Thermoflow THS Series Flowmeter for Gas.pdf · 2009-11-16 · Thermoflow ★接ガス部に可動部が無いので構造がシンプルでコンパクト。 ★レンジアビリティーが広い。

THS P20 - -- DT

THS - - -

12

規格 Std.

20

形状1 Shape1

形状2 Shape2

流体名 Fluids

A

MAX流量 Max flow

MAX

流量単位 Units

オプション Option

■型式 Type selection

＊1：特殊項目に付いては、型式末尾に順番に明記下さい。詳細は弊社にお問合わせ下さい。＊2：測定範囲を参照下さい。＊3：標準仕様はお客様にて出力ケーブルを用意していただきます。（ピン、コネクタは製品に添付）＊1: For specif. items specify them at end of Type selection in order. For details, consult us with your specification.＊2: Refer to a table of measuring range.＊3: Users are requested to prepare for the output cable in case of the standard specfications(Pin and connector are attached to the prodcuct).

THS Series■特長 Features

Thermoflow

★接ガス部に可動部が無いので構造がシンプルでコンパクト（ニードルバルブ除く）。

★取付姿勢の制約なし。 ★Since no moving part exists in gas contact area, structurally constructed simple

and compact(Excluding needle valve).　★No restriction placed on installation attitude.

記入例 For instance of entry

表示計

Flow indicator

C2

SL/min

g/min

特殊 For specif. unit　＊1Air

N2

Ar

特殊 For specif. fluid　＊1バルブ無し With no needle valve

OUT側バルブ付 With needle valve at outlet.

特殊 For specif. shape　＊1

パルス出力 Pulse output

アナログ（4－20mA）出力＋パルス出力 Analog output(4-20mA)＋Pulse output

アナログ（1－5V）出力＋パルス出力 Analog output(1-5V)＋ Pulse output

1

2

3

90

2

9

P

PA

PB規格1 Std1

20

測定範囲 Measuring range

0～20SL/min

接続口径 Pipe size

Rc 1/4

材質 Mtl

POM、SCS14

A

B

Z

表示計・変換器のページをご参照下さい。

See page on the indicator/converter.

コネクタ付ケーブル2m Cable 2m long with connector.　＊3

MAX流量をご記入下さい。 Shows here max. flowrate.　＊2

計測精度を上げるため、配管は、IN側に10D（口径の10倍）、OUT側に5D以上の直管部を設けて下さい。 Set up part of straight pipe connection more than 5D at outlet and 10D(ten times the pipe size) at inlet in order to upgrade flow measuring accuracy.

Caution

- 特殊項目 For specif item

www.tofco.jp

14

■構造図 Structural drawing◆バルブ無しタイプ ◆Type with no needle valve

◆バルブ付きタイプ ◆Type with needle valve

■仕様 Specifications流量精度Flow accuracy

最高使用圧力 Max operating pressure

最高使用温度 Max operating temperature

使用環境温度 Ambient temperature

応答性 Response


アナログ出力 Analog output

電源電圧 Power supply voltage

±5％ at F.S.

0.5MPa（G）

MAX 50℃

0～50℃（結露無きこと）(No dewing)

約0.2秒 Approx. 0.2 sec.

標準 Std ： DC12～24V（Max 200mA）

■端子接続 Terminal connections ■材質 Materials番号 Item No.

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩

⑪

⑫

部品名 Names of parts

フィッティング Fitting

Oリング O-ring

ボディー Body

センサー Sensor

センサーホルダ Sensor holder

コネクタ Connector

カバー Cover

バルブスプリング Valve spring

ニードルシリンダ Needle cylinder

ニードルバルブ Needle valve

ニードルオリフィス Needle orifice

オリフィスロック Orifice lock

材質 Mtl.

SCS14（316相当）(316 equivalent)

FPM

POM

Ni等 Ni, etc.

POM

PA66

ABS

SUS304

BSBM

SUS316

PEEK

SCS14

端子 No. Terminal No.

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

接続 Connection


パルス出力COM Pulse output COM


アナログ出力COM Analog output COM

NC（空き） (No connection)

DC 0V（電源－） (Power supply －)

NC（空き） (No connection)

DC12～24V（電源＋） (Power supply ＋)

103

93.5

46

MAX34.5 φ１７

13.5

２－Ｒｃ１／４２－φ５

4330

4531

17

15

7 13.573

73

Effective thread depth:5２－Ｍ４×０.７有効ネジ深さ５

Effective thread depth:5２－Ｍ４×０.７有効ネジ深さ５

２－Ｒｃ１／４

２－φ５

76

15

767

90

4330

4531

17

ＯＵＴＩＮ

ＯＵＴ

ＩＮ

ＴＦＭ

① ② ③ ④ ⑤

① ② ③ ④ ⑤

⑥

⑦

⑥ ⑦

⑪

⑩

⑨

⑧

⑫

パネルカット図 For panel cut-out


NPNオープンコレクタ DC35V. 70mA MAX. 0～200Hz NPN open collector 35VDC 70mA MAX. 0～200Hz

ＤＣ4-20mA 負荷抵抗：350Ω以下 DC4-20mA Load resistance:Below 350ΩＤＣ1-5V 負荷抵抗：50KΩ以上

DC1-5V Load resistance:More than 50KΩ

※添付コネクタ、ピンの型式（日本圧着端子製）　コネクタ：ZHR-8　ピン：SZH-002T-PO.5 ※Types of attached connector and pin(Made by JST) Connector.ZHR-8 Pin:SZH-002T-PO.5

G Gas

マスフロー

コントローラ

マスフロー

フローメータ

サーモフロー

フロー

チェッカー

www.tofco.jp

15

計測精度を上げるため、配管は、IN側に10D（口径の10倍）、OUT側に5D以上の直管部を設けて下さい。 Set up part of straight pipe connection more than 5D at outlet and 10D(ten times the pipe size) at inlet in order to upgrade flow measuring accuracy.

THF 200 - -- DT03

THF - - -接続口径 Pipe size

1P A

形状 Shape

200


＊1：特殊項目に付いては、型式末尾に順番に明記下さい。詳細は弊社にお問合わせ下さい。＊2：測定範囲を参照下さい。＊3：標準仕様はお客様にて出力ケーブルを用意していただきます。（ピン、コネクタは製品に添付）＊1: For specif. items specify them at end of Type selection in order. For details, consult us with your specification.＊2: Refer to a table of measuring range.＊3: Users are requested to prepare for the output cable in case of the standard specfications(Pin and connector are attached to the prodcuct).

THF□P Series■特長 Features

Thermoflow

★接ガス部に可動部が無いので構造がシンプルでコンパクト。 ★レンジアビリティーが広い。 ★Since no moving part exists in gas contact area, structurally constructed simple and

compact. ★Extended rangeability


規格 Std.

流体名 Fluids

MAX流量 Max flow

MAX

流量単位 Units


表示計

Flow indicator

C2接続口径 Pipe size

PF 1/4

Rc 3/8

Rc 1/2

Rc 3/4

Rc 1

40A

規格1 Std.1

15, 50

100

200

800

3000

SL/min

g/min

特殊 For specif. unit　＊1Air

N2

Ar

特殊 For specif. fluid　＊1パルス出力タイプ Pulse output.

アナログ（4－20mA）出力＋パルス出力 Analogue (4-20mA) and pulse output.

アナログ（1－5V）出力＋パルス出力 Analogue (1-5v) and pulse output.

アナログ（1－10V）出力＋パルス出力 Analogue (1-10v) and pulse output.

1

2

3

9P

PA

PB

PC規格 Std.

15

50

100

200

800

3000


0.3～15SL/min

1～50SL/min

5～100SL/min

4～200SL/min

15～800SL/min

50～3000SL/min

材質 Mtl

SUS304

01

02

03

04

05

07

A

B

Z

表示計・変換器のページをご参照下さい。

See page on the indicator/converter.

コネクタ付ケーブル2m Cable 2m long with connector. ＊3


Caution


www.tofco.jp

16

■構造図 Structural drawing

◆THF15/50/100P ◆THF200/800P ◆THF3000P

70

2-d

L W36

⑦ ⑥

⑤

④ ③ ② ①

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩ ⑪

⑫

⑬

⑧ ⑨

⑩ ⑪ ⑫

⑬

⑭

⑮

① ②

③

④

⑦ ⑥ ⑤

⑤

④

③

②

①

⑨

⑧

⑩

W2

W2

W1

W1

H1

■流量及び規格寸法 A table of flow ranges and standard dimensions ■仕様 Specifications規格

Std.

15

50

100

200

800

3000

測定範囲

Measuring range

0.3～15 SL/min

1～50 SL/min

5～100 SL/min

4～200 SL/min

15～800 SL/min

50～3000 SL/min

L

90

90

90

90

120

165

H1

71

71

76

82

92

104

W1

10

10

13.5

18

20

ー

W2

25

25

30

36

40

ー

流量精度 Flow accuracy

最高使用圧力 Max operating pressure

最高使用温度 Max operating temperature


応答性 Response




消費電流 Current consumption

d

PF 1/4

PF 1/4

Rc 3/8

Rc1/2、 Rc3/4

Rc 1

JIS10K40A

寸法（mm） Dimensions(mm) ±5％ at F.S.

0.5MPa（G）



0.5秒 0.5 sec.（63％ Increment）

　　 DC12～24V

　　 DC15～24V

0.25A DC24V時（表示計含）

0.25A, at 24VDC(including indicator)

＊測定範囲はAIR 1atm/20℃の流量を示します。＊Measuring range shown above are ones equivalent to air at 1 atm/20℃.

P

PA/PB/PC

■取付寸法 Installation dimensions ■端子接続 Terminal connections

THF15、50、100P 取付寸法（ボディー裏面）

Installing dimensions (Reverse side of body)commonly used to THF15, 50, 100P

THF200、800P 取付寸法（ボディー裏面）

Installing dimensions (Reverse side of body) commonly used to THF200, 800P

45±0.2 55±0.2

16±0.2

25±0.2

4ーM44ーM3

■材質 MaterialsTHF15/50/100P types

番号 Item No.

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10


ボディー Body

センサー Sensor

Oリング O-ring


フェルール Ferrule

プレート Plate

回路基板 Substrate

ケース Case

オスコネクタ Male connector

メスコネクタ Female connector

材質 Mtl.

SUS304

Pt 他 Pt, etc

FPM

SUS304

PTFE

SUS304

ー

SPCC

PA66

PA66

THF200/800P types

番号 Item No.

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

13


ボディー Body

補助リング Aux. ring

ラミナー Lamina

Oリング O-ring

Oリング O-ring

センサーピン Sensor pin

センサー Sensor

センサーアダプタ Sensor adapter




ケースカバー Case cover


材質 Mtl.

SUS304

SUS304

SUS304

FPM

FPM

SUS304

Pt 他 Pt, etc

POM

POM

PA66

PA66

SPCC

THF3000P type 番号 Item No.

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

13

14

15


センサーピン Sensor pin


Oリング O-ring

センサー Sensor

整流器 Rectifier

補助リング Aux. ring

フランジ Flange



Oリング O-ring

ベース Base

メインパイプ Main pipe

ケース Case


センサーパイプ Sensor pipe

材質 Mtl.

SUS304

POM

FPM

Pt 他 Pt, etc

SUS304

SUS304

SUS304

PA66

PA66

FPM

SUS304

SUS304

SPCC

SUS304

2-d W

36

H1

φ58

H1

70

L

L

Pin.No.17

Pin.No.17

7036

4-φ19

1Pin.No.7

φ105

φ140

端子No. Terminal No.

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

接続

電源＋ Power supply +.

電源－ Power supply -.

アナログ出力 Analogue output.

COM

パルス出力 Pulse output.

NC

NC

NPNオープンコレクタ DC35V. 70mA MAX. 0～200Hz

NPN open collector output 70mA MAX. 0～200Hz

ＤＣ4-20mA 負荷抵抗：400Ω以下

DC4-20mA Load resistance:Below 400Ω

ＤＣ1-5V 負荷抵抗：50KΩ以上


ＤＣ1-10V 負荷抵抗：50KΩ以上


※添付コネクタ、ピンの型式（モレックス製）　コネクタ：51191-00700　ピン：50802 ※Types of attached connector and pin(Made by Molex) Connector:51191-00700 Pin:50802

有効ネジ深さ8 有効ネジ深さ6Effective thread depth:8 Effective thread depth:6

G Gas

マスフロー

コントローラ

マスフロー

フローメータ

サーモフロー

フロー

チェッカー

www.tofco.jp

17

PXFM 20- - - -- FPM20 1atm/20℃

PXFM -- - --

0G 1

ガス Gas

B


＊1：特殊項目に付いては、型式末尾に順番に明記下さい。詳細は弊社にお問合せ下さい。＊2：測定範囲を参照下さい。＊3：圧力、温度が1atm/20℃以外のものに付いては、巻末の技術資料を参照下さい。＊測定範囲はAIR換算 1atm/20℃{OMPa（G）}条件の流量です。＊1: For specif. items specify them at end of Type selection in order. For details, consult us with your specification.＊2: Refer to a table of measuring range.＊3: Refer to techincal information at the end of this catalog, if applying any pressure and temperature other than 1 atm and 20℃.＊Measuring range shown above are ones equivalent to air at 1 atm/20℃.

FM-PX20 Series■特長 Features

Flowmeter

★コンパクト/シンプル。 ★低価格/短納期。 ★ Compactly and simply constructed★ Quick delivery and offering at a low price.


設計圧力/温度 Designed pres./temp.

形状 Shape

規格 Std.

流体名 Fluids

MAX流量 Max flow

流量単位 Units


FPM バイトンパッキン Viton packing

1atm/20℃ 設計圧力・温度を示します Shows designed pres./temp.　＊3

MAX MAX流量をご記入下さい。 Shows here max. flowrate.　＊2

A

B

D

E

Z

NmL/min

NL/min

SmL/min

SL/min

特殊 For specif. unit　＊1

1

2

3

4

5

6

7

9

AIR

N2

O2

CO2

Ar

He

C3H8（プロパン） (Propane)

特殊 For specif. fluid　＊1

0

1

2

9

ニードルバルブ無し With no needle valve

下側ニードルバルブ付 With needle valve at lower side

上側ニードルバルブ付 With needle valve at upper side


G 気体用である事を示します Shows to be used for gas.

規格 Std.

20


40～500NmL/min

0.1～1NL/min

0.2～2NL/min

0.4～5NL/min

1～10NL/min

2～20NL/min


Rc1/8

材質 Mtl

BSBM（メッキ） (Plating)


www.tofco.jp

22


使用最高圧力 Max operating pressure

使用流体温度 Operating fluid temperature


■仕様 Specifications


±5％ at FS FS±5%

0.5MPa（G）

MAX 60℃

0～50℃（結露なきこと） 0～50℃ (No dewing)

■材質 Materials番号 Item No.

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩

⑪

名称 Names of parts

キャップ Cap

フィッティング Fittings

パッキング Packings

ストッパー Stoppers

フロート Float

テーパー管 Tapered tube

フロントプレート Front plate


レフシール Reflecting seal

カバー Cover

サラビス Countersink screw

材質 Mtl.

BSBM

BSBM

NBR

PTFE

ガラス/ルビー/SUS304 Glass/Ruby/SUS304

耐熱ガラス Heat-resistant glass

PMMA

SUS316

ユポ YUPO

AI（6063）

SUS304

摘要 Remarks

メッキ Plating

メッキ Plating

クリア Clear

オリフィスOrifice：PEEK

イエロー Yellow

ブラック Black

M3

◆FM-PX20 type

埋込型パネルカット図 For panel cut-out for embedded type

標準型パネルカット図 For panel cut-out for standard type

2-φ16

56669 14

15

20

φ16

4-φ4

5084

17

2-φ5

1084 50

27

2-M4 深さ2.4 2.4 deep

227(30～36)25

15

104

6619

9

（19）

2-Rc 1/84-M3 深さ5 5 deep

ＩＮ

ＯＵＴ

① ②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩

⑪

G Gas

マスフロー

コントローラ

マスフロー

フローメータ

サーモフロー

フロー

チェッカー

www.tofco.jp

23

PXFM 25 G -- - -- SW50 1atm/20℃

PXFM -- -

10 1 B


＊1：特殊項目に付いては、型式末尾に順番に明記下さい。詳細は弊社にお問合せ下さい。＊2：右の流量表の接点方式より選択下さい。＊3：右の流量表を参照下さい。＊4：圧力、温度が1atm/20℃以外のものに付いては、巻末の技術資料を参照下さい。＊5：スイッチ付不可。＊1: For specif. items specify them at end of Type selection in order. For details, consult us with your specification.＊2: Select it from contact forms in a table of flow ranges right.＊3: Refer to a table of flowrates right.＊4: Refer to technical data at the end of this catalog, if applying any pressure and temperature other than 1 atm and 20℃.＊5： No switch installation for long type.

FM-PX25 Series■特長 Features

Flowmeter

★警報スイッチが取付可能です。 ★対応流量レンジが増えました。 ★高精度品対応。 ★Alarm switch can be installed.★Widely ranging flow to correspond added.★Corresponding to highly accurate flowmeter.


T1

L

B

SW

V

FPM

ショートタイプ For short type

ロングタイプ精度±2％ For long type at FS±2%　＊5

スタンド付（自立型） With stand (Stand-alone type)

スウェジロックタイプ継手付 With joint of Swagelok type

VCRタイプ継手付 With joint of VCR type

バイトンパッキン Viton packing

1atm/20℃ 設計圧力/温度を示します Shows designed pres./temp.　＊4MAX MAX流量をご記入下さい。 Shows here max. flowrate.　＊3

A

B

D

E

Z

NmL/min

NL/min

SmL/min

SL/min


2

3

4

5

6

7

9

AIR

N2

O2

CO2

Ar

He



0

1

2

9





0

1

2

3

5

9

スイッチ無し With no switch

リードスイッチA接点 With reed switch of contact A

リードスイッチB接点 With reed switch of contact B

近接センサー With proximity sensor　＊2

光電センサーダークON DC24V±10％ With photosensor formed Dark ON at 24VDC±10％　＊3



規格 Std.

25

規格最大流量 Max flowwave specified

～100NL/min

口径 Pipe size

Rc1/4

材質 Mtl

SUS316

- -ガス Gas


規格 Std.

形状2 Shape2

形状1 Shape1

流体名 Fluids

流量単位 Units

MAX流量 Max flow



www.tofco.jp

24

■流量表 A table of flowrates



規格 Std.


10～100NmL/min 20～200 40～500

（50～500） 0.1～1NL/min 0.2～2 0.4～5

（0.5～5）＊2 1～10 2～20 3～30

4～50（5～50）＊2 5～70 ＊1 10～100 ＊1

接点方式 Contact forms

近接センサー Proximity sensor

光電センサー Photo sensor

リードスイッチ Reed switch


①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩

⑪

⑫

⑬

⑭




センサーブラケット Sensor bracket


フロート Float


Oリング O-ring

リテーナ Retainer

キャップ Cap


アダプタ Adapters

ロックナット Locknuts


スウェジロックタイプアダプタ Swagelok type adapter

材質 Mtl.

SUS316

PMMA

PMMA

耐熱ガラス/硬質ガラス Heat-resistant glass/Hard Glass

ガラス/ルビー/POM/SUS316/Ti Glass/Ruby/POM/SUS316/Ti

PTFE/SUS316/FPM

NBR

SUS316

SUS316

SUS316

SUS316

BSBM

SUS303 他 SUS303, etc.

SUS316

摘要 Remarks

オリフィス Orifice：PEEK

メッキ Plating

バイロック Bylok

■光電センサー仕様 Specifications on photo sensor

◆FM-PX25 type（スイッチなしスウェージロックタイプ継手付）　（with no switch but with joints of Swagelok type.）


パネルカット図　（リードスイッチ付） For panel cut-out （With reed switch）

◆FM-PX25 type（リードスイッチ付）　（with reed switch)

25

■近接センサー仕様 Specifications on proximity sensors

使用最高圧力 Max operating pressure使用流体温度 Max operating pressure使用環境温度 Ambient operating temperature

±5％ at FS

±2％ at FS 0.5MPa（G） MAX 60℃

0～50℃（結露なきこと） (No dewing)

■規格寸法 Standard dimensions

標準 standard typeショートタイプ Short typeロングタイプ Long type

L 154 139 244

L1 130 115 220

L2 110 95 200

L4 94 79 ー

L3 104 89 ー

電源 Power supply

制御出力 Control output

ケーブルの長さ Cable length

DC12～24V 200mA MAX 直流開閉形 NPNタイプノーマルクローズ＊ Max 200mA make-and-break type on DC

NPN type Normally close2m

電源 Power supply

制御出力 Control output


DC24± 10％ 24VDC ±10％NPNオープンコレクタ（シンク電流80mA（DC30V）MAX)

ダークオン　NPN Open collector（Sink current:80mA（30VDC）at MAX） Dark ON

2m

近接センサー仕様の場合は付きません

■リードスイッチ仕様 Specifications on reed switch接点方法

Contact forms接点容量

Contact capacityケーブルの長さ Cable length

A接点 Contact AB接点 Contact BDC 0～24V MAX 0.2A 50cm

※配線図は巻末の技術資料参照 ※ For wiring see technical data at the end of this catalog.

No need to poximity sensor

2-φ202-1/4

184-M3 深さ4.5 4.5 deep

4-M3 深さ4.5 4.5 deep

30

32(30～36) （39）

（VCR＝37）

L2L L1 L1

ＯＵＴ

ＩＮ

2-Rc 1/4

(30～36) 22

（26）

L1

2-R7.5

15

L3φ14

2-φ20

32

L L2

18

L1

パネルカット図（近接センサー付） For panel cut-out for type with proximity sensor.

30

ＯＵＴ

ＩＮ

①

⑫ ⑭

②

④

⑤

⑥ ⑦

⑧

⑨

⑩ ⑩

⑧

⑦

⑥

⑤

③

④

②

①

⑬

⑫ ⑪

⑨

L418

2-φ2025

L1＊測定範囲はAIR換算1atm/20℃{OMPa（G）}条件の流量です。＊スイッチ設定範囲は、FS流量の約20～80％が使用範囲です。ただし、個々の目盛や長さや接点方式等により使用範囲は異なります。＊1 ロングタイプはMAX70と100NL/min不可。＊2 （　　）ロングタイプ＊Measuring range shown above are ones

equivalent to air at 1 atm/20℃.＊Set point for contact range shall be within

20%～80% of FS. However, it varies depend on a scale, size and contact method of flowmeter.＊1 Long type for max 70 and 100 NL/min are

not available.＊2 Flowrates for long type are in parentheses （　　）.


標準品 Standard typeショートタイプ Short typeロングタイプ Long type

G Gas

マスフロー

コントローラ

マスフロー

フローメータ

サーモフロー

フロー

チェッカー

www.tofco.jp

25

--- - -

-- - - -


＊1：特殊項目に付いては、型式末尾に順番に明記下さい。詳細は弊社にお問合せ下さい。＊2：測定範囲を参照下さい。＊3：圧力、温度が1atm/20℃以外のものに付いては、巻末の技術資料を参照下さい。＊4：規格25のみ対応。＊1: For specif. items specify them at end of Type selection in order. For details, consult us with your specification.＊2:Refer to a table of measuring range.＊3:Refer to technical information at the end of this catalog, if applying any pressure and temperature other than 1 atm and 20℃.＊4:Responding only to Std. 25

DUO-PX Series■特長 Features

Duo-flow

★フロートの位置で流量を現場目視できます。 ★同時に連続信号を出力できます。 ★Flowrates are visually confirmed by the position of float on site.★Also a continuous signal can be produced simultanously.


DUO PX 25 G 1 1 B 40 1atm/20℃

DUO PX規格 Std.

ガス Gas

形状2 Shape 2

0

形状1 Shape 1

流体名 Fluids

流量単位 Units

MAX流量 Max flow



SW

B

SW

V

FPM

スタンド付（自立型） With stand (Stand-alone type)　＊4

スウェジロックタイプ継手付 With joint of Swagelok type　＊4

VCRタイプ継手付 With joint of VCR type　＊4


1atm/20℃ 設計圧力/温度を示します Shows designed pres./temp.　＊3MAX MAX流量をご記入下さい。 Shows here max. flowrate.　＊2

A

B

D

E

Z

NmL/min

NL/min

SmL/min

SL/min


2

3

4

5

6

7

9

AIR

N2

O2

CO2

Ar

He



0

1

2

9





1

2

3

9

4-20mA出力 Output at 4-20mA

1-5V出力 Output at 1-5V

1-10V出力 Output at 1-10V

特殊 For specif. item　＊1


規格 Std.

20

25

規格最大流量 Max flowrate specified

～20NL/min

～90NL/min

口径 Pipe size

Rc1/8

Rc1/4

材質 Mtl

BSBM

SUS316


www.tofco.jp

26

■流量表 A table of flowrates



規格 Std.


40～500 NmL/min 0.1～1 NL/min 0.2～2 NL/min 0.4～5 NL/min 1～10 NL/min 2～20 NL/min 10～40 NL/min 20～90 NL/min

＊測定範囲はAIR換算 1atm/20℃{OMPa（G）}条件の流量です。＊Measuring range shown above are ones equivalent to air at 1atm/20℃.

■計測概要 Measurement in general

◆DUO-PX20 type ◆DUO-PX25 type

20

25

流量精度 Flow accuracy出力精度 Output accuracy

使用最高圧力 Max operating pressure使用流体温度 Operating fluid temperature使用環境温度 Ambient operating temperature

出力信号 Output signals

出力性能 Output performance電源 Power supply


±5％ at FS FS±5%±5％ at FS FS±5%0.5MPa（G） MAX60℃

0～50℃（結露なきこと）(No dewing)ＤＣ4-20mA 負荷抵抗：400Ω以下 DC4-20mA Load resistance:Below 400ΩＤＣ1-5V 負荷抵抗：50KΩ以上 DC1-5V Load resistance:More than 50KΩＤＣ1-10V 負荷抵抗：50KΩ以上 DC1-10V Load resistance:More than 50KΩ約152分解能 Approx resolution of 152DC12～24V約80mA Approx 80mA

2m


① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ ⑫ ⑬




フロート Float



Oリング O-ring


キャップ Cap




LED リニアセンサーー式 A set of linear sensor

材質 Mtl.

SUS316 PMMA SUS316


PTFE/FPM NBR

SUS316 SUS316 SUS316 BSBM SUS316 ー

PBT他 PBT,etc

摘要 Remarks

クリア Clear

メッキ Plating


① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ ⑫



ケース Case



フロート Float


Oリング O-ring


キャップ Cap


LED リニアセンサーー式 A set of linear sensor

材質 Mtl.

SUS316 Al

PMMA 耐熱ガラス Heat-resistant glass

SUS304 PTFE NBR BSBM BSBM BSBM ー

PBT他 PBT,etc

摘要 Remarks

黒アルマイト Black alumite

クリアー Clear

メッキ Plating

メッキ Plating

メッキ Plating



②

⑪

⑫

①

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

②

①

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨ ⑩ ⑪

⑫

⑬

⑩ ⑨

φ16

14

9

4-φ415

12

66 56

4-M3 (深さ 7) (depth : 7)

2

25

2-Rc1/8

(30～36)

104

27

66.5

3125

8410

10OUT

IN

4-M3 (深さ 6.5) (depth : 6.5)

φ16

1410

12

22(30～36) 323630

2-Rc1/4

18

66.5

25

102

110

130154

184-φ4

OUT

IN

投光側センサ Sensor at transmitter side

受光側センサ Sensor at receiver side

投光側と受光側に赤外IRとフォトトランジスターそれぞれ20個あります。その間にあるフロートが光を遮り、影の濃さによってフォトトランジスターが反応してON/OFFします。フロートの影を高低として読み取り、アナログ信号(4-20mA)に演算され出力信号となります。 There are 20 pieces of phototransistor and infrared IR both in the transmitter and receiver sides, respectively.The float located between that shadows light, and the thickness of the shadows reacts on the phototransistor to turn on or off. The shadow of float has been read in high-low level, computed into the analog signal(4-20mA), and can be produced as an output signal.

液体の流れ Fluid flowing direction

ケーブル仕様 Specifications on cable信号名 Names of signal

DC12～２４Ｖ 12-24VDC

0V

アナログ出力 Analog Output

外皮シールド Wire shileding

色仕様 Color specified

赤色 Red

白色 White

黄色 Yellow

緑色 Green

線種 Class of cable

AWG#24

AWG#24

AWG#24

AWG#24

G Gas

マスフロー

コントローラ

マスフロー

フローメータ

サーモフロー

フロー

チェッカー

www.tofco.jp

27

PGFM 30- - --- SW1atm/20℃ 20G B 150

＊1：特殊項目については、型式末尾に順番に明記下さい。詳細は弊社にお問合せ下さい。＊2：右の測定範囲を参照下さい。＊3：圧力、温度が1atm/20℃以外のものについては、巻末の技術資料を参照下さい。＊1: For specif. items specify them at end of Type selection in order. For details, consult us with your specification.＊2: Refer to a table of measuring range right.＊3: Refer to technical information at the end of this catalog, if applying any pressure and temperature other than 1 atm and 20℃.

FM-PG Series■特長 Features

Flowmeter

★パージ用流量計としても最適です。 ★容易な保守。 ★構造が簡単で、耐久性に優れています。 ★ Most widely used as a purging flowmeter.★ For maintenance to easy.★ Simply constructed and excellent in durability.


PGFM - - - --ガス Gas

■型式 Type selection設計圧力/温度

Designed pres./temp.形状 Shape

規格 Std.

流体名 Fluids

MAX流量 Max flow

流量単位 Units


SW

FPM


バイトンパッキン Viton packings

設計圧力・温度を示します Shows designed pres. / temp.　＊31atm/20℃

MAX MAX流量をご記入下さい。 Shows here max. flowrate.　＊2　

A

B

D

E

Z

NmL/min

NL/min

SmL/min

SL/min


1

2

3

4

5

6

7

9

AIR

N2

O2

CO2

Ar

He



0

1

2

9




特殊 For specif. installation　＊1


規格 Std.

25

30

40


～30NL/min

～150NL/min

～300NL/min

口径 Pipe size

Rc1/4

3/8

1/2

材質 Mtl.

BSBM （メッキ Plating）


www.tofco.jp

28

流量精度

Flow accuracy

使用最高圧力

Max operating pressure

使用流体温度

Operating fluid temperature

使用環境温度

Ambient temperature

■流量および規格寸法 Flow ranges and dimensions specified ■仕様 Specifications


±5％ at FS

FS±5%

0.5MPa（G）

MAX60℃

0～60℃（結露なきこと）

( No dewing )

規格 Std.


寸　法（mm） Dimensions（mm）

＊測定範囲はAIR換算 1atm/20℃{OMPa（G）}条件の流量です。＊The measuring range shown above are ones equivalent to air at 1atm/20℃.


①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩

⑪


キャップ Cap





フロート Float

カバー Cover


バックプレート Back plate

取付ボルト Mounting bolts

ゴムストッパー Rubber stoppers

材質 Mtl.

BSBM

BSBM

NBR

BSBM/PTFE/FPM

耐熱ガラス/硬質ガラス Heat-resistant glass/Hard glass

SUS304/Ti/ルビー/POM/ガラス SUS304/Ti/ Ruby/POM/Glass

PMMA

SUS304/SUS316

SS400

SS400

FPM

摘要 Remarks

メッキ Plating

メッキ Plating

FPMストッパー付 With FPM stoppers

ハンドルPP Handle: PP

白塗装 Painted white

メッキ Plating

◆FM-PG25 type ◆FM-PG30/40 types


L B CRcA H φd φD M

25 160 130 80 25 29 50 33 6 20 515 1/4

167 135 80 27.5 36 50 51 6 22 516 3/8

185 145 80 32.5 44 55 59 7 27 6

G

2.5

5

6

E

（19）

（16.5）

（16.5） 20 1/2

30

40

NmL/min 30～300 40～500 　　NL/min 0.1～1 0.2～2 0.4～5 1～10 1～15 2～20 3～30 3～30 4～40 4～50 5～80 10～100 10～120 10～130 10～150 20～200 20～250 30～300

2-φD

2-φd

１

２

①

②

③

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩

２-Rc A

２-M

IN

OUT

（Open時）

４

１

２

４

３

３

H

EE

CB

LG G

(At max open position)

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩

⑪

２-M

IN

OUT

（Open時）

１

２

４

３

４

３

HCB

L

(At max open position)

G Gas

マスフロー

コントローラ

マスフロー

フローメータ

サーモフロー

フロー

チェッカー

www.tofco.jp

29


--- - - -

-- - -- -


FM-PR Series■特長 Feature

Flowmeter

★中～大流量対応のパネル取付型流量計 ★流量調整バルブと警報スイッチ取付可能 ★Panel-mounting type flowmeters for corresponding to the medium amount of flow up to

the larger one.★Flow control valve and alarm switch can be installed.


PRFM 50 G 3 2 B 400 03 SW1atm/20℃

PRFM規格 Std.

ガス Gas

形状2 Shape 2

0

形状1 Shape 1

流体名 Fluids

流量単位 Units

MAX流量 Max flow



B

L

SW

V

FPM

PD1

スタンド付（自立型） With stand (Stand-alone type)　＊5

ロングタイプ精度 FS±2％ For long type, FS±2% accuracy　＊6


VCRタイプ継手付 With joint of VCR type


光電センサーダークON DC24V±10％ With photosensor formed Dark ON at 24VDC±10％

O2

O3

O4

O5

O6

O7


Rc 3/8

1/2

3/4

1

11/4

11/2

規格 Std.

40、50

50、60

60

80、80L



B

E

Z

NL/min

SL/min


1

2

3

4

5

6

7

9

AIR

N2

O2

CO2

Ar

He

C3H8（プロパン）(Propane)





パネル埋込型ニードルバルブ無し Panel embedded type with no needle valve

パネル埋込型下側ニードルバルブ付 Panel embedded type with valve at lower side

パネル埋込型上側ニードルバルブ付 Panel embedded type with valve at upper side


スイッチ無し With no switch

リードスイッチ横A接点（PR40型は不可）With side reed switch of contact A(No PR40 type)　＊2

リードスイッチ横B接点（PR40型は不可）With side reed switch of contact B(No PR40 type)　＊2

リードスイッチ後A接点 With rear reed switch of contact A

リードスイッチ後B接点 With rear reed switch of contact B


0

1

2

3

4

5

9

0

1

2

3

4

9


規格 Std.

40

50

60

80

80L


～150NL/min

～400NL/min

～700NL/min

～1500NL/min　※

～3000NL/min　※

材質 Mtl

SUS304

＊1：特殊項目に付いては、型式末尾に順番に明記下さい。詳細は弊　社にお問合せ下さい.。＊2：スイッチ横は向かって右側が標準です。＊3：右の測定範囲を参照下さい。＊4：圧力、温度が1atm/20℃以外のものに付いては、巻末の技術　資料を参照下さい。＊1: For specif. items specify them at end of Type selection in order. For details consult us with your specification.＊2: Std. switch installation is on right as one faces.＊3: Refer to a table of measuring range right.＊4: Refer to technical information at the end of this catalog, if applying any pressure and temperature other than 1 atm and 20℃.

＊5：スタンドはPR50のみ対応。＊6：PR40のロングタイプは製作不可。 ※PR80/80Lはロックナット付き不可。＊5: For stand mounting, it is mountable only to PR50 type. ＊6: Long type for PR40 not available.※Locknuts are not attached to PR80 and 80L types.


www.tofco.jp

30

■流量および規格寸法 Flow ranges and standard dimensions

使用最高圧力

Max. operating pressure

使用流体温度


使用環境温度

Ambient operating temperature

接点方法 Contact forms

接点容量 Contact capacity


■仕様 Specifications■構造図 Structural drawing±5% at FS

±2％ at FS

0.5MPa（G）

MAX 60℃

0～50℃（結露なきこと）

（No dewing）

A接点 Contact A

B接点 Contact B

0～24VDC

MAX 0.2A

50cm

■材質 Materials名称 Name of parts

キャップ Cap




ガイドポール Guiding pole

フロート Float




番号 Item No.

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧-1

⑧-2

材質 Mtl.

SUS304

SUS304

NBR

SUS304

SUS304

SUS304/Ti

耐熱ガラス/硬質ガラス Heat resistant glass/ Hard glass

AI合金 Al alloy

PMMA

摘要 Remarks

Mg密封（スイッチ付）Mg sealed for switch

黒ツヤ消アルマイト処理（アクリル板接着）

Black frosted alumite treatment

クリア Clear

◆FM-PR40/50/60 type　標準タイプ上側ニードルバルブ付　リードスイッチ後付 ◆FM-PR40/50/60 types for standard type with needle valve at upper side and rear Reed switch

◆FM-PR40/50/60/80/80L type　パネル埋込みタイプ上側ニードルバルブ付　リードスイッチ横付 ◆FM-PR40/50/60/80/80L types for panel embedded type with needle valve at upper side and side Reed switch

◆FM-PR80/80Ltype　標準タイプ上側ニードルバルブ付　リードスイッチ後付 ◆FM-PR80/80L type for standard type with needle valve at upper side and rear Reed switch

　4～50 ※

10～100

10～150

10～100

20～200

30～300

40～400

40（50）～500

60（70）～700

100～1000

100～1500

200～2000

300～3000

規格 Std.

40

50

60

80

80L

NL/min


＊測定範囲は、AIR換算 1atm/20℃｛0 MPa（G）｝条件の流量です。＊スイッチ設定範囲は、FS流量の約20～80％が使用範囲です。ただし、個々の目盛や長さや接点方法等により使用範囲は異なります。＊Measuring range shown above are ones equivalent to air at 1 atm/20℃. ＊Set point for contact range shall be within 20%~80% of FS. However, it varies depending on a scale, size and contact method of flowmeter.

寸　法（mm） Dimensions(mm)

〔〕寸法は、パネル埋込型センサーは後側のみロングタイプは、製作不可 Parenthetical dimensions are for panel embedded typeFor rear sensor only. No long type

（）寸法は、ロングタイプ【】寸法は、センサー後付タイプ Parenthetical dimensions are for long typeBracketed dimensions for sensor at rear type

（）寸法は、ロングタイプ Parenthetical dimensions are for long type

（）寸法は、ロングタイプロングタイプのみ製作可能 Parenthetical dimensions are for long type For long type only

φ5 M4 深さ9 9 deep




Ｌ

157

185

（310）

210

（355）

307

（397）

（417）

L1

130

150

（275）

160

（305）

235

（325）

（345）

B

39

53

（53）

62

（62）

91

（91）

（91）

H

38〔37〕

44【46】

（44/【46】）

56

（56）

81

（81）

（81）

L2

102

120

（245）

140

（285）

175

（265）

（285）

b1

25

35

（35）

40

（40）

42

（42）

（42）

L3

90

100

（225）

105

（250）

145

（235）

（255）

L4

14

15

（15）

10

（10）

30

（30）

（30）

φD2

20

30

（30）

31

（31）

52

（52）

（52）

L5

94

112

（237）

102

（247）

145

（235）

（255）

b2

16

40

（40）

42

（42）

56

（56）

（56）

30～38 【31～39】

40～52

17

17【15】

19【17】

19

22

25.5

26.5

27.5

44～59

60～84

Rc 3/8→24

Rc 3/8→24

Rc 1/2→29

Rc 1/2→35

Rc 3/4→38

Rc 1→56

Rc 11/4→56

Rc 11/2→61

備　考 Remarks

名称 Name of parts

サイドプレート Side plate






ポインター Pointer

スイッチプレート Switch plate

ステイボルト Stay bolts


番号 Item No.

⑨

⑩

⑪

⑫

⑬

⑭

⑮

⑯

⑰

⑱

材質 Mtl.

AI合金 Al alloy

SUS304

PMMA

SUS304

BSBM

SUS303 他 SUS303, etc.

PMMA

ベークライト Bakelite

SUS304

FPM

摘要 Remarks

黒ツヤ消アルマイト処理

Black frosted alumite treatment

ハンドル：PP Handle:PP

イエロー Yellow

クロームメッキ Chrome plating

クリア Clear

ブラック Black

パネルカット図 For panel cut-out①

②

③

④

⑤

⑦

⑥

⑩ ⑨ ⑭

⑮

⑫ ⑱

⑱

⑪

８-２


Rcd→φD1φd→Mx Z T

①

②

③

④

⑤

⑥ ⑦

⑩ ⑨ ⑰

⑭ ⑯

⑫

⑪

パネルカット図 For panel cut-out①

②

③

④

⑤

⑦ ⑥

⑩ ⑨

⑭

⑬ ⑱

⑫

⑯ ⑪

８-１

８-１

流量精度

Flow accuracy

標準品 Std.

ロングタイプ L type

(25)

φD2

4-φd

b1

L3b1L2L4

OUT

IN

L1

2-Rc dT

4-Mx

b1

B H

L2LL4

Z

2-φD1

b2

L5L1

OUT

IN

(25)

Z

T 2-Rc dB H

L1L

2-φD1

L4

4-φd

b1

b2

L5L1 L2

Z

L4

6

2-Rc dTH

(25)

4-Mx

6

B

L L1L2

OUT

IN

G Gas

マスフロー

コントローラ

マスフロー

フローメータ

サーモフロー

フロー

チェッカー

www.tofco.jp

31

青 Blue（－）

茶 Brown（＋）

--- - -

-- - - -


＊1：特殊項目に付いては、型式末尾に順番に明記下さい。詳細は弊社にお問合せ下さい。＊2：右の測定範囲を参照下さい。＊3：圧力、温度が1atm/20℃以外のものに付いては、巻末の技術資料を参照下さい。＊1: For specif. items specify them at end of Type selection in order. For details, consult us with your specification.＊2: Refer to a table of measuring range right.＊3: Refer to technical information at the end of this catalog, if applying any pressure and temperature other than 1 atm and 20℃.

FM-NF Series■特長 Features

Flowmeter

★中～大流量対応のフランジ接続型流量計。 ★SUSとPVCのフランジ材質選択可。 ★耐蝕型一般工業用タイプ。 ★Flange connecting type for corresponding to the medium amount of flow up to the larger

one.★Either stainless steel or PVC is selectable for the material of flange.★Corrosion resisting type for general industry use.


NFFM 25 G 1 B C1000 1atm/20℃

NFFM規格 Std.

ガス Gas

1

形状 Shape

流体名 Fluids

流量単位 Units

MAX流量 Max flow



FPM

Cバイトンパッキン Viton packing

保護カバー With protecting cover

1atm/20℃ 設計圧力・温度を示します Shows designed pres./temp.　＊3MAX MAX流量をご記入下さい。 Shows here max. flowrate.　＊2

B

C

E

F

Z

NL/min

Nm3/min

SL/min

Sm3/min


2

3

4

5

6

7

9

AIR

N2

O2

CO2

Ar

He



2

9

オールSUS304材質 All made of SUS304

フランジ材質のみPVC（フロート、ガイドポール等はSUS304）

Only material of flanges made of PVC(Float and guiding pole are SUS304)

特殊 For specif. shape　＊1G 気体用である事を示します Shows to be used for gas.


～300NL/min

～300NL/min

～300NL/min

～1000NL/min

～1500NL/min

～2000NL/min

～3000NL/min

～4000NL/min

接続口径（JIS10KF） Pipe size(JIS10KF)

10A

15A

20A

25A

32A

40A

50A

65A

規格 Std.

10

15

20

25

32

40

50

65


www.tofco.jp

32

■流量および規格寸法 Flow ranges and standard dimensions ■仕様 Specifications


±3％ at FS FS±3%

0.5MPa（G）

MAX60℃

0～60℃（結露なきこと） ( No dewing )

±3％ at FS FS±3%

0.35MPa（G）

MAX40℃

0～40℃（結露なきこと） ( No dewing )

規格 Std.


寸法（mm） Dimensions(mm)

＊測定範囲はAIR換算 1atm/20℃{OMPa（G）}条件の流量です。＊Measuring range shown above are ones equivalent to air at 1 atm/20℃.

■材質（形状2選定時） Materials (when selecting 2 of shape)

番号 Item No.

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩


フランジ Flanges




フロート Float


エンドプレート End plate


ナット Nuts

ゴム/スプリングストッパー Rubber/Spring Stoppers

材質 Materials

PVC

SUS304/FPM/PTFE

NBR

SUS304/SUS316

SUS304/Ti

耐熱ガラス/硬質ガラス Heat-resistant glass/ Hard glass

SUS304

SUS304

SUS304

FPM/SUS304

◆FM-NF type（形状の1　材質SUS304）　 ( for 1 of shape, material of SUS304)

◆FM-NF type（形状の2　材質PVC）　 ( for 2 of shape, material of PVC)

10

15

20

25

32

40

50

65

　　　　NL/min 2～20 3～30 10～100 20～200 30～300

50～500 100～1000100～1000 100～1500100～1500 200～2000200～2500 300～3000300～3500 400～4000

L d φC φD n-φh

330

330

380

380

470

470

15A

20A

10A

25A

32A

40A

50A

65A

70

75

65

90

100

105

120

140

95

100

90

125

135

140

155

175

4-15

4-19

4-19

4-19

4-19

4-19

備考 Remarks

●FM-NF型（材質SUS304選定時） ●FM-NF type, when selecting material of SUS304.

●FM-NF型（フランジ材質PVC選定時） ●FM-NF type, when selecting PVC of flange material.

■材質（形状1選定時）Materials (when selecting 1 of shape)

番号 Item No.

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩


フランジ Flanges

エンドプレート End plate



ガイトポール Guiding pole

フロート Float



ナット Nuts


材質 Mtl.

SUS304

SUS304

NBR

SUS304/FPM/PTFE

SUS304/SUS316

SUS304/Ti

耐熱ガラス/硬質ガラス Heat-resistant glass/ Hard glass

SUS304

SUS304

FPM/SUS304

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩ ⑩

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨




使用環境温度 Ambient operating temperature





G Gas

マスフロー

コントローラ

マスフロー

フローメータ

サーモフロー

フロー

チェッカー

www.tofco.jp

33

ＯＵＴ

ＩＮ

φCd

φD

n-φｈ n-φｈ

ＯＵＴ

L

ＩＮ

φD

φCd

L

--- - - -

-- - - - -


BY-OM Series■特長 Features

By-flow

★中流量から大流量までシリーズ化。 ★耐久性に優れています。 ★分流式構造のため、本体を配管から取り外さなくても指示部の保守が可能。 ★流れ方向を自由に選定できます。 ★Ranging from middle amount of flow up to a large one in series.★Excellent in durability.★Part of indicator can be maintained without removing meter boy from piping due to flow

dividing structure.★Selection can be freely made on flow direction.


BY OM 15 F G R 1 B 200 1atm/20℃

OMBY規格 Std.

ガス Gas

形状 Shape

0

流体名 Fluids

流量単位 Units

MAX流量 Max flow


オプション Opt.

VBS

フランジ Flange

流れ方向 Flow direction

材質 Mtl.

FPM V

BS 304

MAX

B C E F Z

1 2 3 4 5 6 7 9

左→右 Left →Right

右→左 Right→Left

下→上 Down→Up

上→下 Up→Down

標準 Standard


フランジ接続タイプのみ表示します。Rcネジの場合は表示しません。 Shows flange connecting type only. No need to show, if it is Rc thread.

R L U D

0 9

F

規格 Std.

15 20 25 32 40 50 65


～200NL/min ～500NL/min ～1.2Nm3/min

～2Nm3/min

～3Nm3/min ～5Nm3/min

フランジ接続タイプ Flange connection

15A 20A 25A 32A 40A 50A 65A

Rc接続タイプ Rc connection

Rc 1/2 3/4 1 11/4 11/2 2 －


ストップバルブ付 With stop valve

BSBM SUS304/SCS13

MAX流量をご記入下さい。 Shows here max. flowrate.　＊2設計圧力・温度を示します Shows designed pres./temp.　＊31atm/20℃

＊1：特殊項目に付いては、型式末尾に順番に明記下さい。詳細は弊社にお問合せ下さい。＊2：右の測定範囲を参照下さい。＊3：標準は圧力、温度が1atm/20℃です。それ以外のものについ　てはご相談下さい。

NL/min Nm3/min SL/min Sm3/min

特殊 For specif. unit　＊1AIR N2 O2 CO2 Ar He

C3H8(プロパン）(Propane)



＊1:For specif. items specify them at end of Type selection in order. For details, consult us with your specification.

＊2:Refer to a table of measuring range right.＊3:Standerd temperature and pressure are at 1atm and 20℃. For any other

specifucations, consult us with your specificatoins.

■原理・特長 Principle/Featuresバイフロー（分流式流量指示計）は、差圧式流量計の流量指示部を分流による流量指示にしたもので、オリフィスの絞り機構を利用したものです。 ①差圧の制約を受けません。（低い差圧の測定も可能です。） ②目盛管の掃除および破損の場合の取り替えに、主流管を止める必要がありません。（バルブ選定時のみ）

③目盛範囲は、1（最小流量）：5（最大流量）になります。

Byflow (Flow dividing indicator) is a flowmeter which indicates the flowrate in terms of the flow indi-cating part of differential pressure type flowmeter and employs a throttle mechanism of orifice.①Restrictions are not placed on differential pressure.(Low differential pressure can be also meas-

ured).②No need to stop flowing in mainstream pipe at time of cleaning and replacing graduated tube with

new one when damaged (Only when selected the valve).③Scale ranges is five(max flowrate) to one(Minimum flowrate).


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34

■流量および規格寸法 Flow ranges and standard dimensions


規格 Std


40～200

100～500

0.2～1

0.3～1.2

0.2～1

0.3～1.2

0.4～2

0.4～2

0.6～3

0.6～3

1～5

15

20

25

32

40

50

65

d

1/2

3/4

1

11/4

11/2

2

L

80

90

100

ー

B

85

89

91

98

D

48

60

65

80

d

15A

20A

25A

32A

40A

50A

65A

φD

95

100

125

135

140

155

175

φC

70

75

90

100

105

120

140

n-φh

4-15

4-15

4-19

4-19

4-19

4-19

4-19

B

133

138

136

142

151

寸法（mm） Dimensions(mm)

Rc接続 Rc connection フランジ接続 Flange connection

＊測定範囲はAIR換算 1atm 20℃{OMPa（G）}条件の流量です。＊上記の流量以外に付いては、ご相談下さい。＊Measuring range shown above are ones equivalent to air at 1 atm/20℃. ＊Consult us as to any flowrate other than ones as shown above.

■材質 Materials

番号 Item No.

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦


カバー Cover

フロート Float


パッキング Packing


フランジ Flange

オリフィス Orifice

材質 Mtl.

PMMA

SUS304/Ti SUS304/Ti

耐熱ガラス/硬質ガラス Heat-resistant glass/Hard glass

NBR

BSBM/SUS304

SUS304/SCS13

SUS304

摘要 Remarks

BSBM（メッキ）（Plating）

JIS10K規格 Std: JIS10K

◆BY-OM type（Rc接続タイプ）（for Rc connection） ◆BY-OM type（フランジ接続タイプ）（for flange connection）

◆BY-OM type（ストップバルブ付タイプ）（with stop valve）

NL/min

Nm3/min

B＋45

ストップバルブ Stop valve

⑥ ⑦

① ②

③ ④

⑤ ⑥ ⑦

OUT IN

φDφC d

n-φh

163

135

27.5

140 B

5036

⑥ ⑦

⑥ ⑦

OUT IN

φD

163

135

27.5

LB

36 50

① ② ③ ④ ⑤

Rcd

B寸法は45mm長くなります。 Dimension B extends to 45mm long.

■配管取付時の注意事項 Precaution in making up pipe①計測精度を上げるため、配管は、IN側に10D（口径の10倍）、OUT側に5D以上の直管部を設けて下さい。

②機器を正常に作動させるため、IN側にストレーナを取り付けることをお勧めします。 ③必ず流体が管内を充満するようにして下さい。 ④ストップバルブつきの場合は、バルブを全開にして下さい。 ①Set up the part of straight pipe more than 5D at outlet and 10D (ten times the pipe size) at inlet in order

to upgrade flow measuring accuracy. ②In order to operate properly it is recommended to set up a strainer at inlet.③Always keep inside of tube filled fully with fluid.④Fully open valve, if it is furnished with stop valve.

流量精度 Flow accuracy 使用最高圧力 Max operating pressure



■仕様 Specifications±5％ at FS 0.75MPa（G） MAX 35℃


BY-OM型流量指示計 Flowmeter typed BY-OM

上流側直管部 Straight pipe located upstream

10D以上 10D or more

下流側直管部 Straight pipe located downstream

直管部 Part of straight pipe

5D以上 5D or more

G Gas

マスフロー

コントローラ

マスフロー

フローメータ

サーモフロー

フロー

チェッカー

www.tofco.jp

35

--- - -

-- - - -


＊1：特殊項目に付いては、型式末尾に順番に明記下さい。詳細は弊社にお問合せ下さい。＊2：測定範囲を参照下さい。＊3：圧力、温度が1atm/20℃以外のものに付いては、巻末の技術資料を参照下さい。＊4：ライトON 及 DC12V仕様も製作可 ※測定範囲はAIR換算 1atm/20℃{0MPa（G）}条件の流量です。＊1: For specif. items specify them at end of Type selection in order. For details, consult us with your specification.＊2: Refer to a table of measuring range.＊3: Refer to technical information at the end of this catalog, if applying any pressure and temperature other than 1 atm and 20℃. ＊4: Specifications on photosensor formed Lihgit ON and 12VDC are also available on request.※Measuring range shown above are ones equivalent to air at 1 atm/20℃

FC-C18 Series■特長 Features

Flow Checker

★量産タイプ。 ★短納期。低価格。 ★アクリルボディの採用。コンパクト、シンプル、クリーン。 ★光電センサー付対応可 ★Mass-produced type★Quick delivery and offering at a low price.★Employing acrylic body enabled to design compact, simple and clean.★A type with photosensor is also avaiable.


CFC 18 G 2 B 10 1atm/20℃

CFC規格 Std.

ガス Gas

1

形状 Shape

流体名 Fluids

流量単位 Units

MAX流量 Max flow



FPM

FPM

PD1


光電センサーダークON DC24V±10％　＊4

With photosensor formed Dark ON at 24VDC±10%



B

Z

NL/min


1

2

9

AIR

N2


0

1

9




G 気体用である事を示します。 Shows to be used for gas.

規格 Std.

18


0.4～5NL/min

1～10NL/min


Rc 1/8

材質 Mtl.

SUS304

樹脂（PMMA）製品については、薬品の混入使用はご遠慮ください。 With respect to plastic product（PMMA）, please refrain from the use of mixing of chemicals.Caution


www.tofco.jp

36







±5％ at FS

0.4MPa（G）

MAX55℃

0～55℃（結露なきこと）(No dewing)


①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧


ボディ Body

カバー Cover

フロート Stopper


ニードルシリンダー Needle cylinder

ハンドル Handle

スプリングケース Spring case


材質 Mtl.

PMMA

PMMA

SUS304/ガラス/窒化珪素/アルミナ

SUS304/Glass/Silicon nitride/Alumina

PE

SUS304

PP

POM

SUS304

摘要 Remarks

クリアー Clear

クリアー Clear

摘要 Remarks番号 Item No.

⑨

⑩

⑪

⑫

⑬

⑭

⑮

⑯

⑰

⑱


キャップ Cap

ニードルオリフィス Needle orifice

Oリング O-ring

アダプタ Adapter

インサートナット Inserted nut

光電センサー（投光側） Photosensor(Transmitting side)

光電センサー（受光側） Photosensor(Receiving side)

センサー固定ネジ Sensor setscrew

ブラケット Bracket

ニードルキャップ Needle caps

材質 Mtl.

SUS304

PPS

NBR

SUS304

BSBM

PP等 PP, etc.

PP等 PP, etc.

SUS304

ABS

SUS304

電源 Power source

制御出力

Controlling capacity


■光電センサー仕様 Specifications on photosensorDC24 ±10％ 24VDC ±10%

NPNオープンコレクタ（シンク電流80mA（DC30V）MAX）

ダークオンNPN Open collector

(Sink current: 80mA(30VDC) at max) Dark ON

2m



◆FC-C18 type（センサー付）バルブ付　（with sensor）and needle valve

◆FC-C18 type（センサーなし）バルブなし　（with no sensor）and no needle valve

ＯＰＥＮ

2-φ4

2-φ15

2-φ15 2-φ4

(2000)

黒 BLACK；ＯＵＴＰＵＴ茶 BROWN；＋ＤＣ２４Ｖ

青 BLUE ；０Ｖ

茶 BROWN；＋ＤＣ２４Ｖ

青 BLUE ；０Ｖ

16

8452

10.5

63

32

14

(300)

25 12MAX34.522

ＯＵＴ

2-M3 深さ55 deep

ＩＮ

6121

32.5

103

17

9.5

9.5

84

感度ボリウム Sensitivity volume

(2000)

268.5

2-Rc1/8

10.5

14

63 84

①

② ③

④

⑤

⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪

⑬

⑭

⑮

⑯

⑫

⑰

103

⑱

2-M3 深さ55 deep

⑨ ⑪

G Gas

マスフロー

コントローラ

マスフロー

フローメータ

サーモフロー

フロー

チェッカー

www.tofco.jp

37

8.5 25

22

12

ＯＵＴ

ＩＮ

9.5

84

① ② ③

④

2-Rc1/8

⑫

⑬

--- - -

-- - - -


＊1：特殊項目に付いては、型式末尾に順番に明記下さい。詳細は弊社にお問合せ下さい。＊2：測定範囲を参照下さい。＊3：圧力、温度が1atm/20℃以外のものに付いては、巻末の技術資料を参照下さい。＊測定範囲はAIR換算 1atm/20℃{0MPa（G）}条件の流量です。＊スイッチ設定範囲は、FS流量の約20～80％が使用範囲です。ただし、個々の目盛や接点方法等により使用範囲は異なります。＊1: For specif. items specify them at end of Type selection in order. For details, consult us with your specification.＊2:Refer to a table of measuring range.＊3:Refer to technical information at the end of this catalog, if applying any pressure and temperature other than 1 atm and 20℃.＊Measuring range shown above are ones equivalent to air at 1 atm/20℃.＊Set point for contact range shall be within 20%~80% of FS. However, it varies depending on a scale and contact method of flowmeter.

FC-C21Series■特長 Features

Flow Checker

★量産タイプ。 ★短納期。低価格。 ★アクリルボディの採用。コンパクト、シンプル、クリーン。 ★Mass-produced type★Quick delivery and offering at a low price.★Employing acrylic body enabled to design compact, simple and clean.


CFC 21 G 2 2 B 50 1atm/20℃

CFC規格 Std.

ガス Gas

形状2 Shape 2

1

形状1 Shape 1

流体名 Fluids

流量単位 Units

MAX流量 Max flow



FPM




B

Z

NL/min


1

2

9

AIR

N2


0

1

3

9

ニードルバルブ無し（下→上） With no needle valve(Bottom→Top)

下側ニードルバルブ付（下後→上後） With needle valve at lower side(Behind bottom→Behind top)

ニードルバルブ無し（下後→上後） With no needle valve(Behind bottom→Behind top)


0

1

2

A

B

C

D

9

スイッチ無し With no reed switch

リードスイッチA接点 With reed switch of Contact A

リードスイッチB接点 With reed switch of Contact B

ホールICスイッチ NPN出力A接点 Hall IC switch of NPN output contact A

ホールICスイッチ NPN出力B接点 Hall IC switch of NPN output contact B

ホールICスイッチ PNP出力A接点 Hall IC switch of PNP output contact A

ホールICスイッチ PNP出力B接点 Hall IC switch of PNP output contact B



規格 Std.

21


4～30NL/min

6～50NL/min


Rc 1/8

材質 Mtl

SUS304

樹脂（PMMA）製品については、薬品の混入使用はご遠慮ください。 With respect to plastic product (PMMA), avoid mixing chemicals into the fluid.Caution


www.tofco.jp

38



①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩

⑪

⑫

⑬



フロート Float

ボディー Body



ニードルシリンダー Needle cylinder

キャップ Cap

Oリング O-ring


インサート Insert



ホールICスイッチ Hall IC switch

材質 Mtl.

SUS304

SUS304

PMMA

SUS304

SUS304

SUS304

SUS304

NBR

SUS304

BSBM

フェノール樹脂 Phenol resin

SUS303/他 SUS303, etc

POM他 POM, etc

摘要 Remarks

◆FC-C21type（リードスイッチ付）バルブ無し　（with reed swith） with no needle valve

◆FC-C21type（スイッチ無し）バルブ付　（with no swith） with needle valve

◆ホールICスイッチ Hall IC switch



接点方法 Contact forms

接点容量 Contact capacity


A接点 Contact A

B接点 Contact B

DC 0～24V

MAX 0.2A

50cm


消費電流 Power consumption

出力 Output


出力形態 Output form

NPN出力-A接点 NPN output contact A

NPN出力-B接点 NPN output contact B

PNP出力-A接点 PNP output contact A

PNP出力-B接点 PNP output contact B

DC＋12～24V

20mA以下 Less than 20mA

オープンドレイン Open drain

耐電圧 Withstand voltage Max 30V

駆動電流100mA以下 Driving current Less than 100mA

2m

■仕様 Specifications流量精度 Flow accuracy




±5％ at FS FS±5%

0.4MPa（G）

MAX55℃


ホールICスイッチ Hall IC switch


2-φ42-φ15

2-Rc1/8IN

OUT

2-M3 深さ4.54.5 deep

2-φ4

2-Rc1/8

φ14

12MAX30 25

22

9.5

9.5

846310.5

103

22

25 (28)

14

10.5

63 84

2-R7.5

14

15 63

161

2063

20

33

103

OPEN

2-M3 深さ4.54.5 deep

①

②

③

④

①

⑩

②

③

④

⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨

⑪

⑫

⑧ ⑨

⑩

IN

OUT

G Gas

マスフロー

コントローラ

マスフロー

フローメータ

サーモフロー

フロー

チェッカー

www.tofco.jp

39

青 Blue（－）

茶 Brown（＋）

※センサーより上にフロートがある時に電源が切れた場合、出力動作が反転しますのでフロートを最下位（0L/min）に戻し、再度電源を入れて下さい。

参考：瞬間停止対策時間：30msまで ※Because output operation reverses, return the float to the undermost position (0 L/min)

and turn on the power again should the float be located above the sensor and the power be turned off.

For reference : Countermeasure time taken for instantaneous stop:Up to 30 ms

オレンジ Orenge : ＋DC12～24V グレー Gray : GND ホワイト White : OUT PUT

5（2000）（28）

⑬

FC CX G30- - ----- FPM1atm/20℃ 304 0121 B 300


＊1：特殊項目に付いては、型式末尾に順番に明記下さい。詳細は弊社にお問合せ下さい。＊2：測定範囲を参照下さい。＊3：圧力、温度が1atm/20℃以外のものに付いては、巻末の技術資料を参照下さい。 ※測定範囲はAIR換算 1atm/20℃{0MPa（G）}条件の流量です。＊1: For specif. items specify them at end of Type selection in order. For details, consult us with your specification.＊2: Refer to a table of Measuring range.＊3: Refer to technical information at the end of this catalog, if applying any pressure and temperature other than 1 atm and 20℃.※Measuring range shown above are ones equivalent to air at 1 atm/20℃.

FC-CX30 Series■特長 Features

Flow Checker

★量産タイプ。 ★短納期。低価格。 ★アクリルボディの採用。コンパクト、シンプル、クリーン。 ★耐圧に優れています。 ★Mass-produced type.★Quick delivery and offering at a low price.★Employing acrylic body enabled to design compact, simple and clean.★Excellent in with stand pressure.


FC CX- - - --- -ガス Gas


形状 Shape

規格 Std.

流体名 Fluids

MAX流量 Max flow

流量単位 Units



材質 Mtl.



MAX

01

02

BS

304


B

Z

NL/min


1

2

9

AIR

N2


0

1

9




G 気体用である事を示します。 Shows to be used for gas.

規格 Std.

30


5～60NL/min

10～100NL/min

20～200NL/min

40～300NL/min


Rc1/4, Rc3/8

Rc 1/4

Rc 3/8

樹脂（PMMA）製品については、薬品の混入使用はご遠慮ください。 With respect to plastic product (PMMA), please refrain from the use of mixing of chemicals.Caution

BSBM（メッキ）(Plating)

SUS304


www.tofco.jp

44







±5％ at FS

0.5MPa（G）

MAX 55℃


＊耐圧・漏洩試験：3.0MPa（G）にて製作しています。使用圧力が0.5MPa（G）以上の場合はご相談願います。＊Withstand pressure and leakage tests: Manaufactured at 3.0MPa(G) If the operating pressure is more than 0.5MPa(G), consult us with your specifications.


①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩

⑪


キャップ Caps

Oリング O-rings

ボディー Body

ストッパー Stopper

スケールプレート Scale plate


フロート Float


アダプタ Adapter

インサート Inserted

ニードルキャップ Needle Caps

材質 Mtl.

PPS

NBR

PMMA

SUS304

PMMA

SUS316

SUS316

BSBM/SUS304

BSBM/SUS304

BSBM

BSBM/SUS304

摘要 Remarks

オリフィス Orifice：PEEK


2-φ5

2-φ24

2-M4 深さ5 5 deep

2-Rc1/4 or 3/8

3620

76

24.5

76

(MAX31) 203636

125

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑩

⑨


2-φ5

2-φ24

3620

76

2-M4 深さ5 5 deep

2-Rc1/4 or 3/8①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑪

⑩

⑨

G Gas

マスフロー

コントローラ

マスフロー

フローメータ

サーモフロー

フロー

チェッカー

www.tofco.jp

45

◆FC-CX30 type（バルブ無し）　（with no needle valve）

◆FC-CX30 type（バルブ付）　（with needle valve）

5

24.5

76

203636

125

- --- - - -

-- - - - - -


＊1：特殊項目については、型式末尾に順番に明記下さい。詳細は弊社にお問合せ下さい。＊2：右の測定範囲を参照下さい。＊3：圧力、温度が1atm/20℃以外のものに付いては、巻末の技術資料を参照下さい。＊1: For specif. items specify them at end of Type selection in order. For details, consult us with your specification.＊2: Refer to a table of measuring range right.＊3: Refer to technical information at the end of this catalog, if applying any pressure and temperature other than 1 atm and 20℃.

FC-S Series■特長 Features

Flow Checker

★小型で構造が簡単です。 ★低価格、短納期。 ★Small in size and simply constructed★Quick delivery and offering at a low price.


SFC 26 G 2 B 20 1atm/20℃

SFC規格 Std.

ガス Gas

0

形状 Shape

流体名 Fluids

流量単位 Units



FPM01BS

MAX流量 Max flow


材質 Mtl.



Rc1/4

1/2

3/4

1

01

03

04

05

規格 Std.

26

26,42

42,65

65

BS

304


SUS304


MAX MAX流量をご記入下さい。 Shows here max. flowrate.　＊2A

B

D

E

Z

NmL/min

NL/min

SmL/min

SL/min


1

2

3

4

5

6

7

9

AIR

N2

O2

CO2

Ar

He



9

センサー無し With no sensor



規格 Std.

26

42

65


～20NL/min

～300NL/min

～2000NL/min


FPM

www.tofco.jp

46







±5％ at FS FS±5%

0.5MPa（G）

MAX60℃


規格 Std.

口径（Rc d） Pipe size (Rc d)


＊測定範囲はAIR換算 1atm/20℃{OMPa（G）}条件の流量です。＊Measuring range shown above are ones equivalent to air at 1 atm/20℃.

◆S26 type ◆S42 type ◆S65 type

26

42

1/2

3/4

1/4

1/2

3/4

1

165

30～300NmL/min 40～500

0.1～1NL/min 0.2～2 0.4～5 1～10 1～15 2～203～30 4～50 10～100 10～150 20～200 30～30040～500 60～700 100～1000 100～1500 200～2000


①

②

③

④

⑤

⑥



ケース Case


フロート Float



材質 Mtl.

BSBM/SUS304

BSBM

耐熱ガラス

Heat-resistant glass

ガラス/ルビー/SUS304 Glass/Ruby/SUS304

PTFE

NBR

摘要 Remarks

BSBM メッキ BSBM plating

メッキ plating


①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩





フロート Float


ケース Case




六角ボルト Hex bolts

材質 Mtl.

BSBM/SUS304

NBR

SUS316

SUS304/Ti

耐熱ガラス


AI合金 Al alloy

SUS316

PMMA

FPM

SUS304

摘要 Remarks


ホワイト White


①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧





フロート Float


ケース Case



材質 Mtl.

SUS304

BSBM/SCS14

NBR

SUS316

SUS304/Ti

耐熱ガラス


BSBM

BSBM/SUS304

FPM

摘要 Remarks


メッキ plating

φ26

26150

2-Rcd

①

②

③

④

⑤ ⑥

INOUT

Rc 1/2 ： 30

Rc 3/4 ： 35

2-Rc d

φ40

150

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑧ ⑨

⑩

G Gas

マスフロー

コントローラ

マスフロー

フローメータ

サーモフロー

フロー

チェッカー

www.tofco.jp

47

◆S65 type


Rc3/4

他 etc

32.5

155

（深さ７） 4-M4Ｏ

ＵＴ 2-Rc d

ＩＮ

220

35.532.5

68

65

C3

4-φ5

5046

151

155

７deep

--- - - - -

-- - - - - -


＊1：特殊項目に付いては、型式末尾に順番に明記下さい。詳細は弊社にお問合せ下さい。＊2：右の測定範囲を参照下さい。＊3：圧力、温度が１atm/20℃以外のものに付いては、巻末の技術資料を参照下さい。＊1: For specif. items specify them at end of Type selection in order. For details, consult us with your specification.＊2: Refer to a table of measuring range right.＊3: Refer to technical information at the end of this catalog, if applying any pressure and temperature other than 1 atm and 20℃.

FC-SX Series■特長 Features

Flow Checker

★小型で構造が簡単です。 ★短納期。 ★全機種スイッチ付です。電気信号の発信ができます。 ★流体の流れが直接目視できます。 ★Small in size and simply constructed★A quick delivery★All the types are with switch and can produce electrical signals★Direct Flow visibility


SXFC 26 G 2 B 20 1atm/20℃

SXFC規格 Std.

ガス Gas

1

形状 Shape

流体名 Fluids

流量単位 Units

MAX流量 Max flow



BS 01 FPM


材質 Mtl.

FPM

MAX

01

03

04

05

接続口径Pipe size

Rc 1/4

1/2

3/4

1


～30NL/min

～500NL/min

～2000NL/min

NmL/min

NL/min

SmL/min

SL/min



規格Std.

26

26、42

42、65

65

設計圧力・温度を示します Shows designed pres./temp.　＊3


１atm/20℃


SUS304

BS

304

A

B

D

E

Z1

2

3

4

5

6

7

9

AIR

N2

O2

CO2

Ar

He


特殊 For specif. fluid　＊1リードスイッチA接点 Reed switch of contact A

リードスイッチB接点 Reed switch of contact B


1

2

9

気体用である事を示します Shows to be used for gas.G規格 Std.

26

42

65


www.tofco.jp

48



規格 Std.

26

42

65

測定範囲

Measuring range

1～10NL/min

1～15NL/min

2～20NL/min

4～30NL/min

4～50NL/min

10～100NL/min

20～200NL/min

40～300NL/min

40～400NL/min

40～500NL/min

100～700NL/min

100～1000NL/min

200～1500NL/min

200～2000NL/min

＊測定範囲はAIR換算 1atm/20℃{OMPa（G）}条件の流量です。＊スイッチ設定範囲は、FS流量の約20～80％が使用範囲です。ただし、個々の目盛や接点方法等により使用範囲は異なります。＊Measuring range shown above are ones equivalent to air at 1 atm/20℃.＊Set point for contact range shall be within 20%~80% of FS. However, it varies depending on a scale and contact method of flowmeter.

■材質 Materials

番号 Item No.

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩

⑪

⑫

⑬

⑭

⑮


ケース Case

フロート Float







スイッチカラー Switch collar

ポインター Pointer

グランドナット Gland nut

スイッチロックナット Switch locknut


六角ボルト Hex head bolts


材質 Mtl.

AI

SUS304/Ti


SUS304

NBR

BSBM/SUS304

BSBM/SUS304

BSBM 他 BSBM, etc

BSBM

燐青銅 Phosphor bronze

BSBM

BSBM

ベークライト Bakelite

SUS304

FPM/SUS304

摘要 Remarks◆SX26 type ◆SX42 type ◆SX65 type

◆SX26 type ◆SX42 type ◆SX65 type

口径 Pipe size（Rc d）

1/4

1/2

1/2

3/4

3/4　1

1

流量精度

Flow accuracy

使用最高圧力

Max operating pressure

使用流体温度


使用環境温度

Ambient operating temperature

接点方法

Contact forms

接点容量

Contact capacity


±5％ at FS FS±5%

0.5MPa（G）

Max60℃


A接点 Contact A

B接点 Contact B

DC 0～24V MAX 0.2A 2m

Mg密封 Mg sealed

AWG 19

等分目盛付 With uniform scale


⑫ ⑬

⑧

⑪

⑫ ⑫

⑬

⑪ ⑪

⑩ ⑨

⑧ ⑩ ⑨

⑧ ⑩ ⑨

⑦

⑮

⑮ ⑮

⑤ ⑥

⑦ ⑥

④

③ ②

①

⑤

④

③

②

①

⑤

④

③

②

①

⑦

⑥

⑭

⑬

茶（＋） Brown

青（－） Blue

茶（＋） Brown

青（－） Blue

茶（＋） Brown

青（－） Blue

G Gas

マスフロー

コントローラ

マスフロー

フローメータ

サーモフロー

フロー

チェッカー

www.tofco.jp

49

ＯＵＴ

ＩＮ

ＩＮ

ＯＵＴ

ＯＵＴ

ＩＮ

C3

７deep4-M4深さ7

32.5

155

(32.5)

25100

(25)

2-Rc d

Rc1/2RC3/4 A(35)

A(30)

150

47

34

2-φ6

2-M4 深さ6６deep

６deep

A(29)A(28)

SUS304/316BSBM

(40)

2-Rc d

41

4-φ5

50

46

151

155

2-Rc d65

35.568

32.5

220

(40)

深さ６

510090

23.5 33

2-M5

56.5

A

(40)

A

18

36

2-φ5

(25)

100

25

914.5

100

27

150

23

Documents

Thermoflow THS Series Flowmeter for Gas.pdf · 2009-11-16 · Thermoflow ★接ガス部に可動部が無いので構造がシンプルでコンパクト。 ★レンジアビリティーが広い。