NTB MIKROTECHNIK KONFERENZ

25 JAHRE INSTITUT FÜR MIKRO- UND NANOTECHNOLOGIE

Interstaatliche Hochschulefür Technik Buchs

NTB

FHO Fachhochschule Ostschweiz

«MEMS Technologie an der NTB»

Mittwoch 8. Mai 2019

NTB Campus BuchsWerdenbergstrasse 49470 Buchs

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FOKUS DER VERANSTALTUNG

Das 25 jährige Bestehen unseres Instituts für Mikro- und Nanotechnologie MNT

möchten wir zum Anlass nehmen, die erste NTB - Mikrotechnik Konferenz durch-

zuführen. Wir werden mit einer spannenden Keynote von Dr. Bruno Michel (IBM

Zürich) starten und dann in mehreren Kurzvorträgen Projekte der NTB und ihrer

Partner im Bereich der Mikrotechnik vorstellen. Zusätzlich erhalten die Teilnehmer

die Möglichkeit, unsere neuen Reinräume und Labors zu besichtigen.

Wir werden im Anschluss der Veranstaltung gemeinsam bei einem Apéro anstossen.

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HAUPTREDNER

Dr. Bruno Michel, Smart System Integration, IBM Zurich

Research Laboratory

Bruno Michel erlangte seinen Doktortitel in Biochemie und

Computer Engineering von der Uni Zürich und schloss sich dann

dem IBM Zürich Forschungslabor an, wo er auf der Technik der

Rasterkraft- und Rastertunnelmikroskopie arbeitete.

Dr. Michel startete dort eine Forschungsgruppe für Advanced Thermal Packaging.

Seine Themenvielfalt von Mikrotechnologie über 3D-Packaging bis hin zu zukünf-

tigen „grünen“ Datacentern und nachhaltige Prozesse zur Energieumwandlung

ist beeindruckend und seine Ideen sind jeweils inspiriert vom Vorbild der Natur.

Sein zentraler Fokus liegt immer darauf, Computer effizienter zu machen und

dadurch den ökologischen Fussabdruck der Informationstechnologie zu verklei-

nern. In der kürzlich gestarteten «Smart System Initiative» entwickelt Dr. Michel

Daten-getriebene Medizintechnologien basierend auf miniaturisierten kognitiven

Wearables, Edge- und Cloud-Computern.

Bruno Michel gehört zu den führenden interdisziplinären Innovatoren sowohl in wis-

senschaftlichen als auch in anwendungsorientierten Bereichen. Er ist Mitglied der

National Academy of Engineering und auch der IBM Academy of Technology. Er ist

IEEE Fellow und Träger des IEEE THERMI und Harvey Rosten Awards. Er hat über

300 wissenschaftliche und technische Publikationen geschrieben, die über 20‘000

Zitierungen erhielten. Ausserdem hat er unglaubliche 160 erteilte Patente, einen

IBM patent portfolio award und viele outstanding technology achievement awards.

Neben all dem ist er ein ausgezeichneter Stepptänzer, was er auch bereits in einen

TED Talk mit einbaute.

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EXPERTEN

Welt der VCSEL Laser

Martin Spieser hat nach seinem Studium der Mikrotechnik an der

NTB die Herstellung von Röntgensensoren bei Dectris Ltd. geleitet.

Nach einem Masterstudium an der ETH Zürich war er verantwort-

lich für die Entwicklung von thermischen Cantilever-Spitzen bei der

SwissLitho AG. Momentan arbeitet er bei II-VI Laser Enterprise als

Prozessintegrationsingenieur für die Produktion von GaAs Lasern,

in deren Technologie er uns einen Einblick gewährt.

Siliziumstrukturen für komplexe Mikrobauteile

Valentin Strässle arbeitet seit 2011 am Institut für Mikro- und Nano-

technologie und beschäftigt sich mit der Herstellung von MEMS-

Bauteilen und ist Experte für trockenchemische Ätzprozesse. In

seinem Vortrag wird Herr Strässle die komplexen Anforderungen

von siliziumbasierten Mikrostrukturen und deren Herstellung an-

hand von konkreten Beispielen aufzeigen.

Optische Wellenleiterschaltungen basierend auf

mikrotechnischen Verfahren

Dr. Tobias Lamprecht hat auf dem Gebiet von Polymer basierten

optischen Wellenleitern promoviert und verantwortet heute bei der

vario-optics AG die Technologieentwicklung. Herr Lamprecht be-

richtet in seinem Vortrag über die aktuellen Entwicklungen und die

mikrotechnischen Aspekte der Technologie.

Mikrofluidik für MedTech Anwendungen

Dr. Cornelia Nef studierte Nanowissenschaften an der Universität

Basel und hat auf dem Gebiet der Nanoelektronik promoviert.

Seit 2014 arbeitet sie am Institut für Mikro- und Nanotechnologie

und beschäftigt sich unter anderem mit MedTech Anwendungen.

In ihrem Vortrag wird sie mikrofluidische Technologien und

Anwendungen vorstellen.

CMOSens: Von der Manufaktur zum Hochvolumenprozess

Marc Gubser hat an der NTB und anschliessend an der FH

Vorarlberg Mikro- und Nanotechnologie studiert. Als Prozess-

ingenieur ist er bei der Sensirion AG in der MEMS-Entwicklung

neuer Produkte und Prozesse mit Schwerpunkt Lithographie tätig.

Herr Gubser zeigt Herausforderungen in der MEMS-Fertigung

beim Schritt zur Hochvolumenfertigung.

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PROGRAMM

13:00 – 13:30 Empfang

13:30 – 13:55 Begrüssung + 25 Jahre Institut MNTProf. Lothar Ritter, Rektor NTBProf. Dr. André Bernard, NTB

13:55 – 14:35 Keynote «Biologisch inspirierte Mikrotechnik»Dr. Bruno Michel, IBM Research

14:35 – 15:00 Pause

15:00 – 16:15 Rundgang NTB Labors und Reinräume

16:15 – 16:45 Pause

16:45 – 18:00 Vorträge Martin Spieser MSc, II-VI Laser Enterprise Valentin Strässle MSc, NTBDr. Tobias Lamprecht, vario-opticsDr. Cornelia Nef, NTBMarc Gubser MSc, Sensirion

18:00 – 18:10 AbschlussworteProf. Dr. Andreas Ettemeyer, Prorektor NTB

18:15 – 19:15 Apéro riche

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VERANSTALTUNGSHINWEISE

Teilnehmergebühren

Keine

Anmeldung

Online unter www.ntb.ch/mikrotechnikkonferenz

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NTB

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NTB Interstaatliche Hochschule

für Technik Buchs

www.ntb.ch

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Institut für Mikro- und

Nanotechnologie MNT

Prof. Dr. André BernardTel. +41 81 755 34 66andre.bernard@ntb.ch

www.ntb.ch/ mnt