Die grosse Beschichtungsanlage der Serie

Advanced Coating Systems

www.plat it .comS W I S S Q U A L I T Y

PLATITs gesamte Produktpalette besteht aus "kompakten" Beschichtungsanlagen. Diese Anlagen werden in einem Stück, mit der Beschichtungskammer im selben Gehäuse wie die Elektronik, geliefert. Dies eliminiert eine teure und zeitraubende Installation vor Ort.

SerieMoDeC Innovationen®

PLATITs Beschichtungskonzept - Modular Dedicated Coating - erlaubt eine Vielzahl von Konfigurationen der Kathoden (Arten und ®

Positionen), entsprechend dem Beschichtungsauftrag. MoDeC ist die treibende Kraft hinter PLATIT-Innovationen. Neue Schichten und Anlagen werden nach diesem Grundsatz entwickelt.

®MoDeC

Patentiert 2003®Kombination aus LARC und

Planar-ARC-Technologien• Grossvolumige Kompaktanlage

®• 3 neu entwickelte LARC -XLrotierende Kathoden in der Tür

• 2 Planarkathoden im hinteren Bereich als Booster• Alle 5 Kathoden können gleichzeitig beschichten• Für konventionelle und

Nanocomposite Schichten• Ausgewählte

und • Nutzbares Plasmavolumen: ø700 x 750 mm• Beschichtungsvolumen: ø700 x 700 mm• Beladung mit ø10mm Schaftfräser: 1056 Stück• 3 Chargen / Tag

2 3

®2 LARC + Kathoden®LARC Technologie: LAteral Rotating Cathodes

• Die neue Generation der ersten industriellen, kompaktenBeschichtungsanlage für Nanocomposite-Schichten

• Das Herz der schlüsselfertigen Beschichtungssysteme für KMUs• Ausgewählte • Beschichtungsvolumen: ø355x460 mm• Beladung mit ø10mm Schaftfräsern: 288 Stück• 5 Chargen / Tag

Triple 3Coatings ®

PL• Hartstoffanlage mit hoher Kapazität• Das "Arbeitspferd" für Beschichtungszentren• 4 Planar-Kathoden• Konventionelle und ausgewählte• Nutzbares Plasmavolumen: ø700x750 mm• Beschichtungsvolumen: ø700x700 mm• Beladung mit ø10mm Schaftfräsern:

1056 Stück• 3 Chargen / Tag

Triple 3Coatings ®

• OXI Option®

• SCiL Option: Hochleistungs-Sputtering® ®

• 3 LARC Kathoden + 1 central SCiL Kathode®

• LACS Option: Simultan LAteral ARCing + CEntral Sputtering• Für konventionelle und Nanocomposite Coatings• Alle und • Beschichtungsvolumen: ø500x460 mm• Beladung mit ø10mm Schaftfräsern: 504 Stück• 5 (bis zu 6) Chargen / Tag

Triple 3Coatings ® 4Coatings ®

Hochleistungs-Kompaktbeschichtungsanlage• ist die Basismaschine

®• 3 LARC Kathoden

Modular upgradebar mit Optionen:2

• DLC Option• Option

® ®• 3 LARC Kathoden + 1 CERC Kathode

®• hohe Produktivität mit CERC Booster

TURBO

Triple 3Coatings ®

4Coatings ®

PLATITs gesamte Produktpalette besteht aus "kompakten" Beschichtungsanlagen. Diese Anlagen werden in einem Stück, mit der Beschichtungskammer im selben Gehäuse wie die Elektronik, geliefert. Dies eliminiert eine teure und zeitraubende Installation vor Ort.

SerieMoDeC Innovationen®

PLATITs Beschichtungskonzept - Modular Dedicated Coating - erlaubt eine Vielzahl von Konfigurationen der Kathoden (Arten und ®

Positionen), entsprechend dem Beschichtungsauftrag. MoDeC ist die treibende Kraft hinter PLATIT-Innovationen. Neue Schichten und Anlagen werden nach diesem Grundsatz entwickelt.

®MoDeC

Patentiert 2003®Kombination aus LARC und

Planar-ARC-Technologien• Grossvolumige Kompaktanlage

®• 3 neu entwickelte LARC -XLrotierende Kathoden in der Tür

• 2 Planarkathoden im hinteren Bereich als Booster• Alle 5 Kathoden können gleichzeitig beschichten• Für konventionelle und

Nanocomposite Schichten• Ausgewählte

und • Nutzbares Plasmavolumen: ø700 x 750 mm• Beschichtungsvolumen: ø700 x 700 mm• Beladung mit ø10mm Schaftfräser: 1056 Stück• 3 Chargen / Tag

2 3

®2 LARC + Kathoden®LARC Technologie: LAteral Rotating Cathodes

• Die neue Generation der ersten industriellen, kompaktenBeschichtungsanlage für Nanocomposite-Schichten

• Das Herz der schlüsselfertigen Beschichtungssysteme für KMUs• Ausgewählte • Beschichtungsvolumen: ø355x460 mm• Beladung mit ø10mm Schaftfräsern: 288 Stück• 5 Chargen / Tag

Triple 3Coatings ®

PL• Hartstoffanlage mit hoher Kapazität• Das "Arbeitspferd" für Beschichtungszentren• 4 Planar-Kathoden• Konventionelle und ausgewählte• Nutzbares Plasmavolumen: ø700x750 mm• Beschichtungsvolumen: ø700x700 mm• Beladung mit ø10mm Schaftfräsern:

1056 Stück• 3 Chargen / Tag

Triple 3Coatings ®

• OXI Option®

• SCiL Option: Hochleistungs-Sputtering® ®

• 3 LARC Kathoden + 1 central SCiL Kathode®

• LACS Option: Simultan LAteral ARCing + CEntral Sputtering• Für konventionelle und Nanocomposite Coatings• Alle und • Beschichtungsvolumen: ø500x460 mm• Beladung mit ø10mm Schaftfräsern: 504 Stück• 5 (bis zu 6) Chargen / Tag

Triple 3Coatings ® 4Coatings ®

Hochleistungs-Kompaktbeschichtungsanlage• ist die Basismaschine

®• 3 LARC Kathoden

Modular upgradebar mit Optionen:2

• DLC Option• Option

® ®• 3 LARC Kathoden + 1 CERC Kathode

®• hohe Produktivität mit CERC Booster

TURBO

Triple 3Coatings ®

4Coatings ®

PLATIT

Elektronik und Software

• Schaftwerkzeuge (2 µm): ø10 x 70 mm, 1056 Stück: 7.0 h• WSP (3 µm): ø20 x 6 mm, 6720 Stück: 7.5 h• Walzenstirnfräser (4 µm): ø80 x 180 mm, 48 Stück: 8.0 h

*: Die Chargenzeiten sind unter folgenden Bedingungen erreichbar:• Vollhartmetall-Werkzeuge (keine Ausgasung notwendig)• Reinigung der Werkzeuge mit hoher Qualität (kurzes Ätzen)• kontinuierlicher Betrieb (vorgeheizte Kammer)• 5-Kathodenprozesse• Verwendung von Schnellkühlung (z.B. mit Helium,

Öffnung der Kammer bei 200 °C)• 3 Chargen / Tag

Zykluszeiten*

Allgemeine Informationen

• Hartstoff-Beschichtungsanlage mit hoher Kapazität• Basierend auf PLATIT's Technologien mit rotierenden

®(LARC ) und Planar-ARC-Kathoden

• Schichten auf HSS und Hartmetall (T £ 500°C)

Hardware

• Maschinenmaße: W4882 x D2181 x H3354 mm• Interne Maße der Vakuumkammer: W1000 x D1000 x H1100 mm• Nutzbares Plasmavolumen: ø700 x H750 mm• Beschichtungsvolumen: ø700 x H700 mm• Max. Substratlast: 400 kg• BIAS: 20 kW, 350 kHz, 750 V• Doppelwand, Edelstahl, wassergekühlte Kammer• Frontladung, exzellenter Zugang

®• 3 LARC -XL rotierende Kathoden• 2 PLATIT Kathoden mit Schnellladesystem• Alle 5 Kathoden gesteuert durch gepulste ARC Verstärker• Elektrische Anschlusswerte: 3x400 V, 50-60 Hz, 100 kVA• Modulare Karusselle mit 2, 4, 8, 12 Satelliten

Hartstoffschichten

• Monolayers, Multilayers und Nanolayers• Nanocomposites, und • Hauptstandardschichten:

® ®3 4 4AlCrN , AlCrTiN , TiXCo

• Industrielles PLC (programmable logic) System• Industrielles PC System• Bedienung per Touch-Screen• Vollständig menügeführter Prozess• Einfache Ferndiagnose und Hilfsfunktionen• Keine Programmiererfahrung notwendig für Prozesssteuerung• Bedienungsanleitung auf interaktiver CD

Triple 3Coatings ®

4Coatings ®

4

Wichtigste Merkmale

Hauptanwendungsfelder

• Stempel und Matrizen mit kleinen und grossen Dimensionen (fürs Prägen, Feinstanzen, Stempeln, Biegen, etc.)

• Schneidewerkzeuge besonders mit grösseren Dimensionen (Sägeblätter, Abwälzfräser, Räumnadeln)

• Lohnbeschichtung

5: Planarkathode 2 Standard AlCr

4: Planarkathode 1 Standard AlCr

Heizer

Heizer

SatellitenStandard 8

Heizer

Substratkarussell

®3: LARC Kathode 3 Standard Cr

-XL2: LARC Kathode 2 Standard Al

®-XL1: LARC Kathode 1

Standard Ti

®-XL

5

Anlage mit hoher Kapazität

Kombination aus 2 PLATIT Technologien

• 5 Kathoden können gleichzeitig laufen®

3x LARC -XL LAteral Rotating Cathodes• Hauptkathoden: Ti, Al, AlSi+, Cr, TiSi2x Planar-ARC-Kathoden• Hauptkathoden: AlCr, AlTi, Ti

• Abscheidung von und

• Bis zu 3 Chargen / Tag, sogar3 verschiedene Schichten

Hohe Beladbarkeit

• Robuste und einfache Chargenbeladung

Optimale Haftung durch

• und

•

•

• Planar Shutter für die Planarkathoden

®GD

®

®

®®

®

Planar Shutter 1Planar Shutter 2

Triple 3Coatings ®

4Coatings ®

Wichtigste Anwendungs-felder der

Formwerkzeuge für Tiefziehen,Feinstanzen, Stempeln, Biegen

Für Lohnbeschichter mit einfacherBeladung gemischter Chargen

Stempel und Matrizen

Schneidewerkzeuge mit grösseren Dimensionen (Sägeblätter, Abwälzfräser, Räumnadeln)6

Kathodentürme3+1 Turm 4+4 Turm

Herausnahme der rotierenden Kathode aus der Holzbox mit dem FL380 Lift für

den Kathodenwechsel

FL380 Lift mit Kathode

Karussell mit 4 Achsenfür Stempel und Matrizen

Dmax=300 mm

Karussell mit Einfachrotationfür Stempel und Matrizen

Karussell mit 8 Achsenfür ZerspanwerkzeugeD-Gearbox=172 mm

Karussell mit Einfachrotation fürSägeblätter - Dmax=700mm

Karussell mit 12 Achsenfür AbwälzfräserDmax=110 mm

Karussell mit 2 Achsen fürSägeblätter mit Überlappung

Dmax=450 mm

7

Karusselle und Handhabungsgeräte

&

®3AlCrN

ALL®4

ALL ®4

®4ALL AlCrTiN®4 :

®4nACoX

®4nACo

®3AlTiN

®3CrTiN

TiN

®3

nACo

®4

4

ALL : AlCrTiN

AlTiCrN

®3

nACRo

nAC

oX®

4

®3

TiXC

o

®SCiL

®DLC-VIc

AlCrNDedicated

®4AlTiCrN

®4TiXCo

®4nACRo

Triple 3Coatings ® 4Coatings ®

8 9

Erweitertes Schicht-Rezept-Set

&

®3AlCrN

ALL®4

ALL ®4

®4ALL AlCrTiN®4 :

®4nACoX

®4nACo

®3AlTiN

®3CrTiN

TiN

®3

nACo

®4

4

ALL : AlCrTiN

AlTiCrN

®3

nACRo

nAC

oX®

4

®3

TiXC

o

®SCiL

®DLC-VIc

AlCrNDedicated

®4AlTiCrN

®4TiXCo

®4nACRo

Triple 3Coatings ® 4Coatings ®

8 9

Erweitertes Schicht-Rezept-Set

Standardschichten der

10

Was sind ?4Coatings ®

Was sind ?

Triple 3Coatings ®

Triple 3Coatings ®

Triple 3Coatings ®Triple 3Coatings ®

TiN - AlTiN-G - AlTiN-NL: 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: AlTi – 5: AlTi

3®AlTiN : Für universellen Einsatz

CrTiN - Cr/TiN-NL - CrN or TiN: 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: Ti/Cr – 5: Ti/Cr

3®CrTiN : Zum Umformen

3®AlCrN : Für Trockenzerspanung abrasiver Materialien

CrN - Al/CrN-NL - AlCrN: 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: AlCr – 5: AlCr

11

4Coatings ®

CrN - AlCrN-G - AlCrN-NL - nACRo: 1: none – 2: AlSi+ – 3: Cr – 4: AlCr – 5: AlCr

TiN - nACo-G - nATCRo-ML - TiSiN: 1: Ti – 2: Al – 3: TiSi – 4: AlTi – 5: AlTi

TiN - AlTiN - nACo - AlCrON: 1: Ti – 2: AlSi+ – 3: AlCr-OXI – 4: AlTi – 5: AlTi

CrTiN - AlTiCrN-G - Al/CrN Multilayer - AlTiCrN - (CrCN optional): 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: AlCr – 5:AlCr

4®AlTiCrN : Zum Gewinden und Umformen

TiN - AlTiN-G - AlTiN-NL - nACo: 1: Ti – 2: Al – 3: TiSi – 4: AlTi – 5: AlTi

CrTiN - AlCrTiN-G - Al/CrN Multilayer - AlCrTiN - (CrCN optional): 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: AlCr – 5: AlCr

4® 4®ALL : AlCrTiN : Für Nass- und Trockenbearbeitung

®3Ziel der TripleCoatings ist die Kombination von 3 Merkmalen:• optimale Haftschicht (z.B. TiN, CrN)• zähe Kernschicht (z.B. Multi- oder Nanolayerschicht)• harte verschleissfeste Topschicht (z.B. Nanocomposites)

®4Ziel der QuadCoatings :• Integration eines 4. Merkmals, zusätzlich zu z.B.:

• 4. Schichtblock• extreme Wärmeisolierung durch AlON• Schmierung durch CrCN

Triple 3Coatings ®

4®nACo : Für universellen Einsatz, Drehen, Bohren

4®nACRo : Für Superlegierungen, Fräsen

4®TiXCo : Für superharte Bearbeitung

4®nACoX : Für HSC Trockendrehen und Fräsen

Standardschichten der

10

Was sind ?4Coatings ®

Was sind ?

Triple 3Coatings ®

Triple 3Coatings ®

Triple 3Coatings ®Triple 3Coatings ®

TiN - AlTiN-G - AlTiN-NL: 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: AlTi – 5: AlTi

3®AlTiN : Für universellen Einsatz

CrTiN - Cr/TiN-NL - CrN or TiN: 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: Ti/Cr – 5: Ti/Cr

3®CrTiN : Zum Umformen

3®AlCrN : Für Trockenzerspanung abrasiver Materialien

CrN - Al/CrN-NL - AlCrN: 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: AlCr – 5: AlCr

11

4Coatings ®

CrN - AlCrN-G - AlCrN-NL - nACRo: 1: none – 2: AlSi+ – 3: Cr – 4: AlCr – 5: AlCr

TiN - nACo-G - nATCRo-ML - TiSiN: 1: Ti – 2: Al – 3: TiSi – 4: AlTi – 5: AlTi

TiN - AlTiN - nACo - AlCrON: 1: Ti – 2: AlSi+ – 3: AlCr-OXI – 4: AlTi – 5: AlTi

CrTiN - AlTiCrN-G - Al/CrN Multilayer - AlTiCrN - (CrCN optional): 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: AlCr – 5:AlCr

4®AlTiCrN : Zum Gewinden und Umformen

TiN - AlTiN-G - AlTiN-NL - nACo: 1: Ti – 2: Al – 3: TiSi – 4: AlTi – 5: AlTi

CrTiN - AlCrTiN-G - Al/CrN Multilayer - AlCrTiN - (CrCN optional): 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: AlCr – 5: AlCr

4® 4®ALL : AlCrTiN : Für Nass- und Trockenbearbeitung

®3Ziel der TripleCoatings ist die Kombination von 3 Merkmalen:• optimale Haftschicht (z.B. TiN, CrN)• zähe Kernschicht (z.B. Multi- oder Nanolayerschicht)• harte verschleissfeste Topschicht (z.B. Nanocomposites)

®4Ziel der QuadCoatings :• Integration eines 4. Merkmals, zusätzlich zu z.B.:

• 4. Schichtblock• extreme Wärmeisolierung durch AlON• Schmierung durch CrCN

Triple 3Coatings ®

4®nACo : Für universellen Einsatz, Drehen, Bohren

4®nACRo : Für Superlegierungen, Fräsen

4®TiXCo : Für superharte Bearbeitung

4®nACoX : Für HSC Trockendrehen und Fräsen

Des

ign:

Edito

r: D

r. Ti

bor

Cse

llePi

1511

dv5

Einsatzempfehlungen

• Schichtdicke und -struktur können und sollen unterschiedlich sein, entsprechend der verschiedenen Anwendungsprozesse auch für dieselbe Schicht.x• Der Exponent x (Schicht ) wird dadurch bestimmt, welche Schichtgeneration die Maschine abscheiden kann.

Schicht AHauptvorschlag:Wenn verfügbar, diese Schicht für die Anwendung verwenden.

Alternativvorschlag:Die Schicht verwenden, wenn der Hauptvorschlag nicht verfügbar ist.Schicht B

Schichtkompass

Unlegierte Stähle2< 1000 N/mm

Unlegierte Stähle2> 1000 N/mm

Gehärtete Stähle< 55 HRC

Gehärtete Stähle> 55 HRC

Hochlegierte Stähle

SuperlegierungenNi-basiert

SuperlegierungenTi-basiert

Guss

Aluminium Si > 12%

Aluminium Si < 12%

Kupfer

Bronze, Messing, Plastik

Graphit

Kohlenstofffaserver-stärkte Kunststoffe

Holz

Zerspanen Spanloses Formen

Drehen FräsenSägenAbwälzfräsen

BohrenReibenRäumen

Gewinden Kunststoff-formen

StempelnStanzen

UmformenTiefziehenExtrudieren

AlTiCrN (+CrCN)

TiCN

AlTiCrN (+CrCN)

TiCN

CROMTIVIc

nACVIc

nACVIc

nACVIc

TiB2

®3CROMVIc

TiCN

CROMTIVIc

CROMTIVIc

CROMTIVIc

ZrN

CrN

CROMTIVIc

®4ALL (+CrCN)

AlCrN

nACVIc

AlCrN®4ALL

AlCrN

TiXCo

CROMTIVIc

nACVIc

nACVIc

AlCrN

TiB2

®3CROMVIc

TiCN

CROMTIVIc

CROMTIVIc

ZrN

CrN

CROMTIVIc

AlCrN®4ALL

®4ALL (+CrCN)

nACVIc

CrTiN

nACVIc

CrN

CROMTIVIc

nACVIc

nACVIc

nACRo

TiB2

®3CROMVIc

TiCN

CROMTIVIc

CROMTIVIc

TiCN

ZrN

CrN

CROMTIVIc

®4ALL (+CrCN)

AlTiCrN

TiCN

AlTiCrN

TiCN

TiXCo

nACo®4ALL

TiCN

nACVIc

CROMTIVIc

nACRo

nACRo

TiB2

®3CROMVIc

TiCN

TiCN

TiCN

AlTiCrN

TiCN

ZrN

CrN

CROMTIVIc

nACo

TiCN

®3CROMVIc®3TiXCo

®3CROMVIc

TiXCo

nACVIc

CROMTiVic

nACo

AlTiN

nACo

AlTiN

TiXCo

nACo

nACo

TiXCo

TiXCo

nACRo

nACo

nACRo

TiB2

®3CROMVIc

TiCN

nACo

®4ALL

AlTiN

TiCN

ZrN

CrN

CROMTIVIc

nACo

TiXCo

®3CROMVIc®3TiXCo

®3CROMVIc

TiXCo

nACVIc

CROMTiVic

®4ALL

nACRo®4ALL

nACRo

TiXCo

nACo®4ALL

nACRo®4nACoX

nACRo

nACo

nACRo

TiB2

®3CROMVIc

TiCN

AlTiCrN

®4ALL

AlTiN

TiCN

ZrN

CrN

CROMTIVIc

nACo

TiXCo

®3CROMVIc®3TiXCo

®3CROMVIc

TiXCo

nACVIc

CROMTiVic

nACo

AlTiN

nACo

AlTiN

TiXCo

nACo

nACo®4nACoX®4nACoX

®4ALL

nACo

nACRo

TiB2

®3CROMVIc

TiCN

nACo

nACRo

AlTiN

TiCN

ZrN

CrN

CROMTIVIc

nACo

TiXCo

®3CROMVIc®3TiXCo

®3CROMVIc

TiXCo

CROMTIVIc

nACVIc