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96 96 Jahresbericht 2015 Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT, www.ilt.fraunhofer.de DQS zertifiziert nach DIN EN ISO 9001, Reg.-Nr.: DE-69572-01 Änderungen bei Spezifikationen und anderen technischen Angaben bleiben vorbehalten. 03/2016. 1 Abtragprozess mit 16 Teilstrahlen. 2 Mikrostrukturierte Stahlfolie hergestellt mit 196 Teilstrahlen. Aufgabenstellung Die Produktivität industrieller Laserprozesse hängt wesentlich von der auf das Werkstück übertragbaren mittleren Leistung ab. Dies gilt auch für Abtrag- und Schneidverfahren mit Ultra- kurzpulslasern, mit denen höchste Bearbeitungsgenauigkeiten im Nanometerbereich erzielt werden können. Mittlerweile sind auch im Ultrakurzpuls-Bereich (UKP) Strahlquellen mit Leistungen von 100 bis 1000 W verfügbar. Um die hohen Anforderungen an Qualität und Genauigkeit auch bei kleins- ten Strahldurchmessern erfüllen zu können, sind Intensitäten nahe der Abtragschwelle zur Vermeidung ungewünschter, thermisch bedingter Qualitätsverluste nötig. Somit ist die Leis- tung pro Einzelstrahl in der Regel auf wenige Watt begrenzt. Um trotzdem die hohen verfügbaren Leistungen umsetzen zu können, wird ein neuer technologischer Ansatz verwendet, bei dem der Laserstrahl auf mehrere Teilstrahlen aufgeteilt wird. Damit kann eine Parallelisierung der Bearbeitung realisiert und der Abtragprozess beschleunigt werden. Durch den Einsatz diffraktiver optischer Elemente kann diese Strahlteilung mit hoher Effizienz, Homogenität und Stabilität erfolgen. Vorgehensweise Das Fraunhofer ILT entwickelt industriell einsetzbare Multistrahloptiken, die basierend auf diffraktiv optischen Elementen beliebige Anordnungen von Teilstrahlen erzeugen. Um eine hohe Prozessstabilität und Reproduzierbarkeit zu gewährleisten, wird das Multistrahlmodul in Echtzeit mittels Sensorik überwacht und adaptiv stabilisiert. Durch ein maßge- schneidertes Design sind die Multistrahloptiken für zahlreiche Anwendungen im Bereich der Laserpräzisionsbearbeitung anwendbar. Dazu zählen neben der klassischen Oberflächen- strukturierung auch Bohr- und Schneidapplikationen. Ergebnis Bild 1 zeigt einen Abtragprozess mit 16 Teilstrahlen, wobei jeder Strahl 16-mal den Schriftzug ILT markiert. Durch die variable Ablenkung mit einem Scansystem sind beliebige Abtragkonturen im Multistrahlbetrieb möglich. In Bild 2 ist eine mikrostrukturierte 20 µm Stahlfolie abgebildet, die mittels einer Multistrahloptik bearbeitet wurde. Die kleinste darge- stellte Struktur beträgt 15 µm mit einer Genauigkeit von 2 µm. Die verwendete Multistrahloptik verfügt über 196 Teilstrahlen und erlaubt so Bearbeitungsgeschwindigkeiten von mehreren hundert Strukturen pro Sekunde. Dabei wurde lediglich eine mittlere Leistung von 15 W bei 515 nm Wellenlänge verwendet, was verdeutlicht, dass hierdurch die Produktivität der Laserpro- zesse mit großem Potenzial skalierbar ist. Ansprechpartner Dipl.-Ing. Dipl.-Wirt.Ing. Christian Fornaroli Telefon +49 241 8906-642 [email protected] Dr. Arnold Gillner Telefon +49 241 8906-148 [email protected] HOCHPRODUKTIVE UKP-LASERBEARBEITUNG MIT MULTISTRAHLOPTIKEN 1 2

1 2 2 Vorgehensweise HOCHPRODUKTIVE UKP ......stellte Struktur beträgt 15 µm mit einer Genauigkeit von 2 µm. Die verwendete Multistrahloptik verfügt über 196 Teilstrahlen und

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96 96 Jahresbericht 2015 Jahresbericht 2015 97Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT, www.ilt.fraunhofer.de

DQS zertifiziert nach DIN EN ISO 9001, Reg.-Nr.: DE-69572-01

Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT, www.ilt.fraunhofer.de

DQS zertifiziert nach DIN EN ISO 9001, Reg.-Nr.: DE-69572-01

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2016

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1 Abtragprozess mit 16 Teilstrahlen.

2 Mikrostrukturierte Stahlfolie

hergestellt mit 196 Teilstrahlen.

Aufgabenstellung

Die Produktivität industrieller Laserprozesse hängt wesentlich

von der auf das Werkstück übertragbaren mittleren Leistung

ab. Dies gilt auch für Abtrag- und Schneidverfahren mit Ultra-

kurzpulslasern, mit denen höchste Bearbeitungsgenauigkeiten

im Nanometerbereich erzielt werden können. Mittlerweile

sind auch im Ultrakurzpuls-Bereich (UKP) Strahlquellen mit

Leistungen von 100 bis 1000 W verfügbar. Um die hohen

Anforderungen an Qualität und Genauigkeit auch bei kleins-

ten Strahldurchmessern erfüllen zu können, sind Intensitäten

nahe der Abtragschwelle zur Vermeidung ungewünschter,

thermisch bedingter Qualitätsverluste nötig. Somit ist die Leis-

tung pro Einzelstrahl in der Regel auf wenige Watt begrenzt.

Um trotzdem die hohen verfügbaren Leistungen umsetzen zu

können, wird ein neuer technologischer Ansatz verwendet, bei

dem der Laserstrahl auf mehrere Teilstrahlen aufgeteilt wird.

Damit kann eine Parallelisierung der Bearbeitung realisiert und

der Abtragprozess beschleunigt werden. Durch den Einsatz

diffraktiver optischer Elemente kann diese Strahlteilung mit

hoher Effizienz, Homogenität und Stabilität erfolgen.

Vorgehensweise

Das Fraunhofer ILT entwickelt industriell einsetzbare

Multistrahloptiken, die basierend auf diffraktiv optischen

Elementen beliebige Anordnungen von Teilstrahlen erzeugen.

Um eine hohe Prozessstabilität und Reproduzierbarkeit zu

gewährleisten, wird das Multistrahlmodul in Echtzeit mittels

Sensorik überwacht und adaptiv stabilisiert. Durch ein maßge-

schneidertes Design sind die Multistrahloptiken für zahlreiche

Anwendungen im Bereich der Laserpräzisionsbearbeitung

anwendbar. Dazu zählen neben der klassischen Oberflächen-

strukturierung auch Bohr- und Schneidapplikationen.

Ergebnis

Bild 1 zeigt einen Abtragprozess mit 16 Teilstrahlen, wobei

jeder Strahl 16-mal den Schriftzug ILT markiert. Durch die

variable Ablenkung mit einem Scansystem sind beliebige

Abtragkonturen im Multistrahlbetrieb möglich. In Bild 2 ist

eine mikrostrukturierte 20 µm Stahlfolie abgebildet, die mittels

einer Multistrahloptik bearbeitet wurde. Die kleinste darge-

stellte Struktur beträgt 15 µm mit einer Genauigkeit von 2 µm.

Die verwendete Multistrahloptik verfügt über 196 Teilstrahlen

und erlaubt so Bearbeitungsgeschwindigkeiten von mehreren

hundert Strukturen pro Sekunde. Dabei wurde lediglich eine

mittlere Leistung von 15 W bei 515 nm Wellenlänge verwendet,

was verdeutlicht, dass hierdurch die Produktivität der Laserpro-

zesse mit großem Potenzial skalierbar ist.

Ansprechpartner

Dipl.-Ing. Dipl.-Wirt.Ing. Christian Fornaroli

Telefon +49 241 8906-642

[email protected]

Dr. Arnold Gillner

Telefon +49 241 8906-148

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