V2011

Industrieausstellung & Workshop-WocheVakuumbeschichtung und Plasma¬

oberflächentechnik

17.-20. Oktober 2011

im RAMADA Hotel Dresden

INHALTSVERZEICHNIS

Zeitplan 1

Impressum 4

Inhaltsverzeichnis 5

1. PROGRAMM 19

2. WORKSHOPS 43

2.1 Workshop 1:

Beschichtung für Biotechnologie und Medizintechnik

am 18. Oktober 2011 45

Implantatassoziierte Infektionen am Knochen

Prof. Dr. med. AH. Tiemann -Abt. für Septische und Rekonstruktive Chirurgie Klinik für Unfall-

und Wiederherstellungschirurgie BG-Kliniken Bergmannstrost, Halle 47

Die antimikrobielle Wirkung von Silber am Beispiel von GefäßimplantatenDr. Helmut Goldmann - Aesculap AG, Tuttlingen 48

Neue anti-infektive Beschichtungsstrategien für medizinische ImplantateProf. Dr. KD Kühn- Heraeus Medical GmbH, Wehrheim; Medizinische Universität Graz 49

Silber und Kupfer zur antibakteriellen Ausrüstung

von medizinischen Substraten

BSc GabyGotzmann', Dr. Christiane Wetzel', Lars Achenbach2, Dr. Nurdan Özkucur2,

Prof. Richard Funk2-' Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl- undPlasmatechnik, Medizinische

Applikationen, Winterbergstraße 28, 01277Dresden,2 Medizinische Fakultät derTU Dresden,Institut für Anatomie der TU Dresden, Fetscherstraße 74,01307 Dresden 50

Biomimetische Strategien im Einsatz gegen Biofilme

Dr. rer. nat Iris Trick - Fraunhofer-Institut für Grenzflächen- undBioverfahrenstechnik (IGB),

Nobelstraße 12, 70569 Stuttgart 5)

Möglichkeiten der Elektronenstrahltechnik zur Inline-Sterilisation

von medizinischen Instrumenten und Produkten

Dipl.-Phys. Frank-Holm Rögner, Dr. Olaf Röder, Dr. Christiane Wetzet, Gaby Gotzmann -

Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik, Winterbergstraße 28,

01277Dresden 52

Abscheidung anti-bakterieller Ti/Cu-Schichten mittels HiPIMS

Prof. Dr. fi. Hippler', Dr. V. Stranak', Dr. Z. Hubkka2, H. Rebl3, C. Zietz \ K. Arndts, Prof. Dr. R. Bader<

Prof. Dr. A, Podbielskis, Prof. Dr. B. Nebe3 -' University of Greifswald, Institute of Physics, Greifswald,2 Academyof Sciences offne Czech Republic, Institute of Physics, Prag,3 UniversityofRostock,Biomedical Res. Center, Dept of Cell Biology, Rostock,4 University of Rostock,Dept. of Orthopaedks,Rostock,5 University of Rostock, Dept. ofMed. Microbiol,, Virology andHygiene, Rostock 53

Biologische Dekontamination von thermolabilen Materialien

mit NiederdruckplasmenDr. Michael Müller, Dr. Anke Burger-Kentischer, Dr. Irls Trick - FraunhoferInstitut

für Grenzflächen und Bioverfahrenstechnik, Stuttgart 54

Normaldruckplasmen zur biologischen Dekontamination

von komplexen MedizinproduktenDr. 1. Ehlbeck, Dr. 1. Winter, Dr. M. Polak, U. Schnabel, Dr. M. Stieber, U. Krohmann,Prof. Dr. K.-D. Weltmann- Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologye.V.,

Felix-Hausdorff-Straße2, 17489 Greifswald 55

Pyrogene Rückstände - Risiko - Nachweismethoden

Dr. Anke Burger-Kentischer-Fraunhofer-Institut für Grenzflächen- und ßioverfahrenstechn/fc JGß....

56

Prüfung von Schichten unter SimulationsbedingungenDr. rer. nat. Uta Kremling, Prof. Dr.-Ing. Rainer Franke - IMA GmbH Dresden 57

2.2 Workshop 2: Beschichtungen für Werkzeuge und Bauteile 59

Integration der Laser-Arc-Technologie für ta-C-Beschichtungenin einer industriellen Hartstoffbeschichtungsanlage DREVA 600

Martin Holzherr', Tobias Schmidt', Michael Falz', Hans-Joachim Scheibe2, Andreas Leson2,

Michael Leonhardt2, Carl-Friedrich Meyer 2-'VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GmbH,Bismarckstraße 66,01257 Dresden,2Fraunhofer-Institutfür Werkstoff- und Strahltechnik,

Winterbergstraße 28,01277 Dresden 61

Kundenspezifische PVD-AnlagenDipl.-Bw. Anne Lohmann, GPA Gesellschaft für PlasmaApplikation mbH 62

Werkzeugbeschichtung und Komponentenbeschichtungin großen Dimensionen

/ Vetter, G. Erkens, J. Müller, A. Mohnfeld, G. Werding, J. Crummenauer 63

DLC-Schichten mit optimierten Reib- und Verschleißeigenschaftenin verschiedenen Kraftstoffen

Gerryvan der Kolk', A. Hieke', G. Hakansson!, F. Gustavsson3, P. Forsberg3, S. Jacobson3 -

' lonbond Netherlands BV, Venlo, The Netherlands,2 lonbondSweden AB, Linköping, Sweden,3 The Angström Lab, Uppsala University, Sweden 64

Einsatz von DLC-Schichten in der Diesel-HochdruckeinspritzungDr. U, May, A. Blau, Dr. L. Onuseit und Dr. G. Repphun - Robert Bosch GmbH, Diesel Systems,Engineering Technologies Diesel 65

Auswahl und Bewertung von kohlenstoffbasierten Beschichtungenfür automotive KomponentenTheresa Huben ', Dr. Juergen BeckerDr. Hans Karner' -' OC Oerlikon Balzers AG, Balzers,Lichtenstein,2 Oerlikon BalzersCoating Germany GmbH, Bingen 66

Diamantschichten zur Zerspanung von CFRP und CompositesDr.-Ing. Christoph Schiffers, Dr.-Ing. Oliver Lemmer, Dr. rer. nat. Werner Kölker,

Dipl.-Ing. Christian Bareiß-CemeCon AG 67

Neue Entwicklungen bei CVD-Verschleißschutzschichten

Dr. Ingolf Endler, Dr. Mandy Höhn - Fraunhofer-Institut IKTS Dresden, Winterbergstraße 28,01277Dresden 68

Anforderungen und Werkzeuganwendungen im AlDG

Ulrich Hartmann - HONSEL AG i.l 69

Unerreichte Standzeiten bei Präzisionswerkzeugendurch eine neue Generation von PVD-BeschichtungenMichiel Eerden, Sales Manager Europe; Frank Papa, SeniorProcess Manager;Thomas Krug, CEO -Hauzer Techno Coating BV, Venlo, Niederlande 70

Kostensenkung durch innovative WerkzeugeDr.-Ing. Philipp Immich, Matthias Rommel, Uwe Kretzschmann, Jana Siouzou, Uwe Schunk-

LMTFette Werkzeugtechnik GmbH & Co. KG, Schwarzenbek. 71

Entwicklung von PVD-Beschichtungen für Umformwerkzeuge

Dr.-Ing. Arnd Müller- OC Oerlikon Balzers AG 72

Edelmetallschichten für das Präzisionsblankpressen von Glas

Dipl.-Ing. T. Münstermann, Prof. Dr.-Ing. K. Bobzin, Dr.-Ing. N. Bagcivan, Dipl.-Ing. M. Ewering-Institut für Oberflächentechnik der RWTHAachen 73

Beschichtung von kunststoffverarbeitenden WerkzeugenProf. Dr.-Ing. Markus K. Lake -Hochschule Niederrhein, Krefeld 74

Kombinierte ta-C/MoS2-Schichten für vakuumtribologische Komponenten

Dr. V. Weihnacht', A. Brückner', Dr. G. Theiler2, Dr. Th. Gradt1-' Fraunhofer Institut

für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS) Dresden,1 Bundesanstalt für Materialforschung und

-prüfung (BAM) Berlin 75

Oberflächencharakterisierung durch Laserakustik, Anwendungen und Trends

Dr. D. Schneider', Dr. L.-M. Berger ', M. Barbosa', Dr. T. Schwarz ', R. Puschmann ',

R. Hofmann', T. Großer1 -' FraunhoferInstitut für WerkstoffundStrahltechnik Dresden,2 ALOtec GmbH Dresden 76

Aluminium-basierte PVD-Schichten für den Korrosionsschutz von SchüttgutDr. Fred Fietzke, Bernd Krätzschmar-Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und

Plasmatechnik FEP, 01277 Dresden, Winterbergstraße 28 77

2.3 Workshop 3: Beschichtungen für Solar- und lichttechnische

Anwendungen: Anwendungen in Photovoltaik und Solarthermie 79

DESERTEC: Strom aus der Wüste für eine Klima und Ressourcen

schonende StromversorgungProf. Dr. Dr.-Ing. habil Hans Müller-Steinhagen - Technische Universität Dresden 81

CSP-Technologie auf dem Weg zu höheren Wirkungsgraden -

Hochtemperaturbeschichtungen für Parabolrinnenreceiver

Markus Arntzen - SCHOTT Solar CSP GmbH, Erich Schott Straße 14,95666 Mitterteich 82

Solarspiegel und Solarabsorber aus Aluminium

Dr. Stefan Ziegler, Dr. Harald Küster, Dr. Dimitrios Peros -ALANOD Aluminium-VeredlungGmbH & Co. KG 83

Leistungsfähige Solarspiegel für solarthermische Kraftwerke -

Stand und HerausforderungenDr. Matthias Schiller-FLABEG Holding GmbH 84

Organische Solarzellen-Herausforderungen und EntwicklungsstandS. Schäfer, Dr. R. Kniprath, Dr. W. Volz -Robert Bosch GmbH 85

Stand und Potenziale der Silizium-Dünnschicht-TechnologieDr. Jürgen Hüpkes- Forschungszentrum Jülich GmbH, IEK5-Photovoltaik 86

Entwicklung von Silizium Dünnschichtsolarzellen in KAI PECVD-Reaktoren:

Von der Forschung zur ProduktionsanlageDr. Ulrich Kroll et al. - Oerlikon Solar-Lab SA, Puits-Godet 12a, 2000 Neuchätel, Schweiz 87

Wirkungsgradsteigerung und Kostenfaktoren in der Produktion

von a-Si/uc-Si Solarmodulen

Dr.-/ng. ßrad P. T/nfcham - Gruppenleiter Prozesstechnologie Dünnscnfcht,Inventux Technologies AG 88

Roth & Rau Hetero Junction Technologie - Fortschritte in der Entwicklungund Umsetzung einer neuen Hocheffizienz-Solarzellen-TechnologieArthurBüchel -Roth &Rau Switzerknd AG 89

Neue Produktionsprozessefür polykristalline Silizium-Dünnschichtsolarzellen

Dr. Christiane Becker, Tobias Sontheimer, Prof. Dr. Bernd Rech - Helmholtz-Zentrum Berlinfür Materialien und Energie, Institut Silizium-Photovoltaik, Kekul&traße 5, 12487Berlin 90

CIGS-Produktion bei Solibro: Status und Ausblick

Dr. Dirk Herrmann -Solibro GmbH 97

Aspekte der Rolle-zu-Rolle-Fertigung von flexiblen CIGS

Dünnschichtsolarzellen

Dr. Karsten Otte - Solarion AG, Leipzig 92

AVANCIS: Latest Developmentsin Advanced CIGS Production and Scale-upDr. P. C. Mogemen, I Foltyn, Dr. D. Pender, W. D. Meier, Dr. J. Palm, A. Avellan-Hampe,H. P. Hoheisel, Dr. F. Karg and H. Fischer - AVANCIS GmbH & Co. KG, Solarstraße 3,04860 Torgau 93

From Lab to Fab: Herausforderungen für die Massenfertigungvon CdTe-Dünnschichtsolarmodulen

Dr. M. Grimm - Roth & Rau AG, Hohnstein-Ernstthal 94

Fertigungsprozesse für CdTe Dünnschichtsolarzellen

Dr. Hubert-Joachim Frenck- Ca/yxo GmbH 95

2.4 Workshop 4: Beschichtungen für Solar- und lichttechnische

Anwendungen: Dünnschicht-Technologien und Materialien 97

Dünnschicht-Technologien für Photovoltaik auf großen Flächen

V. Sittinger, W. Diehl, B. Szyszka -Fraunhofer Institut für Schicht- und Oberflächentechnik,

Bienroder Weg 54 f, 38108Braunschweig 99

Multischichten auf c-Si Solarzellen

Dr. P. Wohlfart, Dr. B. Roos, Dr. T. Dippell, Dr. 0. Hohn-SINGULUS TECHNOLOGIES AG 700

In-situ-Regelung von CIGS-Co-Verdampfungsprozessenfür industrielle RZR-Anwendung

S. Kreher, M. Rudin, A, Liebold, M. Gräfe - FHRAnlagenbau GmbH 707

Herausforderungen für die plasmatechnologische Verkapselungvon Dünnschicht-Solarmodulen

Dr.-Ing. Andreas Schulz', Evelyn Häberle', Stefan Merl!', Dr.-Ing. Matthias Walker',

Dr.-Ing. Friedrich Kessler2-' Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart,

Pfaffenwaldring 31, 70569 Stuttgart,2 Zentrum für Sonnenenergie- und Wasserstoff-Forschung(ZSW) Baden-Württemberg, Industriestraße 6, 70565 Stuttgart 102

Inline Antireflex-Beschichtungen auf großflächigen Glassubstraten

und Solarzellen mittels neuester PECVD-TechnologieToniJochum (General Manager)', John Madocks!, Walter Seaman1 -' JUST Vacuum GmbH,2 General Plasma Inc. 103

Dünne Schichten für die Solartechnik

Dr. Johannes Strümpfei, Dr. Martin Dimer, Dr. Jörg Faber- VON ARDENNE

Anlagentechnik GmbH 104

Herausforderungen für die Dünnschicht-Photovoltaikim Wettbewerb

mit waferbasierten TechnologienGötz Fischbeck - BHF-BANK AG, Frankfurtam Main 705

Hochrateabscheidung von transparenten leitfähigen Ti02:Ta- und

Ti02:Nb-Schichten durch reaktives Puls-Magnetron-Co-SputternDipl.-Ing. (FH) Manuela Junghähnel, Dr. rer. nat. Fred Fietzke - Fraunhofer Institut

fürElektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP, Winterbergstraße 28, 01277Dresden 706

Verfügbarkeit von Metallrohstoffen für die Dünnschicht-Photovoltaik

Maren Liedtke - Deutsche Rohstoffagenturin derBundesanstalt für Geowissenschaften

und Rohstoffe, Hannover 107

Kostenrelevante Faktoren bei der Fertigung keramischer und

metallischer Targets für TCO-Schichten

Dr.-Ing. Grit Hütt!, GfE Fremat GmbH 108

Targets für CIGS-PV-Anwendungen und Basisdaten zum SputterverhaltenDr. Christoph Simons, Dr. Martin Schlott, AlbertKastner - Heraeus Materials Technology-TMD 709

Pulvermetallurgisch hergestellte Sputtertargetsfür die DünnschichtphotovoltaikDr. ChristophAdelhelm, Christian Linke, Enrico Franzke, Dr. Nikolaus Reinfried,

Dr. HaraldKöstenbauer, Dr. Jörg Winkler-PLANSEESE, Reutte, Österreich 110

Zuverlässigkeit und Langlebigkeit von Solarmodulen -

Anforderungen an die Qualitätssicherung: Zertifizierungsprüfungenvon PV-Modulen, lEC-Testverfahren und neuere EntwicklungenDr. Peter Reinig, B.Sc. Stephanie Weller-SGS GermanyGmbH, Solar Testhouse, Zeisigweg 13,

01737 KurortHartha 111

Neue Prüfverfahren zur Prozess- und Qualitätskontrolleinder Dünnschicht-Photovoltaik

Dr. Henning Heuer', Prof. Dr. EhrenfriedZschech', Dr. Thomas Chudoba1 -

' Fraunhofer IZFP Dresden,2ASMEC GmbH Radeberg 112

Neue Konzepte in der DünnschichtphotovoltaikProf. Dr. Jörg Weber-Institut für Angewandte Physik/Halbleiterphysik,Technische UniVers/tät Dresden 113

2.5 Workshop 5: Beschichtungen mittels Atmosphärendruck-Plasmatechnologien 115

Industrielle Anwendungen von Atmosphärendruck-Plasmenaus Sicht eines AnlagenherstellersDr. Frank Förster - SOFTAL Corona & Plasma GmbH, König-Georg-Stieg 1,2107 Hamburg 117

Neuartige lineare Mikrowellenplasmaquellenfür AthmosphärendruckplasmaprozesseDI J. Roch', Dr. G. Mäder', Prof. S. Kaskel', DI M. ScharmbeckDI K. Schröter2-' Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS, Winterbergstraße 28,01277 Dresden,2 Sitec Chemnitz, Bornaer Straße 192,09114 Chemnitz 118

Großflächige Atmosphärendruck PECVD bei variablem Arbeitsabstand

Dipl.-Ing. Liliana Kotte, Dr. InesDani, Dr. HolgerAlthues, Prof. Dr. Stefan Kaskel-

Fraunhofer-Institut für Werkstoff- undStrahltechnik IWS 119

Atmosphärische Mikrowellenplasmen für die Aktivierung und Reinigungvon Oberflächen

Dr. rer. nat. Martina Leins, Dipl. Phys. Christian Kamm, Dipl. Phys. Joachim Schneider,

Dr.-Ing. Matthias Walker, Dr.-Ing. Andreas Schulz, Prof. Dr. rer. nat habil. UweSchumacher,Prof. Dr. rer. nat. habil. Ulrich Stroth-Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart,

Pfaffenwaldring31, 70569Stuttgart 120

Atmosphärenplasmatechnik zur Oberflächenmodifizierungund Beschichtung von Platten und Rollenware

Dr. Alexander Rau-Ahlbrandt System GmbH, Lauterbach 121

Beschichtung und Funktionalisierung von Oberflächenmittels

DBE für das Direktbonden

Dr.-/ng. M. Eichler, Dr. M. Thomas, Dr. K. Lachmann, Dipl.-Ing. (FH) P. Hennecke, T. Behrendt,Prof. Dr. C.-P. Klages-Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST,

Bienroder Weg 54 E, 38106 Braunschweig 122

Machbar versus sinnvoll - Erfolgreiche Implementierunggroßer industrieller Atmosphärendruckplasma-ProjekteDr. PeterPalm - Plasmawerk Hamburg GmbH 723

AP-CVD-Beschichtungen mit Marker-Funktion

Dr. Kerstin Horn', Dr. Andreas Pfuch', Oliver BeierDr. Jörg Nestler2 -1 INNOVENTe. V.

Technologieentwicklung, Jena;1 Fraunhofer-Einrichtung für Elektronische NanosystemeENAS, Chemnitz 124

Abscheidung von plasmapolymeren Korrosionsschutz- und

Haftvermittlerschichten mit AD-Plasma-Jet-Quellen

J, Ihde, U. Lommatzsch, T. Lukasczyk, C. Regula, /?. Wilken - Fraunhofer-Institut für

Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung, WienerStraße 12,28359 Bremen 725

Abscheidung von plasmapolymeren Korrosionsschutz- und Haftvermittler¬

schichten mit AD-Plasma-Jet-Quellen - Industrielle ÜberführungDr. Alexander Knospe, Dipl.-Ing. Christian Buske - Plasmatreat GmbH, Bisamweg 10,

33803 Steinhagen 126

AD-Plasmapolymerisation mit dem Plasma-BLASTER

zur großflächigen BeschichtungDr. K. Gerstenberg, Dipl. Phys.-Ing. B. Küzün - TIGRES Dr. Gerstenberg GmbH 127

Beschichtung von langen dünnen Rohren und Schläuchen

mit einer koaxialen dielektrisch behinderten Entladung:Plasma- und SchichtcharakterisierungProf. Dr. Peter Awakowicz, Dr. Ramasami Pothiraja, Dr. Nikita Bibinov- Lehrstuhl

für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik, Ruhr-Universität Bochum 128

plasmadust® - ein kostengünstiges und temperaturschonendes Verfahren

zur lösungsmittelfreien Metalisierungder unterschiedlichsten Grundsubstraten

Dr. Ing. E. Theophile 729

Atmosphärendruckplasmen zur Behandlungthermisch sensibler Oberflächen

Dr. S. Reuter, Dr. 1. Winter, K. Fricke, Dr. K. Schröder, Prof. K.-D. Weltmann-ZIK plasmatis;Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e. V.; INP Greifswald 730

Plasmagestützte chemisch selektive Funktionalisierung

von PolymeroberflächenDr. Helga Thomas, Prof. Dr. Martin Möller -DWIander RWTHAachen e. V.,Forckenbeckstraße 50,52074 Aachen 731

2.6 Workshop 6: Beschichtungen für den optischen Gerätebau 133

Anforderungen an moderne Beschichtungen für den optischen Gerätebau

Prof. Dr. Hans K. Pulker- Technologie Dünne Schichten, Institut für lonenphysik u. Angew. Physik,Universität Innsbruck, Technikerstraße 25, 6020 Innsbruck 135

Coating-Designs für die PräzisionsoptikDr. Martin Bischoff, Dr. Tobias Nowitzki, Dr. Oliver Voß, Stefan Mewes-

Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG, Coating Center Göttingen, Königsallee 23,37081 Göttingen 136

NIR-Hochleistungslaserbauelemente - TechnologieupdateHelmut Bernitzki, Dr. Sven Laux, Lutz Reichmann, U. Schuhmann, Dr. Peter Triebe! -

JENOPTIK Optica/ Systems GmbH 137

Ion Beam Sputtering (IBS): hochpräzises Beschichtungsverfahrenfür Laseranwendungen mit niedrigsten VerlustenDr. Michael Kennedy (Dipl. Phys.), Tobias GroB (Dipl. Phys.) - Laseroptik GmbH Garbsen 758

Willkommen in der Pikometer-Welt:

Beschichtungen für die EUV-LithografieoptikDr. Christoph Zaczek-CarlZeissSMTGmbH, Rudolf-Eber-Straße 2, 73447'Oberkochen 139

EUV-Kollektorspiegel für HochleistungslaserplasmaquellenMark Schürmann, Marco Perske, Sergiy Yulin, Marcus Trost, Angela Duparre, Torsten Feigl,Norbert Kaiser-Fraunhofer IOF, Jena 740

Spiegel für extrem ultraviolette und RöntgenstrahlungDr. Stefan Braun, Peter Gawlitza, Maik Menzel, Wolfgang Friedrich, Jürgen Schmidt,Dr. Andreas Leson - WS Dresden, Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik 141

Hochstabile Depositionsprozesse zur Herstellung von Beschichtungenmit höchster Qualität und komplexen Designs

Dr. Stefan Günster, Prof. Dr. DetlevRistau - Laser Zentrum Hannovere, V„ Hollerithallee 8,

30419 Hannover 142

Optimierung von Interferenzfiltersystemenfür Anforderungendes optischen Gerätebaus

Dr. Ulf Brauneck', Sebastien Bourqin', Christian Henn2, Dr. Harro Hagedorn3,Dr. Michael Scherer \ Walter Lehnert1-' Schott Suisse S.A.,1 SchottAG,

]LeyboldOpticsGmbH 143

Spektrale Reproduzierbarkeit von Magnetron gesputterten Filtern

in VolumenproduktionDr. OthmarZueger-Optics Balzers AG, Balzers, Liechtenstein 744

Simulation dielektrischer Interferenzschichten auf diffraktiven Gittern

Dr. Winfried Arens, Jürgen Häderle - IMTMasken und Teilungen AG, Greifensee, Schweiz 145

Erweiterte Strategien im optischen BreitbandmonitoringDipl.-Phys. Sebastian Schlichting, Dr. Henrik Ehlers, Dipl.-Phys. Carsten Schmitz,

Prof. Dr. Detlev Ristau -Laser Zentrum Hannover e. V., Hollerithallee 8,30419 Hannover 146

Interferenzfilter für 3D-Brillen

Dr. Silvia Schwyn-Thöny, Evatec Ltd. Schweiz- Evatec Ltd., Lochrietstraße 14,

8890 fiums, Schweiz 747

Bearbeitbare Siliziumschichten zur Herstellungultra-präziser optischer Komponenten

Dr. M. Schürmann, P. J. Jobst, Prof. Dr. N. Kaiser, A. Kolbmüller, S. Müller, A. Gebhardt, Dr. S. Risse,

Dr. R. Eberhardt-Fraunhofer-Institut fürAngewandte Optik und Feinmechanik, Jena 74S

Beschichtungstechnologie und Anwendungen von strukturierbaren

breitbandig reflektionsgemindertem Chrom

Paul Johannes Jobst', Dr. Mark Schürmann', Prof. Dr. Norbert Kaiser', Bernd Beier!,Frank Ulrich Luck \ Michael Thaut1 -' Fraunhofer-Institut fürAngewandte Optik und

Feinmechanik, Albert-Einstein-Straße 7,07745Jena;2 POG Präzisionsoptik Gera GmbH,

Gewerbepark Keplerstraße 35, 07549 Gera 149

Prozesse und Anlagen zur Herstellung streuarmer InterferenzschichtsystemeHarro Hagedorn, Holger Reus- Leybold Optics GmbH, Alzenau 750

Quasigradiente optische Schichten mittels Sputtertechnologie:Design und HerstellungDr. Diana Tonova, Dr. Hans Becker, Dr. Michael Sundermann -Carl Zeiss Jena GmbH 757

Neue Sputterkonzepte für die Herstellung optischer Präzisionsschtchten

Michael Vergöhl, Daniel Rademacher, Benjamin Fritz, Günter Bräuer-Fraunhofer Institut für

Schicht- und Oberflächentechnik (IST), Bienroder Weg 54E, 38108 Braunschweig 752

Gradient- und Vielschichtsysteme hoher Stabilität -

produktiv hergestellt mittels reaktiver SputtertechnologieDr. Peter Frach, Dr. Hagen Bartzsch, Dr. Kerstin Täschner, Dr. Daniel Glöß,

Dipl.-Phys. Christian Gottfried-Fraunhofer-Institut fürElektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP),

Winterbergstraße 28,01277 Dresden 153

Aufgedampfte organische Schichten für optische Anwendungen

Dr. U. Schulz, C. Präfke, Prof. Dr. N, Kaiser-Fraunhofer-Institut fürAngewandte Optikund Feinmechanik, Jena '54

Atomlagenabscheidung für die Beschichtimgnanostrukturierter optischer Elemente

Dr. Adriana Szeghalmi', Haiyue Yang \ Dr. Ernst Bernhard Kley',Prof. Dr. Andreas Tünnermann -1 Institut fürAngewandte Physik, Friedrich Schiller

Universität Jena,2 Fraunhofer Institut fürAngewandte Optik und Feinmechanik IOF, Jena 755

Optische Modellierung der nanostrukturierten Oberfläche von PET

W. Schönberger', Dr. M. Fahland2, Prof. Dr. G. Gerlach', Dr. P. Munzert3, G. Spitzer4-' TUDresden,2 Fraunhofer FEP Dresden,3 Fraunhofer IOF Jena,4 Southwall Europe GmbH 756

Kratzfeste Beschichtung für PC mit hoher UV-BeständigkeitDr. Annegret Matthai', Dr. Ulrike Schulz2, Dr. BerndSzyszka3 -' AUDIAG Ingolstadt,2 IOFJena,3 IST Braunschweig 757

2.7 Workshop 7:19. NDVaK - Beschichtung, Modifizierung und

Charakterisierung von Polymeroberflächen 159

Schaltbare NanopartikelbeschichtungenAnja Rollberg, Prof. Dr. Manfred Stamm, Dr. Petra Uhlmann- Leibniz Institut für

Polymerforschung Dresden e. V., Hohe Straße 6, 01069 Dresden 767

Vergleich funktionaler Plasmapolymerschichtenbei Atmosphärendruck und Niederdruck

Dr. DirkHegemann - Empa, Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology,9014 StGallen, Schweiz 762

Windbw-Film - a flexible add-on to improve solar protection through glazing

Dr. Ronny Kleinhempel', Andre Wahl', Dr. Roland Thielsch ', DavidHoneycutt2, Brija Nand2-' Southwall Europe GmbH, 01900 Großröhrsdorf,2 Southwall Technologies Inc., Palo Alto,

CA 94303, USA 0 163

in-situ ATR-FTIR-spectroscopy:Tool to characterize biorelated

polyelectrolyte complex based coatingsPD Dr. Martin Müller, Bernhard Torger, Bernd Keßler - Leibniz Institute of Polymer Research

Dresden, Departmentof Polyelectrolytes and Dispersions, Hohe Straße 6, 01069 Dresden 764

UV-Schutzschichten durch Nassbeschichtung im R2R-Verfahren

Prof. Dr. Klaus Heinemann, Dipl.-Phys. Karin Schultheis- Thüringisches Institut für Textil- und

Kunststoff-Forschung e.V., Breitscheidstraße 97,07407Rudolstadt 765

Optische und strukturelle Eigenschaftenvon reaktiv gesputterten

ZnxSnyO Schichten auf Kunststoffsubstrat

Dr. Ronny Kleinhempel, Andre Wahl, Dr. Roland Thielsch - Southwall Europe GmbH,

01900 Großröhrsdorf 166

Oberflächenleitfähigkeit für die Pulverbeschichtung von Kunststoffen

L. Bresler', K. Seibt', A. Eichler2,1. Krusche', M. MeurichM. Hohlstein'-' Hochschule

Zittau/Görlitz, (IOT) Friedrich-Schneider-Straße 26, 02763 Zittau,2 Eichler GmbH & Co. KG,

Am Krebsbach 5,02763 Mittelherwigsdorf, OTOberseifersdorf 767

Weiterentwickeltes vollautomatisches MetallisierungssystemMETACIBaE 850.1

Dr. ß. Gebhardt, M. Fa/z, ß. Bücken, G. Buschbeck, K.-D. Steinborn -VTD Vakuumtechnik Dresden

GmbH, Bismarckstraße 66, 01257Dresden 168

Elektrospray-Ionisations-Abscheidung von ultra-dünnen PolymerschichtenJ. Friedrich, K, Altmann, G. Hidde, R.-D. Schulze - BundesanstaltfürMaterialforschungund -prüfung, Berlin 169

Einfluss von Substrat und Ausrüstung auf das Brennverhaltenmetallisierter

textiler Flächen aus thermoplastischen Faserstoffen

Dr.-Ing. Yvette Dietzel- Sächsisches Textilforschungsinstitut e. V. (STFI), 09125 Chemnitz 170

Hydrophobe/Antistatische Grenzflächenmodifikationen

von Kunststoffoberflächen mittels chemischer GasphasenabscheidungR. Chavez, M. Fliedner-COTECGmbh, Frankenstraße 19, 63791 Karlsteina. M 171

Effects of oxygen plasma on cellulose surface

Dr. Alfredo Calvimontes', Peter Mauersberger2, Dr. Mirko Nitschke', Dr.-Ing Victoria Dutschk3,Dr. Frank Simon1 -' Leibniz Institute of Polymer Research Dresden, 01069 Dresden,; UmVers/tyof

Applied Sciences (HTW), 01069, Dresden3 EFSM group, Faculty for Engineering Technology,UniversityofTwente, 7500AE Enschede, The Netherlands 172

Plasmabromierung von graphitischen Materialien

J. Friedrich ', S. Wettmarshausen', G. Hidde', £ Zeynalov1-1 Bundesanstalt für

Materialforschung und -prüfung, Berlin,2 ANAS Baku, Azerbaidshan 173

Anforderungen an Barriereschichten und Charakterisierungstechnikenfür Polymerschichten in OTFT- getriebenen DisplaysJens Dienelt - Plastic Logic GmbH, An der Bartlake 5,01109 Dresden 774

Aspekte der Herstellung und Charakterisierungvon organisch/anorganischen

Schichtsystemen am Beispiel von Barriereverbunden

l. Prager, L Wennrich, W. Knolle, S, Naumov, J. W. Gerlach, A. Prager- Leibniz-Institut für

Oberflächenmodifizierung, Permoserstraße 15, 04318 Leipzig 175

Erzeugung von Barriereschichten auf flexiblen Substraten

mittels R2R-SystemenJens Landrock, Dr. Michael Zeuner, Matthias Nestler, Dr. Dirk Rost-Roth S flau

M/croSystems GmbH, 09337 Hohenstem-Ernstthal 176

Warum können Nanopartikel in kalten Plasmen kristallisieren?

H. Kenten, H. Maurer-Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Institut für ExperimentelleundAngewandte Physik, Leibnizstraße1 7-/9,24098 Kiel 1 77

Eine aktive Thermosonde zur richtungsabhängigen Messungdes Energieeinstromes bei plasmatechnologischen Prozessen

Dr. R. Wiese, Dipl.-phys. G. Wiese, S. Kahler-Leibnitz-Institut für Plasmaforschung und

Technologie e. V, Felix-Hausdorff-Straße 2,17489 Greifswald 178

Untersuchung von reaktiven Magnetron-Sputter-Prozessenmittels nicht-konventioneller Plasmadiagnostik

M. fröhlich, V. Schneider, S. Bornholdt und H. «ersten - Christian-Albrechts-Universität zu Kiel,

Institut für Experimentelle und Angewandte Physik, Leibnizstraße 11-19,24098 Kiel 179

Characterization of Polymer Composites with AnalyticalTransmission Electron MicroscopyPetrFormanek - Leibniz-Institutfür Polymerforschung Dresden e. V.,

Hohe Straße 6,01328 Dresden 180

Freisetzung von Nanopartikeln aus UV-gehärteten Nanokompositen?PeinerMehnert', Enzo Mai', Anette FreyerEvelin Bilz2-' Cetelon NanotechnikGmbH

Eilenburg,2 Leibnizinstitut für Oberflächenmodifizierung e. V. Leipzig 181

Charakterisierung von Plasmapolymerschichten mittels Kratz-,Abrieb- und Härteprüfungen im Nanometerbereich

faßten Doege, Dr. Bernd Neumann, Dr. Ute Holzhausen - Institut für Lacke und Farben e. V.,

Fichtestraße 29,39112 Magdeburg 182

Nanokompositschichten mit photokatalytischen EigenschaftenD. Salz', C. Dä//eV. Danilov2, J. Meichsner2, C. Schmüser', 0. Schorsch', K.-D. Vissing',H.-f. Wagner2, M.Ott'-' Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik undAngewandteMaterialforschung - IFAM, Wiener Straße 12,28359 Bremen,2 Ernst MoritzArndt Universität

Greifswald, Institut für Physik, Felix-Hausdorff-Straße 6,17489 Greifswald 183

Oberflächenbeschichtungen mit stimulierbarer katalytischer Aktivität

M. König, M. Müller, K.-J. Eichhorn, M. Stamm, P. Uhlmann -Leibniz-Institut für PolymerforschungDresden e. V., HoheStraße 6, 01069 Dresden 184

Herstellung und Eigenschaften von Melamin-Nanostrukturen

Tobias Fiedler, Dr. Ulrike Schulz, Prof. Dr. Norbert Kaiser-FraunhoferInstitutAngewandte Optikund Feinmechanik IOF, Albert-Einstein-Straße 7,07745 Jena 185

Stoffschlüssige Metall-Kunststoff-Verbundedurch

grenzflächenreaktives SpritzgießenD. Lehmann, M. Bräuer, M. Edelmann, I. Kuhnert, K. Schneider- Leibniz-Institut für

Polymerforschung Dresden e.V., Hohe Straße 6,01069 Dresden 186

Immobilisierung von Goldnanoteilchen auf Polycarbonatoberflächenbeim SpritzgießenDipl. ehem. (FH) Felix Kroschwald, Dr. rer, nat. Jürgen Nagel, Prof. Dr. rer. nat Gert Heinrich -

Leibniz Institut für Polymerforschung Dresden e.V. 187

Analyse und Simulation der mechanischen Eigenschaftenbeschichteter Polymere unter Berücksichtigung der meist zeitabhängigenMaterialparameterN. Schwarzer -Sächsisches Institut für Oberflächenmechanik SIO, 18569 Ummanz/Rügen 188

FEM-Simulation der stationären und instationären Gaspermeationdurch Barrierefolien

Dipl.-Phys. Oliver Miesbauer M. Sc, - Fraunhofer-Institut für Verfahrenstechnik

und Verpackung IW 189

3. INDUSTRIEAUSSTELLUNG 191

4. TEILNEHMER 243

5. PLAN DER INDUSTRIEAUSSTELLUNG 255

Notizen 261