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3D-OBERFLÄCHENMESSGERÄTE FÜR FORSCHUNG UND PRODUKTION
Kunstleder:3D-Topographie und Rauheitsmessung
Zylinderkopfdichtung: Messung der 3D-Topographie (links), TTV-Messung (rechts): Kontur von Ober- und Unterseite sowie Probendicke
Zahnmedizinische Werkzeuge:Messung der 3D-Topographie, Winkel auf einem Zahnbohrer
Polymer auf PET: Messung der Schichtdicke
Linsenarray:3D-Topographie-messung der Linsengeometrie, des Krümmungs radius, des Pitchs und der Homogenität
Saphirwafer: 3D-Messung der Dicke, Waferdicke, TTV
Vias: Messung der 3D-Topographie eines einzelnen Via,Querschnitt durch viele Vias - Breite, Tiefe
Mikrostrukturen:Hochaufgelöste Messung von Trenches
MESSBEISPIELE.
MHU – MaTERIaL HaNDLING UNIT
PROBEN HaNDLING
In vielen Branchen ist es notwendig, hohe Durchsatzraten mit auto-
matisierten Messprozessen zu verbinden. Zu diesem Zweck ist ein
automatisches Handling der Proben erforderlich.
Der MicroProf® MHU für die Halbleiter-, MEMS- und LED-Industrie er-
möglicht es, vollautomatische Messungen unterschiedlicher Proben (Wafer)
einfach durchzuführen. Von bis zu 4 Kassetten analysiert der MicroProf®
z.B. Wafer mit einem Durchmesser von 2 bis 12 Zoll, mit voller Integration
in den Produktionsablauf und mit voller Automatisierung. Optional kann
der MicroProf® MHU zur Sortierung von guten und schlechten Proben
ausgerüstet werden.
Andere Systeme für das Handling der Proben, z.B. SCARA Roboter können
auch integriert werden.
THERMO UNIT
OBERFLÄCHENMESSUNGEN UNTER TEMPERaTUREINFLUSS
Änderungen der Bauteile durch thermische Beanspruchung können
zu Funktionsstörungen oder sogar Ausfällen führen. Die topogra-
fische Beurteilung der Proben unter thermischer Belastung ist z.B. in den Bereichen Elektronikbau und Materialtechnik unerlässlich.
Durch den MicroProf® TL können Sie Messungen der Oberflächentopographie von Bauteilen unter kontrollierter thermischer Bean-
spruchung durchführen. Dazu werden die zu messenden Proben
auf einer Heiz- und Kühlplatte in einer geschlossenen Kammer (Glas-
abdeckung) platziert und erwärmt. Die Probentemperatur kann mit
individuell konfigurierbaren Temperaturprofilen präzise eingestellt und variiert werden. Sowohl vollautomatische Messungen der Oberflächen-
topographie bei unterschiedlichen Temperaturen als auch Verwei-
lzeiten bei konstanten Temperaturen sind komplett einstellbar. Die
Thermo einheit ist als Erweiterung für alle FRT-Messgeräte erhältlich
und wird als separates Modul wie ein normaler Probenhalter montiert.
Die MicroProf ®- SerieBerührungslose und zerstörungsfreie Messung von
Rauheit, Profil, Topographie und Schichtdicke
Deutschland FRT GmbH
+49 2204 84-2430
+49 2204 84-2431
Fragen? Sprechen Sie uns an!
asien / PazifikFRT Shanghai Co., Ltd.
+86 21 3876 0907
+86 21 3876 0917
AmerikaFRT of america, LLC (West)
+1 408 261 2632
+1 408 261 1173
FRT Partner:
INTUITIVE MESSUNG - FRT aCQUIRE
In einfachen Schritten führt Sie die FRT Acquire Soft-
ware durch manuelle Messungen, vom Anschalten des
Gerätes bis zur Ausführung des Messprozesses.
Mit der strukturierten Benutzerführung können Sie
problemlos manuelle Messungen aller Art durchführen.
Alle Sensoren, die auf Ihrem MicroProf® eingesetzt
werden, können über die Benutzeroberfläche der Soft-ware gesteuert werden. Egal ob Punkt, Profil oder 3D-Messungen nötig sind, einfach die optimalen
Messparameter für Ihre Applikation einstellen, über die
intuitive Live-Anzeige überwachen und Ihre Messdaten
nachträglich speichern.
UMFaSSENDE aUSWERTUNG - FRT MaRK III
Die FRT Mark III Analysesoftware bietet ein umfassendes
Paket für die Verarbeitung, Auswertung und Präsenta-
tion Ihrer 2D- oder 3D-Messungen. Die neuesten Stan-
dards sind implementiert, einschließlich Berechnung von
Rauheit und Welligkeit, sowie viele Verarbeitungs- und
Filter-Funktionen. Wählen Sie für Ihre Anwendung die
passende Analysefunktion aus der breiten Palette von
Optionen, einschließlich Rauheit, Ebenheit, Stufenhöhe,
Schichtdicke und vieles mehr. Präsentieren Sie Ihre Er-
gebnisse in 3D, als Profilansicht oder Draufsicht und gestalten Sie Ihre eigenen Messprotokolle. Diese benu-
tzerfreundliche Software enthält auch diverse Import-
und Exportfunktionen und kann automatisch mehrere
Verarbeitungen und Auswertungsschritte in einer Mess-
reihe durchführen.
aUTOMaTISCHE MESSUNG UND aUSWERTUNG - FRT aCQUIRE aUTOMaTION XT
Die vollautomatische Ausführung und Auswertung der Messungen ist mit der rezeptbasierten Software FRT
Acquire Automation XT möglich. Diese Software bietet umfassende Fähigkeiten, von der manuellen Messung
mit dem Gerät bis hin zur vollautomatischen Messung über Ein-Knopf-Betrieb und zur Integration in Produktions-
steuerungssysteme, z.B. über eine SECS/GEM-Schnittstelle. Wählen Sie aus einer Vielzahl von Paketen die passende
Mess- und Auswertungsroutine für Ihre Messaufgabe. Für wiederkehrende Strukturen kann ein Layout-Assistent
mit einer grafischen Benutzeroberfläche (GUI) Sie beim Anlernen der Messpositionen unterstützen. Zusätzlich ist optional eine genaue Probenausrichtung über Mustererkennung möglich. Sie können ganz einfach verschiedene
Messaufgaben mit verschiedenen Sensoren konfigurieren, um sie nacheinander als Messsequenz laufen zu lassen. Dazu gehören die Durchführung von Messungen, die Verarbeitung und die Analyse mit intelligenten Algorithmen,
die Ausgabe und die Visualisierung der Ergebnisse in Form von Berichten und der Export von Ergebnissen in
verschiedenen Datenformaten. Die aktuellen DINENISO und branchenspezifischen Standards wie SEMI werden selbstverständlich eingehalten. Mit der SEMIkompatiblen Benutzeroberfläche erfüllt FRT Acquire Automation XT
alle Anforderungen für den Einsatz sowohl in der Produktion als auch im Labor. Und natürlich enthält die Software
Benutzerverwaltungsfunktionen inklusive Zuordnung einzelner Benutzerrechte.
Automatisierte Messprozesssequenz:FRT Acquire Automation XT
Rezepterstellung – Prozessdefinition:FRT Acquire Automation XT
3D-Ansicht einer Messung: FRT Mark III
DER MICROPROF® - EIN OBERFLÄCHENMETROLOGIE-GERÄT FÜR aLLE MESSaUFGaBEN
MicroProf® 100 MicroProf® 200 MicroProf® 300
xy-Travel * 150 mm x 100 mm 250 mm x 200 mm 415 mm x 305 mm
Multi-Sensor X X X
TTV-Option X X X
Tabletop Unit X
Standalone X X
Automation (optional) X X X
Sample handling (optional) X X
Thermo Einheit (optional) X X X
GEEIGNET FÜR JEDE PROBENGRÖSSE
Das universelle MicroProf® Oberflächenmessgerät ist in verschiedenen Aus-
führungen erhältlich. Abhängig von der Größe der zu messenden Proben
können Sie das System auswählen, das den entsprechenden Probenhalter und
den Verfahrbereich zur Verfügung stellt. Neben dem MicroProf® 100 Tischgerät
gibt es zwei größere Modelle, MicroProf® 200 und MicroProf® 300, die Stand-
alone-Systeme sind. Für diese beiden Varianten steht auch die Material
Handling Unit (MHU) zur Verfügung. Von der manuellen Messung und Aus-
wertung bis hin zur vollautomatischen Durchführung von Probenhandling,
Messung und Auswertung können Sie den Automatisierungsgrad selbst be -
stimmen, indem Sie die entsprechenden Software- und Hardwarekomponenten
auswählen.
BERÜCKSICHTIGUNG BEIDER PROBENSEITEN
Sowohl das Tischgerät als auch die Standalone-Systeme der MicroProf®- Serie
beinhalten die Option für die beidseitige Probenprüfung (TTV-Option).
So können Sie die Ober- und Unterseite Ihrer Probe gleichzeitig messen
und die Probendicke während des gleichen Messvorgangs bestimmen.
Die Gesamtdickenvariation (TTV) der Probe kann zusammen mit Oberflächen-
parametern, z.B. Rauheit, Welligkeit und Ebenheit beider Flächen oder die
Parallelität der beiden Seiten bestimmt werden. Die TTV-Option kann problem-
los bei Ihnen nachgerüstet werden.
MESSaUFGaBEN
Rauheit Stufenhöhe Schichtdicke Profil Verschleiß Warp
3DMap Roll-offAmount TTV Probendicke Welligkeit
Membran-Bow Schichtstapel Defektgröße Topografie Winkel
Vias / TSV Bumps Ebenheit CriticalDimensionNeigung
Krümmungsradius Korngröße Koplanarität Bow...
MaXIMaLE FLEXIBILITÄT DaNK MULTISENSOR-TECHNOLOGIE
Mit dem MicroProf® von FRT lassen sich vielfältige Messaufgaben schnell, effizient und intuitiv durchführen. Als etabliertes Standardmessgerät in der modernen 3DOberflächenmesstechnik beeindruckt der MicroProf® seit vielen Jahren unsere
Kunden zum Beispiel in der Halbleiter-, Medizin- und Automobilindustrie. Ob Sie die Topographie, die Probendicke oder
die Schichtdicke Ihrer Proben berührungslos messen möchten, der vielseitige MicroProf® kann aufgrund der bewährten
optischen FRT Multisensor-Technologie universell eingesetzt werden. Verschiedene optische Messmethoden, die anderswo
nur als individuelle Lösungen verfügbar sind, wurden zu einem universellen, Platz sparenden Gerät zusammengefasst.
Je nach Ihren Anforderungen ermöglicht Ihnen der MicroProf® eine schnelle Übersichtsmessung über die gesamte Probe,
sowie hoch aufgelöste Detailmessungen. Dies wird durch die verschiedenen Kombinationen der Messsensoren ermöglicht.
Darüber hinaus können die von FRT eigens entwickelte Software individuell konfiguriert und Ihre Messaufgaben entweder manuell oder automatisch umgesetzt werden.
Behalten Sie Flexibilität für Ihre zukünftigen Messungen und rüsten Sie Sensoren bei Bedarf einfach und schnell nach,
sparen Sie Platz, Zeit und (nicht zuletzt) Kosten.
FLÄCHENSENSOREN
> höchste Auflösung> große Flächen durch Stitching> schnell auf kleinen Flächen
SCHICHTDICKENSENSOREN
> höchste Auflösung> großer Messbereich> Multilayer-Messung
PUNKTSENSOREN
> extrem flexibel> beliebiger Scanbereich> schnell auf große Flächen
RaSTERKRaFTMIKROSKOPIE
> nm-Auflösung> großer Scanbereich> leichte Handhabung
INTUITIVE MESSUNG - FRT aCQUIRE
In einfachen Schritten führt Sie die FRT Acquire Soft-
ware durch manuelle Messungen, vom Anschalten des
Gerätes bis zur Ausführung des Messprozesses.
Mit der strukturierten Benutzerführung können Sie
problemlos manuelle Messungen aller Art durchführen.
Alle Sensoren, die auf Ihrem MicroProf® eingesetzt
werden, können über die Benutzeroberfläche der Soft-ware gesteuert werden. Egal ob Punkt, Profil oder 3D-Messungen nötig sind, einfach die optimalen
Messparameter für Ihre Applikation einstellen, über die
intuitive Live-Anzeige überwachen und Ihre Messdaten
nachträglich speichern.
UMFaSSENDE aUSWERTUNG - FRT MaRK III
Die FRT Mark III Analysesoftware bietet ein umfassendes
Paket für die Verarbeitung, Auswertung und Präsenta-
tion Ihrer 2D- oder 3D-Messungen. Die neuesten Stan-
dards sind implementiert, einschließlich Berechnung von
Rauheit und Welligkeit, sowie viele Verarbeitungs- und
Filter-Funktionen. Wählen Sie für Ihre Anwendung die
passende Analysefunktion aus der breiten Palette von
Optionen, einschließlich Rauheit, Ebenheit, Stufenhöhe,
Schichtdicke und vieles mehr. Präsentieren Sie Ihre Er-
gebnisse in 3D, als Profilansicht oder Draufsicht und gestalten Sie Ihre eigenen Messprotokolle. Diese benu-
tzerfreundliche Software enthält auch diverse Import-
und Exportfunktionen und kann automatisch mehrere
Verarbeitungen und Auswertungsschritte in einer Mess-
reihe durchführen.
aUTOMaTISCHE MESSUNG UND aUSWERTUNG - FRT aCQUIRE aUTOMaTION XT
Die vollautomatische Ausführung und Auswertung der Messungen ist mit der rezeptbasierten Software FRT
Acquire Automation XT möglich. Diese Software bietet umfassende Fähigkeiten, von der manuellen Messung
mit dem Gerät bis hin zur vollautomatischen Messung über Ein-Knopf-Betrieb und zur Integration in Produktions-
steuerungssysteme, z.B. über eine SECS/GEM-Schnittstelle. Wählen Sie aus einer Vielzahl von Paketen die passende
Mess- und Auswertungsroutine für Ihre Messaufgabe. Für wiederkehrende Strukturen kann ein Layout-Assistent
mit einer grafischen Benutzeroberfläche (GUI) Sie beim Anlernen der Messpositionen unterstützen. Zusätzlich ist optional eine genaue Probenausrichtung über Mustererkennung möglich. Sie können ganz einfach verschiedene
Messaufgaben mit verschiedenen Sensoren konfigurieren, um sie nacheinander als Messsequenz laufen zu lassen. Dazu gehören die Durchführung von Messungen, die Verarbeitung und die Analyse mit intelligenten Algorithmen,
die Ausgabe und die Visualisierung der Ergebnisse in Form von Berichten und der Export von Ergebnissen in
verschiedenen Datenformaten. Die aktuellen DINENISO und branchenspezifischen Standards wie SEMI werden selbstverständlich eingehalten. Mit der SEMIkompatiblen Benutzeroberfläche erfüllt FRT Acquire Automation XT
alle Anforderungen für den Einsatz sowohl in der Produktion als auch im Labor. Und natürlich enthält die Software
Benutzerverwaltungsfunktionen inklusive Zuordnung einzelner Benutzerrechte.
Automatisierte Messprozesssequenz:FRT Acquire Automation XT
Rezepterstellung – Prozessdefinition:FRT Acquire Automation XT
3D-Ansicht einer Messung: FRT Mark III
DER MICROPROF® - EIN OBERFLÄCHENMETROLOGIE-GERÄT FÜR aLLE MESSaUFGaBEN
MicroProf® 100 MicroProf® 200 MicroProf® 300
xy-Travel * 150 mm x 100 mm 250 mm x 200 mm 415 mm x 305 mm
Multi-Sensor X X X
TTV-Option X X X
Tabletop Unit X
Standalone X X
Automation (optional) X X X
Sample handling (optional) X X
Thermo Einheit (optional) X X X
GEEIGNET FÜR JEDE PROBENGRÖSSE
Das universelle MicroProf® Oberflächenmessgerät ist in verschiedenen Aus-
führungen erhältlich. Abhängig von der Größe der zu messenden Proben
können Sie das System auswählen, das den entsprechenden Probenhalter und
den Verfahrbereich zur Verfügung stellt. Neben dem MicroProf® 100 Tischgerät
gibt es zwei größere Modelle, MicroProf® 200 und MicroProf® 300, die Stand-
alone-Systeme sind. Für diese beiden Varianten steht auch die Material
Handling Unit (MHU) zur Verfügung. Von der manuellen Messung und Aus-
wertung bis hin zur vollautomatischen Durchführung von Probenhandling,
Messung und Auswertung können Sie den Automatisierungsgrad selbst be -
stimmen, indem Sie die entsprechenden Software- und Hardwarekomponenten
auswählen.
BERÜCKSICHTIGUNG BEIDER PROBENSEITEN
Sowohl das Tischgerät als auch die Standalone-Systeme der MicroProf®- Serie
beinhalten die Option für die beidseitige Probenprüfung (TTV-Option).
So können Sie die Ober- und Unterseite Ihrer Probe gleichzeitig messen
und die Probendicke während des gleichen Messvorgangs bestimmen.
Die Gesamtdickenvariation (TTV) der Probe kann zusammen mit Oberflächen-
parametern, z.B. Rauheit, Welligkeit und Ebenheit beider Flächen oder die
Parallelität der beiden Seiten bestimmt werden. Die TTV-Option kann problem-
los bei Ihnen nachgerüstet werden.
MESSaUFGaBEN
Rauheit Stufenhöhe Schichtdicke Profil Verschleiß Warp
3DMap Roll-offAmount TTV Probendicke Welligkeit
Membran-Bow Schichtstapel Defektgröße Topografie Winkel
Vias / TSV Bumps Ebenheit CriticalDimensionNeigung
Krümmungsradius Korngröße Koplanarität Bow...
MaXIMaLE FLEXIBILITÄT DaNK MULTISENSOR-TECHNOLOGIE
Mit dem MicroProf® von FRT lassen sich vielfältige Messaufgaben schnell, effizient und intuitiv durchführen. Als etabliertes Standardmessgerät in der modernen 3DOberflächenmesstechnik beeindruckt der MicroProf® seit vielen Jahren unsere
Kunden zum Beispiel in der Halbleiter-, Medizin- und Automobilindustrie. Ob Sie die Topographie, die Probendicke oder
die Schichtdicke Ihrer Proben berührungslos messen möchten, der vielseitige MicroProf® kann aufgrund der bewährten
optischen FRT Multisensor-Technologie universell eingesetzt werden. Verschiedene optische Messmethoden, die anderswo
nur als individuelle Lösungen verfügbar sind, wurden zu einem universellen, Platz sparenden Gerät zusammengefasst.
Je nach Ihren Anforderungen ermöglicht Ihnen der MicroProf® eine schnelle Übersichtsmessung über die gesamte Probe,
sowie hoch aufgelöste Detailmessungen. Dies wird durch die verschiedenen Kombinationen der Messsensoren ermöglicht.
Darüber hinaus können die von FRT eigens entwickelte Software individuell konfiguriert und Ihre Messaufgaben entweder manuell oder automatisch umgesetzt werden.
Behalten Sie Flexibilität für Ihre zukünftigen Messungen und rüsten Sie Sensoren bei Bedarf einfach und schnell nach,
sparen Sie Platz, Zeit und (nicht zuletzt) Kosten.
FLÄCHENSENSOREN
> höchste Auflösung> große Flächen durch Stitching> schnell auf kleinen Flächen
SCHICHTDICKENSENSOREN
> höchste Auflösung> großer Messbereich> Multilayer-Messung
PUNKTSENSOREN
> extrem flexibel> beliebiger Scanbereich> schnell auf große Flächen
RaSTERKRaFTMIKROSKOPIE
> nm-Auflösung> großer Scanbereich> leichte Handhabung
3D-OBERFLÄCHENMESSGERÄTE FÜR FORSCHUNG UND PRODUKTION
Kunstleder:3D-Topographie und Rauheitsmessung
Zylinderkopfdichtung: Messung der 3D-Topographie (links), TTV-Messung (rechts): Kontur von Ober- und Unterseite sowie Probendicke
Zahnmedizinische Werkzeuge:Messung der 3D-Topographie, Winkel auf einem Zahnbohrer
Polymer auf PET: Messung der Schichtdicke
Linsenarray:3D-Topographie-messung der Linsengeometrie, des Krümmungs radius, des Pitchs und der Homogenität
Saphirwafer: 3D-Messung der Dicke, Waferdicke, TTV
Vias: Messung der 3D-Topographie eines einzelnen Via,Querschnitt durch viele Vias - Breite, Tiefe
Mikrostrukturen:Hochaufgelöste Messung von Trenches
MESSBEISPIELE.
MHU – MaTERIaL HaNDLING UNIT
PROBEN HaNDLING
In vielen Branchen ist es notwendig, hohe Durchsatzraten mit auto-
matisierten Messprozessen zu verbinden. Zu diesem Zweck ist ein
automatisches Handling der Proben erforderlich.
Der MicroProf® MHU für die Halbleiter-, MEMS- und LED-Industrie er-
möglicht es, vollautomatische Messungen unterschiedlicher Proben (Wafer)
einfach durchzuführen. Von bis zu 4 Kassetten analysiert der MicroProf®
z.B. Wafer mit einem Durchmesser von 2 bis 12 Zoll, mit voller Integration
in den Produktionsablauf und mit voller Automatisierung. Optional kann
der MicroProf® MHU zur Sortierung von guten und schlechten Proben
ausgerüstet werden.
Andere Systeme für das Handling der Proben, z.B. SCARA Roboter können
auch integriert werden.
THERMO UNIT
OBERFLÄCHENMESSUNGEN UNTER TEMPERaTUREINFLUSS
Änderungen der Bauteile durch thermische Beanspruchung können
zu Funktionsstörungen oder sogar Ausfällen führen. Die topogra-
fische Beurteilung der Proben unter thermischer Belastung ist z.B. in den Bereichen Elektronikbau und Materialtechnik unerlässlich.
Durch den MicroProf® TL können Sie Messungen der Oberflächentopographie von Bauteilen unter kontrollierter thermischer Bean-
spruchung durchführen. Dazu werden die zu messenden Proben
auf einer Heiz- und Kühlplatte in einer geschlossenen Kammer (Glas-
abdeckung) platziert und erwärmt. Die Probentemperatur kann mit
individuell konfigurierbaren Temperaturprofilen präzise eingestellt und variiert werden. Sowohl vollautomatische Messungen der Oberflächen-
topographie bei unterschiedlichen Temperaturen als auch Verwei-
lzeiten bei konstanten Temperaturen sind komplett einstellbar. Die
Thermo einheit ist als Erweiterung für alle FRT-Messgeräte erhältlich
und wird als separates Modul wie ein normaler Probenhalter montiert.
Die MicroProf ®- SerieBerührungslose und zerstörungsfreie Messung von
Rauheit, Profil, Topographie und Schichtdicke
Deutschland FRT GmbH
+49 2204 84-2430
+49 2204 84-2431
Fragen? Sprechen Sie uns an!
asien / PazifikFRT Shanghai Co., Ltd.
+86 21 3876 0907
+86 21 3876 0917
AmerikaFRT of america, LLC (West)
+1 408 261 2632
+1 408 261 1173
FRT Partner:
3D-OBERFLÄCHENMESSGERÄTE FÜR FORSCHUNG UND PRODUKTION
Kunstleder:3D-Topographie und Rauheitsmessung
Zylinderkopfdichtung: Messung der 3D-Topographie (links), TTV-Messung (rechts): Kontur von Ober- und Unterseite sowie Probendicke
Zahnmedizinische Werkzeuge:Messung der 3D-Topographie, Winkel auf einem Zahnbohrer
Polymer auf PET: Messung der Schichtdicke
Linsenarray:3D-Topographie-messung der Linsengeometrie, des Krümmungs radius, des Pitchs und der Homogenität
Saphirwafer: 3D-Messung der Dicke, Waferdicke, TTV
Vias: Messung der 3D-Topographie eines einzelnen Via,Querschnitt durch viele Vias - Breite, Tiefe
Mikrostrukturen:Hochaufgelöste Messung von Trenches
MESSBEISPIELE.
MHU – MaTERIaL HaNDLING UNIT
PROBEN HaNDLING
In vielen Branchen ist es notwendig, hohe Durchsatzraten mit auto-
matisierten Messprozessen zu verbinden. Zu diesem Zweck ist ein
automatisches Handling der Proben erforderlich.
Der MicroProf® MHU für die Halbleiter-, MEMS- und LED-Industrie er-
möglicht es, vollautomatische Messungen unterschiedlicher Proben (Wafer)
einfach durchzuführen. Von bis zu 4 Kassetten analysiert der MicroProf®
z.B. Wafer mit einem Durchmesser von 2 bis 12 Zoll, mit voller Integration
in den Produktionsablauf und mit voller Automatisierung. Optional kann
der MicroProf® MHU zur Sortierung von guten und schlechten Proben
ausgerüstet werden.
Andere Systeme für das Handling der Proben, z.B. SCARA Roboter können
auch integriert werden.
THERMO UNIT
OBERFLÄCHENMESSUNGEN UNTER TEMPERaTUREINFLUSS
Änderungen der Bauteile durch thermische Beanspruchung können
zu Funktionsstörungen oder sogar Ausfällen führen. Die topogra-
fische Beurteilung der Proben unter thermischer Belastung ist z.B. in den Bereichen Elektronikbau und Materialtechnik unerlässlich.
Durch den MicroProf® TL können Sie Messungen der Oberflächentopographie von Bauteilen unter kontrollierter thermischer Bean-
spruchung durchführen. Dazu werden die zu messenden Proben
auf einer Heiz- und Kühlplatte in einer geschlossenen Kammer (Glas-
abdeckung) platziert und erwärmt. Die Probentemperatur kann mit
individuell konfigurierbaren Temperaturprofilen präzise eingestellt und variiert werden. Sowohl vollautomatische Messungen der Oberflächen-
topographie bei unterschiedlichen Temperaturen als auch Verwei-
lzeiten bei konstanten Temperaturen sind komplett einstellbar. Die
Thermo einheit ist als Erweiterung für alle FRT-Messgeräte erhältlich
und wird als separates Modul wie ein normaler Probenhalter montiert.
Die MicroProf ®- SerieBerührungslose und zerstörungsfreie Messung von
Rauheit, Profil, Topographie und Schichtdicke
Deutschland FRT GmbH
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+86 21 3876 0907
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