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METROTOM Messgenauigkeitsuntersuchungen

15.11.2017

CT User Meeting

220.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS

Spezifikationen METROTOM (Stand Mai 2016)

320.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS

Richtlinien VDI/VDE 2617 + 2630 fürDIN EN ISO 10360

Antastabweichung PF und PS3D-Abweichungsverhaltenbestimmt in einem kleinenMessvolumen an idealenKugeln

Längenmessabweichung E3D-Abweichungsverhalten im gesamtenMessvolumen

Antastabweichung Form (PF)PF = Rmax - Rmin

Antastabweichung Maß (PS)PS = Da - Dr

Gemessen entweder mit Parallelend-maß (2 einzelne Messpunkte):E = La - Lr

Oder mit 2 Kugeln (Mittelpunktsabst.):E = Lka – Lkr + PS ± PF

SD

420.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS

Richtlinien VDI/VDE 2617 + 2630 fürDIN EN ISO 10360

Anforderungen der Richtlinie:

• 5 Prüflängen in 7 räumlichen Richtungen je dreimal, bei mindestens zweiVergrößerungen (→ 210 Messungen!)

• kleinste Prüflänge ≤ 30 mm, größte ≥ 66% der Raumdiagonalen desMessvolumens

Metrotom-Check micro mit 22 Kugeln

1

2

3

45

6

7

520.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS

METROTOM 800 225 kV, Abnahme SD

620.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS

METROTOM 800 225 kV, Abnahme E

E = SD + PS ± PF

720.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS

Datenreduktionzur Bewertung der Abweichungsstreuung

Automatische Maßstabskorrektur durch Fit der Messpunkte an eine Ursprungsgerade (da nicht in allen Fällen Geometrieeinmessungen durchgeführt wurden)

Bestimmung der Standardabweichung der maßstabskorrigierten Werte Bestimmung von x, so dass alle Werte innerhalb einer Fehlerkurve „x + L/100“ liegen

Dieser Wert x wird hier als „maximale Streuung“ bezeichnet

820.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS

METROTOM 800 130 kV

920.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS

METROTOM 800 130 kVStop & Go Messungen

Alle Messungen gut innerhalb der Toleranz Trends entsprechen den Erwartungen:

- Bessere Messgenauigkeit für längere Messzeiten- Bessere Messgenauigkeit für kleinere Voxelgrößen

1020.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS

METROTOM 800 130 kVVAST Messungen mit VAST Metrology Package

Alle Messungen gut innerhalb der Toleranz Trends entsprechen den Erwartungen:

- Bessere Messgenauigkeit für längere Messzeiten- Bessere Messgenauigkeit für kleinere Voxelgrößen

1120.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS

METROTOM 800 130 kVVAST Messungen mit VAST Metrology Package

Alle Messungen gut innerhalb der Toleranz Trends entsprechen den Erwartungen:

- Bessere Messgenauigkeit für längere Messzeiten- Bessere Messgenauigkeit für kleinere Voxelgrößen

1220.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS

METROTOM 800 225 kV

1320.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS

METROTOM 800 225 kVStop & Go Messungen

Alle Messungen gut innerhalb der Toleranz Etwas bessere Genauigkeit als METROTOM 800 130 kV Trends entsprechen den Erwartungen:

- Bessere Messgenauigkeit für längere Messzeiten- Bessere Messgenauigkeit für kleinere Voxelgrößen

1420.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS

METROTOM 1500 225 kV 500W

1520.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS

METROTOM 1500 500WStop & Go Messungen

Stop & Go Messungen gut innerhalb der Toleranz Trends liegen im Rahmen der statistischen Schwankungen

1620.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS