1Juni 2005 Framos Forum, Dr. Franz-Josef Urban (Bte GmbH) Spiegel, Filter, Entspiegelungen für UV, VIS und IR: Möglichkeiten der Fertigung mit Vakuumbeschichtung

11Juni 2005Juni 2005 Framos Forum, Dr. Franz-Josef Urban (Framos Forum, Dr. Franz-Josef Urban (Bte GmbH)Bte GmbH)

Spiegel, Filter, Entspiegelungen für Spiegel, Filter, Entspiegelungen für UV, VIS und IR:UV, VIS und IR:

Möglichkeiten der Fertigung mit Möglichkeiten der Fertigung mit VakuumbeschichtungVakuumbeschichtung


Niedrig-brechend (n ca. 1,35 – 1,46);

Schichtdicke ca. 10 nm – 300 nm)

H: TiO2, Ta2O5, HfO2, Si

M

Glas

L: MgF2, SiO2

Hoch-brechend (n ca. 1,9 – 2,6),


Metall (Al, Ag, Cu, Au, Cr.....),


Systeme dünner Schichten werden im Vakuum auf Systeme dünner Schichten werden im Vakuum auf die Substrate aufgebrachtdie Substrate aufgebracht

Indium-Zinn-Oxid (ITO)

Elektrisch leitend, MIR-Reflektor


H-L-System („Stack“, z.B. SiO2 / TiO2) für Infrarot-Blocker

Glas Glas

Al/SiO2-System für Vorderflächenspiegel

Die Schichtanzahl beträgt zwischen 1 und über 100.Die Schichtanzahl beträgt zwischen 1 und über 100.Die optischen Effekte sind Folge von Reflexion, Die optischen Effekte sind Folge von Reflexion, Interferenz und AbsorptionInterferenz und Absorption

Glas Glas

3-Schicht-System für Entspiegelung ITO für elektrische Leitfähigkeit


Das Material wird verdampft (oder gesputtert) und Das Material wird verdampft (oder gesputtert) und nach Drift durch die Kammer auf dem Substrat nach Drift durch die Kammer auf dem Substrat deponiert. Der Prozeß wird präzise kontrolliert.deponiert. Der Prozeß wird präzise kontrolliert.


Entspiegelungen werden den Anforderungen an Entspiegelungen werden den Anforderungen an Spektralbereich, Bandbreite und Restreflexion Spektralbereich, Bandbreite und Restreflexion angepaßt.angepaßt.

Einschicht-Entspiegelung (MgF 2 )

012345

400 430 460 490 520 550 580 610 640 670 700Wellenlänge [nm]

Ref

lexi

on [%

]

i = 0°

n

Prinzipkurve

V-Entspiegelung (Schmalband)

012345

400 430 460 490 520 550 580 610 640 670 700Wellenlänge [nm]

Ref

lexi

on [%

]

i = 0°

n =

Prinzipkurve

Vielschicht-Entspiegelung (Breitband)

012345

400 430 460 490 520 550 580 610 640 670 700Wellenlänge [nm]

Ref

lexi

on [%

]

i =

n = 1,52

Prinzipkurve


Metallspiegel sind charakterisiert durch das Material Metallspiegel sind charakterisiert durch das Material und die dielektrische Verstärkungund die dielektrische Verstärkung

Al-Vorderflächenspiegel, verstärkt

85

90

95

100

400 430 460 490 520 550 580 610 640 670 700

Wellenlänge [nm]

Ref

lexi

on

[%

]

Prinzipkurve

blank

Cu-Vorderflächenspiegel, verstärkt

859095

100

600 650 700 750 800 850 900 950 1000 1050 1100 1150 1200

Wellenlänge [nm]

Refle

xion

[%]

Prinzipkurve

blank

Ag-Vorderflächenspiegel

85

90

95

100

400 440 480 520 560 600 640 680 720 760 800Wellenlänge [nm]

Ref

lexi

on

[%

]

Prinzipkurve


Strahlteiler spalten den Strahl im gewünschten Strahlteiler spalten den Strahl im gewünschten Verhältnis auf.Verhältnis auf.

R/T = 30/70

0

20

40

60

80

100

400 430 460 490 520 550 580 610 640 670 700Wellenlänge [nm]

Ref

lexi

on

[%

]

i =

Prinzipkurve

R/T = 50/50

0

20

40

60

80

100

400 430 460 490 520 550 580 610 640 670 700Wellenlänge [nm]

Ref

lexi

on

[%

]

i =

Prinzipkurve

R/T = 70/30

0

20

40

60

80

100

400 430 460 490 520 550 580 610 640 670 700Wellenlänge [nm]

Ref

lexi

on

[%

]

i =

Prinzipkurve


Kanten- und Bandpaßfilter selektieren Kanten- und Bandpaßfilter selektieren Spektralbereiche aus.Spektralbereiche aus.

Filter für additive Farbmischung

0

20

40

60

80

100

380 420 460 500 540 580 620 660 700 740 780Wellenlänge [nm]

Tra

nsm

issi

on

[%

]

i = 0°

Prinzipkurve


Konversionsfilter ändern die Farbtemperatur der Konversionsfilter ändern die Farbtemperatur der Lichtquelle (bei Planck-Strahlern)Lichtquelle (bei Planck-Strahlern)

Konversion Tageslicht-Glühlampe

0

20

40

60

80

100

400 440 480 520 560 600 640 680 720 760 800Wellenlänge [nm]

Tra

nsm

issi

on

[%

]

i =

Prinzipkurve


Infrarot-Sperrfilter Infrarot-Sperrfilter

IR-Blocker mit und ohne ITO

0

20

40

60

80

100

400 650 900 1150 1400 1650 1900Wellenlänge [nm]

Tra

nsm

issi

on

[%

]

Prinzipkurve


Infrarot-Transmitter/ VIS-BlockerInfrarot-Transmitter/ VIS-Blocker

Infrarot-Transmission; Sperrung VIS

0

20

40

60

80

100

400 470 540 610 680 750 820 890 960 10301100Wellenlänge [nm]

Tra

nsm

issi

on

[%

]

Prinzipkurve


fertigt alle gezeigten fertigt alle gezeigten Produkte auf derzeit 19 Anlagen Produkte auf derzeit 19 Anlagen mit 55 Mitarbeitern.mit 55 Mitarbeitern.


Vielen Dank für Ihre Vielen Dank für Ihre Aufmerksamkeit!Aufmerksamkeit!

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