UnternehmensbereichSemiconductor Manufacturing Technology

Der Moment, in dem wir das Morgen für Sie ins Jetzt holen.Für diesen Moment arbeiten wir.

// FORTSCHRITT MADE BY ZEISS

Über uns

Haben Sie heute schon mobil telefoniert?

Eine E-Mail versendet? Oder mit Ihrer Digital-

kamera fotografiert? Egal, um welche tech-

nische Anwendung es sich handelt: Dann

sind Sie wahrscheinlich auch mit dem ZEISS

Unternehmensbereich Semiconductor Manu-

facturing Technology in Kontakt gekommen!

Denn ohne unsere Technologien würde die

moderne Welt still stehen – das Halbleiter-

Equipment, das der Unternehmensbereich

Semiconductor Manufacturing Technology

als Innovations- und Technologieführer ent-

wickelt und herstellt, bietet die Grundlage für

die fehlerfreie Strukturierung von Mikrochips,

die heute in nahezu jedem technischen Gerät

stecken.

Ein Großteil aller Mikrochips weltweit wird

heute mit den Technologien von ZEISS ge-

fertigt. So ermöglichen wir immer mehr

Menschen rund um den Globus den Zugang

zu modernen Kommunikationsgeräten, die

zunehmend handlicher und günstiger werden.

Der Unternehmensbereich im Überblick:

Produktbereiche

• Lithografie-Optiken

• Optiksysteme

• Photomaskensysteme

Unternehmen innerhalb des Bereichs

• Carl Zeiss SMT GmbH

• Carl Zeiss Laser Optics GmbH

• Carl Zeiss SMS GmbH

Mitarbeiter

2.700, davon rund 30 Prozent in Forschung

& Entwicklung (Stand: 30. September 2012)

Standorte

Oberkochen (Hauptsitz), Jena, Wetzlar,

Roßdorf, Karmiel/Israel

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Optische Lithografie

Die meisten der Geräte, die heute den All-

tag bestimmen – darunter Computer, Han-

dys, Autos und Haushaltsgeräte – enthalten

Mikrochips für elektronische Anwendungen.

Die Grundlage für die Strukturierung der

Chips bildet die optische Lithografie: Sie ist

der Schlüssel zum Zeitalter der Mikro- und

Nanoelektronik.

Denn nur mittels dieses Verfahrens ist es

in Volumenproduktion möglich, Strukturen

für die Leiterbahnen auf die Wafer aufzu-

bringen, aus denen später die Mikrochips

entstehen. Mit einem breiten Produktport-

folio in den Bereichen Lithografie-Optiken,

Optiksysteme und Photomaskensysteme

deckt ZEISS neben der Lithografie weitere

wichtige Schlüsselprozesse bei der Mikro-

chip-Herstellung ab.

Der Unternehmensbereich Semiconductor

Manufacturing Technology versteht sich

dabei als konsequenter Fortführer des

Moore‘schen Gesetzes, nach dem sich die

Leistungsfähigkeit von Mikrochips alle 18

bis 24 Monate verdoppelt.

Ein Schnitt durch einen Waferscanner (siehe

unten) des strategischen Partners von ZEISS,

dem niederländischen Konzern ASML, zeigt,

wie die Belichtung von Mikrochips techno-

logisch verwirklicht wird.

Immer kleiner, leistungsfähiger, energieeffi-

zienter und günstiger: Das ist der Anspruch

an Mikrochips. Die stetige Weiterentwicklung

der optischen Lithografie bei ZEISS seit fast

45 Jahren hat es den Chipherstellern welt-

weit ermöglicht, diesem Anspruch gerecht

zu werden.

© A

SML

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Produktbereich Lithografie-Optiken EUV-Lithografie

Die Zukunft wird schon heute Realität:

Durch die innovative EUV-Lithografie mit

extrem ultraviolettem Licht können erstmals

Strukturen von weniger als 20 Nanometern

auf Wafern abgebildet werden. Der ZEISS

Unternehmensbereich Semiconductor Manu-

facturing Technology setzt sein gesamtes

technologisches Wissen und Können ein,

um diesen Technologiesprung zu erreichen.

Seit 2012 werden EUV-Optiken in Serie

produziert.

Größte Herausforderung ist die Tatsache,

dass EUV-Licht mit einer Wellenlänge von

13,5 Nanometern von allen bekannten

Materialien und selbst von Luft stark ab-

sorbiert wird. Daraus entsteht die Notwen-

digkeit für ein komplett neues Gesamtkon-

zept der Lithografie-Optiken, das bei ZEISS

entwickelt und umgesetzt wurde.

Für ZEISS ist EUV der Schlüssel zur Nano-

Technologie von morgen.

Dank der ZEISS Starlith® Lithografie-Optiken

können Chiphersteller weltweit ihre Wafer

in Nanometer-Genauigkeit belichten. In wei-

teren Prozessschritten entstehen dann die

Mikrochips.

Die Güte und Form der Beleuchtung sowie

das Auflösungsvermögen der Projektionsoptik

bestimmen mit darüber, wie klein die Struk-

turen auf einem Mikrochip sein können.

Die meisten Chips werden heute mit Lithogra-

fie-Optiken strukturiert, die mit Licht-Wellen-

längen von 365, 248 oder 193 Nanometern

arbeiten.

Die Lithografie-Optiken werden beim strate-

gischen Partner ASML in spezielle Belichtungs-

anlagen, die sogenannten Waferscanner,

integriert. Der niederländische Konzern ist

der führende Hersteller von Waferscannern

weltweit.

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Der Moment, in dem wir erleben, wie unsere Technologien die moderne Welt bewegen.Für diesen Moment arbeiten wir.

// ZUKUNFT MADE BY ZEISS

Produktbereich Optiksysteme

Hochpräzise optische Komponenten und

Module gehören zum Schlüssel-Equipment

bei der Halbleiterherstellung und in anderen

Industrien. Kernkompetenz des Produkt-

bereichs Optiksysteme ist der Umgang mit

Licht bei sehr hohen Intensitäten, wie sie

beispielsweise in Lasern auftreten.

Langjährige Partnerschaften mit verschiede-

nen Kunden und eine intensive Zusammen-

arbeit sind ein Baustein für den Erfolg in

diesem Bereich. Die meisten Partnerschaften

bestehen mit sogenannten OEMs (Original

Equipment Manufacturer), die die optischen

Komponenten und Module in ihren Gesamt-

systemen verbauen.

Zu den OEM-Optiksystemen von ZEISS ge-

hören unter anderem Komponenten und

Module für Lithografie-Laser. Diese operie-

ren bei hohen Lichtintensitäten und sehr

geringen Wellenlängen in Excimer-Lasern.

Im Portfolio sind außerdem Module für

Messgeräte vertreten, die zur automatischen

Prüfung von Wafern eingesetzt werden.

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Produktbereich Photomaskensysteme

ZEISS Photomasken-Produkte im Überblick:

Maskeninspektion: AIMS™

Maskenreparatur: MeRiT®

Maskenvermessung: PROVE®, WLCD

Maskentuning: RegC®, CDC

Der Produktbereich Photomaskensysteme

bietet Herstellern von Photomasken hoch

spezialisierte Geräte an, um Defekte auf

Photomasken zu analysieren, zu reparieren

sowie spezifische Maskeneigenschaften zu

vermessen und zu optimieren. Der Bereich

verfügt über Kernkompetenzen im Bereich

der Licht- und Elektronenoptik, kombiniert

mit einer einzigartigen Femtosekunden-

Lasertechnologie.

Über die optische Lithografie werden die

Strukturen verschiedener Photomasken auf

den Wafer aufgebracht. Das Aufspüren und

Korrigieren von möglichen Defekten auf der

Maske ist so wichtig, weil sich Fehler auf

die Wafer übertragen würden und die Chips

damit unbrauchbar wären. Eine fehlerfreie

Belichtung spart daher Zeit und Geld.

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Karriere

ZEISS fühlt sich seiner Tradition verpflichtet:

Das gilt auch in der Verantwortung für Ge-

sellschaft und Umwelt.

So besitzt der ZEISS Unternehmensbereich

Semiconductor Manufacturing Technology

seit 2008 die ISO-Zertifizierung 14001 für

vorbildliches Umweltmanagement. An den

Unternehmensstandorten arbeitet der Be-

reich intensiv an der Reduzierung von Um-

weltbelastungen, so zum Beispiel durch

neue Energie- und Recycling-Konzepte.

Auch die Produkte sind Teil dieser Strategie:

Wir legen Wert auf Effizienz und ökologische

Designs und sind bei der Wiedergewinnung

gebrauchter Produktkomponenten aktiv.

Auch der Einsatz für Mitarbeiter und Gesell-

schaft gehört zur Strategie: Über den Carl

Zeiss Förderfonds engagiert sich der Konzern

an den Unternehmensstandorten. Und nicht

zuletzt ist einwandfreies Verhalten gemäß

dem Code of Conduct für ZEISS Mitarbeiter

selbstverständlicher Teil ihres Arbeitens.

Verantwortung & Nachhaltigkeit

Im ZEISS Unternehmensbereich Semiconductor

Manufacturing Technology arbeiten viele ver-

schiedene Berufsgruppen. Besonders Physiker,

Ingenieure, Wirtschaftswissenschaftler und

Informationstechniker sind hier vertreten.

Eines haben sie alle gemeinsam: Die Begeiste-

rung für neue Technologien und das Ziel, mit

ihrer Arbeit die Welt zu verändern.

Dieses exzellente Team erweitern wir seit

Jahren stetig. Sie möchten Teil von ZEISS

werden?

Wir bieten folgende Einstiegsformen an:

• Ausbildung

• Studium Duale Hochschule

• Praktikum

• Global Graduate Program

• Fachkraft

• Führungskraft / Fachkarriere

• Management

Weitere Informationen finden Sie unter:

www.zeiss.de/karriere

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// ERKENNTNIS MADE BY CARL ZEISS

Als Pionier und eine der global führenden

Unternehmensgruppen der Optik und

Optoelektronik fordert ZEISS seit jeher die

Grenzen der Vorstellungskraft heraus.

Medizintechnik von ZEISS setzt mit seinen

Produkten und Lösungen weltweit Maßstäbe:

So profitieren Ärzte als auch Patienten von

den innovativen Technologien, wie etwa

dem Bestrahlungsgerät INTRABEAM®. Brust-

krebspatientinnen erfahren dadurch eine

deutlich schonendere und kürzere Behand-

lung.

Gestochen scharfe Bilder auf der Kinolein-

wand bei „Der Herr der Ringe“, der erfolg-

reichsten Filmtrilogie aller Zeiten, oder das

präzise Bild, das ein Naturbeobachter durch

sein Fernglas oder Spektiv erhält: ZEISS

macht faszinierende Details sichtbar.

In der Halbleitertechnik dringt ZEISS in klein-

ste Dimensionen vor. Mit seinen Lösungen

wird weltweit ein Großteil aller modernen

Mikrochips produziert. Überall wo Präzision

gefragt ist, sichern Lösungen der industriel-

len Messtechnik von ZEISS höchste Quali-

tätsstandards: So werden Flugzeuge sicherer,

Autos besser und Windkraftanlagen – die

Zukunft der Energieversorgung – effizienter.

Pro Sekunde entscheiden sich zwei Menschen

auf der Welt für Brillengläser von ZEISS. Mit

Dynamik und Weitsicht entwickelt Vision Care

neuartige Gläser, wie MyoVision™, das die

Verschlechterung von Kurzsichtigkeit bei

Kindern reduziert.

Diese besondere Leidenschaft für Spitzen-

leistungen verbindet alle Unternehmens-

bereiche. So schafft ZEISS Kundennutzen

und inspiriert die Welt, Dinge zu sehen,

die ihr bisher verborgen waren.

Überblick über die Carl Zeiss Gruppe

Wie werden Ärzte ihre Patienten künftig behandeln? Welche Rolle spielen Fotos und Videos in der Kommunikation von morgen? Wie weit kann man die Miniaturisierung von Halbleiterstrukturen vorantreiben? Diese und viele weitere Fragen sind es, die ZEISS täglich antreiben.

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Carl Zeiss SMT GmbHRudolf-Eber-Straße 273447 OberkochenTelefon +49 (0) 07364 20-0www.zeiss.de/smt

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