Ellipsometry at the Nanoscale

Bearbeitet vonMaria Losurdo, Kurt Hingerl

1. Auflage 2013. Buch. xxiv, 730 S. HardcoverISBN 978 3 642 33955 4

Format (B x L): 15,5 x 23,5 cmGewicht: 1280 g

Weitere Fachgebiete > Technik > Werkstoffkunde, Mechanische Technologie >Werkstoffkunde, Materialwissenschaft: Forschungsmethoden

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Contents

1 A Brief History and State of the Art of Ellipsometry . . . . . . . . . . 1Eugene A. Irene

2 Advanced Mueller Ellipsometry Instrumentationand Data Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31Enric Garcia-Caurel, Razvigor Ossikovski, Martin Foldyna,Angelo Pierangelo, Bernard Drévillon and Antonello De Martino

3 Data Analysis for Nanomaterials: Effective MediumApproximation, Its Limits and Implementations . . . . . . . . . . . . . 145Josef Humlicek

4 Relationship Between Surface Morphology and EffectiveMedium Roughness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 179Angel Yanguas-Gil and Herbert Wormeester

5 Plasmonics and Effective-Medium Theory . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203David E. Aspnes

6 Thin Films of Nanostructured Noble Metals . . . . . . . . . . . . . . . . 225Herbert Wormeester and Thomas W. H. Oates

7 Spectroscopic Ellipsometry on Metallic Gratings . . . . . . . . . . . . . 257Michael Bergmair, Kurt Hingerl and Peter Zeppenfeld

8 Ellipsometry at the Nanostructure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 313Yasuhiro Mizutani and Yukitoshi Otani

xvii

9 Spectroscopic Ellipsometry and Magneto-Optical KerrSpectroscopy of Magnetic Garnet Thin Films IncorporatingPlasmonic Nanoparticles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 325Satoshi Tomita

10 Generalized Ellipsometry Characterization of SculpturedThin Films Made by Glancing Angle Deposition . . . . . . . . . . . . . 341Daniel Schmidt, Eva Schubert and Mathias Schubert

11 THz Generalized Ellipsometry Characterizationof Highly-Ordered Three-Dimensional Nanostructures. . . . . . . . . 411Tino Hofmann, Daniel Schmidt and Mathias Schubert

12 Infrared Ellipsometric Investigations of Free Carriersand Lattice Vibrations in Superconducting Cuprates . . . . . . . . . . 429Jirí Chaloupka, Dominik Munzar and Josef Humlícek

13 Real-Time Ellipsometry for Probing Charge-TransferProcesses at the Nanoscale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 453Maria Losurdo, April S. Brown and Giovanni Bruno

14 Polarimetric and Other Optical Probesfor the Solid–Liquid Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 493Kurt Hingerl

15 Spectroscopic Ellipsometry for Functional Nano-Layersof Flexible Organic Electronic Devices . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 529Stergios Logothetidis and Argiris Laskarakis

16 Spectroscopic Ellipsometry of Nanoscale Materialsfor Semiconductor Device Applications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 557Alain C. Diebold, Florence J. Nelson and Vimal K. Kamineni

17 Ellipsometry of Semiconductor Nanocrystals . . . . . . . . . . . . . . . . 583Peter Petrik and Miklos Fried

18 Spectroscopic Ellipsometry for Inline Process Controlin the Semiconductor Industry . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 607Stefan Zollner

19 Thin Film Applications in Research and IndustryCharacterized by Spectroscopic Ellipsometry . . . . . . . . . . . . . . . 629Denis Cattelan, Céline Eypert, Marzouk Kloul, Mélanie Gaillet,Jean-Paul Gaston, Roland Seitz, Assia Shagaleevaand Michel Stchakovsky

xviii Contents

20 Ellipsometry and Correlation Measurements . . . . . . . . . . . . . . . . 669Rados Gajic and Milka Jakovljevic

21 Nanotechnology: Applications and Markets,Present and Future. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 705Ottilia Saxl

Contents xix