Plasmabeschichtungsverfahren für die Solarzellen-herstellung

Silvia Roth Seite 15

Im Vakuum mittels

PECVD abgeschiedene,

amorphe, wasserstoff-

reiche SiN-Schichten

eignen sich sowohl als

Antireflexschicht als auch

für die Oberflächen- und

Volumenpassivierung von

Si-Solarzellen.

Titelbild 1/05:

SiN-beschichteter multi-

kristalliner Siliziumwafer für die

Solarzellenherstellung, siehe

Artikel ab Seite 15

(Foto: Roth & Rau AG)

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Magazin

43 Produkte und Verfahren

49 Vips

51 News

52 Veranstaltungen und Termine

53 Bezugsquellen

59 Impressum/Inserentenverzeichnis

3 Editorial

6 Stofftransport durch polymere und anorganische SchichtenHorst-Christian Langowski

14 Vakuumtechnik etabliert sich als gereifte Technologie Wolfgang Jitschin

15 Plasmabeschichtungsverfahren für die Solarzellen-herstellungSilvia Roth

20 Anteil des Schalldrucks an den Gasdruckschwingun-gen in Seitenkanalverdichtern

D. Surek

30 Einsatz von Sauerstoffmesszellen beim PlasmanitrierenHans-Joachim Berg, Heinz Zimdars, Heinz-Joachim Spies

35 Overview of the development of Ion Pumps Luca Bonmassar

40 Protokoll über die Mitgliederversammlung der DVG

42 Einladung zur Mitgliederversammlung 2005 und Beiratswahl und Kandidatenliste der DVG

Stofftransport durch polymere und anorganische Schichten

Horst-Christian Langowski Seite 6

Bei Materialien auf Polymerba-

sis werden höchste Barriere-

eigenschaften gegenüber der

Permeation von Wasserdampf

und Gasen durch Multischicht-

systeme aus anorganischen und

polymeren Schichten erreicht.

Kuratorium

Dr. Stephan Becker, Varian

Deutschland GmbH, Darmstadt

Prof. Dr. Winfried Blau, Euro-

päische Forschungsgesellschaft

Dünne Schichten, Dresden

Prof. Dr. Günter Bräuer,

Fraunhofer IST, Braunschweig

Dr. Harro Hagedorn,

Leybold Optics, Alzenau

Dr. Birgit Hagenhoff,

TASCON GmbH, Münster

Prof. Dr. Wolfgang Jitschin,

Fachhochschule Gießen-Fried-

berg

Dr. Wolfgang Jorisch, GRAHAM

VAKUUMTECHNIK, Köln

Dr. Andreas Leson,

Fraunhofer IWS, Dresden

Karl-Heinz Nikutta, Fulda

Dr. Christian Oehr, Fraunhofer

Institut für Grenzflächen- und

Bioverfahrenstechnik, Stuttgart

Dieter Oswald, Dr. Ing. K.

Busch GmbH, Maulburg

Dr. Ralph Jürgen Peters,

VDI Technologiezentrum

GmbH, Düsseldorf

Prof. Dr. Hans K. Pulker,

Universität Innsbruck

Dr. Ralf Reuschling, BOC

Edwards GmbH, Butzbach

Einsatz von Sauerstoffmesszellen beim Plasmanitrieren

Hans-Joachim Berg, Heinz Zimdars,

Heinz-Joachim Spies Seite 30

Erstmals ist es gelungen, mit einer neu entwickelten Mess-

technik die Voraussetzungen zu schaffen, den Einfluss des

Sauerstoffs bei plasmagestützten Prozessen und niedrigen

Drücken systematisch untersuchen zu können.

Anteil des Schalldrucks an den Gasdruckschwingungen in Seitenkanalverdichtern

D. Surek Seite 20

Durch parallele Messungen der Gasdruckschwingung in

einer Maschine und des Schalldrucks an den Schallquellen

können diese Verhältniswerte in Abhängigkeit der Entfer-

nung der Schallquelle und von den Betriebsparametern

des Verdichters ermittelt werden.

Overview of the development of Ion Pumps

Luca Bonmassar Seite 35

Der Artikel gibt einen

schönen Überblick über die

Entwicklung, das Arbeits-

prinzip und das spezielle

Design von Ionengetter-

pumpen. Ihre Pumpleis-

tung für verschiedene Gase

sowie ihre Anwendungsbe-

reiche werden ausführlich dargestellt.

Vacuum‘s BestSonderausgabe in englischer Sprache

Erscheinungstermin: 15. März 2005Anzeigenschluss: 21. Februar 2005