Mehr Präzision.

Sensoren & ApplikationenHalbleiterindustrie

Messaufgaben in der Halbleiterindustrie stellen hohe Anforderungen an die einge-setzten Sensoren. Für die Prozessierung von Wafern der Chipindustrie sowie für die Display-Produktion bietet Micro- Epsilon ein breites Portfolio mit hochprä-zisen Wegsensoren, die für verschiedene Messaufgaben eingesetzt werden.

Die Sensoren werden in Umgebungen mit hohen Beschleunigungen, starken Magnetfeldern und sogar im Ultrahoch-vakuum verwendet. Anwendung finden die Sensoren unter anderem bei der Waferherstellung, bei der Metallisierung, in der Lithografie und im Packaging.

confocalDT 2471 HSKonfokal-chromatische Sensoren zur Waferinspektion

Nanometergenaue Abstandsmessung und einseitige Dickenmessung von transparenten Materialien

Passive Sensoren mit Messbereichen bis 30 mm, auch vakuumtaugliche Sensorausführungen möglich

Hohe laterale Auflösung ab 3 µm

Schnellster Controller weltweit zur Überwachung dynamischer Prozesse

optoNCDTKompakter Lasertriangulations-Wegsensor für schnelle und präzise Messungen

Berührungslose Weg- und Abstandsmessung mit Messbereichen von 2 bis 500 mm

Modelle mit rotem Laser oder blauem Laser

Hohe Messrate für dynamische Messungen

Kompakte Bauform mit integriertem Controller

Kleiner Messfleck zur Erfassung kleinster Objekte

capaNCDT 6230Kapazitives Mehrkanal-Messsystem zur Überwachung von Maschinenpositionen

Berührungslose Weg- und Abstandsmessung mit Messbereichen von 0,05 bis 10 mm

Nanometer-Auflösung

Modularer Aufbau für bis zu 4 Kanäle

Sensormodelle und Zubehör für Vakuum / UHV

Ideal für langzeitstabile Messungen

confocalDT Konfokale Sensoren für Weg- und Dickenmessung Geeignet für alle Oberflächen: matt, spiegelnd und bei schnellen Oberflächenwechseln Hohe Reproduzierbarkeit Schnellster Controller weltweit, ideal für dynamische Messaufgaben

Inline-Qualitätskontrolle

Messung von transparentenSchichten & KleberaupenKonfokal-chromatische Sensoren werden zur ein-seitigen Dickenmessung von Beschichtungen ein-gesetzt. Dank der Multipeakmessung werden selbst dünnste Schichten zuverlässig erkannt.

Messungen am Wafer mit konfokal-chromatischen Sensoren

Erkennen und Messen von SägeriefenZur automatischen Erkennung und Vermessung von Sägeriefen werden konfokal-chromatische Senso-ren von Micro-Epsilon eingesetzt. Dank der hohen Winkelverkippung und dem kleinen Lichtfleck wer-den Vertiefungen am Wafer sicher erfasst.

Überprüfung auf Risse und AbbrücheKonfokal-chromatische Sensoren von Micro-Epsilon werden eingesetzt, um Risse und andere Fehlstellen auf dem Wafer zu erkennen.

Erkennung und Vermessung von Bumps auf SiliziumwafernDank der hohen Auflösung prüfen konfokal-chro-matische Sensoren von Micro-Epsilon die Dimensi-onen von Bumps.

Durchbiegung von WafernKonfokal-chromatische Sensoren scannen die Oberfläche von Wafern und erfassen so die Durch-biegung und Verzug von Wafern.

Wafer-Dickenmessung / TTVKonfokal-chromatische Sensoren messen von bei-den Seiten die Dickenabweichung bzw. die Wafer-dicke.

Modernstes Sensorportfolio weltweit

Vakuumtaugliche Sensoren Laterale Auflösung ab 3 µm zur Erkennung kleinster Strukturen Kompakte Sensoren, Bauformen mit 90° Strahlengang Hohe Numerische Apertur (NA) für höchste Präzision Geeignet für Abstandsmessung, Dickenmessung und Rauheitsmessung

capaNCDT Kapazitives Mehrkanal-Messsystem zur Überwachung von Maschinenpositionen Berührungslose Weg- und Abstandsmessung mit Messbereichen von 0,05 bis 10 mm Nanometer-Auflösung Hohe Bandbreite für dynamische Messungen Ideal für langzeitstabile Messungen

eddyNCDT Hochperformantes induktives Wegmesssystem Berührungslose Weg- und Abstandsmessung mit Messbereichen von 0,4 bis 80 mm Nanometer-Auflösung Hohe Grenzfrequenz für dynamische Messaufgaben Kundenspezifische Sonderbauformen

Positionsüberwachung in der Stage

Positionierung des Linsensystems in LithografiemaschinenHochdynamische induktive Wegsensoren (Wirbelstrom) messen die Position von Linsenelementen, um größtmögliche Abbildungsgenau-igkeit herzustellen.

Sensor: eddyNCDT

Masken-Positionierung in der LithografieIm Lithografieprozess ist eine hochauflösende und langzeit stabile Messung von Maschinenbewegungen erforderlich, um maximale Präzision zu erzielen. Kapazitive Wegsensoren überwachen daher die hochpräzise Maskenausrichtung.

Sensor: capaNCDT

Positionierung der WaferstageBerührungslose Sensoren von Micro-Epsilon werden zur Positionsüberwachung der Wafer-stage eingesetzt. Dort messen sie die hochdynamischen XYZ-Bewegungen. Die kapazitiven und induktiven (Wirbelstrom) Sensoren erreichen eine Auflösung im Nanometerbereich.

Sensor: capaNCDT / eddyNCDT

MICRO-EPSILON MESSTECHNIK

GmbH & Co. KG

94496 Ortenburg / Germany

Tel. +49 85 42 / 168-0

info@micro-epsilon.de

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Mehr Präzision.Ob zur Qualitätssicherung, für die vorausschauende Instandhaltung, die Prozess- und Maschinenüberwachung, die Automation sowie für Forschung und Entwicklung – Sensoren von Micro-Epsilon tragen einen wesentlichen Teil zur Verbesserung von Produkten und Prozessen bei. Die hochpräzisen Sensoren und Messsysteme lösen Messaufgaben in allen wichtigen Industriebranchen – vom Maschinenbau über automatisierte Fertigungslinien bis zu integrierten OEM-Lösungen.

Sensoren und Systeme von Micro-Epsilon

Sensoren und Systeme für Weg, Abstand und Position

Sensoren und Messgeräte fürberührungslose Temperaturmessung

Mess- und Prüfanlagen für Metallband, Kunststoff und Gummi

Optische Mikrometer, Lichtleiter, Mess- und Prüfverstärker

Sensoren zur Farberkennung, LED Analyser und Inline-Farbspektrometer

3D Messtechnik zur dimensionellen Prüfung und Oberflächeninspektion