Spezialgraphite für die Photovoltaik- industrie

GRAPHITE mATERIAlS ANd SySTEmS

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Spezialgraphit- und Prozess- lösungen – made by SGL Group.

Fortschrittliche Material-, Equipment- und Prozesslösungen

Entwickelt für Kunden aus mehr als 35 Industrien

Maßgeschneidert aus dem umfangreichsten Produktportfolio

Tiefgreifendes Produktions- und Material-Know-how

Konstant hohe Qualität, Performance und Service

Attraktive Gesamtbetriebskosten

Broad Base. Best Solutions.

3BUSINESS UNIT GRAPHITE mATERIAlS ANd SySTEmS

Fortschrittliche Lösungen verschaffen unseren Kunden einen Vorsprung. Die SGL Group bietet fortschrittliche Lösungen – selbst für herausfor-dernde Anwendungen. Wir verstehen die spezifischen Anforderungen unserer Kunden und kombinieren tiefgreifendes Produktions-, Material- und Engineering-Know-how mit dem umfangreichsten Spezialgraphit-Portfolio. Das macht uns zum Partner der Wahl führender Unternehmen.

Extreme Korrosions- und Hitzebeständigkeit sowie hohe Reinheit und mechanische Festigkeit sind nur einige der herausragenden Eigenschaften unserer Werkstoffe. Spezialgraphitprodukte der SGL Group führen auch dort zu optimalen Ergebnissen, wo andere Materialien längst an ihre Grenzen stoßen.

Abgestimmt auf Ihre spezifischen Anforderungen identifizieren wir für Sie die jeweils beste Lösung aus dem umfangsreichsten Spezialgraphit-Sortiment.

Feinkorngraphite: isostatisch, vibrations- verdichtet, gesenkgepresst, extrudiert

Expandierter Naturgraphit Carbonfaserverstärkter Kohlenstoff (CFC) Graphitweichfilze und -hartfilze Siliziumcarbidbeschichtete Graphitmaterialien

Zusätzlich verwenden wir auch Materialien wie PTFE, Siliziumcarbid und Spezialmetalle.

Mit diesem Portfolio und dem anwendungs- technischen Wissen aus über 35 Industrien

b Bearbeitung eines Mäanderheizers

entwickeln wir in enger Partnerschaft mit unseren Kunden maßgeschneiderte Lösungen.

Die SGL Group vereint die gesamte Wertschöpfungs-kette der Spezialgraphitherstellung. Von der Roh-stoffaufbereitung über die Halbzeugproduktion sowie die Präzisionsbearbeitung bis hin zur Reini-gung und Beschichtung. Auch bei Equipment- und Prozesslösungen macht unser Leistungsangebot den Unterschied aus: Wir bieten Konstruktion, Auslegung, Produktion, Montage, Inbetriebnahme und Service aus einer Hand. So kontrollieren und sichern wir die konstant hohe Qualität und Performance unserer Produkte – und verschaffen damit unseren Kunden einen entscheidenden Vorsprung. Fordern Sie uns heraus. Wir sind weltweit für Sie da.

Spezialgraphitlösungen für die Photovoltaik-industrie

Photovoltaikproduzenten und -anlagenbauer sichern die Energieversorgung von morgen. Wir kennen die Solarbranche von Anfang an und wissen, worauf es ankommt. Mit innovativen Spezialgraphit-Lösungen sind wir ein gefragter Partner führender Unternehmen.

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Metallurgisches SiliziumWertschöpfungskette Trichlorsilan (TCS)

Amorpher KohlenstoffMaterialien aus Kohlenstoff und Graphit

Extrudierte, vibrations-verdichtete, isostatische Graphite

KohlenstoffelektrodenProdukte derSGL Group

HCI Syntheseanlagen HeizelementeHitzeschildeIsolationBehälterElektroden (Polychucks)

Polysilizium

SIGRAFINE®extrudierte, vibrationsver dich-tete, isostatische GraphiteSIGRAFINE® SiC CoatingSIGRATHERM® Kohlenstoff- und GraphitfilzeSIGRABOND® carbonfaserverstärkte Kohlenstoffe und Graphite

Spezialgraphite – made by SGL Group.Lösungen für die Photovoltaikindustrie.

Konverter Siemens-Reaktor

�+�Mehr Informationen unter www.sglgroup.com/carbonelectrodes

�+�Mehr Informationen unter www.sglgroup.com/processsolutions

5SPEZIAlGRAPHITlöSUNGEN FüR dIE PHOTOvOlTAIKINdUSTRIE

In der Silizium-basierten PV-Wertschöpfungskette sind Spezi-al graphite unverzichtbar. Denn einige Anwendungen laufen bei sehr hohen Temperaturen und in extrem korrosivem Milieu ab; gleichzeitig sind hohe Reinheit und Präzision gefordert.

Für die herausfordernden Prozesse der Photovoltaik - indu strie bieten wir effiziente Lösungen aus Spezialgraphit.Unser Portfolio beginnt bei Elektroden zur Abscheidunghochreinen Polysiliziums. Hinzu kommen Heizer und Tiegelsowie Isolationsbauteile, die sich für unterschiedliche Kris-tallzüchtungsanlagen und Verfahren eignen: ob zum Ziehen

TiegelHeizerHitzeschildeIsolation

Sägeunterlagen TrägerbooteWafer-Träger

SIGRAFINE®extrudierte, vibrationsverdichtete, isostatische GraphiteSIGRATHERM® Kohlenstoff- und GraphitfilzeSIGRABOND® carbonfaserverstärkte Kohlenstoffe und GraphiteSIGRAFINE® SiC Coating

Siliziumkristallzüchtung Wafer

SIGRAFINE®isostatische Graphite SIGRAFINE® SiC Coating SIGRABOND® carbonfaserverstärkte Kohlenstoffe und Graphite

von Siliziumeinkristallen (Czochralski-Verfahren, CZ) oder zum Blockgießen von multikristallinem Silizium (DSS-/VGF-Verfahren). Abgerundet wird das Spektrum durch Trägersys-teme für die Antireflex-Beschichtung von Solar-Wafern in PECVD-Anlagen. Unsere Komponenten werden vorwiegend nach individuellen Anforderungen gefertigt. Außerdem unter-stützen wir unsere Kunden bei Planung und Entwurf sowie bei der Optimierung im Betrieb.

�+�SIGRAFINE® ist der neue Markenname für unsere Feinkorngraphite, bisher bekannt unter RINGSDORFF®, SIGRAFORM®, SIGRAMENT® und CRYSTA-SIL®.

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Produkte für die PhotovoltaikAls zuverlässiger Lieferant und Partner unserer Kunden bieten wir für jede Anwen-dung perfekte Lösungen und maximale Prozesssicherheit. Was uns auszeichnet:

Breiteste Auswahl hochreiner Spezialgraphite

Konstant hohe Material- und Produktqualität

Langjähriges Anwendungs- und Werkstoff-Know-how

Individuelle Fertigung exakt nach Kundenwunsch

Anwendungsspezifische Veredelung durch Reinigung, mechanische Bearbeitung oder Beschichtung

7SPEZIAlGRAPHITE FüR dIE PHOTOvOlTAIKINdUSTRIE

Spezialgraphite für die Polysiliziumproduktion

c Elektroden (Polychucks) für Siemens-Reaktoren

b Mäanderheizer für CZ-Anlagen

c Graphithartfilz-Zylinder zur Isolation von Konvertern

In Siemens-Reaktoren und sogenannten STC-TCS-Konvertern zur Wiederaufbereitung der Prozessgase herrschen Tempera-turen bis über 1000 °C und ein hochkorrosives Milieu. Hier überzeugen unsere Graphitbauteile vor allem, weil sie extrem temperatur- und korrosionsbeständig sind.

Seit Jahrzehnten unterstützen wir Polysiliziumhersteller mit vielfältigen Anlagenkomponenten. Dazu zählen gereinigte Elektroden für die Polysilizium-abscheidung, Heizer und Gasführungen für STC-TCS-

Konverter sowie Hitzeschilde und thermische Isolationsteile. Abhängig von Anforderungen und Betriebsbedingungen wählen unsere Experten die besten Materialien und fertigen daraus maßgeschneiderte Produkte. Durch unsere neu ent-wickelten Formgebungs- und Verbindungs lösungen können wir zum Beispiel Konverter-Isolationen in fast jeder Länge und nahezu jedem Durchmesser liefern. Um die Lebensdauer besonders beanspruchter Bauteile zu erhöhen – etwa bei Konvertern –, bieten wir Spezialbeschichtungen aus Silizium-carbid (SiC).

Anwendungsspezifische Spezialgraphite für die Polysiliziumproduktion

Anwendungen ProdukteGraphit

Weichfilz Hartfilz CFC SiC- beschichtetisostatisch extrudiert vibrations-

verdichtet Wirbelschichtreaktor (FBR) Reaktor   ○Siemens CVD-Prozess Polychuck ○ ○

Konverter (STC-TCS)

Gasverteiler ○ ○ ○Heizelemente ○ ○ ○ ○

Hitzeschilde ○ ○ ○ ○Isolationszylinder ○

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c Graphitkomponenten für CZ-Anlagen

Das Kristallziehen nach dem Czochralski-Verfahren (CZ) stellt hohe Anforderungen an die Anlagenkomponenten. Neben Temperaturbeständigkeit und langer Lebensdauer sind auch Korrosionsbeständigkeit und höchste Materialreinheit gefragt. Deshalb besteht der Hochtemperaturbereich in CZ-Anlagen („Heiße Zone“) fast vollständig aus Graphitbauteilen.

Die SGL Group fertigt sämtliche Graphitkomponenten für CZ-Anlagen – auch als Set.

Spezialgraphite für das Einkristallziehen von Silizium

Anwendungsspezifische Spezialgraphite für CZ-Anlagen

Anwendungen ProdukteGraphite

Weichfilz Hartfilz CFC SiC- beschichtetisostatisch extrudiert vibrations-

verdichtet

Monokristallziehen

Tiegel ○ ○Heizer ○

Hitzeschilde ○ ○Reflektoren ○ ○ ○

Isolation ○ ○

Dazu zählen Heizer, Tiegel, Reflektoren und Hitzeschilde aus hochreinem Feinkorngraphit oder carbonfaserverstärktem Kohlenstoff sowie Isolationsbauteile aus Graphitfilzen. Ab-hängig von den Betriebsbedingungen wählen wir die jeweils besten Materialien aus unserem breiten Kohlenstoff- und Graphit sortiment. Bei Bauteilen für Silizium-/Siliziumoxid-Atmo sphären ist unser langlebiger isostatischer Graphit R6510 die erste Wahl. Unabhängig davon lässt sich die Lebensdauer stark beanspruchter Bauteile mit unseren SiC-Beschichtungen erhöhen.

c Stütztiegel aus CFC c Hartfilz-Zylinder zur Isolation

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Das Blockguss-Verfahren, auch DSS- oder VGF-Verfahren(Directional Solidification System bzw. Vertical Gradiant Freeze), liefert heute den Großteil der in der PV-Industrie verarbeiteten Silizium-Ingots. Für eine effiziente Herstellung immer größerer Silizium blöcke wachsen auch die Anforderungen an die Gra-phitbauteile in der „Heißen Zone“. Die wesentlichen Faktoren sind die verfügbaren Dimensionen, eine hohe Festigkeit und Korrosions beständigkeit, eine optimale Wärmeleitfähigkeit wie auch eine hohe Materialreinheit. All diesen Anforderungen werden unsere Produkte gerecht.

Für DSS-Öfen liefern wir ein komplettes Programm an Graphitbauteilen, wahlweise einzeln oder als Set. Im Einzelnen sind das Heizer sowie Boden- und Seitenplattenaus Feinkorngraphit, thermische Isolationsplatten aus Graphit-hartfilzen sowie Tiegelabdeckplatten und Befestigungs-elemente aus carbonfaserverstärktem Kohlenstoff. UnsereKunden profitieren von der hohen Materialqualität, von un-serem breiten Portfolio auf Basis eigener Halbzeugfertigung und von der angebotenen Größenvielfalt. So lässt sich zum Beispiel mit unseren großformatigen Hartfilz-Isolationsplat-ten (1524 x 1219 mm) eine deutlich bessere Plattenausnutzung erreichen.

c SIGRATHERM MFA Graphithartfilz Platte c SIGRABOND Performance

Spezialgraphite zur Herstellung multikristalliner Silizium-Blöcke

Anwendungsspezifische Spezialgraphite für DSS-/VGF-Anlagen

Anwendungen ProdukteGraphite

Weichfilz Hartfilz CFC SiC- beschichtetisostatisch extrudiert vibrations-

verdichtet

Multikristallgießen

Heizer ○ ○ ○Grundplatten ○ ○

Seiten-/Bodenplatten ○Abdeckplatten ○

Isolation ○Befestigungsteile ○

SPEZIAlGRAPHITE FüR dIE PHOTOvOlTAIKINdUSTRIE

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In PECVD-Anlagen (Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition) ist die exakte Positionierung der Solar-Wafer entscheidend. Nur so lassen sich optimale Ergebnisse bei der Anti reflexions-Beschichtung erzielen – für Solarzellen mit größtmöglicher Stromausbeute. Dabei unterstützen wir unsere Kunden mit präzisionsgefertigten Trägersystemenaus formstabilen Spezialgraphiten.

Die SGL Group liefert sowohl kompakte Graphitboote aus hochreinem isostatischem Graphit als auch Wafer -Träger aus carbonfaserverstärktem Kohlenstoff (CFC) in allen gängigen Größen. Besondere Vorteile bietet unser speziell entwickelter Werk-stoff SIGRABOND Performance. Aufgrund seiner extrem hohen Steifigkeit und seines sehr geringen Gewichts ermög-licht er die Fertigung besonders schlanker und effizienter Wafer-Träger.

c Graphit-Trägerboote für Solar-Wafer

c CFC-Trägerrahmen für Solar-Wafer

a Probemontage eines Konverters bei der SGL Group

Spezialgraphite für PECVD-Anlagen

Anwendungsspezifische Spezialgraphite für PECVD-Anlagen

Anwendungen ProdukteGraphite

Weichfilz Hartfilz CFC SiC- beschichtetisostatisch extrudiert vibrations-

verdichtet

PECVD-Beschichtung(Antireflexion)

Graphitboote ○ ○Wafer-Träger ○ ○

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Partner für die Optimierung von Konverter-AnlagenEin großer Hersteller von Polysilizium beklagte bei seinen Konvertern einen unzureichenden Ausstoß.

Gemeinsam legten wir Heizer und Graphit-einbauten neu aus und wählten optimale Komponenten. In Near-Net-Shape- Technologie entwickelten wir außerdem speziell für den Kunden neue Isolations-zylinder aus Graphithartfilz.

Das Ergebnis: eine rund 20 % höhere STC-TCS-Konversionsrate sowie reduzierte Energie- und Gesamtbetriebskosten.

Nur ein Beispiel für anwendungsspezifisch optimierte Lösungen der SGL Group.

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Feinkorngraphite für die PhotovoltaikindustrieViele Anwendungen der Photovoltaik profitieren von unserer breiten Palette an isostatischen, extrudierten und vibrations-verdichteten Feinkorngraphiten und ihren herausragenden Eigenschaften:

Hohe mechanische Festigkeit

Gleichbleibend hohe Qualität

Hohe Reinheit

Große Bandbreite an Abmessungen

Hohe Korrosionsbeständigkeit

Ausgezeichnete Temperatur-beständigkeit

13FEINKORNGRAPHIT

Unsere SIGRAFINE Materialien umspannen das gesamte Spektrum an Feinkorngraphiten: von isostatischen über extrudierten bis hin zu vibrationsverdichteten Graphiten.

Für die vielfältigen Anwendungen der Photovoltaik - industrie liefern wir das jeweils optimale Material in marktüblichen Größen.Für Heizer-Systeme eignen sich bestimmte Sorten unserer isostatischen und extrudierten Graphite. Sehr lange, einteilige Rohre lassen sich hervorragend aus extrudiertem Graphit

fertigen. Für extragroße Komponenten führen wir spezielle vibrationsverdichtete und isostatische Graphitsorten.Alle Bauteile aus den genannten Materialien können bei Bedarf in höchster Reinheit geliefert werden. Zur SiC-Beschichtung, die die Lebens dauer der Bauteile verlängert, verwenden wir in der Regel isostatische Graphite.

SIGRAFINE® FeinkorngraphiteIsostatisch, extrudiert, vibrationsverdichtet.

�+�Mehr Information unter: www.sglgroup.com/HerstellungsprozessFeinkorngraphite

3) Ø 400 ... 780 mm; ¨ 500 x 500 ... 610 x 760 mm 4) Ø 760 ... 1360 mm; ¨ 630 x 1300 x 1420 mm1) Spezifikationslimit der Aschewerte: < 30 ppm 2) Spezifikationslimit der Aschewerte: < 5 ppm

Materialdaten unserer isostatischen SIGRAFINE® Feinkorngraphite

Typische Eigenschaften EinheitenIsostatischer Graphit

R6300 R6340 R6500 R6510 R6650Mittlere Korngröße µm 20 15 10 10 7Dichte g/cm3 1,73 1,72 1,77 1,83 1,84Spezifischer elektrischer Widerstand µΩm 16 12 14 13 14Biegefestigkeit MPa 40 45 50 60 65Druckfestigkeit MPa 85 90 110 130 150Wärmeausdehnung 20 – 200 °C 10-6 K-1 2,7 3,2 4,2 4,2 4,1Aschewert ppm ≤ 200 ≤ 200 ≤ 200 ≤ 200 ≤ 200Aschewert (gereinigt, P30) 1) ppm ≤ 10 ≤ 10 ≤ 10 ≤ 10 ≤ 10Aschewert (hochrein, P5) 2) ppm ≤ 2 ≤ 2 ≤ 2 ≤ 2 ≤ 2

Materialdaten unserer extrudierten und vibrationsverdichteten SIGRAFINE® Feinkorngraphite

Typische Eigenschaften EinheitenExtrudierter Graphit Vibrationsverdichteter Graphit

HLM3) SDR MKUN MKUS4)Mittlere Korngröße mm 0,8 0,2 0,8 0,8Dichte g/cm3 1,72 1,75 1,67 1,79Spezifischer elektrischer Widerstand µΩm 7,8/9,5 9,0 10/12 8/9Biegefestigkeit MPa 19/19 33 10/10 18/17Druckfestigkeit MPa 40/39 – 25/25 41/39Wärmeausdehnung 20 – 200 °C 10-6 K-1 3,0/3,5 2,2 2,3/3,2 2,7/3,3Aschewert ppm ≤ 800 ≤ 500 ≤ 700 ≤ 700Aschewert (gereinigt, P30) 1) ppm ≤ 10 ≤ 10 ≤ 10 ≤ 10Aschewert (hochrein, P5) 2) ppm ≤ 2 ≤ 2 ≤ 2 ≤ 2

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Unsere Graphitweichfilze bieten eine einzigartige Kombina tion aus thermischen, chemischen und textilen Eigenschaften. Dadurch eignen sie sich ideal zur Isolation von Czochralski-Kristallzuchtanlagen.

Aufgrund spezieller Herstellungsprozesse zeichnen sichunsere SIGRATHERM Graphitweichfilze durch eine sehrgeringe Wärmeleitfähigkeit aus.Außerdem besitzen sie eine einzigartige, über die gesamte Rollenlänge besonders homogene Dicken- und Dichtevertei-lung. So garantieren unsere Weichfilze eine gleichmäßige und gleichbleibend hohe Isolationswirkung. Unsere SIGRATHERM Graphitweichfilze bieten wir auch in höchster Reinheit sowie in kundenspezifischen Sonderabmessungen.

SIGRATHERM® GraphitweichfilzeFür eine optimale thermische Isolation.

Materialdaten unserer SIGRATHERM® Graphitweichfilze

Typische Eigenschaften Einheiten GFA5 GFA10Dicke mm 6 11,5Flächengewicht g /m2 500 1000Breite mm 1220 1270Länge m 25 – 30 25 – 30Aschewert ppm ≤ 400 ≤ 400Aschewert (nachgereinigt) ppm ≤ 20 ≤ 20Maximale Anwendungstemperatur °C 2000 bei inerter Atmosphäre oder bei Vakuum

c SIGRATHERM Weichfilz

Wär

mel

eitf

ähig

keit

[Wm

-1K-1]

Temperatur [°C]

0,1

0,2

0,3

0,4

0,5

0,6

0200 20001000

Wärmeleitfähigkeit von SIGRATHERM GFA in Abhängigkeitvon der Temperatur (Vakuum-/Schutzgasatmosphäre)

Schutzgas

Vakuum

15KOHlENSTOFF- UNd GRAPHITFIlZE

SIGRATHERM® GraphithartfilzeFür eine mechanisch stabile thermische Isolation.

Platten und Zylinder aus SIGRATHERM Graphithartfilzen überzeugen vor allem durch gleichbleibend gute thermische Isolationseigenschaften. Darüber hinaus sind sie erosionsfest, lassen sich leicht verarbeiten und erlauben selbsttragende Konstruktionen zur Isolation auch größerer Bauteile.

Neben SIGRATHERM Isolationsplatten als Halbzeug liefern wir auch einsatzfertige Bauteile nach kundenspezifischen Anforderungen.

Temperatur [°C]

Wärmeleitfähigkeit von SIGRATHERM MFA in Abhängigkeitvon der Temperatur (Schutzgasatmosphäre)

00

0,2

0,4

0,6

0,8

1,0

1000 2000

Wär

mel

eitf

ähig

keit

[Wm

-1K-1]

Durch unsere innovativen Verbindungslösungen können wir zum Beispiel maßgefertigte Zylinder in nahezu jeder Größe anbieten, wovon besonders Polysilizium-Hersteller profitieren. Speziell für die Halbleiteranwendungen bieten wir auch Hart-filze in hochreiner Qualität.

Als Konvektionssperre und Reflexionsschicht lassen sich eine oder mehrere Lagen Graphitfolie aufbringen, die untrennbar mit dem Isolationsfilz verbunden sind. Für einen mechanischen Oberflächenschutz bieten wir einen Isolationsverbund aus Filz und beidseitig aufgebrachtem CFC-Gewebe.

Materialdaten unserer SIGRATHERM® Graphithartfilze

Typische Eigenschaften EinheitenPlatten Zylinder

MFA RFA MFA RFADichte g/cm3 0,2 0,2 0,2 0,2Druckfestigkeit MPa 1 1 1 1Biegefestigkeit MPa 1 1 1 1Feuchtigkeitsaufnahme % < 1,0 < 1,0 < 1,0 < 1,0Aschewert ppm ≤ 1000 ≤ 1000 ≤ 1000 ≤ 1000Aschewert (nachgereinigt) ppm < 20 < 20 < 20 < 20

Länge/Breite Durchmesser max /Länge max mm 1524/1219 1524/1219

unbegrenzt

2000/2500

Dicke Wandstärke max mm 20 – 400 20 – 400

150

300

Maximale Anwendungstemperatur °C 2000 bei inerter Atmosphäre oder bei Vakuum

c SIGRATHERM Hartfilz mit verschiedenen Beschichtungsoptionen

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SIGRABOND® carbonfaserverstärkter Kohlenstoff (CFC)Für leichte, steife und langlebige Trägerkonstruktionen.

c SIGRABOND Performance und SIGRABOND Standard

Materialdaten unserer SIGRABOND® carbonfaserverstärkten Kohlenstoffe

Typische Eigenschaften EinheitenPlatten Rotationssymmetrische Teile

Performance Standard FilWoundDichte g/ cm3 1,5 1,5 1,4Biegefestigkeit MPa 200 150

abhängig vom LagenaufbauE-Modul GPa 70 60

Interlaminare Scherfestigkeit MPa 8 8Aschewert ppm ≤ 1000 ≤ 1000 ≤ 1000Aschewert (nachgereinigt) ppm ≤ 10 ≤ 10 ≤ 10

Länge/Breite 1) Durchmesser max /Länge max mm 1220 x 1220/2450 x 1220

Sondermaße auf Anfrage1220 x 1220/2450 x 1220

Sondermaße auf Anfrage

2000/2500

Dicke Wandstärke max mm 1,8 – 15 0,7 – 30 100

Maximale Anwendungstemperatur °C 2000 bei inerter Atmosphäre oder bei Vakuum

α =

x × 10

-6/K

Temperatur [°C]

Wärmeausdehnungskoeffizient

-2

0

0

2

4

6

8

10

12

400 1200 2000

parallelzur Faserrichtung

senkrechtzur Faserrichtung

Mechanisch hoch belastbar, gering in Gewicht und thermischer Ausdehnung, extrem korrosions- und temperaturbeständig und auch noch hochrein: Das sind unsere SIGRABOND Verbundwerkstoffe.

Neben Platten und Profilen fertigen wir aus SIGRABONDauch rotationssymmetrische Bauteile wie Tiegel und Zylinder.Unsere SIGRABOND Performance ist eine neu entwickelte CFC-Platte mit verbesserter Steifigkeit für noch leichtere Bauteile wie Wafer-Trägersysteme für PEVCD-Anlagen oder Abdeckplatten für DSS-Anlagen. SIGRABOND FilWound- Produkte kommen vorwiegend als CFC-Stütztiegel in CZ- Anlagen zum Einsatz. Je nach Kundenanforderung werden unsere CFC-Halbzeuge mechanisch bearbeitet oder auch mittels SiC-Beschichtung weiterveredelt.

1) Standardabmessung

CARBONFASERvERSTÄRKTER KOHlENSTOFF

17SIC-BESCHICHTUNG

SIGRAFINE® SiC CoatingZur Verlängerung der Lebensdauer von Graphitkomponenten.

Materialdaten SIGRAFINE® SiC Coating

Typische Eigenschaften Einheiten Wert AnalysetechnikStruktur Beta (cubic) 3C Polytype XRDOrientierung Fraction [%] 111 preferred XRDDichte g/cm3 3,2 XRDStöchiometrie 1:1 Si/C XPSHärte GPa 40 NanoindentationBruchzähigkeit MPa m1/2 3,0 Vickers identerWärmeausdehnung 100 – 600 °C 10-6 K-1 4,3 DilatometerE-Modul GPa 435 NanoindentationTypische Schichtdicke µm 100 Beta backscatterOberflächenrauheit µm 2,5 Profilometer

Reinheitsdaten SIGRAFINE® SiC Coating (Glow Discharge Mass Spektroskopie)

Element ppm Element ppmNatrium < 0,05 Kupfer < 0,01Magnesium < 0,01 Zink < 0,05Aluminium < 0,04 Gallium < 0,05Phosphor < 0,01 Germanium < 0,05Schwefel < 0,04 Arsen < 0,005Kalium < 0,05 Indium < 0,01Kalzium < 0,05 Zinn < 0,01Titan < 0,005 Antimon < 0,01Vanadium < 0,001 Wolfram < 0,01Chrom < 0,05 Tellur < 0,01Mangan < 0,005 Blei < 0,01Eisen < 0,01 Wismut < 0,01Nickel < 0,005 c Mikroskopie der SiC Oberfläche

SIGRAFINE SiC Coating ist eine dichte, verschleißfeste Sili ziumcarbid-Beschichtung mit hoher Korrosions- und Temperaturbeständigkeit sowie einer hervorragenden Wärmeleitfähigkeit. Mittels chemischer Gasphasenabschei-dung (CVD-Verfahren) bringen wir SiC in dünnen Schichten auf den Graphit auf. Die Beschichtung verbessert die Produktqualität, erhöht die Prozesseffizienz und senkt somit die Gesamtbetriebskosten unserer Kunden.

Mit dem Coating verlängern wir die Lebensdauer von Graphit komponenten und erzielen hochreine Oberflächen-strukturen, wie sie bei der Verarbeitung von Halbleiter-materialien gefordert sind. Die SGL Group liefert SiC- beschichtete Produkte aus hochfestem isostatischem Graphit und carbonfaserverstärktem Kohlenstoff. Dazu zählen Komponenten für die Polysilizium-Herstellung oder auch Reflektoren für CZ-Anlagen sowie Suszeptoren für die Silizium-Epitaxie und für MOCVD-Reaktoren.

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Gemeinsam mit Ihnen finden wir die beste Lösung.Die faszinierenden Möglichkeiten des Werk - stoffs Carbon begeistern uns und spornen uns an, gemeinsam mit unseren Kunden die optimale Lösung zu entwickeln.

Mit unserem umfassenden Materialport folio und wertvollen Spezialwissen fertigen wir maßgeschneiderte Produkte – selbst für anspruchsvollste Anwendungen.

Konstant hohe Qualität, weltweite Präsenz, Innovationskraft und langjährige Erfahrung unserer Mitarbeiter machen uns zum zuverlässigen Partner unserer Kunden.

Wie immer Ihre Herausforderung aussieht – gemeinsam mit Ihnen finden wir die beste Lösung.

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Wir verfügen über ein breites Rohstoffverständnis, ausgereifte Herstellungsprozesse und langjähriges Anwendungs- und Engineering-Know-how.Unser Portfolio an Kohlenstoff-, Graphit- und Carbonfaserprodukten ist umfassend und unsere integrierte Wertschöpfungskette reicht von Carbonfasern bis hin zu Verbundwerkstoffen. Mit einem flächendeckenden Vertriebsnetz und modernen Produktionsstandorten in Europa, Nordamerika und Asien sind wir weltweit nah bei unseren Kunden.

Mit dieser breiten Basis bieten wir unseren Kunden beste Lösungen. Daher unser Claim: Broad Base. Best Solutions. Er wird gestützt durch SGL Excellence, unsere Unternehmensphilosophie der kontinuierlichen Verbesserung.

�+�Mehr Informationen unter www.sglgroup.com

sglgroup sglgroup

SGl GROUP – THE CARBON COmPANy

SGL Group – The Carbon Company. Ein weltweit führender Hersteller von Produkten aus Carbon.

Einzigartiges Produktportfolio Innovative Technologien und Lösungen Produktionsstandorte nahe den Absatzmärkten Technology & Innovation Center in Deutschland mit internationalen Netzwerken

b 3D-Wickeln eines SIGRABOND FilWound Tiegels bei der SGL Group

Kontakt

Graphite Materials & SystemsSGL CARBON GmbH Söhnleinstraße 8 | 65201 Wiesbaden/Germanywww.sglgroup.com/gms

EUROPA/NAHER OSTEN/AFRIKASGL CARBON GmbHDrachenburgstraße 153170 Bonn/Germanygms-europe@sglgroup.com

ASIEN/PAZIFIKSGL CARBON Far East Ltd.12 Fl, Shanghai Oriental Plaza,31 Wujiang Road Shanghai 200041/PR Chinagms-asia@sglgroup.com

AmERIKASGL CARBON LLC900 Theresia StreetPA 15857 St. Marys/USAgms-americas@sglgroup.com

® eingetragene Marken der SGL CARBON SE 07 2015/0 2NÄ Printed in GermanyDie Angaben in dieser Druckschrift entsprechen dem heutigen Stand unserer Kenntnisse und sollen über unsere Produkte und deren Anwendungsmöglichkeiten informieren. Sie haben somit nicht die Bedeutung, bestimmte Eigenschaften für einen konkreten Einsatzzweck zuzusichern. Etwaige bestehende gewerbliche Schutzrechte sind zu berücksichtigen. Eine einwandfreie Qualität gewährleisten wir im Rahmen unserer „Allgemeinen Verkaufsbedingungen“.