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G. Goch, S. Simon1 G. Goch und S. Simon Modellierung kohärenter Streulicht- Messprozesse für deterministische Nanostrukturen und stochastische Oberflächendefekte
Documents G. Goch, S. Simon1 G. Goch und S. Simon Modellierung kohärenter Streulicht- Messprozesse für deterministische Nanostrukturen und stochastische Oberflächendefekte