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B723-01-882Issue C

Betriebsanleitung

nEXPT-Turbopumpstation

Beschreibung Bestellnummer

nEXPT-Turbopumpstation TSXX-XX-XXX

Übersetzung der ursprünglichen Anleitung

Dieses Produkt wurde im Rahmen eines nach ISO9001:2008 zertifizierten Qualitätssicherungssystems hergestellt.

Konformitätserklärung

Wir, Edwards, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, GB erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte

nEXPT-Turbopumpstationen

T S X X - X X – 0 0 X In den folgenden Materialnummern ist eine Matrix enthalten, in der die folgenden Funktionen variieren können nach: - X als Bezeichnung für einen Bereich von Einlass-Flanschen für Turbomolekularpumpen, Belüftungsoptionen und Stromversorgung, die für folgende Turbomolekular-

und Vorvakuumpumpen konfiguriert und verwendet werden können. Turbomolekularpumpen: Vorvakuumpumpen: EXT75DX E2M1.5 nXDS6i nEXT85 RV5 nXDS10i nEXT240 RV12 nXDS15i nEXT300 XDD1 nXDS20i nEXT400

auf das bzw. auf die sich die vorliegende Erklärung bezieht, im Einklang steht bzw. stehen mit der (den) folgenden Norm(en) oder (einem) anderen normativen Dokument(en): ENISO12100:2010 Sicherheit von Maschinen. Allgemeine Gestaltungsleitsätze.

Risikobeurteilung und Risikominderung. EN61010-1:2010 Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-, Steuer-, Regel- und

Laborgeräte. Allgemeine Anforderungen EN61326-1:2013 Elektrische Mess-, Steuer- und Laborgeräte. EMV-Anforderungen. (Emissionsklasse A, Allgemeine Anforderungen Industriestörfestigkeit)

und alle einschlägigen Vorschriften erfüllt aus

2006/42/EG Maschinenrichtlinie 2014/35/EU Niederspannungsrichtlinie 2014/30/EU Richtlinie zur elektromagnetischen Verträglichkeit (EMV-Richtlinie) 2011/65/EU Richtlinie zur Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher

Stoffe („RoHS“)

Hinweis: Diese Erklärung gilt für alle Produktseriennummern ab dem Unterzeichnungsdatum dieser

Erklärung.

23.11.2016, Burgess Hill

Mr Peter Meares Senior Technical Support Manager, General Vacuum

Datum und Ort

P200

-05-

120

DE

Issu

e E

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InhaltB723-01-882 Issue C

Inhalt

Abschnitt Seite

1 Einführung .......................................................................................... 1

1.1 Umfang und Definitionen................................................................................................ 11.2 Beschreibung .............................................................................................................. 21.2.1 Übersicht................................................................................................................... 21.2.2 Allgemeine Beschreibung der Hauptkomponenten der nEXPT-Turbopumpstation.............................. 21.2.3 Elektrischer Schutz ....................................................................................................... 21.2.4 Zubehör .................................................................................................................... 2

2 Technische Daten.................................................................................. 5

2.1 Allgemeines................................................................................................................ 52.2 Elektrische Daten......................................................................................................... 52.3 Betriebs- und Lagerungsdaten .......................................................................................... 72.4 Sicherungswerte .......................................................................................................... 72.5 Erdungsschraube.......................................................................................................... 72.6 Elektrische Anschlüsse ................................................................................................... 82.7 Anschlüsse ................................................................................................................. 8

3 Installation ....................................................................................... 11

3.1 Sicherheit .................................................................................................................113.2 Auspacken und Prüfen ..................................................................................................113.3 Aufstellen der nEXPT-Turbopumpstation ............................................................................123.4 Tischaufbau...............................................................................................................133.4.1 Befestigung ...............................................................................................................143.5 Befüllung der Drehpumpe mit Öl......................................................................................143.6 Schalldämpfer für XDS-Scroll-Pumpen................................................................................153.7 Installation von Zubehör (optional)...................................................................................153.8 Anschließen der nEXPT-Turbopumpstation an das Vakuumsystem...............................................153.9 Anschluss an das Abgassystem.........................................................................................163.10 Anschließen der Stromversorgung.....................................................................................163.11 Zusätzliche feste Erdungsverbindung.................................................................................163.12 Konfigurieren der nEXPT-Turbopumpstation ........................................................................163.13 Inbetriebnahme der Anlage ............................................................................................173.14 Anschließen einer Aktiv-Messröhre ...................................................................................183.15 Anschließen der Logik-Schnittstelle ..................................................................................183.16 Anschließen der seriellen Schnittstelle ..............................................................................18

4 Betrieb ............................................................................................ 19

4.1 Verwenden der Steuerelemente der Vorvakuumpumpe ...........................................................194.2 Starten der Pumpe ......................................................................................................194.3 Abschalten der Pumpe ..................................................................................................19

5 Wartung ........................................................................................... 21

5.1 Sicherheit .................................................................................................................215.2 Wartungsplan.............................................................................................................215.3 Untersuchung der Schläuche, Leitungen und Anschlüsse..........................................................225.4 Abhilfe bei Problemen ..................................................................................................225.5 Software-Updates........................................................................................................225.6 Standard-Werkseinstellungen für den EXPT TIC-Controller .......................................................23

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Inhalt

6 Lagerung und Entsorgung....................................................................... 25

6.1 Lagerung ..................................................................................................................256.2 Entsorgung ................................................................................................................25

7 Ersatzteile und Zubehör ........................................................................ 27

7.1 Einführung ................................................................................................................277.2 Ersatzteile ................................................................................................................277.3 Zubehörteile..............................................................................................................277.3.1 Heizmanschette..........................................................................................................277.3.2 nXDS-Abgasschalldämpfer ..............................................................................................27

Bitte die HS-Formulare im Anhang dieses Handbuchs ausfüllen und Ihrer Rücksendung beilegen.

Abbildungen

Abbildung Seite

1 Komponenten der nEXPT-Turbopumpstation (dargestellt ist ein typisches System) ........................... 32 Gerätemaße (mm) (dargestellt sind nXDS und nEXT) ............................................................... 93 Anlegen der Hebeseile/Hebehaken ...................................................................................134 Tischaufbau...............................................................................................................135 M8-Durchgangslöcher ...................................................................................................146 Verzögerter Start der Turbomolekularpumpe mit XDD1-Membranpumpe ......................................177 EXPT TIC ..................................................................................................................23

Tabellen

Tabelle Seite

1 Komponenten der nEXPT-Turbopumpstation ......................................................................... 22 Elektrische Daten......................................................................................................... 53 Elektrische Daten für Dauerbetrieb.................................................................................... 64 Empfohlene Sicherungen ................................................................................................ 65 Betriebs- und Lagerungsdaten .......................................................................................... 76 Sicherungswerte .......................................................................................................... 77 Erdungsschraube.......................................................................................................... 78 Elektrische Anschlüsse ................................................................................................... 89 Anschlüsse ................................................................................................................. 810 Checkliste der einzelnen Komponenten..............................................................................11

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InhaltB723-01-882 Issue C

Ergänzende Druckschriften

Titel der Publikation Nummer der Publikation

XDD1 115/230 Membranpumpe A746-02-885Turbo & Instrument Controller (TIC) D397-22-880Drehschieberpumpen E2M1.5 A371-32-880EXT EXT75DX und EXT255DX Turbomolekularpumpe B722-40-880nXDS-Scroll-Pumpe A735-01-880RV-Drehschieberpumpe A652-01-880nEXT-Turbomolekularpumpen B800-00-880nEXT85-Turbomolekularpumpe B8G0-00-880CD ROM Betriebsanleitung B723-00-879

Mitgeltende Publikationen

Titel der Publikation Nummer der Publikation

Zubehör für EXT-Pumpen B580-65-880Zubehör für nEXT-Pumpen B811-00-880

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EinführungB723-01-882 Issue C

1 Einführung

1.1 Umfang und Definitionen

Diese Betriebsanleitung enthält Anweisungen zur Installation, zum Betrieb sowie zur Wartung der nEXPT-Turbopumpstation der Firma Edwards. Die nEXPT-Turbopumpstation muss in der in dieser Anleitung beschriebenen Weise verwendet werden.

Lesen Sie diese Anleitung, bevor Sie die nEXPT-Turbopumpstation installieren und in Betrieb nehmen. Wichtige Sicherheitsangaben werden durch WARNUNGS- und VORSICHTS-Anweisungen hervorgehoben; diesen Anweisungen ist Folge zu leisten. Die Verwendung der Signalwörter WARNUNG bzw. VORSICHT ist nachfolgend definiert.

VORSICHTMit Vorsicht werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt befolgt werden müssen, um Schäden an den Betriebsanlagen und den damit verbundenen Geräten und Prozessen zu vermeiden.

Nach dem Inhaltsverzeichnis dieser Anleitung finden Sie eine umfangreiche Liste mit „Ergänzenden Druckschriften“. Eine Reihe dieser "Ergänzenden Druckschriften" wird mit der nEXPT-Turbopumpstation ausgeliefert. Die mitgelieferten "Ergänzenden Druckschriften" enthalten die Betriebsanleitungen für die Komponenten der nEXPT-Turbopumpstation.

Außerdem sind in den "Ergänzenden Druckschriften" die Anweisungen WARNUNG und VORSICHT enthalten. Wenn Sie die nEXPT-Turbopumpstation installieren und betreiben, müssen Sie die unter "Ergänzende Druckschriften" aufgeführten Informationen benutzen und alle darin enthaltenen Warnungs- und Vorsichtsanweisungen befolgen.

Die in dieser Betriebsanleitung durchgehend verwendeten Maßeinheiten entsprechen dem internationalen Maßeinheitensystem SI (System International).

Auf dem Produkt und in der Anleitung sind die folgenden IEC-Warnsymbole angebracht.

WARNUNG

Mit Warnung werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt befolgt werden müssen, um Verletzungen oder den Tod von Personen zu vermeiden.

Warnung – siehe beigefügte Dokumentation.

Warnung – Stromschlaggefahr.

Warnung – Heiße Oberflächen.

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Einführung

1.2 Beschreibung

1.2.1 Übersicht

Die nEXPT-Turbopumpstation ist ein voll automatisches Pumpsystem für eine große Bandbreite an Anwendungen. In diesem System kann eine Reihe der standardmäßigen Vorvakuumpumpen und Turbomolekularpumpen von Edwards in einem einzigen kompakten Gerät verwendet werden. Die nEXPT-Turbopumpstation ist in zwei Größen verfügbar. Die Größe des Gerätegrundrahmens hängt davon ab, welche Vorvakuumpumpe installiert wird. Die offene Systemkonfiguration ermöglicht die einfache Wartung der Hauptkomponenten der Pumpe.

Der TIC-Controller ist so konfiguriert, dass sowohl die Vorvakuumpumpe als auch die Turbomolekularpumpe sowie beliebiges optionales Zubehör, das installiert ist, betrieben werden kann. Über die passende Messgerät-Schnittstelle, die im Systemgehäuse integriert ist, können bis zu drei kompatible Aktiv-Messröhren verbunden werden. Der Controller verfügt über ein großes, übersichtliches Grafikdisplay sowie eine benutzerfreundliche Steuerungsschnittstelle, die über eine berührungsaktive Tastatur bedient wird. Alle Systeme verfügen über eine RS232/485-Schnittstelle für die Steuerung und Datenüberwachung auf einem Remote-PC sowie eine Logik-Schnittstelle für die Kommunikation mit der entsprechenden Systemhardware.

1.2.2 Allgemeine Beschreibung der Hauptkomponenten der nEXPT-Turbopumpstation

Eine allgemeine Beschreibung der verschiedenen Produkte, die in der nEXPT-Turbopumpstation verwendet werden, erhalten Sie, wenn Sie auf das Thema in der Betriebsanleitung klicken, das auf den jeweiligen Produkttyp verweist (siehe Tabelle 1).

1.2.3 Elektrischer Schutz

Die nEXPT-Turbopumpstation verfügt über einen zweipoligen thermischen Schutzschalter, der vor Kurzschlüssen schützt. Die Vorvakuumpumpe und der TIC-Controller verfügen beide über Überlastschutz.

1.2.4 Zubehör

Für die Hauptkomponenten der nEXPT-Turbopumpstation steht eine Reihe von standardmäßigen Zubehörteilen zur Verfügung. Weitere Informationen hierzu finden Sie in Abschnitt 7.

Tabelle 1 - Komponenten der nEXPT-Turbopumpstation

Pumpentyp Nummer der Publikation

Membranpumpe - XDD1 A746-02-885

Drehschieberpumpen - E2M0.7/E2M1.5 A371-22-880

Drehschieberpumpen - RV3/RV5/RV8/RV12 A652-01-880

Turbomolekularpumpe - EXT75DX B722-40-880

Turbomolekularpumpen - nEXT240/nEXT300/nEXT400 B800-00-880

Turbomolekularpumpe - nEXT85 B8G0-00-880

Scroll-Pumpen - nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i A735-01-880

TIC-Controller - Turbo Instrument Controller D397-22-880


EinführungB723-01-882 Issue C

Abbildung 1 - Komponenten der nEXPT-Turbopumpstation (dargestellt ist ein typisches System)

1. Netz EIN/AUS2. Logik-Schnittstelle (Adapter installiert)3. Serielle Kommunikationsschnittstelle4. Netzanschluss5. Heizmanschette (nicht installiert)*

6. Schmelzsicherung der Vorvakuumpumpe7. Halterung für die Bedienungsanleitung8. Vorvakuumpumpe9. Eingänge des Vakuum-Messgeräts

10. Netzversorgung der Vorvakuumpumpe11. Erdungsschraube12. Netzversorgung der Heizmanschette†

13. Isolationsventil der Vorvakuumpumpe (nur in nXDS-Vorvakuumpumpen installiert)

14. TAV-Belüftungsventil (optional)15. Turbomolekularpumpe16. TIC-Controller17. Laufrollen (Vorder- und Rückseite)

* In Tabelle 4 finden Sie die korrekten Sicherungswerte.† Es ist verboten, die Turbopumpe in der Pumpstation aufzuheizen. Siehe Abschnitt 3.7 für

weitere Informationen.

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Technische D

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2 Technische DatenHinweis: Die Betriebs- und Lagerungsbedingungen sowie die Leistung der nEXPT-Turbopumpstation hängen von den

Hauptkomponenten ab, die in der nEXPT-Turbopumpstation installiert sind. Weitere technische Daten finden Sie in den entsprechenden ergänzenden Druckschriften.

2.1 Allgemeines

2.2 Elektrische Daten

In Tabelle 2 sind die elektrischen Anforderungen für die unterschiedlichen Turbopumpstationen vom Typ nEXPT aufgeführt.

Abmessungen Siehe Abbildung 2.Gewicht Kleine Plattform: 24,9 bis 35,0 kg (E2M/XDD1) Gewicht Große Plattform: 41,2 bis 52,5 kg (RV/XDS) Elektrische Daten Siehe Tabelle 2.Schutzklasse des Gehäuses (gemäß IEC34-5: 1981) IP20Erforderliche Anfangskraft zum Schieben der nEXPT-Turbopumpstation* (für Systeme mit Laufrollen)

* Gemessen unter Idealbedingungen. Ist bei unebenen Untergründen, Abhängen usw. höher.

35 N maximal

Tabelle 2 - Elektrische Daten

Vorvakuumpumpe TIC-ControllerVersorgungsspannung

50/60 Hz

Strom (A) Maximale Leistungsaufnahme

kWVolllast Start*

XDD1 100 W 100 4,67 0,355

110 - 120 4,04

220 - 240 2,07

200 W

100 6,02

0,49110 - 120 5,14

220 - 240 2,57

E2M1.5

100 W110 - 120 5,54 14,44

0,435220 - 240 2,67 6,77

200 W110 - 120 6,64 15,54

0,57220 - 240 3,17 7,27

RV5

100 W

100 8,15 33,94

0,575110 - 120 7,04 20,875

220 - 240 3,67 16,87

200 W

100 9,5 43,1

0,71110 - 120 8,14 35,04

220 - 240 4,17 17,37

B723-01-882 Issue C


Technische D

aten

RV12

100 W

100 10,35 36,44

0,825110 - 120 10,24 22,375

220 - 240 5,27 19,27

200 W

100 11,7 45,6

0,96110 - 120 11,34 37,54

220 - 240 5,77 19,77

nXDS6i

100 W

100 9,35

0,625110-120 8,04

220-240 4,47

200 W

100 10,7

0,76110-120 9,14

220-230 4,97

nXDS10i

100 W

100 11,35

0,74110-120 9,74

220-240 5,37

200 W

100 12,7

0,875110-120 10,84

220-230 5,87

nXDS15/20i

100 W

100 12,45

0,81110-120 10,64

220-240 5,87

200 W

100 13,8

0,945110-120 11,74

220-230 6,37

* Wenn die nEXPT-Turbopumpstation eine Drehschieberpumpe verwendet, kann das System bis zum Startstromwert arbeiten, der in Tabelle 2 aufgeführt ist. Zur Vermeidung von unnötigen Sicherungsausfällen beim Start der Pumpe ist eine träge Sicherung zu verwenden. Der Startstromwert kann normalerweise einige Sekunden gehalten werden und tritt im Allgemeinen wieder ein, wenn das Öl der Drehschieberpumpe erkaltet ist.

Tabelle 3 - Elektrische Daten für Dauerbetrieb

PumpeStromversorgung

(V Wechselstrom effektiv)Phasen Frequenz (Hz)

Eingangsstrom (A effektiv)

Alle Varianten100-127 ±10% Einfach 50-60 10

200-240 ±10% Einfach 50-60 6

Tabelle 4 - Empfohlene Sicherungen

Bereich Spannung (V Wechselstrom) Nennwerte

UK 230 10 A, 250 V Wechselstrom effektiv

Europa 230 10 A, 250 V Wechselstrom effektiv

USA 110 13 A, 250 V Wechselstrom effektiv

Tabelle 2 - Elektrische Daten (Fortsetzung)

Vorvakuumpumpe TIC-ControllerVersorgungsspannung

50/60 Hz

Strom (A) Maximale Leistungsaufnahme

kWVolllast Start*


Technische D


Hinweis: Es sollten träge Sicherungen verwendet werden, da der Strom vorübergehend die Nennwerte überschreiten kann.

2.3 Betriebs- und Lagerungsdaten

2.4 Sicherungswerte

2.5 Erdungsschraube

Japan 100 13 A, 250 V Wechselstrom effektiv

Tabelle 5 - Betriebs- und Lagerungsdaten

Allgemeine Merkmale Referenzwerte

Umgebungstemperatur (Betrieb) 0 °C bis 35 °C

Umgebungstemperatur (Lagerung) -30 °C bis 70 °C

Maximale Luftfeuchtigkeit der Umgebung Max. 90% relative Luftfeuchte, nicht kondensierend bei 40 °C

Maximale Betriebshöhe 2000 m = maximal

Gerätetyp Fest eingebautes Gerät, nur in Gebäuden, nicht im Freien

Verschmutzungsgrad 2

Tabelle 6 - Sicherungswerte


BX-Heizmanschette (Heizelement)

Stromversorgung mit 90 - 132 V Wechselstrom 1 A, Typ F 20 mm

Stromversorgung mit 180 - 264 V Wechselstrom 0,5 A, Typ F 20 mm

Vorvakuumpumpe

Siehe Dokumentation der Vorvakuumpumpe 10 A, Typ T 20 mm (maximal)

Tabelle 7 - Erdungsschraube


Erdungsschraube M5

Tabelle 4 - Empfohlene Sicherungen (Fortsetzung)

Bereich Spannung (V Wechselstrom) Nennwerte

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Technische D

aten

2.6 Elektrische Anschlüsse

2.7 Anschlüsse

Hinweis: Die in Tabelle 9 aufgeführten Anschlüsse verfügen über dieselben Funktionen wie die Anschlüsse am TIC-Controller. Weitere Informationen zu den Anschlüssen sind der Anleitung des TIC-Controllers zu entnehmen.

Tabelle 8 - Elektrische Anschlüsse


Stromversorgung (siehe Abbildung 1, Punkt 4)

Einlass-Stopfen (Typ) CEE/IEC 320 (16 A)

Vorvakuumpumpe (siehe Abbildung 1, Punkt 10)

Steckdose (Typ) CEE/IEC 320

Max. Leistung 600 W

Heizmanschette (siehe Abbildung 1, Punkt 12)

Steckdose (Typ) CEE/IEC 320

Max. Leistung 150 W

Tabelle 9 - Anschlüsse


Anschlüsse für Aktiv-Messröhren

Steckverbinder-Typ FCC/RJ45, 8-polig

Stromversorgung 24 V Gleichstrom

Logik-Schnittstelle

Steckverbinder-Typ 25-polige Sub-D-Buchse

Stromversorgung 24 V Gleichstrom

Serielle Datenübertragung

Steckverbinder-Typ 9-polige Sub-D-Buchse


Technische D


Abbildung 2 - Gerätemaße (mm) (dargestellt sind nXDS und nEXT)

TurbopumpeAbmessungen (mm)

Position A Position B*

* 380 mm gilt für kleine Plattformen mit XDD1-Vorvakuumpumpen.500 mm gilt für große Plattformen mit nXDS/RV-Vorvakuumpumpen.

Position C

EXT75DX ISO63 144 380/500 409

EXT75DX NW40 144 380/500 421

EXT75DX CF63 144 380/500 427

nEXT85 ISO63 144 380/500 401

nEXT85 NW40 144 380/500 427

nEXT85 CF63 144 380/500 415

nEXT240 ISO100 135,5 380/500 443,2

nEXT240 CF100 135,5 380/500 451,2

nEXT300 ISO100 135,5 380/500 448,7

nEXT300 CF100 135,5 380/500 463,2

nEXT400 ISO160 135,5 380/500 448,7

nEXT400 CF160 135,5 380/500 453,7

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InstallationB723-01-882 Issue C

3 Installation

3.1 Sicherheit

l Wenn Sie ein unter "Ergänzende Druckschriften" aufgeführtes Handbuch benutzen, dann müssen Sie alle darin enthaltenen Warnungs- und Vorsichtsanweisungen befolgen.

l Die Installation der nEXPT-Turbopumpstation muss von einem in geeigneter Weise geschulten und beaufsichtigten Techniker durchgeführt werden.

l Kontrollieren Sie, ob alle erforderlichen Teile zur Verfügung stehen und dem richtigen Typ entsprechen, bevor Sie mit den Arbeiten beginnen.

l Stellen Sie sicher, dass der Installationstechniker mit den Sicherheitsmaßnahmen für die Arbeit mit den geförderten Pumpmedien vertraut ist. Tragen Sie geeignete Schutzkleidung, wenn Sie voraussichtlich mit kontaminierten Bauteilen in Berührung kommen.

l Trennen Sie andere Komponenten im System von der Stromversorgung, damit sie nicht versehentlich in Betrieb gesetzt werden können.

l Verwenden Sie schadhafte O-Ringe und Co-Dichtungen nicht noch einmal.

l Bauteile, Altöl und Schmiermittel sicher entsorgen (siehe Abschnitt 6).

l Achten Sie darauf, Dichtflächen vor Beschädigungen zu schützen.

l Führen Sie nach der Installation eine Dichtheitsprüfung des Systems durch und beseitigen Sie alle festgestellten Lecks.

3.2 Auspacken und Prüfen

Entfernen Sie die Verpackung und alle Verpackungsmaterialien. Entfernen Sie die Schutzabdeckung von den Einlass- und Auslassanschlüssen und inspizieren Sie das System auf Beschädigungen. Weist die nEXPT-Turbopumpstation Beschädigungen auf, setzen Sie Ihren Lieferanten sowie das Transportunternehmen hiervon binnen drei Tagen schriftlich in Kenntnis; vermerken Sie dabei die Bestellnummer und die Rechnungsnummer Ihres Lieferanten. Bewahren Sie das gesamte Verpackungsmaterial zur späteren Inspektion auf. Betreiben Sie die nEXPT-Turbopumpstation auf keinen Fall, wenn sie beschädigt ist. Prüfen Sie, ob in der Verpackung sämtliche in Tabelle 10 verzeichneten Artikel enthalten sind. Reklamieren Sie fehlende Teile binnen dreier Tage beim Lieferanten.

Soll die nEXPT-Turbopumpstation nicht gleich in Betrieb genommen werden, setzen Sie die Schutzabdeckungen wieder auf. nEXPT-Turbopumpstation wie in Abschnitt 6.1 beschrieben unter geeigneten Bedingungen aufbewahren.

WARNUNG

Beachten Sie die nachstehenden Sicherheitshinweise und die entsprechenden Vorsichtsmaßnahmen. Die Nichtbefolgung dieser Anweisung kann zu Personen- oder Ausrüstungsschäden führen.

Tabelle 10 - Checkliste der einzelnen Komponenten

Anzahl Beschreibung Geprüft (✓)

1 nEXPT-Turbopumpstation ❏

1 Verpackung der Betriebsanleitung ❏

1 D-Verriegelungsanschluss der Logik-Schnittstelle ❏

1 TM-HV-Flansch-Dichtung ❏

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Installation

3.3 Aufstellen der nEXPT-Turbopumpstation

VORSICHTVersuchen Sie beim Anheben der nEXPT-Turbopumpstation nicht, das Gewicht des Systems an der Vorvakuumpumpe anzuheben.

VORSICHTVerwenden Sie zum Anheben der nEXPT-Turbopumpstation immer ausreichend lange Seile, um Beschädigungen der Systemkomponenten zu vermeiden.

VORSICHTBeim Aufstellen der nEXPT-Turbopumpstation muss darauf geachtet werden, dass das Belüftungsgitter an der Unterseite des Systems nicht blockiert wird. Wird dies nicht beachtet, kann es zu Überhitzung des Controllers und der Turbomolekularpumpe kommen.

Bewegen Sie das System (oder die Palette) vor dem Anheben der nEXPT-Turbopumpstation in die Nähe der Betriebsposition. Bevor Sie das System von der Palette heben, stellen Sie sicher, dass ein fester Untergrund vorhanden ist. Es wird empfohlen, zum Bewegen der größeren Plattform der nEXPT-Turbopumpstation eine mechanische Hebevorrichtung zu verwenden. Legen Sie Seilschlingen am Grundrahmen des Systems von vorn nach hinten an und ziehen Sie sie zwischen den Füßen bzw. Laufrollen und den Führungen am Grundrahmen durch, um ein Verrutschen zu vermeiden. Sie können alternativ auch Gurte mit Hebehaken verwenden. Abbildung 3 ist zu entnehmen, wo die Seile oder Hebehaken angesetzt werden.

1 Drehpumpenöl (nur RV/E2M-Pumpen) ❏

4 Befestigungselemente (für Tischgeräte)

1 Abgas-Ölnebelfilter (nur RV/E2M-Pumpe)

WARNUNG

Das Anheben schwerer Objekte kann zu Verletzungen der Muskulatur oder des Rückens führen. Es wird empfohlen, zum Transport der nEXPT-Turbopumpstation eine geeignete Hebevorrichtung zu verwenden.

WARNUNG

Aus Sicherheitsgründen müssen alle vier Laufrollen verriegelt sein, wenn das Gerät in Betrieb ist. Wenn diese Warnung nicht beachtet wird und die Turbopumpe festsitzt, kann eine schnelle Bewegung der nEXPT-Turbopumpstation weitere Beschädigungen am Gerät verursachen und zu Verletzungen von Personen führen.

WARNUNG

Bei Betrieb der nEXPT-Turbopumpstation als Tischgerät müssen die Installationsanweisungen in Abschnitt 3.4 befolgt werden.

Wenn diese Warnhinweise nicht befolgt werden und die Turbopumpe festsitzt, kann eine schnelle Bewegung der nEXPT-Turbopumpstation weitere Beschädigungen am Gerät verursachen und zu Verletzungen von Personen führen.

Tabelle 10 - Checkliste der einzelnen Komponenten (Fortsetzung)

Anzahl Beschreibung Geprüft (✓)



Abbildung 3 - Anlegen der Hebeseile/Hebehaken

3.4 Tischaufbau

Der Grundrahmen der nEXPT-Turbopumpstation kann sicher mit den mitgelieferten Befestigungselementen auf einem Tisch befestigt werden (siehe Abbildung 4).

Abbildung 4 - Tischaufbau

WARNUNG

Stellen Sie sicher, dass der Tisch, auf dem die nEXPT-Turbopumpstation betrieben wird, ordnungsgemäß an einer Stütze oder einer Wand befestigt ist und das Gewicht des Geräts tragen kann. Der Tisch muss für den unwahrscheinlichen Fall, dass die Turbopumpe festsitzt, einem Drehmoment von 5 kNm standhalten.

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Installation

3.4.1 Befestigung

1. Bohren Sie vier M8-Durchgangslöcher in den Tisch (siehe Abbildung 5).

Abbildung 5 - M8-Durchgangslöcher

2. Heben Sie die nEXPT-Turbopumpstation an und setzen Sie sie gegebenenfalls auf Blöcke, damit alle vier Laufrollen frei liegen.

3. Entfernen Sie die vier Laufrollen, indem Sie die M8-Muttern, mit denen die Laufrollen am Grundrahmen befestigt sind, abschrauben. Heben Sie die Muttern und Unterlegscheiben für den nächsten Schritt auf. Edwards empfiehlt, die Laufrollen an einem sicheren Ort aufzubewahren, falls Sie sie in Zukunft erneut benötigen.

4. Setzen Sie die Befestigungselemente mit den M8-Muttern und Unterlegscheiben, mit denen die Laufrollen zuvor befestigt waren, in die nun freien Löcher. Überprüfen Sie, ob alle vier Muttern fest angezogen sind.

5. Stellen Sie die nEXPT-Turbopumpstation auf. Richten Sie dazu die Befestigungselemente an den zuvor in den Tisch gebohrten Löchern aus. Befestigen Sie die nEXPT-Turbopumpstation mit M8-Schrauben (nicht im Lieferumfang enthalten). Es wird empfohlen, an beiden Seiten der Tischplatte Unterlegscheiben zu verwenden. Überprüfen Sie, ob alle vier Schrauben fest angezogen sind.

3.5 Befüllung der Drehpumpe mit Öl

Wenn in der nEXPT-Turbopumpstation eine Dreh- oder Drehschieberpumpe vom Typ EM oder RV verwendet wird, muss diese vor dem Betrieb des Geräts mit der richtigen Menge an Öl befüllt werden (im Lieferumfang des Geräts enthalten). Eine Beschreibung hierzu finden Sie in der Betriebsanleitung.

TYPISCHER M8-DURCHGANG

KLEINE PLATTFORM GROSSE PLATTFORM



3.6 Schalldämpfer für XDS-Scroll-Pumpen

Mit dem Schalldämpfer wird das Auslassgeräusch beim Abpumpen und bei Gasballast-Operationen reduziert. Dieses Teil kann als Zubehör bestellt werden, siehe Abschnitt 7.3. Zum Einsetzen des Schalldämpfers folgen Sie den Anweisungen der Betriebsanleitung A505-97-880.

3.7 Installation von Zubehör (optional)

Wenn in der nEXPT-Turbopumpstation Zubehör installiert werden soll, müssen sie dies tun, bevor Sie mit der Installation der nEXPT-Turbopumpstation in Ihrem Vakuumsystem beginnen. Installieren Sie Zubehörteile so, wie in der mitgelieferten Betriebsanleitung der Zubehörteile beschrieben. Weitere Informationen zu den verfügbaren Zubehörteilen und zu den Anweisungen zur Installation der einzelnen Zubehörteile in der nEXPT-Turbopumpstation finden Sie in Abschnitt 7.

Hinweis: Es ist nicht erlaubt, Wasserkühler in der nEXPT-Turbopumpstation zu verwenden. Zur Installation dieser Zubehörteile wird empfohlen, die Turbomolekularpumpe abseits von der nEXPT-Turbopumpstation zu installieren. Weitere Informationen zur entfernten Installation der Turbomolekularpumpe erhalten Sie bei Edwards Großbritannien.

3.8 Anschließen der nEXPT-Turbopumpstation an das Vakuumsystem

Die Turbopumpe kann über den Einlassflansch am Vakuumsystem befestigt werden. Stellen Sie sicher, dass der Einlassflansch der Pumpe und alle daran montieren Komponenten sauber und staubfrei sind. Wenn der Einlassflansch der Pumpe nicht sauber gehalten wird, kann dies zu längeren Abpumpzeiten führen. Die Einlassanschlüsse für die nEXT-Pumpe sind der CF-, ISO- und KF-Flansch:

l Wenn die Pumpe einen CF-Flansch hat, verwenden Sie die der Pumpe beiliegende Kupfer-Kompressionsdichtung und einen vollen Satz Schrauben, um den Einlassflansch der Pumpe an das Vakuumsystem anzuschließen.

l Wenn die Pumpe einen ISO-Flansch hat, verwenden Sie den ebenfalls zum Lieferumfang der Pumpe gehörenden kombinierten Edwards O-Ring mit Zentrier- und Außenring und Ansaugsieb und mindestens vier Flanschklemmen (die jeweils mit einem Drehmoment von 10 Nm anzuziehen sind), um den Einlassflansch der Pumpe mit dem Vakuumsystem zu verbinden. Alternativ können Sie für den Anschluss einen drehbaren Flansch und den der Pumpe beiliegenden O-Ring mit Ansaugsieb verwenden. Nehmen Sie zur Befestigung des drehbaren Einlassflanschs einen vollen Satz Schrauben.

l Wenn die Pumpe einen KF-Flansch hat, verwenden Sie den zum Lieferumfang der Pumpe gehörenden kombinierten Edwards O-Ring mit Zentrier- und Außenring und Ansaugsieb sowie einen beliebigen DN40KF-Anschluss, um den Einlassflansch der Pumpe mit dem Vakuumsystem zu verbinden.

Alle Schrauben des Einlassflanschs sind nachzuziehen, sobald sich das System unter Vakuum befindet. Sorgen Sie dafür, dass keine Drehmomente oder anderen Kräfte vom Vakuumsystem oder damit verbundenen Rohrleitungen auf die Pumpe übertragen werden.

WARNUNG

Schließen Sie zuerst den Turbopumpeneinlass an das Vakuumsystem an, bevor Sie die nEXPT-Turbopumpstation mit Strom versorgen. Damit wird sichergestellt, dass die Pumpe nicht versehentlich in Betrieb gehen und Menschen verletzten kann.

WARNUNG

Wenn Sie das Vakuumsystem direkt an die nEXPT-Turbopumpstation anschließen, muss der Masseschwerpunkt im Bereich von maximal 300 mm über der Mittellinie liegen.

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Installation

3.9 Anschluss an das Abgassystem

Hinweis: Weitere Informationen entnehmen Sie der Betriebsanleitung zu der Vorvakuumpumpe, die in der nEXPT-Turbopumpstation installiert ist.

3.10 Anschließen der Stromversorgung

Überprüfen Sie, ob die Stromversorgung für dieses Gerät geeignet ist. Weitere Informationen zu den elektrischen Anforderungen für dieses Gerät sind in Tabelle 2 aufgeführt. Die nEXPT-Turbopumpstation wird mit einem Elektrokabel ausgeliefert, das an dem einen Ende mit einem IEC- Anschluss und am anderen Ende mit einem Stecker für den Anschluss an die Stromversorgung vor Ort ausgestattet ist.

3.11 Zusätzliche feste Erdungsverbindung

Das Stromversorgungskabel ist normalerweise zur Gewährleistung der Sicherheit mit einer Schutz-Erdung ausgestattet. Wenn dies nicht der Fall ist oder wenn eine zusätzliche feste Erdungsverbindung erforderlich ist, dann sollte die Erdungsschraube auf der Rückseite der nEXPT-Turbopumpstation mit dem Vakuumsystem verbunden werden.

3.12 Konfigurieren der nEXPT-Turbopumpstation

Bei Auslieferung ist der TIC-Controller so für die TIC-Pumpstation konfiguriert, dass er für die meisten Vakuumanwendungen geeignet ist. Außerdem bewirkt die Konfiguration Folgendes:

Wenn das TIC-System eingeschaltet ist:

l Einschalten sowohl der Vorvakuumpumpe als auch der Turbomolekularpumpe*.

l Schließen des TAV-Belüftungsventils

l Öffnen des Vorvakuumventils.

WARNUNG

Vergewissern Sie sich, dass die Elektroinstallation der nEXPT-Turbopumpstation den vor Ort geltenden Sicherheitsbestimmungen genügt. Der Anschluss muss hinreichend abgesichert und mit Erdschluss versehen sein.

WARNUNG

Stellen Sie sicher, dass das Netzkabel so verlegt ist, dass es keine Stolpergefahr darstellt.

* Wenn die nEXPT-Turbopumpstation mit einer XDD1-Membranpumpe verwendet wird, wird der Antrieb der Turbomolekularpumpe um zwei Minuten verzögert, während die Vorvakuumpumpe den Druck auf eine passende Stufe reduziert. Dies ist für ein Volumen von 5 Litern normal und verhindert, dass die Turbomolekularpumpe über einen längeren Zeitraum unter hohem Druck betrieben wird. Diese Verzögerung kann angepasst werden (siehe Betriebsanleitung zum TIC) und wird für Systeme mit einem Volumen von mehr als 2 Litern empfohlen. In Abbildung 6 finden Sie Informationen, anhand derer Sie die Verzögerung für den Start der Turbomolekularpumpe für das Systemvolumen, sofern dieses bekannt ist, abschätzen können.



Wenn das TIC-System ausgeschaltet ist:

l Ausschalten sowohl der Vorvakuumpumpe als auch der Turbomolekularpumpe.

l Schließen des Vorvakuumventils.

l Öffnen des TAV-Belüftungsventils (geregelte Belüftung) von 100 % bis 50 % der vollen Drehzahl und anschließendes Öffnen des Belüftungsventils von 50 % auf die volle Drehzahl.

Hinweise: 1 Das TAV-Ventil wird als optionales Zubehör angeboten.

2 Die Werkseinstellungen für den TIC-Controller wurden geändert und ermöglichen nun den Standardbetrieb der nEXPT-Turbopumpstation. Wenn der TIC-Controller ausgetauscht wird, sollten die Einstellungsoptionen erneut konfiguriert werden, damit diese der Anwendung entsprechen. Weitere Informationen sind der Betriebsanleitung des TIC-Controllers zu entnehmen.

Abbildung 6 - Verzögerter Start der Turbomolekularpumpe mit XDD1-Membranpumpe

3.13 Inbetriebnahme der Anlage

Wenn Sie die nEXPT-Turbopumpstation installiert haben, testen Sie das System anhand der folgenden Prozedur.

1. Vergewissern Sie sich, ob alle elektrischen Anschlüsse fest sitzen.

2. Schalten Sie die Stromversorgung und das Abgasabsaugsystem (falls verfügbar) ein.

3. Schalten Sie die nEXPT-Turbopumpstation mit dem EIN/AUS-Schalter an der Rückseite des Geräts ein. Weitere Informationen zum Starten des Geräts finden Sie in der TIC-Betriebsanleitung. Vergewissern Sie sich, dass das Gerät wie in Abschnitt 3.12 beschrieben läuft.

WARNUNG

Betreiben Sie das System nicht, wenn die Abgasleitung blockiert ist. Wenn in Ihrer nEXPT-Turbopumpstation z. B. eine Drehschieberpumpe verwendet wird, kann Ölnebel aus dem Ölnebelfilter treten und zu Verletzungen von Personen führen.

Verzögerungsdauer (s)

Syst

emvo

lum

en (l

)

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Installation

4. Prüfen Sie das Vakuum sowie die Auslass- und Leitungsanschlüsse. Achten Sie insbesondere auf undichte Stellen. Beseitigen Sie alle festgestellten Undichtigkeiten.

5. Warten Sie, bis die Turbomolekularpumpe die volle Drehzahl erreicht hat, schalten Sie den TIC-Controller dann an der Vorderseite aus und prüfen Sie, ob beide Pumpen angehalten werden.

3.14 Anschließen einer Aktiv-Messröhre

VORSICHTSchließen Sie keine Barocel-Kapazitätsmanometer an die Aktiv-Messröhren der TIC-Pumpstation an. Dies würde zu Schäden an diesem Messgerät führen, außerdem würden Sie Ihren Gewährleistungsanspruch für den TIC verlieren.

Mit den Messgerät-Anschlüssen können bis zu drei kompatible Aktiv-Messröhren an der inneren Gehäuserückseite der nEXPT-Turbopumpstation angeschlossen werden (siehe Abbildung 1). Schließen Sie die Messröhren mit Hilfe der Kabel für Aktiv-Messröhren von Edwards jeweils an eine der drei Buchsen an. Die Zahl über den jeweiligen Buchsen entspricht der auf dem TIC-Controller-Bildschirm angezeigten Messröhrennummer. Diese Option ist nur verfügbar, wenn die nEXPT-Turbopumpstation mit einem TIC Turbo- und Instrument-Controller verwendet wird.

Hinweis: An die Messröhrenanschlüsse der TIC-Pumpstation kann jeweils nur eine AIGX-Messröhre angeschlossen werden.

3.15 Anschließen der Logik-Schnittstelle

VORSICHTErden Sie nicht die 0 V-Leitungen der Logik-Schnittstelle (Pins 7, 10, 12 und 13). Ist dies der Fall, wird eine Erdschleife für elektrische Fehlerströme im Pumpenmotor verursacht, was zu Beschädigungen des Controllers oder der Steuergeräte führen könnte.

VORSICHTLegen Sie keine Spannungen größer als 24 V an die Logik-Schnittstelle an.

Die Logik-Schnittstelle liefert eine Reihe von Signalen, die für die Überwachung des Status des Vakuumsystems und für die Steuerung bestimmter Aspekte seines Betriebes genutzt werden können. Diese Signale lassen sich grob in drei Gruppen unterteilen: Steuereingänge, Steuerausgänge und Statusausgänge.

Die nEXPT-Turbopumpstation wird mit einem D-Verriegelungsanschluss ausgeliefert, der an die Logik-Schnittstelle an der Rückseite des Geräts angeschlossen ist. Wenn die Turbopumpstation nicht zur Verbindung der Logik-Schnittstelle mit dem System genutzt werden soll, muss ein D-Verriegelungsanschluss verwendet werden. Erfolgt dies nicht, werden mehrere Steuerausgänge deaktiviert, die dem Betrieb des nEXPT-Systems dienen.

Hinweis: Die Logik-Schnittstelle an der Geräterückseite verfügt über dieselben Funktionen wie die Logik-Schnittstelle am TIC-Controller. Weitere Informationen zu diesem Anschluss sind der Betriebsanleitung des TIC-Controllers zu entnehmen.

3.16 Anschließen der seriellen Schnittstelle

Der Controller verfügt über zwei eingebaute serielle Datenübertragungsprotokolle, RS232 und RS485. RS232 ist einfachste Schnittstelle und kann dazu genutzt werden, dass ein Host-PC den Controller steuern kann. RS485 ermöglicht es einem Host-PC, ein kleines Netzwerk von Controllern zu steuern.

Hinweis: Die serielle Benutzerschnittstelle an der Geräterückseite verfügt über dieselben Funktionen wie die serielle Schnittstelle am TIC-Controller. Weitere Informationen zu diesem Anschluss sind der Betriebsanleitung des TIC-Controllers zu entnehmen.


BetriebB723-01-882 Issue C

4 Betrieb

4.1 Verwenden der Steuerelemente der Vorvakuumpumpe

Wenn die Vorvakuumpumpe über einen Betriebsartenschalter oder eine Gasballast-Steuerung verfügt, finden Sie in der Betriebsanleitung der Vorvakuumpumpe Informationen zur Optimierung der Pumpenleistung für die Anwendung.

4.2 Starten der Pumpe

Führen Sie das folgende Verfahren durch, um die nEXPT-Turbopumpstation anlaufen zu lassen. Wenn der Betrieb der nEXPT-Turbopumpstation neu konfiguriert werden soll, um ihn an eine bestimmte Anwendung anzupassen, finden Sie weitere Informationen in der Betriebsanleitung des TIC.

1. Schalten Sie die Stromversorgung an der nEXPT-Turbopumpstation und das Abgasabsaugsystem (falls verfügbar) ein.

2. Schalten Sie die nEXPT-Turbopumpstation mit dem EIN/AUS-Schalter an der Rückseite des Geräts ein.

3. Weitere Informationen zum Betrieb der Gerätekomponenten finden Sie in der Betriebsanleitung zum TIC.

4.3 Abschalten der Pumpe

Führen Sie das folgende Verfahren durch, um die nEXPT-Turbopumpstation abzuschalten.

1. Weitere Informationen zum Abschalten der Turbomolekularpumpe (TMP) und der Vorvakuumpumpe finden Sie im Handbuch zum TIC-Controller.

2. Schalten Sie den EIN/AUS-Kippschalter an der Geräterückseite aus.

3. Trennen Sie das Gerät von der Stromversorgung.

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Wartung

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5 Wartung

5.1 Sicherheit

l Wenn Sie ein unter "Ergänzende Druckschriften" aufgeführtes Handbuch benutzen, sind alle darin enthaltenen Warnungs- und Vorsichtsanweisungen zu befolgen.

l Die Wartung der nEXPT-Turbopumpstation muss von einem in geeigneter Weise geschulten und beaufsichtigten Techniker durchgeführt werden.

l Lassen Sie die Pumpen auf eine sichere Temperatur abkühlen, bevor Sie mit den Wartungsarbeiten beginnen.

l Kontrollieren Sie, ob alle erforderlichen Teile zur Verfügung stehen und dem richtigen Typ entsprechen, bevor Sie mit den Arbeiten beginnen.

l Stellen Sie sicher, dass der Wartungstechniker mit den für die Arbeit mit den gepumpten Produkten geltenden Sicherheitsmaßnahmen vertraut ist. Tragen Sie geeignete Schutzkleidung, wenn Sie voraussichtlich mit kontaminierten Bauteilen in Berührung kommen werden. Zerlegen und reinigen Sie kontaminierte Bauteile in einem Abzugsschrank.

l Trennen Sie die nEXPT-Turbopumpstation und andere Bauteile im System von der Stromversorgung, damit sie nicht versehentlich in Betrieb gesetzt werden können.

l Verwenden Sie schadhafte O-Ringe und Co-Dichtungen nicht noch einmal.

l Bauteile, Altöl und Schmiermittel sicher entsorgen (siehe Abschnitt 6).

l Schützen Sie Dichtflächen vor Beschädigungen.

l Berühren Sie keine thermischen Zersetzungsprodukte der Fluorelastomerdichtungen und atmen Sie diese nicht ein. Dieser Zersetzungsprodukte sind sehr gefährlich und können entstehen, wenn die nEXPT-Turbopumpstation auf mindestens 260 °C erhitzt wurde.

l Führen Sie nach Durchführung der Wartungsarbeiten, wenn Sie die Vakuum- oder Auslassverbindungen getrennt haben, eine Dichtigkeitsprüfung durch. Dichten Sie alle festgestellten Undichtigkeiten ab.

5.2 Wartungsplan

Die folgenden Dokumente enthalten Angaben zu den im Normalgebrauch der nEXPT-Turbopumpstation mindestens erforderlichen Wartungseingriffen.

Ein Einsatz der nEXPT-Turbopumpstation im Zusammenhang mit korrosiven oder abrasiven Gasen und Dämpfen kann eine Verkürzung der Wartungsintervalle erforderlich machen. Passen Sie den Wartungsplan bei Bedarf an Ihre Erfahrungswerte an.

Siehe Tabelle 1.

WARNUNG

Beachten Sie die nachstehenden Sicherheitshinweise und die entsprechenden Vorsichtsmaßnahmen. Andernfalls kann es zu Verletzungen von Personen und Beschädigungen der Einrichtung kommen.

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Wartung

5.3 Untersuchung der Schläuche, Leitungen und Anschlüsse

1. Wenn die Turbomolekularpumpe in der nEXPT-Turbopumpstation mit Wasser gekühlt wird:

l Überzeugen Sie sich, dass alle Kühlwasseranschlüsse fest sitzen. Ziehen Sie alle losen Anschlüsse fest.

l Prüfen Sie alle Kühlwasser-Schläuche, -Leitungen und -Anschlüsse auf Beschädigungen bzw. Korrosion und kontrollieren Sie, ob diese Leckstellen aufweisen. Reparieren Sie alle beschädigten oder korrodierten Bauteile, oder tauschen Sie diese aus, und dichten Sie alle festgestellten Undichtheiten ab.

2. Überzeugen Sie sich, dass alle elektrischen Anschlüsse fest sitzen. Ziehen Sie alle losen Anschlüsse fest.

3. Untersuchen Sie sämtliche Stromkabel. Vergewissern Sie sich, dass sie nicht beschädigt und nicht zu heiß geworden sind. Reparieren Sie alle beschädigten oder überhitzten Kabel, oder tauschen Sie diese aus.

4. Überzeugen Sie sich, dass alle Vakuum- und Auslassanschlüsse fest sitzen. Ziehen Sie alle losen Anschlüsse fest.

5. Überprüfen Sie alle Vakuum- und Abgas-Auslassleitungen und -anschlüsse daraufhin, dass diese nicht beschädigt oder korrodiert sind und keine Leckstellen aufweisen. Reparieren Sie alle beschädigten oder korrodierten Bauteile, oder tauschen Sie diese aus, und dichten Sie alle festgestellten Undichtheiten ab.

5.4 Abhilfe bei Problemen

Weitere Informationen zur Abhilfe bei Problemen an der nEXPT-Turbopumpstation finden Sie in den folgenden Dokumenten:

Siehe Tabelle 1.

Wenn die nXDS-Vorvakuumpumpe nicht startet, überprüfen Sie, ob sich diese im Automatikmodus befindet und ob die Automatik-LED leuchtet. Siehe A735-01-880, Abschnitt 2.6 und 4.5.

5.5 Software-Updates

Die Software im Controller und TIC-PC-Überwachungsprogramm wird als Teil des laufenden Entwicklungsprogramms von Edwards aktualisiert. Die Updates und die zugehörige Betriebsanleitungen finden Sie auf der Website www.upgrades.edwardsvacuum.com.

WARNUNG

Wenn die Turbopumpe zu Wartungszwecken entfernt wird, müssen alle Schrauben wiederverwendet werden, mit denen die Turbopumpe und die Befestigungsplatte der Pumpe in der nEXPT-Turbopumpstation befestigt waren. Wenn diese Schrauben verloren gehen oder nicht wiederverwendet werden können, benötigen Sie eine Schraubenstärke von mindestens 12,9 M8 x 12-15 für die Turbopumpe und 8,8 M8 x 30 für die Befestigungsplatte der Pumpe. Wird dieser Warnhinweis nicht befolgt und die Turbopumpe sitzt fest, kann die in der Turbopumpe gestaute Energie dazu führen, dass sich einige oder alle Schrauben lösen. In diesem Fall kann die Turbopumpe aus dem Gehäuse der nEXPT-Turbopumpstation herausgeworfen werden.


Wartung

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5.6 Standard-Werkseinstellungen für den EXPT TIC-Controller

Der EXPT TIC-Controller wurde so eingerichtet, dass er den Pumpstand optimal steuert. Die Standardeinstellungen können jedoch geändert und an die Systemsteuerung angepasst werden.

Hinweis: Wenn ein Software-Update ausgeführt wird, wird der TIC-Controller auf die ursprünglichen, werksseitigen Standardeinstellungen zurückgesetzt. Die Einstellungen der nEXPT-Turbopumpstation werden in diesem Fall nicht zurückgesetzt. Bevor Sie ein Software-Update ausführen, sollten die Einstellungen der Pumpstation oder eigene Einstellungen mit der TIC-PC-Monitoring-Software hochgeladen werden. Wenn das Update abgeschlossen ist, können die vorherigen Einstellungen wieder auf den TIC-Controller heruntergeladen werden.

Abbildung 7 zeigt die Schnellzugriffsmöglichkeiten auf die Display-Ansichten und die Menüstruktur der Konfiguration des TIC für die Pumpstation. Weitere Informationen zur Navigation und zum Ändern der Systemparameter finden Sie in der Betriebsanleitung zum TIC.

Abbildung 7 - EXPT TIC

1. Wenn die Pumpstation für die Verwendung einer XDD1-Membranpumpe konfiguriert wurde, wird empfohlen, den Start der Pumpe um 2 Minuten zu verzögern.

2. Wenn das System eine DX-Pumpe verwendet, sollten Sie diese Option verwenden.

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Lagerung und EntsorgungB723-01-882 Issue C

6 Lagerung und EntsorgungHinweis: Edwards empfiehlt, eine langfristige Lagerung der nEXPT-Turbopumpstation zu vermeiden. Wenn Sie die

nEXPT-Turbopumpstation mehrere Monate lang lagern möchten, finden Sie in der entsprechenden Betriebsanleitung Anweisungen für die Lagerung.

6.1 Lagerung

Führen Sie das folgende Verfahren durch, um die nEXPT-Turbopumpstation zu lagern.

1. Setzen Sie die nEXPT-Turbopumpstation wie in Abschnitt 4.3 beschrieben außer Betrieb.

2. Trennen Sie die nEXPT-Turbopumpstation vom Netz sowie vom Vakuumsystem.

3. Lassen Sie das Öl aus der Vorvakuumpumpe wie in der Betriebsanleitung der Pumpe beschrieben ab (nur Drehschieberpumpen). Weitere Informationen finden Sie in folgenden Dokumenten:

Siehe Tabelle 1.

4. Setzen Sie die Schutzkappen auf die Ein- und Auslassflansche.

5. Um möglichst kurze Abpumpzeiten zu erzielen, wenn die nEXPT-Turbopumpstation erneut installiert wird, versiegeln Sie die Turbomolekularpumpe zusammen mit einem geeigneten Entfeuchter in einem Kunststoffbeutel.

6. Lagern Sie die nEXPT-Turbopumpstation bis zu einem erneuten Einsatz kühl und trocken.

6.2 Entsorgung

Entsorgen Sie die nEXPT-Turbopumpstation und alle Komponenten sicher unter Einhaltung aller örtlichen und nationalen Sicherheits- und Umweltschutzbestimmungen.

Seien Sie besonders vorsichtig bei Bauteilen, die mit gefährlichen Prozessstoffen verunreinigt sind.

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Ersatzteile und ZubehörB723-01-882 Issue C

7 Ersatzteile und Zubehör

7.1 Einführung

Produkte, Ersatzteile und Zubehör von Edwards sind über Edwards-Vertretungen in Belgien, Brasilien, Kanada, Frankreich, Deutschland, Hongkong, Italien, Japan, Korea, der Schweiz, England, den USA sowie über ein weltweites Vertriebsnetz erhältlich. Die meisten dieser Firmen beschäftigen Wartungstechniker, die umfassende Edwards-Schulungen besucht haben.

Bestellen Sie Ersatzteile und Zubehör bei einer Vertretung oder Vertriebsstelle von Edwards in Ihrer Nähe. Bestellen Sie Ersatzteile und Zubehör bei Ihrer nächstgelegenen Edwards-Vertretung oder -Vertriebsstelle. Geben Sie bei der Bestellung für jedes gewünschte Teil Folgendes an:

l Modell und Bestellnummer der Anlage

l Seriennummer (falls vorhanden)

l Bestellnummer und Beschreibung des Teils.

Installieren Sie Zubehörteile so, wie in den „Ergänzenden Druckschriften“ und in der mitgelieferten Betriebsanleitung der Zubehörteile beschrieben.

7.2 Ersatzteile

Die für die nEXPT-Turbopumpstation verfügbaren Ersatzteile (inklusive Ersatzteile für Komponenten) sind in den Betriebsanleitungen, die als „Ergänzende Druckschriften“ mitgeliefert wurden, aufgeführt.

7.3 Zubehörteile

Im Produktkatalog von Edwards finden Sie alle Zubehörteile für Turbo- und Vorvakuumpumpen, die in der nEXPT-Turbopumpstation verwendet werden können.

7.3.1 Heizmanschette

Heizmanschetten sollten, wenn sie an der Turbomolekular-Pumpstation angebracht sind, ausschließlich mit Luftkühlung betrieben werden. In der Betriebsanleitung der Pumpe finden Sie Hinweise zur maximalen Ausheiztemperatur bei Luftkühlung. Höhere Ausheiztemperaturen können erreicht werden, wenn die Pumpe vom System getrennt installiert und mit Wasserkühlung betrieben wird.

7.3.2 nXDS-Abgasschalldämpfer

Reduziert den Schalldruckpegel, während der Auslass der Scroll-Pumpe zur Umgebung geöffnet ist. Zur Verwendung mit Systemen mit nXDS, die an kein Abgassystem angeschlossen sind.

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