Schmalbandstörgröße, 1484Schmelzschneiden, 380Schmitt-Trigger, 620, 786
1588 Sachverzeichnis
Schnecken-Extruder, 356Schneiden von Blechen, 380Schnittstelle, serielle, 716Schrotrauschen, 944Schruppen, 384Schwarzer Körper, 933
Ausstrahlungsmaximum, 937Gesamtphotonenausstrahlung, 939Photonenausstrahlung, 938
Schwarzer Strahler, 937Schwebekörper-Durchflussmessung, 827, 828Schweißen mit dem Laserstrahl, 372Schwimmerschalter, 737, 738Schwingkörpersensor, 1050Sechsleiterschaltung, 455, 523Seebeck-Effekt, 911, 956, 1359Seebeck-Koeffizient, 89, 912, 958Sekundärpassivierung, 270Semiconductor Equipment and Material
International, 207Sende-Empfangs-Wandler, 619Sendeempfindlichkeit, 630Senkerosion, 334Sensitivitätskoeffizient, 32, 50Sensor, siehe auch Aufnehmer
aktive Fehlererkennung, 427Anforderungen, 5Anwendungsgebiete, 5ausfallende Elemente, 403Ausfallkinetik, 403Ausfallmechanismus, 406Ausfallraten, 400Ausfallwahrscheinlichkeit, 396Begriff, 3, 4busfähiger, 3, 1530
Abtastung, 1532digitale versus analoge Übertragung,
1533Digitalisierung, 1532Vorteile, 1530
dynamische Eigenschaften, 18dynamische Korrektur, 19eingeschränkte Auflösung, 41elektronische Bauelemente
End- of -Life-Tests, 417Losqualifikation, 416
Entwurfskonzept, 16, 17Fehlerdaten, 400Fehlerkurve, 7Fehlerphysik, 400
Frühausfallmodell, 401funkauslesbarer, 1323in der Flüssiganalyse, 1134in technischen Systemen, 3induktiver, 1199Informationsreduktion, 1213Ist-Kennlinie, 7kapazitiver, 594
mit Guard-Elektrode, 594konfokaler, 701Kosten, 17Lebensdauerkennwerte, 398linearer, 39
Kalibrierung, 39magnetoresistiver, 77
Schwimmertechnologie, 739mikromechanischer, 882nichtlinearer, 46objekterkennender, 607Partikelmesstechnik, 1007passive Fehlererkennung, 426Prüfkonzepte, 418Selbsttest, 426
integrierter, 427Soll-Kennlinie, 7statische Eigenschaften, 6
Korrektur, 12Totalausfall, 397Überlebenswahrscheinlichkeit, 396Werkstoffe, 106Zuverlässigkeit, 395
Konzepte, 420Prüfabfolgen, 408Prüfnormen, 410Redundanz, 422Testverfahren, 408
Zuverlässigkeitskenngrößen, 398Sensorbus, 1529
Application Layer, 1548Auswahlkriterien, 1556Branchenanforderungen, 1539Busvernetzung im Automobil, 1562Data Link Layer, 1546ISO-OSI-Schichtenmodell, 1540, 1541Kommunikationsaufgaben, 1538Kostenanalyse, 1561Messdatenerfassung, 1537nationale und internationale Normung,
1563Nutzenanalyse, 1561
1589Sachverzeichnis
Physical Layer, 1542Prozessregelung, 1536verfügbare Systeme, 1551wesentlichen Systeme, 1552wirtschaftliche Aspekte, 1560zur Prozessregelung mit überlagerter
Messdatenerfassung, 1537Sensordaten
Dimensionalität, 1215Homogenität, 1215Informationsgehalt, 1218
komplementäre Information, 1219orthogonale Information, 1221redundante Information, 1218verteilte Information, 1220
Kollokiertheit, 1216Kommensurabilität, 1215Virtualität, 1216
Sensordatensätze, 1217Sensoreffekt, 107
physikalischer, 55piezoelektrischer, 57zur Umsetzung mechanischer Größen, 57zur Umsetzung optischer und strahlungs-
technischer Größen, 92zur Umsetzung thermischer Größen, 77
SensorelementGeometrien, 440, 446mit Dünnfilm-DMS, 447
Sensorfehler, parametrischer, 427Sensorfusion, 1206Sensorgrößen mit zugehörigen SI-Einheiten, 56Sensorik
Einführung, 3Halbleiterwerkstoffe, 106Schichtmaterialien, 210zur Durchflussmessung, 793zur Füllstandmessung, 725zur Temperaturmessung, 903
Sensorkalibrierung, 22Sensorkennlinie
Approximationsverfahren, 1196Grundfunktion, 1198ideale, 6, 7Interpolation mit kubischen Splines, 1195Interpolationsverfahren, 1194mathematische Modelle, 1194nichtlineare, 13Polygonzug-Interpolation, 1194Polynom-Interpolation, 1195
reale, 6tabellarische Abspeicherung, 1194
Sensorschicht, Werkstoffe, 106Sensorsignal, frequenzanaloges, 1181Sensorsignalverarbeitung, 1175, 1308Sensorsystem
Entwurfskonzept, 16, 17fusionsrelevante Eigenschaften, 1214in MultiChip-Technologie, 20redundantes, 19Zuverlässigkeit, 18
Sensorwerkstoff, 105Severinghaus-Elektrode für Kohlendioxid, 1144Shiftoperator, 174Shockley-Gleichung, 87, 88Shooting-Methode, 173SI-Einheit, 55Sichtgerät, 989Siebdruckverfahren, 291Signalintegrität, 1494Signalinterpolation mit Hilfsphasen, 718Signalprozessor, 1311
digitaler, 1418Signaltripeln, 1470Signalübertragung, 1189, 1503
amplitudenanaloge, 1190Differenztaktübertragung, 1525Differenztaktübertragung, 1527digitale, 1190elektromagnetisch verträgliche, 1483frequenzanaloge, 1190Signaleingänge, 1523Übertragungsstrecken, 1523Übertragungsverfahren, 1523
Signalumformung, analoge, 1177Signalverarbeitung
bei Multisensoren, 1205digitale, 1191, 1199
Korrektur von Einflussgrößen, 1197physikalische Modellfunktionen, 1191
sensornahe, 477sensorspezifische, 607
Signalverstärkung, 1178Silan, 217Silicon Fusion Bonding, 285, 288, 289Silicon-Direct-Bonding, 485Silicon-on-Insulator-Technik, 289Silizium, 200, 1356
dreidimensionale nasschemische Strukturie-rung, 271
1590 Sachverzeichnis
Drucksensoren, 459Einheitszelle, 201einkristallines, 204feuchte Oxidation, 214Fremdatom, 239Herstellung, 203
Zonenziehverfahren, 206Heteroepitaxie, 244Millersche Indizes wichtiger Ebenen, 202thermische Oxidation, 210, 212
Schichtdickenverhältnis, 211trockene Oxidation, 214
Silizium-Spreading-Resistance-Temperatursen-sor, 84, 916, 621
Silizium-Wafer, 208, 480Durchbiegung, 216Spannungsverhältnisse, 216
Siliziumchip, 480Siliziumdioxid, 275
Kenngrößen, 215Partikel, 1035Schichtdicken, 215thermisches, 215
Siliziumnitrid, 217, 265, 276Abscheidung durch PECVD, 221
Siliziumoxid, Abscheidung durch PECVD, 221Siliziumsensor, 269
kapazitiver, 476Siliziumtechnologie, 200
piezoresistive Drucksensoren, 461Schichterzeugung, 209technologische Grundprozesse, 209
SIMOX-Technologie, 246Simulation, 143
Modell und Wahl der Methode, 144Simultane Lokalisierung und Kartierung
(SLAM), 1264Simultankontaktierverfahren, 302Skalierung, 12Skineffekt, 584Smart Camera, 691Soft-bake-Prozess, 252Sohlschwelle, 836Solarzelle
Wirkungsgrad, 1351Zwei-Dioden-Modell, 1353
Sondertechnologie, 311Sonotrode, 300, 314, 318Sorptionsisotherme, 1065Spanentstehung, 346
Spannung, mechanische, 59, 463Spannungsänderung, 437Spannungsreihe, thermoelektrische, 114Speckle-Interferometrie, 700Spektralpyrometer, 982, 984SPICE-Netzwerksanalyse, 1494Spiderkontaktierung, 119Spin-coating-Verfahren, 259Spline-Funktion, 1195Spreading-Resistance-Effekt, 83Spreading-Resistance-Prinzip, 1202Spritzgießen, 354
Universalmaschine, 356Werkzeuge, 357
Sputterätzen, 261, 263Sputtering/Sputtern, 222, 229, 268, 444
Schichten, 231Zerstäubungsmechanismus, 229
Standard-FZ-Silizium, spezifischer Widerstand, 207
Standard-GUM-Verfahren, 24, 33als schrittweises Verfahren, 33, 34
Standardunsicherheit, 30Steifigkeitsmatrix, lokale, 186Steigungsfehler, 9Steuerung, speicherprogrammierbare (SPS), 4Stimmgabelgyroskop, 561Stirnthermometer, 982Stokes-Zahl, 1011Störgleichspannung, 833
elektrochemische, 832elektrothermische, 832
Störgröße, 10elektrische, 1483
Störquelle, 1483Störschwelle, 1483Störsignal, 621Störstelle, 82Störstellenerschöpfung, 83Störstellenreserve, 83Stoßen, 340Strahldivergenzdämpfung, 616Strahler, thermischer, 648, 649Strahlungsfluss, 932Strahlungsflussänderung, 998Strahlungsgleichgewicht, 937Strahlungskopplung, 632, 639Strahlungspyrometer, 975Strahlungsrauschen, 945, 950Strahlungsthermometrie, 988
1591Sachverzeichnis
Streckensensor, 607, 608Streifeninterpolationssoftware, 681Streifenprojektion, 682Stress-Test- Driven Qualification of
Integrated Circuits, 415Streulicht-Verfahren, 785Streulichtintensität, 1022, 1027Streulichtkoeffizient, 1021Streulichtmelder, 1470Streulichtphotometer, 1026, 1027Streulichtrauchmelder, 1467, 1468
mit zwei Wellenlängen, 1468Streulichtsensor, 1024Streulichtsignal, 1471Streulichtzähler, 1031
mit Weißlicht, 1029Stroboskop, 776Strom-Spannungs-Kennlinie eines
pn-Übergangs, 97Strommitnahmesensor, 777Stromsensor, 1398Strömungsbypass, 881, 882Strömungsgleichrichter, 825Strömungswandler, 1372Stromverstärkungsfaktor, 95Strouhal-Zahl, 812
Kalibrierfaktor, 806Stückkosten, 17
Degression, 18Stückkostenkurve, 17Stützstellen, äquidistante, 165
alternative Formulierung166SU-8, 259Sub-Pixel-Auflösung, 692Sublimationsschneiden, 380Summenfunktion, 11Summenrahmentelegramm, 1547Supergitter, 972Surface Micromachining, 283Suspended gate FET, 1073Suszeptibilitätsmessung, magnetische, 1113Swirlmeter, 815Systemwafer, 465
TTAB-Technik, 119Tachometer-Generator, 777
Unipolarmaschine, 780Wechselstrom-Generator, 779Wirbelstromsensor, 777
Tape Automated Bonding, 304Tapered Element Oszillating Microbalance
(TEOM), 1050, 1051Tastplatte, 739Tauchankersystem, 589Tauchkernaufnehmer, 580Tauchspulsystem, 16Taylor-Reihen-Entwicklung, lineare, 31Taylor’sche Reihe, 14Teach-in-Pyrometer, 985Teach-in-Verfahren, 587Temperatureffekt bei Halbleiterübergängen, 87Temperaturmessung, 903
berührungslose, 929Infrarot- Strahlungssensor, 929
Dünnfilm-Metall-Temperatursensor, 914Metall-Thermoelemente, 924Metallwiderstands-Temperatursensor, 917Platin-Temperatursensor, 914Quarz-Temperatursensor, 913Sensorprinzipien und -materialien, 904Silizium-Spreading-Resistance-Temperatur-
sensor, 916thermoelektrische Effekte, 911Thermoelemente, 924thermoresistive Prinzipien, 904
Temperatursensor, 903Anwendungen, 925aus Platin, 905, 914busfähiger, 1531integrierter, 923linearer
auf Basis des temperaturabhängigen Kabelwiderstands, 1476
auf Basis einer Druckerhöhung, 1476mit Glasfasern, 1476
Temperaturstrahler, 936Temperung, 268Tensornotation, 60Tetraethyl-Orthosilicate (TEOS), 217Thermalisierung, 1352Thermalisierungsverlust, 1352Thermistor, 905Thermistorbolometer, 952, 953Thermobildgerät, Geräteklassen, 990Thermoelement, 113, 924Thermometer, 903Thermopaare
zur Messung tiefer Temperaturen, 116zur Messung von hohen Temperaturen, 116
1592 Sachverzeichnis
strahlungsgekoppelter resonanter, 1385unkooperativer ohne IC, 1373
Transversaleffekt, 58Trennschichtmessung, 726Trepannieren, 379Triangulationsprinzip, 680Triangulationssensor, 662, 668
Dickenmessung, 670Trichlorsilan, 203Trimm-Methoden, 293Trockenätzprozess, 257Trockenätzverfahren, 260, 261Trockenfilmresiste, 256Trommelgaszähler, 799Trommelzähler, 795Tschebyscheff-Approximation, 1196Tunnel Magnetowiderstandseffekt (TMR), 115Tunneleffekt-Beschleunigungssensor, 559Turbinenradzähler, 800, 801TWIST®-Konzept, 378
UÜberdeckungswahrscheinlichkeit, 37Übertragungsmaß, 630Ultra Precision Machining (UPM), siehe
UltrapräzisionsbearbeitungUltrakurzpulslaser, 372, 386Ultrapräzisionsbearbeitung (UPM), 338
Anwendungen, 343Diamant als Schneidstoff, 343Maschinenkonzepte, 341Prozessanpassungen, 347
Ultrapräzisionszerspanung, 344Ultraschall
Abstandsmessung, 616Aktorsystem, 325Ausbreitung, 609Bearbeitung, 311
Abtragsraten, 320, 321Bearbeitungsanlagen, 325Bearbeitungswerkzeuge, 318Bearbeitungszeiten, 320, 322Fertigungshinweise, 320Labormaschinen, 317Qualitätssicherung, 324Standmenge der Werkzeuge, 319technische Möglichkeiten, 313
Breitbandwandler, 643
Thermopile, 999Chip, 957Empfindlichkeit, 958
Temperaturkoeffizient, 959Matrixsensoren, 975Seebeck-Koeffizient, 958Sensormodule, 982
Thermoplasten, 363amorphe, 367
Thermosäule, 957Thermosonic-Ball-Bonden, 298Thermospannung, 89
von gebräuchlichen Thermopaaren, 115Thermowandler, 1358, 1361Thermowiderstands Effekt, 77
in Metallen, 78Thomson-Effekt, 911Tiefschweißen, 374, 376Tieftemperaturbolometer, 954Tiegelziehanlage, 205Tiegelziehverfahren, 204TISAB-Lösung, 1146TOF-Kamera, 688Token Passing, 1546Torschaltung, 788Totlastanlage, 494Track-before-detect (TBD), 1263Tracking
mit mengenwertigen Messungen und mengenwertigem Zustand, 1255
mit vektorwertigen Messungen und mengenwertigem Zustand, 1263
Tracks, 1256Trägerfrequenzmessverstärker, 522Trägerwafer, 465Transceiver, 1334Transformator-Ersatzschaltbild, 1332Transistor-Thermometer, 1192Transmissionsgrad, spektraler, 935Transmissometer, 1028Transponder, 1324
batteriegestützter, 1326aktiver, 1334
Blockdiagramm, 1339feldgespeister, 1343
mit eigenem Transceiver, 1346Impedanz-übertragender, 1398strahlungsgekoppelter frequenzumsetzen-
der, 1382
1593Sachverzeichnis
Umkehrung der Wirkungsrichtung durch Gegenkopplung, 16
Umschmelzen, 383Unipolarmaschine, 780Unisolvenzbedingung, 182Universalmaschine, 356Unscented-Transformation, 1244Unsicherheit, erweiterte, in Abhängigkeit
von der Messgröße, 50Unsicherheitsbeitragskoeffizient, 49Unsicherheitsbilanz, 48Unsicherheitsbudget, 38
Angeben und Bewerten, 38Unsicherheitsfortpflanzung, 31Unterätzung konvexer Ecken, 277Unterdomänen
Gitter, 184Simulationsgebiet, 184
Urformverfahren, 338, 354USB als Bussystem für die Laborumgebung,
1554UV-Fotometer, 1101, 1105UV-Kontaktlithographie, 258
VV-Konus-Verfahren, 826Vakuumbedampfen, 222
Dreizonenmodell für das Schichtwachstum, 225
herstellbare Schichten, 228van der Pauw-Scheibe, 596van-der-Pol-Oszillator, 155van-der-Waals-Kräfte, 1064Venturikanalmessung, 837Verbindungstechnik, 294
Anglasen, 298eutektisches Bonden, 296Kleben, 295Weichlöten, 295
Verbindungsverfahren, feldunterstützte, 286Verbindungswerkstoff, elektrischer, 118Verbrennungsgas, 1469Verdampferquellen, widerstandsbeheizte, 226Verdränger, 737, 739Verdrängungszähler, 796Verhältnispyrometer, 985Versorgungsspannung, 475Verteilungschromatographie, 1120
Impulsantwort, 645Distanzsensor
Auswertebereich, 622Detektierbarkeit, 622Erfassungsbereich, 621, 622Leistungsbilanz, 629räumliche Detektionseigenschaften, 620
Durchflussmessung, 840Erosion, 316, 329
Mehrfachwerkzeug, 317mit Schleifmittelabsaugung, 317
Füllstandmessung, 736, 753Gaszähler für Haushalte, 866
Kennlinienverlauf, 867Grenzstandmessung, 772Koppelschwinger, 638Linienstreuer, 617Luftmassenmesser, 864, 865Objekterkennung, 1403Präsenzdetektor, 622, 624, 643Punktstreuer, 616Schichtwandler, 644Sonar-Sensor, 607, 608Spindel, 326Wärmezähler, 864Wedge-Bonden, 300, 301
Ultraschallerzeugung, 314Ultraschallimpuls, 636Ultraschallschwingung, 326, 329
überlagerte, 324Ultraschallsensor
Klassifizierung, 608zur Abstandsmessung, 607zur Präsenzdetektion, 607
Ultraschallwandler, 620, 625Abschätzung des Erfassungsbereichs, 636elektrodynamischer, 626elektrostatischer, 626Koppelschwinger, 641magnetostriktiver, 627piezoelektrischer, 628richtscharfer, 641
Richtdiagramm, 642Wirkprinzipien, 627Wirkungsgrad, 631
Umfeldwahrnehmung, 1236Umfeldzustand, 1237Umgebungstemperaturkompensation, 976Umkehrspanne, relative, 458
1594 Sachverzeichnis
photovoltaischer, 1350resonanter
elektromagnetischer, 1365kapazitiver, 1356piezoelektrischer, 1356
Wandlerprinzip, physikalisches, 434Wandlertechnik, 859
Verbundwandler, 861Wandler für Flüssigkeiten, 862Wandler für Gas, 859
Wandlerwerkstoff, 105, 107optoelektronischer, 109
Wärmebildgerät, 976, 989Anwendungen, 993Elementkorrektur, 991Kenngrößen, 977Matrixsensor, 989Zeilensensor, 989
Wärmedifferentialmelder, 1472Wärmeleitfähigkeit, spezifische, 1074Wärmeleitfähigkeitsdetektor, 1121Wärmeleitfähigkeitssensor, 1074, 1075Wärmeleitgerät, 1111Wärmeleitung in einem Balken, 173Wärmeleitungsschweißen, 374Wärmemelder, 1472Wärmestrahlungsmelder, 1472Wasserstoffflamme, 1116Wechsellichtprinzip, 951Wechsellichtpyrometer, 976, 980Wechselstromgenerator, 779Wegaufnehmer, induktiver, 579Wegmessinterferometer, 696Wegmesssystem, 705Wegmessung, induktive, 1199, 1201Wegsensor, 16, 573, 593
kapazitiver, 594typische Kennwerte, 594
magnetostriktiver, 603potentiometrischer, 575rechnerkorrigierte, 1203
Wehr, 836Weibullverteilung, 399Weichlote, 123Weißlichtinterferometer, 700Weißlichtzähler, 1023Weiß’sche Bezirke, 528Welle, ebene, 612Wellengleichung, 159, 610
Vertical Redundancy Check (VRC), 1535Vibrationsenergie, 1348, 1367Vibrationsgrenzschalter, 741
Blockschaltbild, 743Montagepositionen, 742technische Daten, 743
Vier-Stock-Oxidations-Ofen, 213Vierelektroden-Zellen, 1157Voltammetrie, 1148Volumenzähler mit Messflügeln, 800Vorgeschwindigkeitsfaktor, 820Vorwärts-Differenzenoperator, 178Vorwärtsdifferenz, 175
WWaagenbau, 524Wachstumsgesetz
lineares, 212parabolisches, 212
Wachstumshormon, 22IDMS-Ergebnisse, 22
Wachstumskonstantelineare, 212parabolische, 212
Wafer-Level-Packaging, 257Wafer-Level-Reliability (WLR), 419Wafer-Reinigen, 388Waferherstellung, 207Waferkennzeichnung, 207Waferleve-Test, 427Waferstepper, 252Waferverbindungstechnik, 285Wägetechnik, 769Wägezellen, 495
Anwendung, 523Eckenlastfehler, 506Eichordnung, 505Einbauhilfen, 505Gewichtsmessung, 504Parallelschaltung, 505Prüfberichte, 505
Wahrscheinlichkeitsdichteverteilung, 28, 30, 37Wahrscheinlichkeitstheorie, 25Wandler
für Flüssigkeiten, 862für Gas, 859kinetischer, 1362nicht-resonanter kinetischer, 1368
1595Sachverzeichnis
Anwendungsbereich, 807Auswerteelektronik, 805Betriebsbereich, 808Druckabnahme, 806Durchflussrechner, 805Einsatz, 814Funktion, 805Messunsicherheit, 812mit Staukörperquerschnitt, 804Staukörper, 803Staukörperbreite, 803Staukörpergeometrie, 803Wirbeldruckabnahme, 804Wirbelerzeugung, 805
Wirkdruck-Zähler, 822Wirkdruckverfahren, 817, 825
physikalische Grundlagen, 818Wolfram, spektrales Emissionsvermögen, 649Woltman-Rad, 800
YYouden-Diagramm, 22
ZZählverfahren, 787Zeemann-Effekt, 695, 1103Zeilenkamera, 691Zeilensensor, 666Zeitbereichsabtastung, 1380Zeitbereichsreflektometrie, 761Zeitdehnung, 759Zeitdiskretisierung, 1268Zeitfenster, 618, 622, 623Zeitschlitzverfahren, 1337Zeitslotverfahren TDMA, 1547Zentraler Differenzenoperator, 178Zentraler Grenzwertsatz, 33Zerstäuben, reaktives, 234Zerstäubungausbeute, 230Zerstäubungsmethoden, 231Zonenziehverfahren, 205, 206Zufallsbewegung in einer Dimension, 148Zufallsgrößen
diskrete, 1239normalverteilte, 1239
Zufallsmenge, endliche, 1240Zustandsraummodell, 1266
Fundamentallösung, 161Werkstoff
für die Hybridintegration, 129für Dünnschichtheizwiderstände, 117metallischer, 139piezoelektrischer, 107pyroelektrischer, 109
Werkstoffprüfmaschine, 497Wert, wahrer, 23Wertigkeitsfunktion, 831Wheatstone-Brücke, 435, 450, 468, 517, 1075
Widerstandsverhältnisse, 518Widerstands-Temperaturkennlinie
eines Heißleiters (NTC), 86eines integrierten Temperatursensors, 89eines Kaltleiters, 87
Widerstandsänderung, 436, 437, 577Widerstandsarten, 117Widerstandsgeometrie, 85Widerstandsrauschen, thermisches, 943Widerstandsthermometer, 9, 80, 903
zulässige Toleranzgrenzen, 9Widerstandswerkstoff, 113
zur Temperaturmessung, 114Wiegand-Draht, 599Wiegandsensor, 783Wien'sches Verschiebungsgesetz, 937Winkel, 704Winkelaufnehmer, 604
induktiver, 605potentiometrischer, 604, 605
Winkelbeschleunigung, 560Winkelgeschwindigkeit
Messung über den Sagnac-Effekt, 562Messung über die Corioliskraft, 561
Winkelmesssystem, inkrementales, 703Winkelsensor, 573
potentiometrischer, 575Wirbelablösefrequenz, 812Wirbelstrom-Aufnehmer, 583Wirbelstromdrehzahlmesser, 775, 776Wirbelstromsensor, 777, 778
mit fester Oszillatorfrequenz, 585mit freischwingendem Oszillator, 585mit integriertem ferromagnetischen
Kern, 587typische Kennwerte, 587Verschiebung der Resonanzkurve, 586
Wirbelzähler, 802
1596 Sachverzeichnis
Zweimassenschwinger, 561Zweiplatten-Mikro-Spritzprägewerkzeug, 361Zweipunktkalibrierung, 41, 45, 48Zweistrahlinterferenz zur Wegmessung, 694Zweistrahlinterferometer nach Micholson, 695Zwischengitterdiffusion, 241Zylinderkondensator, 746Zylindersonotrode, 319
Zuverlässigkeit von Sensoren, 395Auswahlredundanz/Majoritätsredundanz,
425Badewannenkurve, 401Definitionen, 396diversitäre Redundanz (Prinzipredundanz),
424Lebensdaueruntersuchungen, 413Losqualifikation, 415Vergleichsredundanz, 425
Zuverlässigkeitsblockdiagramm, 422Zuverlässigkeitstest, 406Zweielektrodensystem, 1153