Ergebnisse und Leistungen 1998

IZFM HSG-IFZUniversität Stuttgart Hahn-Schickard-GesellschaftLehrstuhl Mikro-, Miniatur- und Zeitmeßtechnik Institut für Feinwerk- und Zeitmeßtechnik

Ergebnisse und Leistungen 1998

Inhaltsverzeichnis

Organisationsstruktur 2

Vorwort 3

Untersuchungen über das Reibungs- und Verschleißverhalten von ölinkorporiert geschmierten Duroplasten fürfeinwerktechnische Gleitelemente

4

Miniaturtaster 6

Untersuchungen der tribologischen Eigenschaften von bewegten miniaturisierten elastomeren Dichtelementen 8

Herstellungstechnologien für Stimmgabelresonatoren aus Silizium 10

Federprüfgerät (Auftragsforschung) 12

Expertensystem für vollautomatische, rechnergesteuerte Untersuchungen und Tests in der Entwicklungs- undPrototypenphase zukünftiger Funkuhren

14

Veröffentlichungen 17

Promotionen, Diplom- und Studienarbeiten, Lehrveranstaltungen 18

Vorträge, Präsentationen, Mitarbeit in Gremien 19

Organe der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. 20

Mitgliedsfirmen 22

HSG-IFZ in Zahlen 23

Anfahrtsplan 24

Universität StuttgartInstitut für Zeitmeßtechnik, Fein- und MikrotechnikLehrstuhl Mikro-, Miniatur- und ZeitmeßtechnikBreitscheidstr. 2b · D-70174 StuttgartTelefon: ++49(711)121-3711 · Telefax: ++49(711)2268304E-mail: izfm@izfm.uni-stuttgart.deWWW: http://www.uni-stuttgart.de/izfm

Hahn-Schickard-GesellschaftInstitut für Feinwerk- und ZeitmeßtechnikBreitscheidstr. 2b · D-70174 StuttgartTelefon: ++49(711)121-3712 · Telefax: ++49(711)2268304E-mail: hsg-ifz@izfm.uni-stuttgart.deWWW: http://www.uni-stuttgart.de/hsi

Leitung: Prof. Dr. rer. nat. Heinz Kück

Organisationsstruktur

2

Lehrstuhl Mikro-, Miniatur- und

Zeitmeßtechnik

Hahn-Schickard-Institut für

Feinwerk- und Zeitmeßtechnik

Leitung *) Prof. Kück Prof. Kück

Tribologie und Oberflächentechnik Hr. Schulz Hr. Scheerer

Hr. Bader

Fr. Gehrlach

Miniatur- und Uhrentechnik Hr. Giousouf

Hr. Mohr

Dr. Müller

Hr. Allgeier

Hr. Laufer

Hr. Vogel

Gehäuse- und Verbindungstechnik Fr. Fasterding

Hr. Gerhäußer

N.N.

Dr. Eberhardt

Hr. Grabein

Hr. Münch

Dr. Schubert

Hr. Seifert

N.N.

N.N.

Generative Verfahren Hr. Gmelin

Hr. Skibowski

Mechanische Bearbeitung Hr. Bärlin

Hr. Eylandt

Hr. Lechler

Verwaltungsdienst Fr. Mohr Fr. Ihle

*) seit 1.7.98

Vorwort

3

Sehr geehrte Damen und Herren,

das Jahr 1998 war ein ereignisrei-ches Jahr für unsere Institute. HerrProf. Aßmus ist nach fast zwanzig-jähriger Tätigkeit zur Mitte des Jah-res in den wohlverdienten Ruhe-stand getreten. Alle Mitarbeiter undich danken Herrn Prof. Aßmus andieser Stelle auf das herzlichste fürdie geleistete Arbeit.

Mit dem Wechsel in der Institutslei-tung wurde mein Lehrstuhl am In-stitut für Zeitmeßtechnik, Fein– undMikrotechnik der „Mikro-, Miniatur-technik und Zeitmeßtechnik“ neugewidmet. Daneben gehört derLehrstuhl „Mikrosystemtechnik“, dervon Herrn Prof. Sandmaier geleitetwird, ebenfalls zum IZFM.

Im Hahn-Schickard-Institut fürFeinwerk- und Zeitmeßtechnik ha-ben wir damit begonnen, verstärktauf dem Gebiet der Gehäuse- undVerbindungstechnik für Mikrosy-steme zu arbeiten. Damit tragen wirder nunmehr anerkannten großenBedeutung der Aufbau-, Verbin-dungs- und Gehäusetechnik für dieUmsetzung der MikrosystemtechnikRechnung. Hierbei stehen Kunst-stoffgehäuse und Kunststoff-Miniaturbauteile mit integrierterMetallisierung im Mittelpunkt. Mitder Kunststoff-Gehäusetechnikergänzen wir einerseits innerhalbder Hahn-Schickard-Gesellschaftdie Arbeitsschwerpunkte des Insti-tuts für Mikro- und Informations-technik in Villingen-Schwenningensinnvoll und erweitern so das Lei-stungsspektrum der HSG zum An-gebot kompletter mikrosystemtech-nischer Lösungen aus einer Hand.

Andererseits bauen wir in derKunststoff-Gehäusetechnik auf denlangjährigen Erfahrungen des HSG-IFZ im Präzisionspritzguß auf undwerden am Standort Stuttgart vonSynergien profitieren, insbesonderedurch Kooperationen innerhalb derUniversität Stuttgart.

Bei der Neuausrichtung auf dieGehäuse- und Verbindungstechnikzielen wir darauf ab, künftig unserKnow how und unser Forschungs-und Entwicklungspotential nochstärker als bisher in der Auftragsfor-schung umzusetzen. In diesemSinne müssen die traditionellenArbeitsgebiete der Uhren- undZeitmeßtechnik, der Tribologie undOberflächentechnik sowie der Mi-niaturmeßtechnik im HSG-IFZ künf-tig unter strenger Orientierung ander Nachfrage nach Forschungs-und Entwicklungsleistungen aus derWirtschaft weiterentwickelt werden.

In diesem Jahresbericht stellen wirIhnen unsere wichtigsten wissen-schaftlich-technischen Ergebnissedes vergangenen Jahres 1998 vor.Sicherlich fällt Ihnen bei der Lektüreauf, daß wir im vergangenen Jahreine vergleichsweise breite Paletteinteressanter Projekte aus der Mi-kro- und Miniaturtechnik, die nochunter der Leitung von Herrn Prof.Aßmus begonnen wurden, mit aus-gezeichneten Resultaten bearbeitethaben. Im nächsten Jahresberichtwerden wir über unsere Arbeitenzur Gehäuse- und Verbindungs-technik berichten. Ein weiterer Hö-hepunkt des vergangenen Jahreswar der Europäische Chronometrie

Kongress in Karlsruhe, der von unsorganisiert wurde.

Wir glauben, daß unser künftigesAngebot, insbesondere durch dieGehäuse- und Verbindungstechnik,für unsere Auftraggeber und Koope-rationspartner von großem Interes-se sein wird. Dabei ist es unserbesonderes Anliegen, Sie als unse-re Partner bei Ihren Problemlösun-gen tatkräftig zu unterstützen. Des-halb sind Ihre Anregungen undHinweise zu Ihrem künftigen For-schungs- und Entwicklungsbedarffür uns außerordentlich wichtig. Wirwürden uns über Ihre Resonanzsehr freuen und möchten Sie herz-lich einladen, nicht zu zögern mituns Kontakt aufzunehmen.

Ihr

Heinz Kück

Untersuchungen über das Reibungs- und Verschleißverhalten von ölinkorporiertgeschmierten Duroplasten für feinwerktechnische GleitelementeB. Bader

4

Einleitung

Duroplaste weisen im Vergleich zuden unverstärkten Thermoplastendeutlich höhere Werte in Festigkeit,Steifheit, Härte, Temperaturbestän-digkeit und Druckaufnahmefähigkeitauf. Aufgrund der schlechten tribo-logischen Eigenschaften von tech-nisch trockenen Duroplasten ge-genüber Stahl ist eine Öl- bzw. Fett-schmierung erforderlich, wenn dieseWerkstoffe als feinmechanischeGleitelemente zum Einsatz kommensollen. Um die Oxidation bei diesertraditionellen Schmierung vor allembei höheren Temperaturen(> 100 °C) zu reduzieren, kann dasÖl in Tröpfchenform eingekapseltund in den Duroplasten inkorporiertwerden. Allerdings ist dieses Ver-fahren kostenintensiv.

Daher wurden in einem For-schungsvorhaben die tribologischenVorteile, die Einsetzbarkeit als La-gerwerkstoffe für feinwerktechni-sche Geräte sowie die Grenzendieser Materialien untersucht. Inparallel durchgeführten Versuchenwurde ebenfalls die Wirtschaftlich-keit dieses Verfahrens im Vergleichzu den ohne Kapselung in den Du-roplasten inkorporierten Ölen ge-prüft. Neben den Untersuchungenan Modellprüfkörpern, die nach demTribosystem Kugel/ebene Plattearbeiten, war es ein Ziel des Vorha-bens, mit Hilfe experimenteller,praxisnaher Bauteiluntersuchungendie Besonderheiten von feinwerk-technischen Lagerungen gezielt zuerarbeiten.

Eigenschaften der ölinkorporier-ten Duroplaste

Die Verteilung der Öldepots läßtsich anhand der Querschliffe in denBildern 1 und 2 beschreiben. Der inBild 1 dargestellte Querschliff einer

Duroplastprobe zeigt die Verteilungder Öltröpfchen im Probekörper beieinem Ölfüllgehalt von 15 Gewichts-prozent.

Deutlich sichtbar sind die unter-schiedlichen Öltröpfchendurchmes-ser, die teilweise im Bereich von100 µm bis 150 µm liegen. Nebenden durch den Poliervorgang be-reits freigelegten Öltröpfchen zeich-nen sich die Konturen von zusätzli-chen Öltröpfchen ab, die dicht unterder Oberfläche liegen. Bei einemweiteren, entweder durch Polierenoder durch Übergleitungen verur-sachten Abrieb, wird die äußereHülle der Öltröpfchen abgeschertoder aufgebrochen und das darinbefindliche Öl freigesetzt.

Der Querschliff eines ölinkorporiertgeschmierten Duroplasten ohneMikrokapselung des Öles ist inBild 2 zu sehen. Deutlich erkennbarsind die im Bindersystem fein dis-pergiert verteilten Öltröpfchen, dieim Vergleich zu der in Bild 1 ge-zeigten mikrogekapselten Variantewesentlich kleinere Durchmesseraufweisen.

Wird in das Epoxidharz in Tröpf-chenform mikrogekapseltes Öl in-korporiert, läßt sich eine deutlicheReibungsminderung erreichen.

Selbst bei einer niedrigen Gleitge-schwindigkeit von 26,18 mm/s beigleichzeitig hoher Pressung weisendie mikrogekapselten Varianten derRadialgleitlager bei Raumtempera-tur Reibungszahlen auf, die im Be-

reich von f = 0,1 liegen, während diebei Versuchsende gemessenenReibungszahlen der ölinkorporiertgeschmierten Duroplast-Radialgleitlagerungen ohne Mikro-kapselung deutlich höher sind(Bild 3). Dagegen bewirkt der höhe-re Füllgehalt von 15 % bei der mi-krogekapselten Variante keine wei-tere Verbesserung des Reibungs-zahlverhaltens.

Für alle drei Varianten ist auf denStahlwellen nach Versuchsendezum einen kein Abrieb zu erkennenund zum anderen in den Radial-gleitlagern lediglich ein geringerLagerverschleiß festzustellen. Dieüber die Versuchsdauer gleichblei-benden Reibungszahlen deutendarauf hin, daß die Ölschmierungbei sämtlichen Pressungen aus-reicht und der zur Schmierung be-nötigte Ölfilm nicht durchbricht.

Bei der Erhitzung der Lagerstelleauf 80 °C wirkt sich bei den ölinkor-poriert geschmierten Radialgleitla-gern mit Mikrokapselung des Ölesein höherer Füllgrad von 15 % posi-tiv auf das Reibungsverhalten aus.

100 µm

Bild 1: Querschliff ölinkorporiert ge-schmierter Duroplast mit Mikrokaps e-lung des Öles

100 µm

Bild 2: Querschliff ölinkorporiert ge-schmierter Duroplast ohne Mikrokap-selung des Öles

5

Die Reibungszahlen liegen unterden gewählten Versuchsbedingun-gen unabhängig von der spezifi-schen Flächenpressung sehr nied-rig im Bereich von f = 0,1. Dagegensteigen die Reibungszahlen bei denRadialgleitlagern mit einem geringe-ren Füllgrad von 10 % bzw. bei derohne Mikrokapselung hergestelltenVariante bei einer höheren spezifi-schen Flächenpressung vonp = 2,0 N/mm2 deutlich an. Im Ge-gensatz zu den Reibungsverläufenliegt der Lagerabrieb bei den mitMikrokapselung hergestellten Ra-dialgleitlagern bei einem Füllgradvon 15 % am höchsten, was ver-mutlich auf eine zunehmende Ver-sprödung zurückzuführen ist.

Wie bereits bei den Versuchen mitdem Tribosystem Kugel/ebenePlatte festgestellt wurde, dürfte derDurchmesser der eingekapseltenÖltröpfchen eine wichtige Rolle inbezug auf das Reibungs- und Ver-schleißverhalten spielen.

Nähere Aufschlüsse über das Rei-bungs- und Verschleißverhalten gibt

die REM-Aufnahme in Bild 4 einerausgewählten Lauffläche bei einerErhitzung der Lagerstelle auf 80 °Cnach einem Gleitweg von 15 km.Deutlich sind die gereinigten, halb-kugelförmigen Vertiefungen zu se-hen, in denen die eingekapseltenÖltröpfchen im Harz integriert sind.An den Rändern der Spur lassensich dabei keine Abriebpartikel er-kennen.

Deutlich sichtbar sind ebenfalls diedurch die Herstellung der Radial-gleitlager entstandenen Drehriefen.Diese Oberflächenrauhigkeiten

müssen ebenso wie die halbkugel-förmigen Vertiefungen in der Ein-laufphase durch die Belastungender Stahlwellen zunächst eingeeb-net werden. Wie die Untersuchun-gen zeigten, werden bereits zu Be-ginn des Reibungsversuches Öl-tröpfchen freigesetzt, wodurch diedurch die Vertiefungen entstehen-den höheren Rauheiten überbrücktund Reibzahlschwankungen bzw.stick-slip-Effekte vermieden werden.

Zusammenfassung

Ölinkorporierte Duroplaste wurdenin Reibungs- und Verschleiß-untersuchungen auf ihre Einsetz-barkeit als Lagerwerkstoffe speziellfür feinwerktechnische Geräte un-tersucht. Die innerhalb des For-schungsvorhabens an den Gleitpaa-rungen Stahl/inkorporiert ge-schmierter Duroplast durchgeführ-ten Untersuchungen zeigen, daßdiese Werkstoffe unter Berücksich-tigung der Eigenschaften der ver-wendeten Harze und Öle für fein-werktechnische Gleitelemente auchbei den in der Feinwerktechnik ver-schärften Betriebsbedingungen,nämlich hohe Belastungen bei klei-nen Gleitgeschwindigkeiten und beihöheren Temperaturen > 100 °Ceingesetzt werden können.

Dieses Forschungsvorhaben (AiF-FV-Nr.: 10939 N) wurde aus Haus-haltsmitteln der Bundesministeriumsfür Wirtschaft über die Arbeitsge-meinschaft industrieller For-schungsvereinigungen “Otto vonGuericke“ e.V. (AiF) gefördert.

Der vollständige Abschlußbericht isterhältlich über:

Kontaktperson:Dipl.-Ing. Bernd BaderTel. ++49(711)121-3180

2380

10 %, mikrogekapselt

15 %, mikrogekapselt

10 %, ohne Kapselung

0

0,1

0,2

0,3

0,4

0,5

0,6

0,7

0,8

0,9

1

Temperatur [°C]

Reibungszahl f

Radialgleitlager, Durchmesser 5,15 mm; p = 2,0 N/mm

2, v = 26,16 mm/s,

s = 15 km

Bild 3: Ölinkorporiert geschmierte Radialgleitlager. Reibungs zahlen in Abhängigkeitvon der Temperatur.

Bild 4: Lauffläche eines ölinkorporiertgeschmierten Duroplast-Radial-gleitlagers

MiniaturtasterT. Gmelin

6

Einleitung

Einseitig offene, nahezu hohlzylin-drische Vertiefungen in Bauteilenoder Oberflächen sowie Durch-gangslöcher werden häufig als kon-struktive Elemente eingesetzt. Zahl-reiche Anwendungsbeispiele lassensich in der Feinst- und Miniaturtech-nik finden, etwa Lagerstellen fürWellen in Platinen, Dosier- undEinspritzdüsen oder Bohrungen fürPreßpassungen. Dabei ist einegenaue Kenntnis der Innenkontursolcher Elemente für deren Funkti-on äußerst wichtig, beispielsweisezur Ermittlung des Volumens beiDosierdüsen oder der Formtoleran-zen bei Preßsitzen.

Tastelement

TaststiftLWL,Emitter

LWL,Detektoren

Meßkopfgehäuse

Bild 1: Aufbau des Miniaturtasters

Die Vermessung der Innenkontur,besonders von kleinen Sacklöchernmit Durchmessern um 0.2 mm, stellteine hohe Anforderung an dieMeßtechnik. Mit bekannten, tasten-den oder berührungslos arbeiten-den Systemen können diese auf-grund ihres geringen Durchmessersoder möglicher Hinterschneidungennicht oder nur schwerlich vermes-sen werden. Dies war die Motivationzur Entwicklung eines Miniaturta-sters, mit dem Konturen hohlzylin-drischer Vertiefungen mit Durch-messern von 0.2 mm – 5 mm bei

einer Tiefe von bis zu 10 mm ge-messen werden können. Neuartigan dem Meßprinzip ist ein messen-der Miniaturtaster, dessen Auslen-kung über eine einfache optischeAnordnung mit Lichtwellenleitern(LWL) ausgelesen wird (Bild 1,2).

Meßprinzip

Der Taststift besteht aus einemdünnen Draht mit einer aufge-schmolzenen Tastkugel und wirdam Gehäuse des Tastsystems starrgelagert. Der Tastkopf enthältpaarweise zueinander senkrechtangeordnete Lichtwellenleiter(LWL), deren Stirnflächen am Randeiner Aussparung liegen (Bild 4).

Bild 2: Meßprinzip

Der durch die Emitter angestrahlteTaststift dunkelt je zwei der Quellegegenüberliegenden und symme-trisch angeordneten Detektorflä-chen partiell ab. Fotoelementewandeln die auf die definierte Flä-che der LWL treffende Lichtintensi-tät in elektrische Signale um. BeiBerührung des Meßobjektes durchdas Tastelement erfährt der Taststiftje nach Krafteintrittsvektor eineBiege-, Schub oder Zugbeanspru-chung und wird ausgelenkt. Dabeiändert sich das Verhältnis der de-tektierten Bestrahlungsstärke dereinzelnen Fotoelemente, somit auchdie Differenz des elektrischen Si-gnals. Das Meßsignal läßt eineneindeutigen Schluß über die mo-mentane Lage des Taststiftes inHöhe der LWL zu. Die Lage desTastelementes selbst wird unter

Berücksichtigung der charakteristi-schen Materialdaten mit der Metho-de der elastischen Biegelinie be-rechnet.

Bild 3: Meßsignalverlauf

Aufbau des Meßkopfes

Eine sehr hohe Maßhaltigkeit derMeßplatine wird durch die Fertigungder Platine aus Silizium erreicht, inwelche acht, je paarweise parallelverlaufende, rautenförmige Kanälegeätzt wurden.

Bild 4: REM-Aufnahme einer unbe-stückten und bestückten Meßplatinemit weit eingeschobenen LWL.

Die Kanäle nehmen stirnflächiggeschliffene und polierte LWL miteinem Durchmesser von 100 µm

-7

-6

-5

-4

-3

-2

-1

0

1

2

3

4

5

6

-125 -75 -25 25 75

[V]

[µm]

Neutralstellung

Typische Auslenkung

Maximal zulässige Auslenkung

7

auf. Die Strukturierung des Si-Wafers erfolgt mittels Laservo r-schädigung. Dabei wird eine Passi-vierungsschicht (SiO2) durch Ein-wirkung von Laserstrahlen geschä-digt. Erst durch einen nachfolgen-den anisotropen Ätzprozeß entste-hen an den geschädigten Zonen dierautenförmigen Kanäle. Ein wirksa-mer Schutz gegen Umgebungsein-flüsse wie beispielsweise Fremd-lichteinstrahlung wird durch dasVergießen der optischen Einheit zueinem Keramikhybrid erreicht. Da-bei werden alle optischen Bauele-mente in einer speziellen Vakuum-gußform montiert und anschließendmit Gießkeramik vergossen. DieserKeramikhybrid wird zusammen mitentsprechenden Meßwertverstär-kern durch ein kleines Aluminium-gehäuse aufgenommen. Der Tast-stift selbst (Bild 5) besteht aus ei-nem Wolframdraht, auf den durchLaserbearbeitung eine Kugel alsTastelement aufgeschmolzen wur-de. Er wird durch eine spezielleAufnahme am Meßkopf befestigtund kann dadurch schnell ausge-wechselt werden.

Bild 5: Taststift und Tastelement

Geräteaufbau

Die Meßobjekte werden mittelseiner hochgenauen, dreiachsigenMechanik relativ zum Tastelementbewegt. Um Schwingungsanregun-gen des Taststiftes durch Vibratio-nen beispielsweise der Antriebe

weitgehend zu vermeiden, wurdeder Meßkopf starr am Gerätegestellmontiert. Weiterhin ist das Gerätmittels eines durchsichtigen Gehäu-ses während der Messungen abge-deckt, damit der Taststift aufgrundder hohen Empfindlichkeit des Sy-stems nicht durch Luftströmungenzum Schwingen angeregt wird.

Bild 6: Aufbau des Demonstrators

Meßablauf

Bild 7 verdeutlicht den Meßablaufdes Meßverfahrens. Das Meßobjektwird in Meßebenen und Segmenteunterteilt. Als Segmentkante wirdder Schnittpunkt der Meßebene miteiner Segmentlinie verstanden.

Bild 7: Zirkulare Messung konstanterMeßebene

Der Taster wird zentrisch in dasMeßobjekt abgesenkt, bis die Tast-spitze in der ersten Meßebene liegt.

Dann wird das Tastsystem radialder Objektachse an die Kontur posi-tioniert, bis eine definierte Auslen-kung des Taststiftes gemessenwird. Nach der Erfassung der Koor-dinate wird das Tastelement wiedervon der Kontur abgehoben undradial an die nächste Segmentkantezugestellt. Wurden alle Segment-kanten einer Ebene vermessen,wird die Tastkugel auf die nächsteMeßebene positioniert. Sowohl derMeßebenenabstand als auch dieAnzahl der Segmente können in derMeßsoftware festgelegt werden.Bild 8 zeigt die Meßdaten einesSackloches mit 0,2 mm Durchmes-ser.

Messreihe

1770017750

17800 6900

6950

7000

7050

21800

21900

22000

22100

22200

22300

Bild 8: Messung eines Sackloches mit0,2 mm Durchmesser, Einheiten in µm

Die ermittelte Genauigkeit des Sy-stems beträgt ±0,5µm. Da die Pos i-tionierunsicherheit der Kinematikdirekt in die Meßgenauigkeit ein-geht, dürften mit einer hochpräzisenKinematik Meßgenauigkeiten imBereich von 0,1µm möglich sein.

Das Forschungsvorhaben FV-Nr.10938 wurde aus Haushaltsmittelndes Bundesministeriums für Wirt-schaft über die Arbeitsgemeinschaftindustrieller Forschungsvereinigun-gen „Otto von Guericke“ e.V. (AiF)gefördert. Der vollständige Ab-schlußbericht ist erhältlich über:

Kontaktperson:Dipl.-Ing. Thomas GmelinTel. ++49(711)121-3715

Untersuchungen der tribologischen Eigenschaften von bewegten miniaturisiertenelastomeren DichtelementenW. Scheerer

8

Im Zuge der Miniaturisierung ve r-schiedenster Bauteile ist auch dieNotwendigkeit groß, die Handha-bungs- und Automatisierungstec h-nik in der Fertigung von feinwerk-technischen Produkten entspre-chend anzupassen. Diese Anforde-rungen sind sehr stark in der Elek-tronik und Feinwerktechnik gefragt.In diesen Bereichen sind die pneu-matischen Arbeitszylinder für Mon-tageabläufe mit linearer Bewegungweit verbreitet. Jedoch könnenPneumatikzylinder mit einem In-nendurchmesser von weniger als4 mm zur Zeit nur in dem einfach-wirkenden Arbeitsprinzip hergestelltwerden, d. h. der Arbeitsstempelmuß in seiner Ausfahrbewegungzusätzlich Arbeit gegen eine Feder-kraft aufbringen, welche den Stem-pel bei Druckabfall in der Luftkam-mer wieder in seine ursprünglichePosition zurück bewegt. Dieserweitere Kraftaufwand reduziert denWirkungsgrad des Pneumatikzylin-ders erheblich. Hinsichtlich derÜbertragbarkeit tribologischer Ei-genschaften von Standardbauteilenzu kleineren Dimensionen ist wenigbekannt. Es ist anzunehmen, daßdie Gesetze der Ähnlichkeit für die-se kleinen Dimensionen nicht mehrzutreffen. Um das Reibungsver-halten von bewegten miniaturi-sierten elastomeren Dichtelemen-ten grundlegend verbessern zukönnen, ist es notwendig die Mate-rialpaarung Dichtung/Zylinder ineinem Modellprüfstand untersu-chen zu können.

Wirkfläche

Die Pressung als tribologischerBelastungsparameter muß bei denUntersuchungen bekannt und ein-stellbar sein. Um die Pressung beiden verschiedenen Werkstoffen undSchnurdicken einstellen zu können,mußte in einem ersten Schritt die

Wirkfläche der jeweiligen O-Ring-abschnitte in Abhängigkeit der Auf-lagekraft und des Werkstoffes op-tisch bestimmt werden. Mit Hilfedieser Untersuchungsergebnissekonnte für die weiterführenden Ver-suche die Pressung auf den ge-wünschten Wert eingestellt werden.

Prüfprinzip

Eine Platte als stationärer Prüfkör-per wird mit einer definierten Nor-malkraft (FN) gegen die ebene Flä-che eines reversierend bewegtenDichtelements gedrückt. Die zwi-schen den Prüfkörpern auftretendeReibungskraft biegt zwei parallelausgerichtete Blattfedern, die andem Platteneinspannkopf befestigtsind, durch. Diese Durchbiegungwird berührungslos mit zwei indukti-ven Wegaufnehmern erfaßt undregistriert. Der Probenhalter wird miteiner Geschwindigkeit von 10 mm/sbewegt.Folgende Gründe sind für die Wahldieses Prüfsystems ausschlagge-bend:- Die Prüfkörper – O-Ring und ebe-

ne Platte – sind schnell verfügbar.- Bedingt durch die Konstruktion

des Prüfgerätes lassen sichschnell und definiert unterschiedli-che Pressungsstufen unabhängigvon weiteren Versuchsparameterneinstellen.

- Der dauernde Richtungswechselbei reversierender Gleitbewegungbewirkt eine relativ hohe Bean-spruchung der Prüfkörper, da einehohe Deformation und Umorientie-rung der einzelnen Volumenele-mente in der O-Ringoberflächestattfindet.

Sowohl O-Ringe als auch Metall-platten wurden aus Werkstoffengewählt, die in der Praxis eingesetztwerden. Für die NBR-Werkstoff-gruppe wurde eine Pressungsstufevon 1,0 N/mm² angelegt. Für Pro-bekörper aus PUR wurde wegender größeren Härte mit 3,0 N/mm2

gearbeitet. Die Paarungen mit denelastomeren Gleitkörpern zeigenunter dem vorliegenden Bela-stungskollektiv, sowohl für die tech-nisch trockenen als auch für diegeschmierten Paarungen, ein sehrunterschiedliches Reibungs- undVerschleißverhalten. In Bild 1 ist dieReibungszahl dargestellt sowie dieQuerschnittsflächen der Verschleiß-

1 2 3 4 5 6f [x 0,01]

Abrieb[10-³ mm²]

0

100

200

300

400

500

600

1 NBR 70 Sh.s: 3,53 mm t.t2 NBR 70 Sh.s: 3,53 mm geschmiert3 NBR 90 Sh.s: 3,53 mm t.t4 NBR 90 Shs: 3,53 mm geschmiert5 PUR 90 Sh.s: 3,53 mm t.t6 PUR 90 Sh.s: 3,53 mm geschmiert

Bild 1: Reibungs- und Verschleißwerte nach einer Versuchsdauer von 8 Stunden inAbhängigkeit der Schmierungsart

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spur als Maß für den Abrieb. Beiden technisch trockenen Paarungenweisen verschiedene Paarungen inihrem Reibungsverhalten nur gerin-ge Unterschiede auf. Betrachtetman das Verschleißverhalten nacheiner Beanspruchungsdauer von8 Stunden nehmen die mittlerenVerschleißflächen der Prüfkörperaus PUR die geringsten Werte an,obwohl für diese Paarungen diePressung erhöht wurde.Vergleicht man die Ergebnisse derReibungs- und Verschleißuntersu-chungen der verschiedenen tech-nisch trockenen Paarungen mit denmechanischen Eigenschaften derWerkstoffe, so weisen Dichtele-mente mit relativ hohen Werten derelastischen und plastischen Para-meter ein günstigeres Verschleiß-verhalten auf. Bei geschmiertenGleitpaarungen muß unter anderemdie Verträglichkeit mit demSchmiermedium gewährleistet sein,um nicht durch synergetischeWechselwirkungen das Verschleiß-verhalten negativ zu beeinflussen.Für die relativ weichen elastomerenDichtelemente (NBR 70 Shore)erhöhen sich die Reibungszahlender geschmierten Paarungen imVergleich zu den dickeren Dicht-

elementen unter dem untersuchtenBelastungskollektiv (Bild 2). DiesesVerhalten kann auf hydrodynami-sche Effekte zurückgeführt werden,die keine optimale Ausbildung desSchmierfilms zulassen. Für die

Dichtelemente PUR 90 Shore wirddieses Verhalten nur in einem ge-ringen Maße beobachtet. Der Ein-fluß der Pressung auf das Ver-schleißverhalten der technisch trok-kenen Paarungen kann bei denREM-Aufnahmen erkannt werden(Bild 3 und 4). In der Reibspur vonNBR 70 Shore lassen sich nur sehrwenige Partikel nach einer Bean-spruchung mit geringer Pressungerkennen, welche aus ihrer elasto-meren Werkstoffmatrix geriebenwurden. Die Verschleißfläche zeigt

durch die geringere Rauheit eherSpuren eines adhäsiven Verschlei-ßes. Im Gegensatz dazu erkenntman in der Reibspur des Probekör-pers, welcher einer höheren Pres-sung unterlag, eine deutliche An-

sammlung von elastomeren Parti-keln, die nur noch zum Teil mit derelastomeren Matrix verbunden sind.Aufgrund dieses Aussehens derReibspuroberfläche kann davonausgegangen werden, daß weiteretribochemische Reaktionen wäh-rend der tribologischen Beanspru-chung abgelaufen sind.

Insgesamt ermöglichen es die er-zielten Ergebnisse eine Bewer-tungsmatrix zu erstellen, welche dasunterschiedliche Verhalten der un-tersuchten elastomeren Dichtele-mente widerspiegelt.

Das Forschungsvorhaben (AiF-Nr.10942) wurde aus Haushaltsmittelndes Bundesministeriums für Wirt-schaft über die Arbeitsgemeinschaftindustrieller Forschungsvereinigun-gen “Otto von Geuricke” e. V. (AiF)gefördert. Wir danken der AiF fürdie Bewilligung der Mittel. Der voll-ständige Abschlußbericht ist erhält-lich über:

Kontaktperson:Dipl.-Phys. Werner ScheererTel. ++49(711)121-3179

Bild 3: Reibspur von NBR 70 Sh.,Pressung 1,0 N/mm2, Versuchsdauer8 h, technisch trocken

Bild 4: Reibspur von NBR 70 Sh.,Pressung 1,6 N/mm², Versuchsdauervon 8 h, technisch trocken

1 2 3 4

f [x 0,01]

Abrieb[10-³ mm² ]

0

50

100

150

200

250

1 NBR 70 Sh. s: 1,78 mm t.t.2 NBR 70 Sh. s: 1,78 mm geschmiert3 PUR 90 Sh. s: 2,0 mm t.t.4 PUR 90 Sh. s: 2,0 mm geschmiert

Bild 2: Reibungs- und Verschleißwerte nach einer Versuchsdauer von 8 Stunden inAbhängigkeit der Schmierungsart und Schnurdickengeometrie

Herstellungstechnologien für Stimmgabelresonatoren aus SiliziumM. Giousouf

10

Im unteren Frequenzbereich wer-den Stimmgabelresonatoren zurFrequenzkontrolle und Frequenz-stabilisierung in elektronischen Sy-stemen verwendet. Im allgemeinenwerden Stimmgabelresonatorenunter Ausnutzung des piezoelektri-schen Effektes aus Quarz herge-stellt. Quarzresonatoren habenhohe Gütefaktoren von einigen 105,wobei ihre Temperaturstabilität sieals präzise Zeitnormale prädesti-niert.

Ein Nachteil von Quarz ist, daßkeine aktiven elektronischen Bau-elemente für die Signalverarbeitungintegriert werden können. In denletzten Jahren hat das Interesse ander Zusammenführung von elektro-nischen und mechanischen Bau-elementen auf einem Siliziumsub-strat zugenommen. Die Mikrosy-stemtechnik demonstriert mit gro-ßem Erfolg die neuartigen Möglich-keiten, insbesondere bei Inertial-und Drucksensoren. Daher wird amIZFM untersucht, ob Stimmgabelre-sonatoren aus Silizium hergestelltwerden können, insbesondere miteiner Technologie, die das naß-chemische anisotrope Ätzen vonSilizium ausnutzt.

Naßchemische Herstellung

Eine Stimmgabelform kann in einenSiliziumwafer integriert werden,wenn ein (110)-orientierter Silizi-umwafer naßchemisch anisotropgeätzt wird, da sich hierbei Balken-profile mit rechteckigen Quer-schnittsflächen erzeugen lassen.Allerdings stellt bei der naßchemi-schen Strukturierungstechnik dieHerstellung von konvexen Eckenbei Verwendung von (110)-Siliziumein Problem dar. Beim (100)-Silizium können mit Hilfe von Vor-haltestrukturen in der Maskentech-nik die konvexen Ecken ausgebildet

werden. Beim (110)-Silizium könnenzwar auch Vorhaltestrukturen ver-wendet werden, jedoch sind dieErgebnisse hierbei nicht zufrieden-stellend, da die Ecken beim Ätzenauf Zeit zu unkontrolliert abgetragenwerden. Insbesondere zur Herstel-lung von mikromechanischen Re-sonatoren, bei denen sich die Re-sonanzfrequenz aus der Geometrieergibt, ist die exakte Einhaltung derAbmessungen notwendig.

Es wird hier ein Verfahren vorge-stellt, das die sichere Strukturierungvon konvexen Ecken in (110)-orientierten Siliziumwafern erlaubt(Bild 1). Ebenso lassen sich konve-xe Ecken bei Verwendung von(100)-Silizium nach diesem Verfah-ren herstellen.

Zur Strukturierung der Basisstrukturdes Stimmgabelresonators wirdzuerst das Gebiet vor den Zinken-enden durch anisotropes Naßätzenentfernt. Die senkrechten Seiten-wände der Öffnung werden dabeizur Definition der Frontflächen derZinkenenden verwendet. Um beimanschließenden naßchemischen

Strukturieren der Zinkenseitenflä-chen die Unterätzung an den Eckenzu vermeiden, wird der mit Öffnun-gen versehene Wafer oxidiert. DieOxidschicht auf den Seitenwändender Öffnung bietet bei den nächstennaßchemischen Strukturierungs-schritten Schutz gegen den Ätzan-griff. Aufgrund der kristallografi-schen Orientierung des (110)-Siliziums weist die Stimmgabel-struktur jedoch eine Unsymmetrieauf, die sich auch auf das dynami-sche Schwingungsverhalten aus-wirkt.

Elektrodenstrukturierung

Die resonante Anregung in Formeiner Biegeschwingung der Stimm-gabelbalken wird auf elektrostati-schem Wege realisiert. Hierfür be-finden sich Chrom-Gold-Metallisie-rungen auf den Balkenseitenwän-den, die mit den Bondpads kontak-tiert sind (Bild 2). Die Elektrodenund deren Zuleitungen werden hier-bei durch die Sputtertechnik aufdem Chip erzeugt. Dabei wird mitHilfe einer Schattenmaske die Elek-trodengeometrie definiert.

Bild 1: Konvexe Ecken der Stimmgabelenden ohne Unterätzung

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Bei einem Elektroden- bzw. Balken-abstand von 50 µm sind Antriebs-spannungen von ca. 5 V zur Mes-sung der Resonanzschwingungnotwendig. Bei geringeren Elektro-denabständen besteht die Gefahr,daß die Seitenwände nicht ausrei-chend metallisiert werden können.

Dynamisches Verhalten

Mit Hilfe eines Laser-Vibrometerskann das dynamische Verhaltendes Resonators untersucht werden.Dazu wird ein Teil des Chips unddes IC-Gehäuses so entfernt, daßder Laserstrahl die metallisierteSeitenfläche eines Zinkens erfassenkann. Während der Messungenbefindet sich der Resonator in ei-nem Vakuumrezipienten, damitLuftdämpfungseffekte ausgeschlos-sen werden können.

Die Resonanzfrequenzen der unter-suchten Siliziumschwinger liegenbei 32,5 kHz und 53,6 kHz. Infolgedes unsymmetrischen Schwinger-designs hat die Schwingungsgüteeinen Wert von etwa 103. Bild 3zeigt eine statische FEM-Analysedes Fuß-Zinken-Bereiches. Dabeiist die unsymmetrische Verteilung

der mechanischen Spannungenbezüglich der horizontal verlaufen-den Symmetrielinie deutlich zu er-kennen. Durch diese Unsymmetrieüben die Zinken während ihrerSchwingung verschieden großeBiegemomente auf den Stimmga-belfuß aus, was zu zusätzlichenSchwingungen des Fußes und da-mit zu einer erhöhten Energiedissi-pation des gesamten Resonatorsführt.

Durch Zugabe einer Zusatzmassevon ca. 5 µg auf den kürzeren Zin-ken, konnte eine "Symmetrierung"des Resonators erzielt werden, waszur Erhöhung der Güte auf mehr als104 führte (Bild 4).

Kontaktperson:Dipl.-Phys. Metin GiousoufTel. ++49(711)121-3723

Bild 3: Statische FEM-Analyse des Fuß-Zinken-Bereiches

Bild 4: Frequenzgang des Siliziumschwingers mit Zusatzmasse.

Bild 2: Siliziumchip mit integriertem Stimmgabelschwinger

Federprüfgerät (Auftragsforschung)T. Laufer

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Motivation

Federn und Kontaktfedern gehörenzu den wesentlichen qualitätsbe-stimmenden Bauteilen von Schal-tern und Miniaturschaltern. Bei-spielsweise besteht die Schalterse-rie, für die die Auftragsarbeiten indiesem Beitrag durchgeführt wer-den, aus einem zweiteiligen Kunst-stoffgehäuse, einer speziell hierfürentwickelten Cu-Be-Feder und einerSchraubendruckfeder (Bild 1). DasZusammenspiel von bewegtemGehäuseteil und Cu-Be-Feder sorgtbeim Schaltvorgang für einen aus-geprägten Schaltdruckpunkt. DieSchraubendruckfeder bringt beimLoslassen des Schalters das be-wegte Gehäuseteil in seine Aus-gangslage zurück. Der Schaltdruck-punkt des Schalters muß innerhalbvorgegebener Toleranzen liegen,was durch Aufnehmen der Kraft-Weg-Kennlinie geprüft wird.

Bild 1: Prinzipskizze des Schalters

Aufgabenstellung

Im Auftrag der Firma MarquardtGmbH soll eine Meßeinrichtungentwickelt werden, die die Kraft-Weg-Kennlinie der im Schalter be-

findlichen Cu-Be-Feder aufnimmtund eventuelle Abweichungen be-züglich gegebener Sollwerte auf dieFederabweichungen zurückführt.Mögliche Fehlerursachen sind Ab-weichungen in der Geometrie sowiein der Federsteifigkeit (E-Modul).Bei einfacher Geometrie von Cu-Be-Feder und Prüfkörper kann dar-über hinaus die gemessene Kennli-nie mathematisch verifiziert werden.

Entwicklung

Als Prüfkörper für die Feder wird einverschleißfester Zylinder aus ge-härtetem Stahl gewählt (Bild 2).

Bild 2: Prüfzylinder und Cu-Be-Feder

Beim Prüfvorgang gleiten die Fe-derarme entlang des Prüfzylindersund werden so gemäß der Zylinder-

krümmung nach außen gedrückt.Dadurch, daß die im Schalter ver-wendete Kulisse bei dieser Prüfein-richtung durch einen Zylinder er-setzt ist, wird die Feder beim iso-lierten Prüfen gleichmäßig bean-sprucht. Darüber hinaus kann dieKraft-Weg-Kennlinie relativ einfachanalytisch beschrieben werden(Bild 3 und 4).

α

F

FF

F FR R

N N

Bild 3: Kräfte

α

β

Bild 4: Geometrie

festsitzendesGehäuseteil

Cu-Be-Feder

Schraubendruckfeder

Prüfzylinder

Cu-Be-Feder

0,0

0,5

1,0

1,5

2,0

2,5

0,0 0,2 0,4 0,6 0,8 1,0 1,2

Weg y in mm

Kra

ft F

in

N

.

Meßpunkte

Hinweg

Rückweg

Stufe fürSchaltdruckpunkt

Bild 5: Gemessene und angepaßte Kraft-Weg-Kennlinie

beweglichesGehäus eteil(Kulisse)

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W e g -s e n s o r( L V D T )

Kra f t -s e n s o r( D M S )

M o t o rG e t r i e b e

E x z e n t e r

F e d e r a u f n a h m e

Durch den Vergleich von errechne-ter und gemessener Kennlinie kön-nen der Reibkoeffizient µ und dieFederkonstante c genau bestimmtwerden. Bild 5 zeigt die gemesseneund die angepasste Kraft-Weg-Kennlinie. Hierbei ist der Teil desWeges, bei dem der Prüfkörper dieFederarme nach außen drückt, alsHinweg bezeichnet. Die Hystereseliegt in der Reibung zwischen Federund Prüfzylinder begründet. ZurBeurteilung der Feder reicht es aus,den Hinweg zu messen und auszu-werten. Bild 6 zeigt das Federprüf-gerät. Der über einen Motor ange-triebene Exzenter bewegt denStößel gegen eine Schrauben-druckfeder nach unten. An seinemunteren Ende ist der oben be-schriebene Prüfkörper angebracht.Durch das Wechseln der Federauf-nahme und des Prüfkörpers (zu-sammen mit der Prüfkörperaufnah-me) läßt sich das Prüfgerät auf

Federn anderer Schalter umrüsten.Dieser modulare Aufbau erlaubt eineinfaches Anpassen der Meßein-richtung auf andere Federtypen.

Ergebnis

Mit dieser Prüfeinrichtung ist esmöglich, die Cu-Be-Feder, wie ebenbeschrieben, zu prüfen, ihre Kraft-Weg-Kennlinie mittels eines Kraft-und eines Wegsensors aufzuneh-men und mit Hilfe eines Meßver-stärkers, eines PCs und einer ge-eigneten Auswertesoftware grafischdarzustellen. Die zusätzliche Dar-stellung der Sollkennlinie bzw. desSollbereichs erlauben eine schnelleund eindeutige Beurteilung der ge-messenen Feder. Eindeutige Zu-sammenhänge zwischen Kennlini-enabweichungen und Fehler dergeprüften Feder werden vom Aus-werteprogramm erkannt. Zum Bei-spiel äußern sich zu weit bzw. zu

wenig geöffnete Federarme in ei-nem zu kurzen bzw. zu langen Fe-derweg. Bestimmte Daten, wie z.B.das Kraftmaximum oder der Prüf-weg, werden in einem sich nachjeder Messung aktualisierendenHistogramm dargestellt.

Einsatz

Die Prüfeinrichtung wird sowohl fürStichproben als auch zum Aufneh-men längerer Meßreihen in derQualitätsüberwachung eingesetzt.Die mit Hilfe dieser Meßreihen er-mittelte Streuung der Federpara-meter kann dann mit der Streuungbei der Prüfung des komplettenSchalters verglichen werden.

Kontaktperson:Dipl.-Ing. Timo LauferTel. ++49(711)121-3729

Bild 6: Federprüfgerät (ohne PC und Meßverstärker)

Expertensystem für vollautomatische, rechnergesteuerte Untersuchungen und Testsin der Entwicklungs- und Prototypenphase zukünftiger FunkuhrenM. Schubert

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An die Funktions- und Störsicherheitvon Funkuhren werden immer grö-ßere Anforderungen gestellt. Infolgedes höheren Bedienungskomfortsgestalten sich Funktionstests derdadurch bedingten komplexenSoftware als technisch schwierigund aufwendig.

Das Expertensystem, bestehendaus einem PC, einer Einsteckkartesowie der dazugehörigen Software,schafft die Voraussetzungen, zu-künftige Funkuhren mit größererFehlerfreiheit und höherer Funkti-onssicherheit entwickeln und her-stellen zu können. Es ist in der La-ge, durch gleichzeitige Steuerungund Messung von Signalen, auf-wendige sowie bisher nicht durch-führbare Tests und Untersuchungenvon Funktionsabläufen bei Hard-und Software selbständig durchzu-führen. Damit werden Fehler undProbleme bereits während der Ent-wicklungsphase beim Funkuhrher-steller erkannt und können schnellund gezielt behoben werden.

Einleitung

Funkgesteuerte Uhren werden im-mer mehr in gestörter Umgebungeingesetzt. Dies wirkt sich durch dieVerschlechterung der Empfangs-verhältnisse auf den Empfangsteilder Uhren aus. Dadurch treten unteranderem vermehrt EMV-Problemeauf, die bereits in der Entwicklungs-phase von Funkuhren erkannt undbeseitigt werden müssen. Dazu istes notwendig, eingehende Testpha-sen von Hard- und Software wäh-rend der Entwicklungszeit oder anPrototypen durchzuführen, ummöglichst alle auftretenden Fehlerfestzustellen. Zudem bieten Funk-uhren häufig viele Zusatzfunktionenund einen Bedienungskomfort, dereine sehr komplexe Software erfor-dert. Ein Gesamttest des Pro-

gramms unter weitgehender Abdek-kung aller vorkommenden Ereignis-se ist deshalb mit bisherigen Ver-fahren nahezu unmöglich. Softwa-refehler zum Beispiel, welche erstnach dem Test von Mustern erkanntwerden, führen bei maskenpro-grammierten Controllern zu einemerheblichen Zeitverzug, denn dieKorrektur erfordert die Herstellungeine neuen Maske und neuer Con-trollerbausteine.

Stand der Technik

Die heutige Entwicklung von Funk-uhren basiert darauf, daß die zumBau einer Funkuhr benötigten Bau-gruppen zusammengefügt werdenund die Software mit einem Ent-wicklungssystem, welches die kom-plette Funkuhr mit all ihren Funktio-nen steuert, darauf implementiertwird. Das Pflichtenheft bestimmt dieSoftware-Entwicklung auf und mitdem Emulator, wobei vollständigeProgrammteile bereits in dieserPhase getestet werden.

Zusätzlich zu den meisten Entwick-lungssystemen existieren dazuge-hörige Stand-Alone-Systeme, diemit einem programmierten EPROMbestückt werden. Sie dienen dazu,nach Fertigstellung der Softwareeingehende Funktionstests amKomplettsystem durchzuführen, umevtl. auftretende Fehler zu korrigie-ren. Viele dieser Tests, die bis zurGewährleistung der einwandfreienFunktionsfähigkeit zu leisten sind,können meist mit dem Entwick-lungs- oder Stand-Alone-System invergleichsweise kurzer Zeit ge-macht werden.

Andere Untersuchungen benötigenjedoch einen wesentlich höherenZeitaufwand. Die Messung derEmpfindlichkeit und des Störab-standes erfordern einen Geräteauf-

wand und für genaue Aussageneine EMV-Kammer, und diese Aus-rüstung besitzen die meisten indu-striellen Betriebe, die Funkuhrenproduzieren, aus Kostengründennicht. Dies bedeutet aber, daß sienicht alle notwendigen Untersu-chungen selbst durchführen kön-nen. Weiterhin gestalten sich alleTests, die in irgendeiner Form mitder Zeitfortschaltung der internenUhr zu besonderen Zeitpunkten alssehr zeitaufwendig. Für jeden ein-zelnen dieser Tests muß zuerst einDCF77-Simulator programmiert, dieUhr neu gestartet und der erfolgrei-che Empfang abgewartet werden.Danach ist das Ergebnis sichtbar.Weitere Probleme entstehen beimZusammentreffen verschiedenerEreignisse, etwa laufende Zeigerwährend des Empfangs oder derUmstellung von Sommer- auf Win-terzeit.

Aufgrund der Komplexität heutigerFunkuhrprogramme lassen sichFehler und ihre Korrekturen kaumvermeiden. Diese Korrekturen oderauch Optimierungen der Softwarebei zu knapp bemessenem Spei-cherplatz (RAM und ROM) undnachträgliche Erweiterungen führenaufgrund der Programmänderungenzu möglichen Fehlerquellen. Da-nach ist es unumgänglich die geän-derten Teile erneut zu testen, oftsogar wieder den gesamten Funkti-onsablauf. Diese Prozedur wieder-holt sich mehrmals und es entstehtein erheblicher Testaufwand.

Zielsetzung

Das Ziel des Vorhabens war dieEntwicklung und der Aufbau einescomputergesteuerten Systems fürvollautomatische Tests und Unter-suchungen an Funkuhr-Systemenwährend ihrer Entwicklungsphaseund an den anschließend realisier-

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ten Prototypen. Dieses Systembesteht aus einem handelsüblichenPC, einer Einsteckkarte mit An-schlußmöglichkeiten für die Signalevon Funkuhren sowie der dazuge-hörigen Software zur Durchführungsämtlicher Tests (Bild 1).

Die Einsteckkarte für den PC wurdeso konzipiert, daß alle für Funkuh-ren notwendigen Signale verarbeitetwerden können. Die Software wur-de mit Visual Basic und Visual C++für Windows NT entwickelt. Auf-grund der Vielzahl von Funktionen,welche heutige Funkuhren inzwi-schen bieten, wird die Bedienungimmer komplizierter, aber das Ex-pertensystem ist nach Eingabe derBedienungsanleitung einer ange-schlossenen Funkuhr in der Lage,sämtliche vorgesehenen sowie nicht

vorgesehenen Benutzereingaben zusimulieren und Fehler im internenAblauf einer Funkuhr zu finden undzu analysieren. Viele der bisheraufwendig durchzuführenden Unter-suchungen werden hiermit automa-tisch und völlig selbständig bear-beitet. Mit dem Zusammenspiel allerTeile dieses Expertensystems sinddie Betriebe in der Lage, ihre Fun-kuhr-Entwicklung nach Eingabealler Parameter automatisch oderbenutzerdefiniert selbst zu testen.

Realisierung des Systems

Zunächst wurden die Daten allerbekannten Funkuhren und derenAufbau gesammelt und ausgewer-tet, um daraus die Zahl und die Artder Anschlüsse für die Hardware zuermitteln. Nach dieser Festlegung

wurde die Hardware entworfen unddie Einsteckkarte entwickelt undaufgebaut. In der Planungsphaseder Software wurde ein handelsüb-licher PC im Hinblick auf Speicher-ausbau, Prozessor und Taktfre-quenz ausgewählt. Dabei war zuberücksichtigen, daß die meistender zu implementierenden Funktio-nen in Echtzeit ablaufen müssen.Hierzu gehörten außerdem Schnitt-stellendefinitionen für das einwand-freie Zusammenspiel von Hard- undSoftware.

Bei Erstellung der Software wurdenzuerst die hardwarenahen Teileentwickelt, die zur Kommunikationder Software mit der Hardware not-wendig waren. Es folgten die Pro-grammteile zur Steuerung undMessung der Signale von Funk-uhren, wobei den Messungen einerheblich größerer Umfang zukam.Je nach Dauer und Umfang derMessungen werden die dabei er-mittelten Daten auf der Festplattedes PC zur späteren Weiterverar-beitung gespeichert.

Anschließend folgte die Program-mierung der Oberfläche, mit derenHilfe ein Benutzer alle die für dieFunktionsweise einer zu entwik-kelnden Funkuhr benötigten Infor-mationen für die automatischenTests angeben kann. Dazu gehörtz.B. die Dauer der Motorimpulse inms, die Dauer der Pause zwischenzwei Impulsen im Schnellgang usw.Falls die Uhr eine Zeigerdetektionbesitzt, ist der Ablauf dieser Detek-tion mit Daten über die Impulsdaueran der LED oder dem Fototransistorwichtig, ebenso wie die unteren undoberen Grenzen der Hell- und Dun-kelphasen, welche durch die Zahn-räder verursacht werden. Weiterhinbeeinflussen die Daten der Spezifi-kation des Empfängers den Test-ablauf und bei Drückern sind An-Bild 1: Expertensystem und Entwicklungssystem

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gaben zur Betätigungsdauer ent-scheidend.

Aus der graphischen Darstellungeines kompletten Funkuhr-Modellskönnen die Verbindungen einzelnals Mess- oder Steuersignal fest-gelegt werden. So wird ein Modellder zu entwickelnden oder bereitsentwickelten Funkuhr mit allen An-gaben über die Baugruppen defi-niert. Für spezielle Untersuchungenkönnen auch einzelne Teile als zutestendes Modell definiert werden(Bild 2). Zu den Arbeiten gehörtenferner Festlegungen, welche Unter-suchungen und Simulationen auto-matisch, also ohne Benutzereingriffablaufen sollen, und bei welchenTests Eingaben eines Benutzersbzw. seine Anwesenheit erforderlichist, um beispielsweise die Funkti-onsweise eines speziellen Ablaufeszu beobachten.

Der letzte Teil der Software umfaßtdie Bereitstellung der Eingabemög-lichkeit der Bedienungsanleitungdes Funkuhr-Systems. Anhanddieser Eingaben des Benutzers wirdeine angeschlossene Funkuhr in allihren Funktionen getestet. Hierbeiist es wichtig, daß vor allem selteneEreignisse simuliert werden wie z.B.die Zeitzonenverstellung währendeines nächtlichen Synchronisati-onsversuches. Sämtliche verfügba-ren und möglichen Ereignisse undFunktionen, die die Uhr besitzt,laufen ab, werden erfaßt und dieErgebnisse ausgewertet. Aus die-sen und anderen entstandenenDaten wird eine Statistik und einProtokoll erstellt, welches Auskunftüber die Funktionsweise und Fehlerbzgl. Hard- und Software der Uhrgibt.

Wirtschaftliche Bede utung

Im Hinblick auf die Programmierungvon Mikroprozessoren für Funkuh-ren und des Umfangs durchzufüh-render Gesamttests bzgl. der Funk-tionsfähigkeit von Hard- und Soft-ware wird es aufgrund des in die-sem Forschungsprojekt entwickel-ten Expertensystems möglich sein,Funkuhren mit hoher Funktionssi-cherheit und gleichzeitiger Ko-stenersparnis an Aufwand für Testsund Untersuchungen zu entwickeln.

Dieses Forschungsvorhaben (AiF-FV-Nr.: 10940 N) wurde aus Haus-haltsmitteln der Bundesministeriumsfür Wirtschaft über die Arbeitsge-meinschaft industrieller For-schungsvereinigungen “Otto vonGuericke“ e.V. (AiF) gefördert.

Der vollständige Abschlußbericht isterhältlich über:

Kontaktperson:Dr.-Ing. Manfred SchubertTel. ++49(711)121-3718

Bild 2: Beispielmodell eines Funkuhr-Systems

Veröffentlichungen

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U. Allgeier, R. Mohr,"Miniaturmotoren in der Uhren- undMiniaturtechnik",Proc. of CEC98, 9.-10. Okt. 98,Karlsruhe, pp. 91-94

U. Allgeier,"Optoelektronische Zeigerdetektionfür Armbanduhren",Forschungsberichte aus Fein- undMikrotechnik 11 (1997), pp. 57-64

B. Bader,"Keramikmodifizierte PTFE-Compounds als Werkstoffe für Ra-dialgleitlagerungen bei hohen Bela-stungen",Forschungsberichte aus Fein- undMikrotechnik 11 (1997), pp. 77-84

B. Bader,"Reibungs- und Verschleißuntersu-chungen von ölinkorporierten Du-roplasten für feinwerktechnischeGleitelemente",Proc. of CEC98, 9.-10. Okt. 98,Karlsruhe, pp. 157-160

F. Dürr,"Tribologische Erprobung einerneuentwickelten inkorporiertenSchmierung eines copolymeren,leichtfließenden Polyoximethylens(POMcp)",Forschungsberichte aus Fein- undMikrotechnik 11 (1997), pp. 85-108

D. Eichner, M. Giousouf, W. v.Münch,"Measurements on MicromachinedSilicon Accelerometers with Pie-zoelectic Sensor Action",Proc. of Eurosensors XII, 13-16.Sept. 98, Southampton, England,pp. 365-368

M. Giousouf,"Moderne Anwendungen des Quar-zes",Forschungsberichte aus Fein- undMikrotechnik 11 (1997), pp. 25-46

M. Giousouf, F. Assmus,"Structuring of Convex Cornersusing a Reoxidation Process - Ap-plication to a Tuning Fork Resonatormade from (110)-Silicon",Proc. of Eurosensors XII, 13-16.Sept. 98, Southampton, England,pp. 381-384

M. Giousouf,"Stimmgabelresonator aus Silizium",Proc. of CEC98, 9.-10. Okt. 98,Karlsruhe, pp. 131-135

M. Giousouf,"Strukturierung von konvexenEcken bei Verwendung von(110)-Silizium",Forschungsberichte aus Fein- undMikrotechnik 11 (1997), pp. 47-56

R. Mohr,"Simulationstechnik und Feldbe-rechnung: Wichtige Werkzeuge fürdie Miniaturtechnik. Der Wandel vonder Prototypenherstellung zur Si-mulation des vollständigen Sy-stems.",Workshop 98, Fa. SIMEC, 25.-26.Juni 98, Chemnitz, pp. 147-153

R. Mohr,"Systemtheoretische Aspekte derMiniaturtechnik",Forschungsberichte aus Fein- undMikrotechnik 11 (1997), pp. 13-23

W. Scheerer, F. Dürr,"Tribologie vom Gleitlacken"Metalloberfläche, 8/98, 52. Jahr-gang, pp. 640-645

W. Scheerer,"Optimierung des tribologischenVerhaltens von gleitlackbeschich-teten Bauteilen",Forschungsberichte aus Fein- undMikrotechnik 11 (1997), pp. 65-75

W. Scheerer, H. Kück,"Untersuchungen der tribologischenEigenschaften von bewegten ela-stomeren Dichtelementen",Proc. of CEC98, 9.-10. Okt. 98,Karlsruhe, pp. 165-168

M. Schubert,"Expertensystem für vollautomati-sche, rechnergesteuerte Untersu-chungen und Tests in der Entwick-lungs- und Prototypenphase zu-künftiger Funkuhren",Forschungsberichte aus Fein- undMikrotechnik 11 (1997), pp. 5-12

M. Schubert,"Expertensystem für Funkuhren",Proc. of CEC98, 9.-10. Okt. 98,Karlsruhe, pp. 73-77

Promotionen, Diplom- und Studienarbeiten, Lehrveranstaltungen

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Promotionen

M. Schubert: Verbesserung derEmpfangseigenschaften beifunkgesteuerten Uhren durchdigitale Korrelation (20.4.1998)

Seminare

14.05.1998cand. el. D. Luz: UniverselleMotoransteuerung und Erfassungdes Stromverlaufs im Motor

27.08.1998cand. mach. S. Meister:Laserschneiden von Metallblechenin der Miniaturtechnik

12.11.1998cand. mach. U. Scholz: Vergleichvon zwei Ultraschallwandlern

12.11.1998cand. mach. P. Buk: FE-Simulationvon Si-Mikroschwingern

Vorlesungen

F. Aßmus / H. Kück: Grundlagender Mikrotechnik I mit Übungen

F. Aßmus: Grundlagen derMikrotechnik II mit Übungen

F. Aßmus / H. Kück, R. E. Müller:Miniaturtechnik I mit Übungen

F. Aßmus, R. E. Müller:Miniaturtechnik II mit Übungen

F. Aßmus / H. Kück, R. E. Müller:Zeitmeßtechnik

H. Effenberger: ElektrischeBauelemente in derFeinwerktechnik

H. Effenberger: Elektronik fürFeinwerktechniker

B. Martin: AusgewählteMeßverfahren der Fein- undMikrotechnik

H. Sandmaier, B. Schmidt:Bauelemente derMikrosystemtechnik

H. Sandmaier, M. Sesterhenn:Technologien derMikrosystemtechnik

B. Schmidt: Anwendungen derMikromechanik

Praktika

Hauptfachpraktikum Fein- undMikrotechnik

Allgemeines Praktikum desMaschinenbaus

Elektronik-Praktikum fürFeinwerktechniker

Prüfungen

Fein- und Mikrotechnik:15 Teilnehmer

Diplomarbeiten

Schif, EckardTribologische Eignungsuntersu-chungen an keramikmodifiziertenPTFE-Compounds für Radialgleitla-ger bei erhöhten TemperaturenBetreuer: Dipl.-Ing. B. Bader

Brüstle, ThomasErmittlung, Analyse und Simulationder auf Transportgüter einwirken-den mechanisch-dynamischen Be-lastungen bei UmschlagsvorgängenBetreuer: Dr.-Ing. R. E. Müller

Studienarbeiten

Meister, StefanLaserschneiden von Metallblechenin der MiniaturtechnikBetreuer: Dr.-Ing. B. Martin

Buk, PeterFinite-Elemente-Analyse von Mi-kroschwingern aus SiliziumBetreuer: Dipl.-Phys. M. Giousouf

Scholz, UlrikeVergleich an UltraschallsensorenBetreuer: Dr.-Ing. R. E. Müller

Schaepperle, JochenBerechnung von Synchronmotorenmit Hilfe des Feldberechnungspro-gramms PROFIBetreuer: Dipl.-Ing. R. Mohr

Luz, DietmarUniverselle Motoransteuerung undErfassung des Stromverlaufs imMotorBetreuer: Dipl.-Ing. R. Mohr

Vorträge, Präsentationen, Mitarbeit in Gremien

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Vorträge

U. Allgeier, R. Mohr,"Miniaturmotoren in der Uhren- undMiniaturtechnik"Proc. of CEC98, 9.-10. Okt. 98,Karlsruhe

B. Bader,"Reibungs- und Verschleißuntersu-chungen von ölinkorporierten Du-roplasten für feinwerktechnischeGleitelemente"Proc. of CEC98, 9.-10. Okt. 98,Karlsruhe

M. Giousouf, F. Assmus, H. Kück,"Structuring of Convex Cornersusing a Reoxidation Process - Ap-plication to a Tuning Fork Resonatormade from (110)-Silicon",13-16. Sept. 98, Southampton,England

M. Giousouf,"Stimmgabelresonator aus Silizium",Proc. of CEC98, 9.-10. Okt. 98,Karlsruhe

H. Kück,"Entwicklung der Uhrentechnik undder Mikrosystemtechnik in denletzten 10 Jahren. Zukunftsperspek-tiven",Proc. of CEC98, 9.-10. Okt. 98,Karlsruhe

H. Kück,"Die Entwicklung der Zeitmeßtech-nik",Ringvorlesung "Der Zeitbegriff inWirtschaft und Technik" des VDI-Arbeitskreises FML und des IFT-LL,30. Nov. 98, Stuttgart

R. Mohr,"Modellierung von Miniaturmotorenmit Hilfe von FLUX2D/3D, Aspektezur Optimierung elektromechani-scher Wandler in der Miniaturtech-nik mit Hilfe der FEM, Schaltungs-und Systemsimulation von Minia-turmotoren mit Hilfe von SIMPLO-RER",5.3.98, Stuttgart

R. Mohr,"Simulationstechnik und Feldbe-rechnung: Wichtige Werkzeuge fürdie Miniaturtechnik. Der Wandel vonder Prototypenherstellung zur Si-mulation des vollständigen Sy-stems.", Workshop 98, Fa. SIMEC, 25.-26.Juni 98, Chemnitz

W. Scheerer, H. Kück,"Untersuchungen der tribologischenEigenschaften von bewegten ela-stomeren Dichtelementen",Proc. of CEC98, 9.-10. Okt. 98,Karlsruhe

M. Schubert,"Expertensystem für Funkuhren",Proc. of CEC98, 9.-10. Okt. 98,Karlsruhe

Veranstaltete Tagung

7. CEC 1998, 9.-10. Oktober 98,Karlsruhe

Messebeteiligung

Wirtschaft trifft Wissenschaft,8.-9.12.98, Messe Stuttgart

Präsentation

Praxisrelevante Herangehenswei-sen für die Modellierung und Simu-lation komplexer technischer Sy-steme, 5.3.98, Stuttgart

Mitarbeit in Gremien

H. Kück:

Mitglied im Fachausschuß 4.1"Grundsatzfragen der Mikrosy-stemtechnik" der GMM

Leiter des Fachausschuß 4.8"Mikrofertigung" der GMM

Mitglied im Wissenschaftlichen Ratder AiF

R. Mohr:

Schriftführer des Technisch-Wissenschaftlichen Fachkreises derDeutschen Gesellschaft für Chro-nometrie

Redakteur des Technischen Jahr-buches der Deutschen Gesellschaftfür Chronometrie

Organe der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.

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Aufsichtsrat

MinDirigDr. Tschermak von SeyseneggWirtschaftsministeriumBaden-Württemberg

Professor Dr. rer. nat.Dr. h.c. Franz EffenbergerInstitut für organische Chemieund Isotopenforschung

Dr. Peter EgelhaafRobert Bosch GmbHForschungsleitung 1 (ZW1)

Professor Dr. H. GleiterMitglied des Vorstandes derForschungszentrum KarlsruheGmbH

MinRat Ulf HeckstedenMinisterium für Wissenschaft undForschungBaden-Württemberg

Wolfgang KammerlanderTEMIC MBB Mikrosysteme GmbH

Professor Dr. Johann LöhnRegierungsbeauftragter fürTechnologietransfer Baden-Württemberg

OberbürgermeisterDr. Manfred MatuszaGroße Kreisstadt Villingen-Schwenningen

Professor Dr. Wolfgang MenzAlbert-Ludwigs-UniversitätInstitut für Mikrosystemtechnik

Senator e.h. Hans SchmidtGeschäftsführender Gesellschafterder Fa. Schmidt FeintechnikGmbH

Professor Dr. Dr. Michael Un-gethümAESCULAP AG & CO. KG

Professor Dr. W. ZahradnikRektor der FachhochschuleFurtwangen

Vorstand

Vorsitzender:

Dr. Harald StallforthAESCULAP AG

Stellvertr. Vorsitzende:

Rudolf Hauer

Dipl.-Ing. Reinhard Jäckle

Dr. Peter JungMarquardt GmbH

Dipl.-Ing. Hans WeissGMS Gesellschaft für Mikroelek-tronik und Sensorik mbH

Schatzmeister:

Dipl.-Ing. Hermann WürthnerJ. Schlenker-Grusen GmbH

Ehrenvorsitzender:

Dr.-Ing. Wolfgang Berger

Mitgliedsfirmen

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AESCULAP AG & Co. KGTuttlingen

Tobias Baeuerle & SöhneFeinwerktechnik GmbHVillingen-Schwenningen

Werner BeiterDauchingen

BINDER MAGNETE GMBHVS-Villingen

BIZERBA GmbH & Co. KGBalingen

Robert Bosch GmbHStuttgart

DAIMLER CHRYSLER AGStuttgart

Deutsche Thomson-BrandtVS-Villingen

EL MOS GmbHDortmund

Feinmetall GmbHHerrenberg

Bernhard Förster GmbHPforzheim

GMS Gesellschaft für Mikrotechnikund Sensorik GmbHVS-Villingen

GOS Gesellschaft für Organisationund Softw. GmbHBad Dürrheim

GRÄSSLIN GmbH & Co. KGSt. Georgen

Andreas HallerFabrik für Feinmechanik GmbH &Co. KGSt. Georgen

Klaus HeinzmannKonstruktion und Produktentwick-lungSchönwald

Franz Hermle & Sohn GmbH & Co.KGGosheim

HOPF ELEKTRONIK GmbHLüdenscheid

Hopt + Schuler GmbH & Co. KGRottweil

IBM Deutschland GmbHStuttgart

XSYS ISE GmbH & Co. KGVS-Villingen

ISGUSJ. Schlenker-Grusen GmbHVS-Schwenningen

Junghans Uhren GmbHSchramberg

KUNDO System-Technik GmbHSt. Georgen

Kundo-StaigerZeit und TechnikSt. Georgen

Erich Lacher UhrenfabrikPforzheim

VDO KIENZLE GMBHNutzfahrzeug-Informationssyst.VS-Villingen

MARQUARDT GmbHRietheim-Weilheim

Team Nanotec GmbHVillingen-Schwenningen

Neckarwerke Stuttgart AGStuttgart

Perpetuum Ebner GmbH & Co. KGSt. Georgen

Physik Instrumente GmbH & Co.KGWaldbronn

Ernst Reiner GmbH & Co. KG.Furtwangen

SCHMIDT Feintechnik GmbHSt. Georgen

Schweizer Elektronik AGSchramberg

Karl Storz GmbH & Co.Tuttlingen

TEMIC TELEFUNKEN microelec-tronic GmbHHeilbronn

THEBEN-WERK ZeitautomatikGmbHHaigerloch

Dr. Tillwich GmbHHorb

VEGA Grieshaber KGSchiltach

Schwarzwälder-ServiceIndustrie- u. GebäudereinigungGmbH + Co.Villingen-Schwenningen

HSG-IFZ in Zahlen

23

Bild 1: Entwicklung des Haushalts

Bild 2: Gesamt-Investitionen

Bild 3: Stellenentwicklung

0200400600

800100012001400

16001800

in TDM

1993 1994 1995 1996 1997 1998 1999

Mitgliedsbeiträge/Spenden

Drittmittel (Bund, Land, EU)

Industrie

Fehlbedarf

16921740

1611

1297

16011626

1119

1716

15,5

1413,5

1213

14

0

2

4

6

8

10

12

14

16

18

1992 1993 1994 1995 1996 1997 1998 1999

453

170

61

1,5

170

371

600

0

100

200

300

400

500

600

in TDM

1993 1994 1995 1996 1997 1998 1999

Anfahrtsplan

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Bei Anreise mit: PKW

Aus nördlicher Richtung (z.B. von Heilbronn überAusfahrt Zuffenhausen B10):à B10/B27 à B27 à Heilbronner Str. à Friedrichstr.à Schellingstr. à Kienestr. à Institutsparkplatz

Aus östlicher Richtung (z.B. über B10):à B10 à Richtung Stadtzentrum, B14à Hauptbahnhof, Arnulf-Klett-Platz à Friedrichstr.à Schellingstr. à Kienestr. à Institutsparkplatz

Aus südlicher Richtung (z.B. über B27):à B27, Unterführung (links Abbiegen) à Schloßstr.à Kienestr. à Institutsparkplatz

Aus westlicher Richtung (z.B. von Vaihingen (Stgt.),Autobahnkreuz Stuttgart):à B14 à Richtung Stadtzentrum à Rotebühlplatzà Fritz-Elsas-Str. à Schloßstr. à Holzgartenstr.à Breitscheidstr. à Institutsparkplatz

Bei Anreise mit: Zug / S-Bahn

Vom Hauptbahnhof sind es ca. 10 min. bis zumInstitut. Weg: Friedrichstr. à Schellingstr. à Willi-Bleicher-Str.

Von der S-Bahn-Station „Stadtmitte“ sind es ca.5 min. bis zum Institut. Weg: Ausgang Büchsenstr.à Büchsenstr., Richtung Liederhalleà Schloßstrasse überqueren à rechts einbiegen indie Breitscheidstr. à Institutsparkplatz à Institut

Bei Anreise mit: Flugzeug

Ab Flughafen mit S-Bahnlinie S2 nach Schorndorfà S-Bahnstation „Stadtmitte“ aussteigen à AusgangBüchsenstr. à Büchsenstr., Richtung Liederhalleà Schloßstrasse überqueren à rechts einbiegen indie Breitscheidstr. à Institutsparkplatz à Institut

Hinweise für PKW-Fahrer:

Öffentliche Parkplätze befinden sich am Katharinen-Hospital und in der Kienestr.

Parkplatz des Institutes: Bitte rechts vor der Schranke parken, im Institut anmelden und dann nach Öffnen derSchranke durch einen Institutsmitarbeiter auf dem Parkplatz einparken.

Die Breitscheidstrasse ist in Höhe des Kongresszentrums für den Kfz-Verkehr gesperrt.

Universität Stuttgart

Institut für Zeitmeßtechnik, Fein- und Mikrotechnik

Lehrstuhl Mikro-, Miniatur- und Zeitmeßtechnik

Breitscheidstr. 2b

D-70174 Stuttgart

Telefon: ++49(711)121-3711

Telefax: ++49(711)2268304

E-mail: izfm@izfm.uni-stuttgart.de

WWW: http://www.uni-stuttgart.de/izfm

Hahn-Schickard-Gesellschaft

Institut für Feinwerk- und Zeitmeßtechnik

Breitscheidstr. 2b

D-70174 Stuttgart

Telefon: ++49(711)121-3712

Telefax: ++49(711)2268304

E-mail: hsg-ifz@izfm.uni-stuttgart.de

WWW: http://www.uni-stuttgart.de/hsi

Redaktion

Ulrich Allgeier

Gestaltung

Ulrich Allgeier

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