20060801 SMED CETPM 01 · SMED/ Best PM? Wenn man mehrere verschiedene Produkte in einer Fertigung herstellt, dann ist es u.a. notwendig Maschinen umzustellen beim Wechsel von ProduktA

Best PM: Potenziale in der standardisierten Wartung

Lothar Mergili/ Frank Ziegenhorn

August 2006

8/18/2006 AMD Saxony LLC & Co. KG2

Best PM ist der Unterschied zwischen einem unerwartetenReifenwechsel von Ihnen an Ihrem Wagen am Straßenrand

mit plattem Ersatzreifen

zu einem

Geplantem Reifenwechsel in der Formel 1 in der Boxengassewährend eines offiziellen Rennens durch 8 Mechaniker

Was ist Best PM?


Was ist der Unterschied?

• Die sind vorbereitet.• Die haben mehr geübt.• Die sind spezialisiert.• Die haben den Vorgang designed und geplant.• Die haben den Vorgang immer wieder optimiert.• Die machen weniger Handgriffe für die gleiche Tätigkeit.• Die arbeiten parallel.• Die machen es immer gleich.• Sie haben nicht mehr Wissen.• Sie sind nicht besser aber sie machen es besser.• Die tun das mit Überzeugung und Priorität.• Sie wollen nicht alle Rennfahrer werden aber entscheiden

bedeutend mit ob der Fahrer gewinnt oder nicht.


Was war der Auslöser für SMED/ Best PM?

Wenn man mehrere verschiedene Produkte in einer Fertigung herstellt, dann ist es u.a. notwendig Maschinen umzustellen beim Wechsel von Produkt A nach Produkt B.

Das Umstellen von einer Produktvariante zu einer anderen kostet Zeit, in der die Maschine nicht produziert. Diese Zeit stellt Verluste dar, die es zu minimieren gilt.

Die alte Industrial Engineering Denkweise im Westen war:

Je länger eine Umrüstung dauert desto mehr eines Produktes sollte man zwischen einem Produktwechsel fertigen. Das führt jedoch zu

• Nicht auftragsbezogener Fertigung (nicht nach Kundenbestellung)� lange Lieferzeiten, niedrige Kundenzufriedenheit

• Hohen Beständen zwischen Fertigungsschritten � Verluste durch gebundene Halbfertigzeuge

• Kein JIT (Just In Time) möglich.


Eine neue (provokante) Denkweise...

Dr. Shigeo Shingo beschäftigte sich sehr früh mit dieser Problematik und stellte zwei provokante Leitgedanken für seine Arbeit auf :

Die einzige optimale Losgröße eines zu fertigen Produktes kann und soll (ideal) immer nur 1 sein !

• Nur damit kann immer genau die vom Kunden angeforderte Menge gefertigt werden, die Lieferzeiten sind kurz und bekannt und es befindet sich immer nur das in der Fertigung, für das es auch einen Auftrag gibt � niedrige Bestände und weniger Verluste durch Kapitalbindung.

Jede Umrüstung einer Maschine von Produkt A nach Produkt B lässt sich im einstelligen Minutenbereich realisieren.

• Damit ist ausschließlich die Arbeitszeit gemeint, in der die Maschine durch die Umstellung nicht fähig ist zu produzieren. Nicht eingerechnet die Zeit, zur Vor-bzw. Nachbereitung der Umstellung

• Nur solche kurzen Umrüstzeiten erlauben es Losgrößen von 1 zu rechtfertigen und die Kosten immer noch niedrig zu halten.


SMED: Single Minute Exchange of Dies

Shingo hat in den Jahrzehnten seines Wirkens nachhaltig und wiederholt immer wieder bewiesen, dass dies möglich ist, trotz aller Skeptiker.

Beispiel :

Reduzierung der Umrüstzeit bei Blechpressen in der Automobilindustrie von 48 Stunden auf weniger als 4 Minuten.


Wichtige Definitionen :

• Internes Rüsten:

– Arbeiten, die durchgeführt werden während die Maschine nicht produktionsfähig ist. Zeit zwischen letztem produzierten guten Teil von Produkt A bis das erste guteTeil von Produkt B an der Maschine produziert wird. �interne Rüstzeit.

• Externes Rüsten:

– Arbeiten, die den internen Rüstzeiten vor- bzw. nachgelagert sind und zu denen noch oder wieder produziert wird, aber die notwendig sind und sachlich zum Umrüstvorgang zählen. � externe Rüstzeit.


Entwicklungsstufen bei Best PM

Vor Best PMStufe 1

Separierung von internen und externen Zeiten

Stufe 2KonvertierungVon internen zuExternen Zeiten

Stufe 3Optimierung

aller Arbeitsschritte

Intern

Intern

Intern

Extern

Extern

Intern

Extern

Intern

Extern

Extern

Intern

Extern


So What ?

Wir rüsten keine Maschinen zwischen Produkten um !


Best PM in der Halbleiterindustrie

• Best PM/ SMED findet seine klassische Anwendung im Maschinenbau und im Besonderen im Automobilbau, wobei Toyota hier führend ist.

• Die Grundelemente und Vorgehensweisen von Best PM/ SMED sind in ihrer Natur sehr einfach und benötigen keine größeren Startinvestitionen.

• Die Herausforderung liegt in der Umsetzung der Methode wegen derwirklich notwendigen Fokussierung auf wirklich die kleinsten Dinge (z.B. bis zur Reduzierung der Gewindeumgänge einer verwendeten Schraube).

• Wir halten die Methode für adaptierbar auf unsere PM Prozesse und sehen vergleichbares Potential. Einsparungen zwischen 10% und 80% im Vergleich zu heutigen PM Zeiten sowie eine deutliche Reduzierung der Streuungen nach Standardisierung und Training und damit aucheine Qualitätserhöhung der PM‘s.

• Idealerweise können Lieferanten mit einbezogen werden und Verbesserungen in deren Designprozess zurück fließen lassen.

• 5A ist eine gute Vorbereitung und Voraussetzung auf Best PM/ SMED � Vorbereitung der Werkzeuge und Teile in direkter Anlehnung an eine Wartung.


Wozu machen wir das Ganze?

Nur während der Produktion können wir Produkte herstellen, durch die wir unser Einkommen finanzieren.

Außerhalb der Produktion entstehen nur Kosten.

Also sollten wir diese Zeiten so gering wie möglich halten!

D.h., Maschinen, die zur Produktion gebraucht werden aber wegen zu langer (ineffektiver) Wartungszeiten nicht

zur Verfügung stehen sind gleichbedeutend einer Verschwendung. Deshalb müssen wir versuchen, die

Down Zeiten, wie PM oder Qual-Prozesse zu verringern.

Ziele


Erklärung zu Best PM/ SMED

• Einziger wertschöpfender Prozess (neben der Produktentwicklung) ist die Produktion selbst

• Best PM/ SMED konzentriert sich auf die Verringerung von Stillstandszeiten

• Kerngedanke von SMED ist die Aufteilung in „interal“und „external“ Setup

– Internal� alles was gemacht werden kann, wenn die Maschine stillsteht,z.B. Das Herausnehmen der Lose

– External� alles was gemacht werden kann, wenn die Maschine läuft, z.B. Das Eintragen von gemessenen Werten in Excel-Tabellen

– Waste� alles was nicht in die PM oder Qual reingehört, z.B. Der Transport und Organisation von Werkzeugen und Austauschteilen, Umlagerungen oder auch Störungen


Ergebnisse von Best PM/ SMED

• Verringerung des Arbeitsaufwandes/ Personal– effektive Ausnutzung der Rüstzeiten

– effektive Abläufe

• Steigerung der Produktivität an Engpässen

• Senkung des Lagerbestandes– Höhere Umlaufgeschwindigkeit

– Weniger Reserve an Rohstoffen/ Endprodukten nötig

• Senkung von Qualitätsproblemen– Standardisieren der Abläufe

– Weniger Fehler

Steigerung der Produktivität


Beispiele von Verschwendungen

• Wartezeiten• unnötiges Laufen• lange Wege• unnötige Arbeiten (warum machen wir das?)• ungünstig angeordnete Arbeitsmittel• nicht nötige Bewegungen• Suchen• mehrfach etwas in die Hand nehmen• schwer tragen• Gefahrstellen• ungünstige Körperhaltungen ....


Beispiele von Maßnahmen

Beispiel zur Verkürzung von Stillstandszeiten: Klappbügel, statt Schrauben

• Systematische Vorbereitung bevor die Maschine down genommen wird; z.B. kein Suchen nach Ersatzteilen/Werkzeugen nach Beginn der PM

• Z.B. Prozesskits komplett vormontiert zur Verfügung stellen • Kürzen von Schrauben auf die notwendige Länge.• Konstruktive Änderungen für bessere Zugänglichkeit oder schnelleres

Arbeiten, z.B. Schrauben vermeiden: Wechsel von Schrauben, die Werkzeuge benötigen zu Schnellverschlüssen ohne Werkzeugnotwendigkeit.

• Identifizierung von Parallelarbeiten und notwendigen Ressourcen.• Systematische Eliminierung nicht wertschöpfender Tätigkeiten

Quelle: K. Sekine, J. Diesgruber, B. Meister. Produzieren ohne Verschwendung - Der japanische Weg zur schlanken Produktion


Beispiele von Maßnahmen

• Parallel arbeiten, ggf. mit Hilfe von Produktionsmitarbeitern (definierte Arbeitsteilung) und Definition von Arbeitsstandards, Abläufen

• Abläufe anders schachteln (intern � extern)• Wartung externer Geräte (z.B. Chiller, Pumpen, ...) zu anderen

Zeitpunkten durchführen• Prüfen, ob Austausch von Teilen nötig ist ( aus Erfahrungen, wie lange

halten die Teile? oder nach Anregungen vom Supplier / Wartungspersonal)

• Schablone für Einstellungen• Reinigungen extern durchführen; Austauschkits verwenden• Abpumpen, Leaktest: andere Methoden suchen, die den Vorgang

schneller machen (Temperatur, Druck, andere Chemie, etc.)• Wege verkürzen durch Kombination von Arbeiten mit langen Wegen• Einbauteile so konstruieren, dass falsche Einbaulage nicht möglich ist


Ablauf von Best PM/ SMED

Planung und Vorbereitung

Kommunikation (Dokumentation und Visualisierung)

Best PM-Daten-aufnahme

Veränderung

• Veränderungen einführen• Koordinierte Zusammenarbeit

•Ggf. Investitionen, z.B. Schnellspanner, Pumpen statt Messbecher, Wzg.-Wagen, ...

• Standardisieren, durch Manuals, Visualisierungen an der Maschinen und Training der Mitarbeiter

• Abläufe beobachten/Zwischen-ergebnisse

• Erneut Verbesserungs-vorschläge einholen

• „Endergebnisse“ nach gewisser Eingewöhnungszeit messen

X-2 Wochen 4-8 WochenX+ 8 bis

12 Wochen

• Training des Messteams

•Datensammlung• Befragen der Mitarbeiter

• Videotaping des Prozesses

•Messen aller Prozesszeiten

• Bestimmen der Teilschritte

• Vorstellen der Ergebnisse der Messungen

•Vorbereitung des Bereiches (z.B. 5A)

•Abstimmung mit Management

•Vorbereitung (Materialien für WS und vor Ort)

•Workshop: bei Beteiligten Verständnis vermitteln, Abstimmung des Vorgehens, Auswahl der Methoden, Bereich und Verantwortliche bestimmen

• Information der Mitarbeiter •SMED-Spiel (Option)•Organisation der Dokumentation des Ablaufes

Best PM-Analyse

4 Wochen

•Gruppierung der Tätigkeiten in EXTERNAL und INTERNAL

•Verbesserungs-möglichkeitenermitteln: INTERNE Aktivitäten in EXTERNE wandeln

•Vereinfachen von Montageteilen und Befestigungen

•Sammeln von Veränderungs-vorschlägen

•Auf Durchführbar-keit/ Nutzen prüfen

Nach-bereitung

• regelmäßig offene Maßnahmen besprechen und Verbesserungen anregen

•Ergebnisse bei Management und den Mitarbeitern präsentieren

•Formaler Projekt-abschluss

X+ 12 bis15 Wochen


Beispiele

BEST-PM an CVD/PVD Anlagen(CVD=Chemical Vapor Deposition)(PVD=Physical Vapor Deposition)

Thin Films


Twinchambers

Load Lock

Remote Clean

Wafer Sensor

X-fer Chamber

X-fer Roboter

Front End

Gaspanel

BEST-PM an CVD Anlagen


1. Installierte Basis 40 Anlagen mit mehreren Prozesskammern, teilweise dediziert

2. Produktionszeit 365 Tage/Jahr; 24 Stunden

3. Durchschnittliche Verfügbarkeit ca. 85% - 90%

4. Durchschnittliche Auslastung ca. 70% - 80%

5. Geplante PMs/Jahr an allen Anlagen

• jährliche PMs

• halbjährliche PMs

• vierteljährliche PMs (teilw.)

6. Schichtsystem 2 Schichten à 12 Stunden

7. Zur Verfügung stehende Arbeitskräfte 3 – 4 Techniker/Schicht

BEST-PM Schlüsseldaten


BEST-PM an CVD- Anlagen

Situation vor Best-PM

- Downzeit gesamt (vom letzten guten bis zum ersten guten Wafer): 3-7 h

- Kitwechselzeit (vom “down loggen” der Kammer bis zum Starten des Cycle Purge): 30-45 min Dauer Kitwechsel an PCIIe von 04.12.02 - 01.03.03

0

2

4

6

8

10

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00:3

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18:0

0:00

Stunden

Anzahl

Gesamt


Ziele und Erfahrungen aus der Testphase:- Downzeit gesamt: stabil 2-3 Stunden- Kitwechselzeit: 12 min- Zeit zum Erreichen des Burn In Drucks: 45 min

Einsparungspotential:

- Anlagen sind teilweise Fab-Bottleneck, mit einer (von drei) Kammer wird nur noch ein Durchsatz von 70 % erreicht

- bei 650 Kitwechseln im Jahr und einer 30-prozentigen Durchsatzverringerung bestehen die folgenden Einsparpotentiale:- eine Mehrkapazität von 650 – 1.300 Wartungstechniker/ Operater-Stunden

- die Möglichkeit zwischen 7.800 und 15.600 Abscheidungen mehr durchzuführen

BEST-PM an CVD- Anlagen Einsparungspotential


Time for kit change

-2

0

2

4

6

8

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12

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18

2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18

Stunden

Anzahl

Häufigkeit 04.12.02 - 10.03.03 Häufigkeit 01.01.04 - 12.02.04

Before BEST PM

After BEST PM

Histogramm der Dauer von Wartungsarbeiten an Pre Clean Chamber

BEST-PM an CVD Anlagen Datenvergleich vor und nach Projekt


Portions of PM`s by duration from 01.11.03 to 01.07.04

<5,5 hours

37%

5,5 - 6 hours

11%

6 - 10 hours

35%

> 10 hours17%

<5,5 hours

5,5 - 6 hours

6 - 10 hours

> 10 hours

Portions of PM`s by duration from 01.01.03 to 31.12.03

<5,5 hours

29%

5,5 - 6 hours8%

6 - 10 hours41%

> 10 hours

22%

<5,5 hours

5,5 - 6 hours

6 - 10 hours

> 10 hours

von 29 auf 37%

von 8 auf 11%

• diverse Hardware-Veränderungen wurden vorgenommen, z.B. Ersatz verschiedener Schrauben, teilweise Einsatz von Schnappverschlüssen, Verbesserung im Anlagendesign, Kiterstellung

� Etwa 80% der PM‘s werden in weniger als 5.5 std. durchgeführt

BEST-PM an Metallabscheide- KammernErgebnisse


BEST-PM an Metallabscheide- KammernErfahrungen nach Einführung und Training- Datenaufbereitung in Form von Histogramm ist hilfreich

- Videoaufzeichnung einer Wartungsmaßnahme lohnt sich nur bei

Maßnahmendauer zwischen bis max. 2 Std.

- Auswertung von Aufzeichnungen muss immer mit den Durchführenden

geschehen

- bei Hardwareänderungen, nicht zu lange auf den Lieferanten warten

� selbst nach Lösungen suche

- nachhaltiger Erfolg der Maßnahme steht und fällt mit der genauen

Durchführung der festgelegten Maßnahmen,

durch alle Beteiligten

- Nachhaltigkeit durch regelmäßiges

Messen und Auswerten möglich

- Geringe Investitionen können große

Wirkung haben, z.B. Werkzeugkits

Best-PM an Litho Cells

Litho


Litho Cell: Track and Stepper

Zielstellung: Reduktion der PM Dauer um durchschnittlich 20%


Projekt „Litho Best PM“

Vorgehensweise• Vorbereitung: Welche PM muss zuerst optimiert

werden? Vogelperspektive – Betrachtung des PM Regimes

• Schritt 1: Prozessing. und Wartungstechniker bewerten alle Aktionen der PM

• Schritt 2: Hilfsmittel Check• Schritt 3: Reihenfolge der Arbeitschritte optimieren• Schritt 4: Umsetzung in Workstream-Spezifikation/

Training• Schritt 5: Auswertung/ Verankerung in Organisation


Auswertung

Mittlere Dauer einer 28 Tage PM an STP und TRK

0

2

4

6

8

10

12

WW

01_2

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WW

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004

WW

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WW

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WW

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WW

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WW

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WW

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WW

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WW

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WW

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WW

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WW

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WW

45_2

004

[hours]

Kick-Off

ww8

Ist-

Zustand

bewertet

ww10

Vorschlag

erarbeitet

ww21

Vorschlag

umgesetzt

ww25

5,8 Stunden oder 17% Verbesserung7,0 Stunden


Erfahrungen / Ausblick

• Ziel wurde nicht erreicht (17% < 20%)

• BKMs werden noch nicht von allen Schichten gleichermaßen umgesetzt (MSM zuwenig involviert)

• Ein regelmäßiger Review der PM-Arbeitsmittel (SPEC, TSG, testqueues, PM-charts etc.) empfehlenswert (aller 3 Monate)

• Engpass #1 ist Zeitaufwand für Programmieren und EI Entwickler

• weitere Cell-PMs (56 Tage, 336 Tage) müssen optimiert werden

Best-PM 90 Tage-PM an Polisher

CMP/Cu


Ausgangssituation

Ges.-dauer PM Qual Pm-SuspPM01 3689 1759 1744 64PM10 2022 1363 543 50PM90 651 518 38 58PM180 409 353 24,4 13,5PM360 553 456 19 51,2gesamt 7326 4448 2400 237Anteil 100% 60% 32% 3%

Dauer und Schwankungsbreite der Polier-PMs

Scheduled PM ([h], Jul´03 – Feb´04)Streuung der PM-Dauer:

PM 90 10,2 – 29,5 h

PM180 11,5 – 34,7 h

PM360 23,6 – 39,5 h

Aus dem großen Umfang und der hohen Schwankungsbreite der PMs kann auf vorhandenes Verbesserungspotential geschlossen werden!


Zielstellung

• Reduzierung der Down-Zeit an den Polishern bei 90 Tage-PM

• Verringerung des Gesamtaufwandes (Zeit) der PM• Reduzierung der Schwankungsbreite der PM-Dauer

• Ressourcen für möglichen Tooltransfer ins FEOL freisetzen

Toolset: Polishergruppe besteht aus im Bereich Cu-Pol aus 20 Anlagen


Projektteam u. -ablauf

• Teilnehmer/Akteure

4 Wartungstechniker, 1 Equipmentingenieur, 1 Schichtleiter, 1 Moderator

Ablaufschema Projekt “Best PM”

Projekt Start-up

• Methodik klären

• Rahmenbedingungen festlegen

• Ist-Zustand analy-sieren

• Ziel u. Arbeitsplan definieren

• Ideensammlung“Projektliste”

Bearbeitung Projektliste

• Diskussion mögl. Lösungen

• Klärung offener Fragen

• Ggf. kurzfristige Um-setzung und Einführung gefundener Lösungen

• Analyse 90 Tage-PM

• PM-Tracking

• Schwachstellen-analyse

• Ggf. Entwicklung eines optimierten PM-Szenarios

• Verifikation der Lösung “Feldversuch”

Auswertung u. Kommunikation

• Zusammenfassen und Bewertung der Ergebnisse

• Formulierung und Kommunikation BKM


Lösungsansätze

Ansatz• PM auf Bestandteile untersuchen, die aus dem eigentlichen PM-Ablauf

herausgezogen werden können (vor- bzw. nachgelagerte Bearbeitung)

• von einer primär sequentiellen zu einer vorwiegend parallelen Abarbeitung der PM-Blöcke übergehen – CKL entsprechend anpassen

• Einarbeitung technisch-organisatorischer Verbesserungen, um so den Gesamtzeitaufwand der PM zu reduzieren

Ansatz zur Reduzierung der PM-Dauer (schematisch)

Umorganisation

ges. PM Verbesserungen Zeitaufwand für

� ∆ ∆ ∆ ∆

MT1 MT2

1

3 2

4 5

2-MT-PM

PM-Blöcken

techn.-org. Zeitaufwand Herausziehen v.

optimierte

Kategorie Thema Bemerkung Lösungsvorschlag Status

Checklisten/ Workstream

Überprüfung Ckl - chronolog. Reihenfolge, parallele Arbeiten

Ckl. Reviewen, Vorschläge i. Schichten sammeln u. in Tabelle zusammenstellen,

Input der Schichten eingeholt, diskutiert und Änderungen beschlossen

Punkte werden eingearbeitet

Ckl-sinnlose Arbeiten eleminieren s.o.

Umsetzung best. Regeln Toolstatus exakt u. zeitnah loggen

Kommunikation über MSM/STL, Verantwortl.ichkeit aller

PM-Suspend minimieren ditoE10 No-Parts in PM-Übersicht ausweisen

techn. PM Vorbereitung

Absprache m. AMAT u. Teilebereitstellung verbessern ?

Kits für Padconditioner bereitstellen (3 Stk) Kosten klären B: wird umgesetzt, zusätzl. Head ist bestelltein zusätzl. Kit erforderl.

Carriage f. PM360 vorbereiten -bei PM austauschen aus Kostengründen verworfen B: nein

Masterflex Pumpheads vorbereiten, bei PM nur noch wechseln

Thomas fasst Pumpen aus Lager aus und lagert diese im Schrank B: wird umgesetzt, Pumpenkopf vorhanden

sofort lieferbar durch Stores

Kabelbinder zum Befestigen der Schläuche: Schnittstelle manchmal undicht. Festziehen etwas umständlich. Kabelbinder nicht wiederverwendbar.

Kabelbinder durch Edelstahlschellen ersetzen. Dadurch auch Entfall von Montagewerkzeug (Handrad zum Festziehen) => Zeiteinsparung.

Muster/Katalog angefordert (UNEX METALL)

techn. Änderungen Wartungsintervalle strecken Detailabsprache Tilo mit ...Wolfgang V: Tgl. PM durch Cons. Ch. ersetzen?

im Prinzip ja, aber Details

Head-Clamp verwenden Kosten klärenB: vorerst nicht, da Großteil der Padwechsel ohne Abbau der Heads erfolgt

Knebel, Schnappverschlüsse o.ä. anstatt Schrauben an den Toolcover

Festplattenwartung Full-Scan-ToolsAbstimmung m. Ings., Änderungsvorschläge sammeln, Anfrage bei AMAT Installation Disk Keeper - Defrac während Betrieb

Verifiz. Wg. Mögl. SW-Konflikte ->

Auslitern Di- / Chem-Flow im Cleaner - DI streichen? Klärung mit PE (Uwe)

B: Kalibr. Wasser -> Y-PM, Kalibr. Chemie -> H-PM,

siehe CKL update

Fittinge/Adapter zum Auslitern vorbereiten

Kurzfristige Lösung - Spinte ziehen ...SICHERHEIT! Sensor durch Schlüsselschalter manipulieren Frank A. verfolgt Idee weiter

techn. Lösung mittels Schlüsselschalter erarbeiten in Arbeit

Abläufe optimieren Heads zum Padwechsel abbauen o. nicht

Zeit u. Nebeneffekte beider Varianten erfassen, Vorschlag vorbereiten -> Präs. TS-> beide Varianten okay, mit spart Zeit Padwechsel.ppt PP-Präs.

Arbeitsteilung b. PM zw. MT u. WFT, entspr. Skill-Level

Vorschlag erarbeiten - bis 10d-PM durch WFT möglich, entspr. Personalsituation entscheiden

10d-PM wird in C von WFT, sonst von MT durchgeführt -> keine Vereinheitlichung geplant > Excel

Waferflow durch Cleaner nach Mögl. Vor PM prüfen

läßt sich schwierig in CKl einbauen, Konflikt d. Toolstati (Prod vs. PM)

prüfen, ob dies am Beginn der PM-Ckl eingebaut werden kann (während noch letztes Los läuft)

mit Grossi klären

dito, Cleanercheck und DRUCKANZEIGEN

Cleaner 300 sec-Spülung vor PM notwendig Softwareseitg vorgegeben -> AMAT anfragen nein - z.Z. keine Äbnderung möglich

fest installiert -kann nicht verändert werden

in Arbeit Schnellverschluß Head Clamp wg. Pkt. 22 nicht zwingend erforderlichvorerst nicht, da Großteil der Padwechsel ohne Abbau der Heads erfolgt

Flowcontroler statt Masterfelx nicht kurzfr. In Arbeit Torsten, Anwendung f. P3-Chemie vorgesehenAngobot wird eingeholt

Projektliste Maßnahmen

+


Best-PM 90 Tage-PM Polisher

Ergebnisse• Entwicklung eines optimierten 2-Wartungstechniker PM-

Durchlaufplans• Einarbeitung div. techn.-org. Verbesserungen in PM-

Checkliste

parallele

Arbeiten MT 1 Dauer MT 2 Dauer

10010-0020 Öffnen der Checkliste, Prüfen der Medien

besorgt inzwischen Verbrauchsmittel, Werkzeug und Kalibriergeräte

ges.: ges.:

2 0040 Masterflexschläuche ern.0086 UPA-Kalibrierung (blockiert Software ca. 2-3h)

0050 (opt.) Ox-Filter ern.0083 Prüfen aller Kabel im Cross und E-Chain

0060 Dichtheitsprüfung0093 Schmieren der Head-Sweeplager

0110 Prüfung Platen-Antriebsriemen 0135 HCLU schmieren

0115 Kontrolle Water-Traps 0290 IPC reinigen

0096 Pad-Cond. Headrebuild incl. 0100 (komplette Überprüfung der PC)

0300 Global Irregation System prüfen

0104 Kontrolle Druckanzeige PCges.: ges.:

3 0105 Kalibrierung PC Downforce 0500-0900 Cleaner-PM

0070 Kalibrierung Slurryflow

0120 Kontrolle Riemenspannung Robot X-Achse+Wechsel Endeff.-Pad

0080 opt. Entnahme Slurryprobe 0125 Robot reinigen/schmierenges.: ges.:

4 0931 Reinigung Upper-Exhaust 1110 Reinigung der SMIF-Ports0930 Reinigung + Kontrolle Mainframe; Entfernen der alten Pads

1120 Überprüfung aller UV-Lampen für DIW in Level 2

ges.: ges.:

5

ges.:

6 1030 Schließen der Cover

1040-1080 Toolshutdown + Neustart1100 Pad-Breakin 10 min1140-9999 Schließen der Checkliste

ges.:

Durchlaufplan PM090 (Mirra)

0940-1000 Cons. Change

1005 Head-Anbau

0510152025303540

2.HJ´03

Q2´04

Q4´04

0

1

2

3

4

5

6

7

8

Dauer [h]

Quartal

Häufigkeitsverteilung d. PM-Dauer

2.HJ´03

Q1´04

Q2´04

Q3´04

Q4´04



Ergebnisse• Reduzierung der mittlere PM-Dauer um ca. 22 %22 % undund• Verkürzung der Tool-Down Zeiten,• Stabile Baseline (Target) bei ca. 10 h eingestellt, • Reduzierung der Schwankungsbreite

Mirra POL 090PM Dauer

0

5

10

15

20

25

30

35

40

WW32_2003

WW36_2003

WW40_2003

WW41_2003

WW43_2003

WW47_2003

WW51_2003

WW08_2004

WW12_2004

WW13_2004

WW16_2004

WW20_2004

WW24_2004

WW25_2004

WW35_2004

WW38_2004

WW39_2004

WW43_2004

WW46_2004

WW49_2004

WW02_2005

WW08_2005

PM-Dauer [h]

Ges.-dauer

reine PM

Linear (reine PM) Start Best-PM



Worauf achten?• Umsetzung Best-PM Ergebnisse ist kein Selbstläufer!

• Muß als Ziel von Führungskraft gewollt und dies klar kommuniziert werden

• Muß organisatorisch vorbereitet und während PM abgesichert werden � Prioritätensetzung!

• Erreichte Ergebnisse erfassen, positive Ergebnisse anerkennen, Ursache für negative Abweichungen diskutieren und Lehren ableiten

• Status & Trend im Wartungstechniker-Meeting regelmäßig diskutieren



Offene Punkte:- Notwendigkeit wird nicht gesehen Rel. geringe Toolauslastung

(abstrakter Nutzen) in häufigen Low-WIP-Phasen

- Trennung von PM- und Rep-Zeit Verfälschung der PM-Dauer, erschwert Ausreißer in der Statistik

- mögl. Zunahme der Rep-Anteil bei “Toolalterung”, Tooldowngrößeren PM

- Absicherung d. 2-Mann-Strategie bei Toolaborts u. Personal-engpässen schwierig

- Sinnvolle Prioritätensetzung!


Vielen Dank für Ihre Aufmerksamkeit.


Back up


MD2.x PM-KIT MTN+QUAL time from 01.01.03 to 31.12.03

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8:4

516 1

8:3

417 1

9:2

421 0

1:5

121 1

1:5

121 1

1:5

122 0

1:4

522 0

4:5

722 0

8:3

823 2

0:4

424 1

9:1

925 1

0:5

226 1

8:5

626 2

3:1

830 0

8:0

401 0

0:2

201 0

0:5

601 0

8:5

103 0

9:1

805 0

0:4

905 0

1:3

406 2

0:3

308 1

1:4

710 0

0:5

110 1

1:4

110 1

2:2

710 2

2:3

311 0

1:4

711 0

5:0

112 0

7:5

213 0

0:4

713 0

4:3

213 1

0:2

814 0

0:5

318 2

2:3

920 0

3:5

420 1

9:4

921 1

6:3

222 1

0:1

222 1

1:5

023 0

7:4

923 0

7:5

023 1

0:0

925 1

0:2

827 0

7:0

528 2

3:1

430 0

7:3

901 1

2:4

202 1

2:4

804 1

7:0

505 0

7:1

005 1

8:1

306 1

2:3

607 0

9:0

111 1

4:3

615 2

3:1

2

Nov

2003

Dez

2003

Jan

2004

Feb

2004

Mrz

2004

Apr

2004

Mai

2004

Jun

2004




no valid data




BEST-PM an Metallabscheide- KammernDaten vor Projektdurchführung


Weitere Überlegungen zur Wartungsoptimierung

• Best PM (Unterscheidung nach internen und externen Tätigkeiten sowie die Analyse hinsichtlich Verschwendungen) fokussiert auf definierte PMs

• Insbesondere wenn nur ein oder wenige Anlagen für bestimmte Operationen zur Verfügung stehen, wird durch PM Arbeiten der Takt und Flow schnell unterbrochen. Um wenig zu stören ist zu überlegen, wie sich alle fälligen PM Arbeiten in möglichst kleinen Zeitfenstern absolvieren lassen. Hierzu ist eine „Vogelperspektive“ auf alle innerhalb eines Jahres nötigen PM Arbeiten sinnvoll. Eine Umverteilung auf möglichst gleichmäßig kleine Pakete z.B. pro Monat bildet eine Grundüberlegung für die PM Planung.

• Best PM ist in diesem Fall der zweite Schritt.


Entwicklung PM Plan

Komplexität begegnen wir am Besten mit einfachen Mitteln ...

Tätigkeit 30 90 180 360 720 SAP

doku.

Tool

status

Bemerkung

Maschi

nen

zeit

MA

Zeit

Anz.M

A

Job

level Level

Tätigkeit 30 90 180 360 720 SAP

doku.

Tool

status

Bemerkung

Maschi

nen

zeit

MA

Zeit

Anz.M

A

Job

level Level

Tätigkeit 30 90 180 360 720 SAP

doku.

Tool

status

Bemerkung

Maschi

nen

zeit

MA

Zeit

Anz.M

A

Job

level Level

Tätigkeit 30 90 180 360 720 SAP

doku.

Tool

status

Bemerkung

Maschi

nen

zeit

MA

Zeit

Anz.M

A

Job

level Level

Tätigkeit 30 90 180 360 720 SAP

doku.

Tool

status

Bemerkung

Maschi

nen

zeit

MA

Zeit

Anz.M

A

Job

level Level

Tätigkeit 30 90 180 360

1,7 6,8 11 24,3 62,5 5,2 in h

MF

Vorbereitungszeit PM (SAP; WZ; Tool DOWN; Feuerlöschsystem de-/ aktivieren) 15 15 15 15 up 15 1 EXP MF

Vorbereitungsz

eit PM (SAP;

WZ; Tool

DOWN;

Feuerlöschsyst

em de-/

akt ivieren) 15 15 15 15 up 15 1 EXP MF

Vorbereitungsz

eit PM (SAP;

WZ; Tool

DOWN;

Feuerlöschsyst

em de-/

akt ivieren) 15 15 15 15 up 15 1 EXP MF

Vorbereitungsz

eit PM (SAP;

WZ; Tool

DOWN;

Feuerlöschsyst

em de- /

ak t ivieren) 15 15 15 15 up 15 1 EXP MF

Vorbereitungsz

eit PM (SAP;

WZ; Tool

DOWN;

Feuerlöschsyst

em de-/

ak tiv ieren) 15 15 15 15 up 15 1 EXP MF

Vorbereitungsz

eit PM (SAP;

WZ; Tool

DOWN;

Feuerlöschsyst

em de-/

akt ivieren) 15 15 15 15

MF

Prüfen der W IP

Area auf

"Verunreinigun

g" 5 5 5 5 up 5 1 WFX 3 MF

Prüfen der W IP

Area auf

"Verunreinigun

g" 5 5 5 5 up 5 1 WFX 3 MF

Prüfen der W IP

Area auf

"Verunreinigun

g" 5 5 5 5 up 5 1 WFX 3 MF

Prüfen der W IP

Area auf

"Verunreinigun

g " 5 5 5 5 up 5 1 WFX 3 MF

Prüfen der W IP

Area auf

"Verunreinigun

g" 5 5 5 5 up 5 1 WFX 3 MF

Prüfen der WIP

Area auf

"Verunreinigun

g" 5 5 5 5

SST/

SRD

Prüfen der

Flüsse /

Drücke / Temp. 5 5 5 5 up

Empf. von STL in

WPM 10 1 WFX 3

SST/

SRD

Prüfen der

Flüsse /


Empf. von STL in

WPM 10 1 WFX 3

SST/

SRD

Prüfen der

Flüsse /


Empf. von STL in

WPM 10 1 WFX 3

SST/

SRD

Prüfen der

F lüsse /

D rücke / Temp. 5 5 5 5 up

Empf. von STL in

WPM 10 1 WFX 3

SST/

SRD

Prüfen der

F lüsse /

D rücke / Temp. 5 5 5 5 up

Empf. von STL in

WPM 10 1 WFX 3

SST/

SRD

Prüfen der

Flüsse /

Drücke / Temp. 5 5 5 5

MFCheck/Reinigu

ng Robot 5 5 5 5 down

Zahnbürste und

D IW , Reinigung 10 15 1 EXP 3 MFCheck/Reinigu


Zahnbürste und

D IW , Reinig ung 10 15 1 EXP 3 MFCheck/Reinigu


Zahnbürste und

D IW , Reinigung 10 15 1 EXP 3 MFCheck/Reinigu


Zahnbürs te und

DIW , Reinigung 10 15 1 EXP 3 MFCheck/Reinigu


Zahnbürs te und

DIW , Reinigung 10 15 1 EXP 3 MFCheck/Reinigu

ng Robot 5 5 5 5

SST/

SRD

Handlings tes t

mit Inspektion

aller Teach-

Points 25 25 25 25 down

Nach

Robotarbeiten 25 25 1 EXP 3

SST/

SRD

Handlingstest

mit Inspektion

aller Teach-


Nach


SST/

SRD

Handlings tes t

mit Inspektion

aller Teach-


Nach


SST/

SRD

Handlingstest

m it Inspektion

aller Teach-


Nach


SST/

SRD

Handlingstest

m it Inspektion

aller Teach-


Nach


SST/

SRD

Handlings tes t

mit Inspektion

aller Teach-

Points 25 25 25 25

MF

Nachbereitung

szeit (Tool

umlogg en; WZ,

Reinigungsmat

erial) 15 15 15 15 up 15 1 EXP 3 MF

Nachbereitung

szeit (Tool

umloggen; WZ,

Reinigungsmat

erial) 15 15 15 15 up 15 1 EXP 3 MF

Nachbereitung

szeit (Tool

umloggen; WZ,

Reinigungsmat

erial) 15 15 15 15 up 15 1 EXP 3 MF

Nachbereitung

szeit (Tool

um loggen; WZ,

Reinigungsmat

erial) 15 15 15 15 up 15 1 EXP 3 MF

Nachbereitung

szeit (Tool

um loggen; WZ,

Reinigungsmat

erial) 15 15 15 15 up 15 1 EXP 3 MF

Nachbereitung

szeit (Tool

umlogg en; WZ,

Reinigungsmat

erial) 15 15 15 15

SST

Insp. Bowl,

Türdichtung 5 5 5 5 down 5 5 1 EXP 3 SST

Insp. Bowl,


Insp. Bowl,


Insp. Bow l,


Insp. Bow l,


Insp. Bowl,

Türdichtung 5 5 5 5

SRD

Insp. Bowl,

Türdichtung 5 5 5 5 down 5 5 1 EXP 3 SRD

Insp. Bowl,


Insp. Bowl,


Insp. Bow l,


Insp. Bow l,


Insp. Bowl,

Türdichtung 5 5 5 5

MF Check Chiller 30 30 30 30 up m it Auffüllen 30 1 WFX 1 MF Check Chiller 30 30 30 30 up m it Auffüllen 30 1 WFX 1 MF Check Chiller 30 30 30 30 up m it Auffüllen 30 1 WFX 1 MF Check Chiller 30 30 30 30 up m it Auffüllen 30 1 WFX 1 MF Check Chiller 30 30 30 30 up mit Auffüllen 30 1 WFX 1 MF Check Chiller 30 30 30 30

MF

Sicherung

Systemparame

ter 10 10 10 10 down 10 10 1 EXP MF

Sicherung

Systemparame

ter 10 10 10 10 down 10 10 1 EXP MF

Sicherung

Systemparame

ter 10 10 10 10 down 10 10 1 EXP MF

Sicherung

Systemparame

ter 10 10 10 10 down 10 10 1 EXP MF

Sicherung

Systemparame

ter 10 10 10 10 down 10 10 1 EXP MF

Sicherung

Systemparame

ter 10 10 10 10

MF Smifreinigung 5 5 5 5 MF Smifreinigung 5 5 5 5 MF Smifreinigung 5 5 5 5 MF Sm ifreinig ung 5 5 5 5 MF Sm ifreinigung 5 5 5 5 MF Smifreinigung 5 5 5 5

MF

Reinigung WIP Area 15 15 15 down 15 15 1 EXP MF

Reinigung WIP Area 15 15 15 down 15 15 1 EXP

MF

Reinigung Robottransferschiene 30 30 30 down 30 30 1 EXP 3 MF

Reinigung Robottransferschiene 30 30 30 down 30 30 1 EXP 3

MF Robot auf 30 30 30 down

Laufgleichmäßigk

eit , in Pkt2 m it 30 30 1 EXP 3 MF Robot auf 30 30 30 down

Laufgleichmäßigk

eit , in Pkt2 mit 30 30 1 EXP 3

SST

Insp.+ Tubing + Fittings 5 5 5 up 5 1 EXP 3 SST

Insp.+ Tubing + Fittings 5 5 5 up 5 1 EXP 3

SRD

Insp.+ Tubing + Fittings 5 5 5 up 5 1 EXP 3 SRD


SST

Insp.+ Tubing + Fittings 5 5 5 up 5 1 EXP 3 SST


SRD

Insp.+ Tubing + Fittings 5 5 5 up 5 1 EXP 3 SRD


MF

Check Spannung PS WIP 5 5 5 up

nur ablesen am

Screen 5 1 WFX 3 MF

Check Spannung PS WIP 5 5 5 up

nur ablesen am

Scr een 5 1 WFX 3

MF

Messen Spannungen Systemcomp 30 30 30 down

Empfehlung

Sem itool 180 T 30 30 1 EXP 3 MF

Messen Spannungen Systemcomp 30 30 30 down

Empfehlung

Semitool 180 T 30 30 1 EXP 3

MF

Service WIP Spindeln 30 30 30 down 30 30 1 EXP 3 MF

Service WIP Spindeln 30 30 30 down 30 30 1 EXP 3SST/

SRD

Service Führungsschi 10 10 10 down 10 10 1 WFX 3

SST

Insp. + Reinigung Tanks 120 120 120 down

T2 ( ACT

Reclaim ) - Modul

A 120 100 1 EXP 3 SST

Insp. + Reinigung Tanks 120 120 120 down

T2 (ACT

Reclaim ) - Modul

A 120 100 1 EXP 3 SST

Insp. + Reinigung Tanks 120 120 120

SRD

HOT N2 Valve per DIO checken 10 10 10 down

Empfehlung CMP

90T 10 10 1 EXP 3 SRD


Empfehlung CMP

90T 10 10 1 EXP 3

SRD


Empfehlung CMP

90T 10 10 1 EXP 3 SRD


Empfehlung CMP

90T 10 10 1 EXP 3

MF

Prüfen der Encoder 30 30 down 30 30 1 EXP 3 MF

Prüfen der Encoder 30 30

MF

Prüfen der Robot Forward/Reverse Limits 30 30 down 30 30 1 EXP 3 MF

Prüfen der Robot Forward/Reverse Limits 30 30

MF

Check Gewicht CO2 Flasche 15 15 up Level 2 15 1 WFX 2 MF

Check Gewicht CO2 Flasche 15 15

SST+S

RD

Insp. Bowl-Lock-Down-Funktion 10 10 down 10 10 1 EXP 3 SST

Insp. Bowl-Lock-Down-Funktion 5 5 down 5 5 1 EXP 3

SST

Insp. + Reinigung Tanks 120 120 down

T2 ( ACT

Reclaim ) - Modul

B 120 100 1 EXP SST

Insp. + Reinigung Tanks 120 120 down

T2 (ACT

Rec laim) - Modul

B 120 100 1 EXP

SST/

SRD Spa. Checken 15 15 down

Empfehlung von

STL in 180 T PM 10 10 1 EXP 3

SST+S

RD

Check Fac. Supplies und Tool reinigung 20 20 down 20 20 1 EXP 3

SST+S

RD

Check Fac. Supplies und Tool reinigung 20 20 down 20 20 1 EXP 3

MF

Check CO2 Feuerlöschsytem 60 down Externe Firma 60 10 1 EXP 3 MF

Check CO2 Feuerlöschsytem 60 down Externe F irma 60 10 1 EXP 3

MF

Level Robot/EE 5 down

Empfehlung CMP

360 T 5 5 1 EXP 3

SST + SRD

Check Systemleitungen+ -abflüsse 5 up

inc l.

D rainvalveblock 5 1 EXP 3 SST + SRD


incl.

Dr ainvalveblock 5 1 EXP 3

SST + SRD


inc l.

D rainvalveblock 5 1 EXP 3 SST + SRD


incl.

Dr ainvalveblock 5 1 EXP 3

Ausbau Rotor - incl. 60 down m it Seals 60 60 2 EXP+WFX 3

Ausbau Rotor - incl. 60 down m it Seals 60 60 2 EXP+WFX 3Kämme

tauschen 60 down 60 60 1 EXP 3

Kämme tauschen 60 down 60 60 1 EXP 3Insp. Rear

Bowl Seal 10 down 10 10 1 EXP 3

Insp. Rear Bowl Seal 10 down 10 10 1 EXP 3

EInbau Rotor - S-Style Rotor 30 down m it Seals 30 30 2 EXP+WFX 3


SST

Insp. + Reinigung Tanks 60 down T1 ( ACT-Fresh) 60 45 2 EXP+WFX 3 SST

Insp. + Reinigung Tanks 60 down T1 (ACT-Fresh) 60 45 2 EXP+WFX 3

SST

Insp. + Reinigung Tanks 120 down T3+T4 (IPA) 120 100 2 EXP+WFX 3 SST

Insp. + Reinigung Tanks 120 down T3+T4 (IPA) 120 100 2 EXP+WFX 3

SST+S

RD

Check der SW Interlocks - Rinse+DryTimer 30 down

Empfehlung von

STL in 360 T PM 30 30 1 EXP 3

SST+S

RD

Check der SW Interlocks - Rinse+DryTimer 30

SST+S

RD


Empfehlung von

STL in 360 T PM 30 30 1 EXP 3

SST+S

RD

Check der SW Interlocks - Rinse+DryTimer 30

SST

Ausbau und Reinigung der Nozzles 60 down 60 60 1 EXP 3 SST

Ausbau und Reinigung der Nozzles 60 down 60 60 1 EXP 3

SST

Verify Spray Pattern 5 down 5 5 1 EXP 3

SST Filtertausch 30 down 30 20 1 EXP 3 SST Filtertausch 30 down 30 20 1 EXP 3 SST Filtertausch 10 down 30 20 1 EXP 3

SST+S

RDVerify Spray Pattern 5 down 5 5 1 EXP 3

SST+S

RDVerify Spray Pattern 5 down 5 5 1 EXP 3

SRD


inc l.

D rainvalveblock 5 1 EXP 3

Ausbau Rotor - incl. 60 down m it Seals 60 60 2 EXP+WFX 3

Ausbau Rotor - incl. 60 down m it Seals 60 60 2 EXP+WFX 3Kämme

tauschen 60 down 60 60 1 EXP 3

Kämme tauschen 60 down 60 60 1 EXP 3Insp. Rear

Bowl Seal 10 down 10 10 1 EXP 3

Insp. Rear Bowl Seal 10 down 10 10 1 EXP 3



SST+S

RD


Empfehlung von

STL in 360 T PM 30 30 1 EXP 3

SRD

Inspektion der Nozzles 5 down 5 5 1 EXP 3 SRD

Inspektion der Nozzles 5 down 5 5 1 EXP 3

MF

Demontage +

Reinigung EE 30 down

MF

Batterie Feuerlöschsystem wechseln 15 down

prüfen, ob ext.

F irma das mit

macht 15 15 1 EXP 2

MF

Stützbatterien Mainboards 60 down

Empfehlung

Sem itool 2Jährl.

Zyk lus 60 60 1 EXP 3

MF

Akkus Robotbremse wechseln 60 down 60 60 1 EXP 3

100 410 670 1460 ##Gesamtzeit in min

1,7 6,8 11 24,3Gesamtzeit in h 515 455 325 320 380

62,5 5,2

1. Monat 4. Monat2. Monat 455 2. Monat

SST 160

3. Monat 325 3. Monat 4. Monat 320

SRD 160 SRD 160

1. M

onat

2. M

onat

3. Monat

SST 160

4. Monat

5. Monat

5. Monat 380

Modul BModul A

515 1. Monat

Documents

20060801 SMED CETPM 01 · SMED/ Best PM? Wenn man mehrere verschiedene Produkte in einer Fertigung herstellt, dann ist es u.a. notwendig Maschinen umzustellen beim Wechsel von ProduktA