NIKON METROLOGY MESSLÖSUNGEN - 3D inspection · nikon metrology messlÖsungen rÖntgen- und ct-inspektionssysteme kmg-laserscannen handgefÜhrtes laserscannen messsoftware messtechnik

NIKON METROLOGY MESSLÖSUNGEN

RÖNTGEN- UND CT-INSPEKTIONSSYSTEME

KMG-LASERSCANNEN

HANDGEFÜHRTES LASERSCANNEN

MESSSOFTWARE

MESSTECHNIK FÜR GROSSVOLUMIGE TEILE

ROBOTERBASIERTE MESSTECHNIK

VIDEOMESSSYSTEME

MESSMIKROSKOPE

INDUSTRIEMIKROSKOPE

MESSTECHNISCHE DIENSTLEISTUNGEN

NIKON METROLOGY I VISION BEYOND PRECISION

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NIKON METROLOGY MESSLÖSUNGEN


Röntgenquellen Industrielle CT-Systeme der Baureihe XT H Konfigurierbare Röntgen/CT-Systeme Das Metrology CT der MCT Serie Röntgenprüfung für Elektronikkomponenten mit der Baureihe XT V CT-Automation

MULTI-SENSOR-MESSTECHNIK

KMG-basierte Scanner Handgeführte ModelMaker Scanner MCAx – Handgeführter KMG-Arm Lageunabhängiger K-Scan MMDx Scanner Focus-Software für Punktewolken Messsoftware CMM-Manager Integration von Software anderer Hersteller

PRODUKTIONSINTEGRIERTE MESSTECHNIK / ROBOTERBASIERTE MESSTECHNIK

Prüfung großvolumiger Objekte mit Laser Radar KMG für den Einsatz in der Werkstattumgebung

MESSINSTRUMENTE

iNEXIV VMA Multi-Sensor-Messsystem NEXIV VMZ Videomesssysteme Messmikroskope Profilprojektoren Digimicro Digitalzähler Autokollimatoren

MIKROSKOPE FÜR INDUSTRIELLE ANWENDUNGEN Stereomikroskope Mikroskope für industrielle Anwendungen BW-Baureihe – Weißlichtinterferometer-Mikroskopsysteme NeoScope – das leistungsstarke Table Top SEM Bildverarbeitungssoftware

KUNDENDIENST UND SUPPORT


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2035

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Untersuchen Sie komplexe Elektronik- oder Industriebauteile, indem Sie buchstäblich einen Blick in das Innenleben werfen. Nutzen Sie die CT-Funktion, um innere oder äußere Strukturen in einem durchgängigen Prozess zerstörungsfrei zu untersuchen


RÖNTGENQUELLEN

XT H 225 / 225 ST INDUSTRIELLES CT-SCANNEN

XT H 320 INDUSTRIELLES CT-SCANNEN

XT H 450 HOCHLEISTUNGSFÄHIGE CT

CT-SYSTEME FÜR EXTRAGROSSE MESSVOLUMINA

MCT225 für MESSTECHNISCHE CT-Anwendungen

XT V 130C / XT V 160 RÖNTGENPRÜFSYSTEM FÜR ELEKTRONIKKOMPONENTEN

CT-AUTOMATION

RÖNTGENQUELLEN

180 kV Transmissionstarget-Röhre Die Transmissionstarget-Röhre kann bei Prüfobjekten eingesetzt werden, die kleiner als 10 mm sind, wie kleinen Gesteins- oder Knochenproben. Sie erreicht eine Leistung von bis zu 180 kV bei einer kleinsten Brennfleckgröße von 1 µm für die hochauflösende CT-Darstellung.

225 kV Reflexionstarget Mit 225 kV Leistung und einer Minimum-Brennfleckgröße von 3 µm bildet die 225 kV Mikrofokus-Röntgenröhre das Herzstück der Nikon XT H 225 Serie. Sie bietet genügend Flexibilität für die Handhabung unterschiedlichster Probengrößen und Materialdichten.

225 kV Rotationstarget (optional)Nikon Metrology ist das einzige Unternehmen, das eine 225 kV-Mikrofokus-Röntgenröhre mit rotierendem Target für den industriellen Einsatz herstellt. Bei Verwendung eines rotierenden Targets trifft der Elektronenstrahl auf eine bewegliche statt auf eine statische Fläche, sodass eine insgesamt effektivere Kühlung erreicht wird. Auf diese Weise können Objekte schneller oder dichtere Objekte mit höherer Genauigkeit gemessen werden als jene, die mit einer herkömmlichen statischen 225 kV-Röhre gemessen werden.

Statische 450 kV Röhre für hohe Bildbrillanz Die 450 kV Mikrofokusröntgenröhre zählt zu den marktführenden Röntgenquellen der Industrie, wenn es um die Prüfung von filigranen Gussteilen mit einer hohen Dichte geht.

Die 450 kV Röhre für hochbrillante Bilder liefert eine Dauerleistung von 450 W – ohne Einschränkung der Messzeit. Gleichzeitig bietet sie eine kleine Brennfleckgröße für schnellere CT-Aufnahmen. In derselben Aufnahmezeit wie die standardmäßige 450 kV Röhre erfasst sie Daten bis zu fünf Mal schneller bzw. mit höherer Genauigkeit.

320 kV Mikrofokusröntgenröhre Die 320 kV Röhre ist eine einzigartige Mikrofokusröntgenröhre. Sie ist für Prüfobjekte geeignet, die zu groß oder zu dicht für 225 kV Röhren sind, und bietet gleichzeitig eine kleine Brennfleckgröße. Diese ideale Lösung für die Prüfung von Steinkernen und kleinen Gussformen ist optional für das XT H 320 System in Kabinenausführung erhältlich.

Multimetall-TargetFür die Analyse bestimmter Materialien ist es häufig besser, den charakteristischen Emissionsstrom niedriger zu halten. Man erreicht dies mit dem Multimetall-Target. Neben dem Wolfram (W)-Standardtarget kann der Bediener einfach drei andere Materialien im Target anwählen: Silber (Ag), Molybdän (Mo) und Kupfer (Cu).

Die von Nikon Metrology entwickelten Röntgenröhren sind das Herzstück der Röntgen- und CT-Technologie. Schon ab 1987 wurden sie im eigenen Hause entwickelt und hergestellt – das bedeutet ein Know-how von mehr als 30 Jahren. Aufgrund dieser fundierten praktischen Erfahrung in der Röntgentechnik kann Nikon Metrology schnell auf Marktveränderungen reagieren und universelle, innovative Lösungen für neue Anforderungen und Anwendungen entwickeln. Bei allen Röntgensystemen kommt eine offene Röntgenröhre zum Einsatz (Open-Tube-Technologie), die sehr wirtschaftlich im Betrieb ist. Sie sind in verschiedenen Leistungsvarianten von niedrig (180 kV), mittel (225 kV) bis hoch (450 kV) erhältlich und bieten allesamt Auflösungen im Mikrometerbereich.

Planung und Konstruktion im eigenen Hause

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Merkmale• Auswahl verschiedener Mikrofokus-Röntgenröhren aus dem Hause Nikon Metrology

- 180 kV Transmissionstarget- 225 kV Reflexionstarget - Optional Röhre mit rotierendem Target (nur in „ST“-Version verfügbar)

• Auswahl an Varex Flachdetektoren• Röntgenvisualisierung in Echtzeit, schnelle CT-Rekonstruktion • CT Messvolumen bis X: 450 mm, Y: 350 mm, Z: 750 mm (ST Version)• Vollständig programmierbarer 5-Achsen-Teilemanipulator• Kundenspezifische Makros zur Automatisierung der Messabläufe• Kleine Aufstellfläche

Vorteile• Flexibilität kombiniert in einem einzigen System: Röntgen

für die schnelle visuelle Prüfung, CT für tiefergehende Analysen

• Schnelle Datenaufnahme und Bilder hoher Qualität• Schnelle Bedienung durch interaktive Joystick-Steuerung• Hochauflösende, digitale Bildgebung und -verarbeitung• Vollschutzsystem, das keine speziellen Schutzvorkehrungen

oder Strahlenschutzplaketten erfordert• Nahtlose Integration mit nachgelagerten industriellen

Bearbeitungsverfahren

ERLEBEN SIE DIE WELT DER RÖNTGEN-COMPUTERTOMOGRAFIE

Die detailgetreue Erfassung und Messung von innenliegenden Bauteilen und Montagebauteilen ist oft ein entscheidender Faktor bei der Qualitätskontrolle, Fehleranalyse und der Materialforschung.

Die XT H 225 Einsteigermodelle bieten eine Mikrofokusröntgenröhre mit hoher Bildauflösung.

Das XT H 225 ST ist eine erweiterte Variante, die für größere oder schwerere Prüfobjekte geeignet ist. Das System bietet eine Auswahl untereinander austauschbarer Röhren, wie die 180 kV Transmissionstarget-Röhre und die 225 kV Röhre mit rotierendem Target. Es deckt ein breites Spektrum an Anwendungen ab, einschließlich der Prüfung von Kunststoffteilen, kleinen Gussteilen und komplexen Mechanismen sowie Materialforschung und Prüfobjekte aus der Natur.

XT H 225 / 225 ST

Computertomografie Zur Erstellung eines dreidimensionalen CT-Volumens wird nacheinander eine Reihe von 2D-Röntgenbildern von dem Objekt aufgenommen, das um 360 Grad gedreht wird. Diese Bilder werden dann rekonstruiert, um eine dreidimensionale Darstellung des Objekts zu generieren. Neben den Informationen zu den Außenflächen enthält das rekonstruierte Volumenmodell alle Daten zu innenliegenden Flächen und Strukturen – sowie Informationen zur Materialstruktur.. Das CT-Modell kann an jedem Punkt, durch alle Ebenen hinweg, angesteuert werden. Daher können selbst innenliegende Messungen problemlos durchgeführt werden. Gleichzeitig können strukturelle Materialfehler und Montagefehler lokalisiert werden, die normalerweise nicht mit den traditionellen zerstörungsfreien Messverfahren sichtbar gemacht werden können.


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Verblüffende Bilder Unterschiedliche Materialien oder Objekte mit geringerer Röntgenschwächung werden aufgrund der höheren dynamischen Bandbreite dieses Detektortyps besser mit Varex Flachdetektoren vermessen. Bei CT-Aufnahmen werden hochauflösende Voxel-Daten erfasst, wenn hochauflösende Flachdetektoren mit flächenmäßig hoher Pixelanzahl eingesetzt werden. Die größeren Schutzkabinen sind mit Varex Detektoren eines höheren Auflösungsvermögens von 4000 x 4000 Pixeln konfigurierbar, die äußerst detailgetreue Bilder liefern.

320 kV-MikrofokusDie meisten Systemanbieter bieten lediglich Mikrofokusröhren mit einer Leistung von 225 kV an, während die leistungsstärkeren Röntgenröhren mit Minifokus ausgestattet sind. Größere Objekte erfordern häufig eine intensivere Durchdringung. Aus diesem Grund bietet Nikon Metrology die einzigartige 320 kV Mikrofokus-Röntgenröhre an. Da die Brennfleckgröße dieser Röntgenröhren im Vergleich zu Minifokusröhren um einige Größenordnungen kleiner ist, profitieren die Endbenutzer von einer höheren Auflösung und vielfältigeren Möglichkeiten für die Teilemessung.

Mit Nikon Metrology CT-Systemen können Sie • komplexe innenliegende Strukturen überprüfen• eingeschlossene Bauteile isolieren und prüfen • Maße nachmessen, ohne das Objekt zerteilen zu müssen • interne Lunker/Volumina automatisch auffinden und messen • innen- und außenliegende Flächen einfach sichtbar machen• die gesamte Prüfzeit verkürzen• die Anzahl der Wiederholungen zur Feinabstimmung der (Vor-)

Produktionsparameter verringern

MIKROFOKUS-CT IN GROSSER KABINENAUSFÜHRUNG

XT H 320

Das XT H 320 ist ein System in großer Kabinenausführung für das Röntgen, CT-Scannen und die Vermessung großvolumiger Bauteile. Das System ist mit einer 320 kV Mikrofokusröntgenröhre ausgestattet, die bis zu 320 W Leistung bietet.

Unter Verwendung eines hochauflösenden Flachdetektors werden hochwertige Bilder des Prüfobjektes erstellt. Die Steuerung des Systems erfolgt durch Inspect-X, ein Programm, das die Erfassung von CT-Daten und die Einrichtung von Messungen zu einer einfachen Angelegenheit macht. Das Programm kann Volumendaten an eine Viewer-Software nach Industriestandard ausgeben.

Dosierspender Auswertung der Wanddicke eines Impellers

Schneckenfossil Akku

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Röntgenbild und CT Schnitte einer Turbi-nenschaufel, aufgenommen mithilfe eines gekrümmten Zeilendetektors (CLDA)

Die 450 kV hochauflösende Bildquelle bietet die gleichen Vorteile wie eine Quelle mit rotierendem Target: schnellere Datenaufnahme oder höhere Datenqualität bei gleichbleibender Leistung

Das XT H 450 System setzt einen neuen Maßstab für die Messung von Turbinenschaufeln und die zerstörungsfreie Prüfung (NDT) von kleinen bis mittelgroßen Gussteilen. Kernstück dieser leistungsstarken Anlage ist die 450 kV Mikrofokus-Röntgenquelle, die für eine hohe Auflösung und Genauigkeit sorgt.

Der gekrümmte Zeilendetektor optimiert die Erfassung der Röntgenstrahlen, indem er das Messen der Streuungen, die normalerweise die 2D-Radiografien von Turbinenschaufeln und sonstigen Metallteilen stören, drastisch reduziert.

Merkmale• Einzigartige 450 kV Mikrofokusquelle mit Open-Tube-Technologie

(offene Röntgenröhre) • Röntgenquelle für hohe Bildbrillanz (optional) • Wahlweise verschiedene Bildgebungsverfahren

- Digitaler Varex Flachbilddetektor (XT H 450 3D)- Gekrümmter Zeilendetektor CLDA (XT 450 2D)- Kombination aus Flachbilddetektor und CLDA

• Messvolumen von bis zu 600 mm Durchmesser und 600 mm Höhe• Vollständig programmierbarer 5-Achsen-Plattenmanipulator mit

Präzisionskugelumlaufspindeln und Linearführungen• Spezielle Anwendung für die automatische Freigabe-/Ausschussprüfung

von Turbinenschaufeln

Schnellerer Messdurchsatz bzw. hohe Datenqualität durch die Röntgenquelle für hohe BildbrillanzDie neue (optional erhältliche) 450 kV Röntgenquelle für hohe Bildbrillanz liefert außerordentliche Ergebnisse. Bei einer vorgegebenen Brennfleckgröße und Leistung können Daten mit drei- bis fünffacher Geschwindigkeit aufgenommen werden: Ein höherer Messdurchsatz wird erzielt. Alternativ kann eine höhere Auflösung bei einer vorgegebenen Leistung und Messzeit erreicht werden. Das Ergebnis ist eine ausgezeichnete Datenqualität. Die Röntgenquelle für hohe Bildbrillanz versorgt das System mit einer kontinuierlichen Leistung von 450 W ohne zeitliche Messeinschränkung.

Röntgenbild eines Kettensägen-motors

Röntgenbild eines Motorblocks CT Volumenmodell eines Motorblocks

HOCHLEISTUNGSFÄHIGE 450 kV MIKROFOKUS-CT

XT H 450

Anwendungen• Detailanalyse der Wandstärke und inneren Struktur von

Turbinenschaufeln• Automatisierte Freigabe-/Ausschussprüfung von Turbinenschaufeln• Prüfung hochdichter Teile (z.B. von Metall und Gussteilen) mit

Genauigkeitsanforderungen im Mikrometerbereich


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Die konfigurierbaren Röntgen/CT-Systeme von Nikon Metrology bieten ein großes Messvolumen und Unterstützung für verschiedenste Röntgenröhren und Detektoren und sind zu verschiedensten Einsatzzwecken individuell für den Kunden konfigurierbar. Die modularen Mikrofokus-CT-Systeme von Nikon Metrology können in vorhandene Röntgenkabinen oder -räume eingebaut werden, um ältere Anlagen, die mit Film- oder Minifokussystemen betrieben werden, aufzurüsten. Herzstück dieser konfigurierbaren Systeme sind die im Hause Nikon hergestellten Röntgenröhren mit bis 450 kV Leistung. Die Brennfleckgröße dieser Mikrofokus-Röntgenröhren im Vergleich zu Minifokus-Modellen ist um einige Größenordnungen kleiner, mit dem Resultat einer deutlich höheren Auflösung und Genauigkeit.

SCANNENDES CT-PRÄZISIONSPRÜFSYSTEM FÜR GROSSE MESSVOLUMINADas C2 Scanningsystem ist ideal für dichte und unhandliche Objekte. In der Konfiguration mit zwei Röntgenquellen, zwei Detektoren und mehrfachen Verstellmöglichkeiten kann dieses System Objekte bis zu 150 kg Gewicht präzise scannen. Mittels einer synchronisierten vertikalen Röntgenröhre und Detektorpositionierung bietet das C2 ein unvergleichlich großes Messvolumen. Das Fundament des Systems, eine 4,3 m lange Granitplatte, sorgt für perfekte Präzision in Verbin-dung mit einem Flächendetektor und Nikon Metrologys Curved Linear Diode Array (CLDA)-Technologie, die Streustrahlung reduziert und die Bildwiedergabe deutlich verbessert.

Individuell konfigurierte Kabinen oder MessräumeDiese konfigurierbare CT-Systeme können in (vorhandenen) Kabinen oder Messräumen eingebaut werden. Sie können Ihre Röntgen/CT-Einrichtungen daher ganz nach eigenem Wunsch gestalten oder sogar vorhandene Einrichtungen mit der neuesten Röntgen/CT-Tech-nik modernisieren.

Kompakte Präzisions-CTDas M2 setzt neue Maßstäbe für das industrielle CT-Scannen. In der Konfiguration mit zwei Röntgenquellen, zwei Detektoren und mehrfachen Verstellmöglichkeiten kann dieses System Objekte aller Formen und Größen präzise scannen. Das M2 ist mit einem vertikalen Manipulator sowie einem schwenkbaren Drehtisch mit beidseitiger Probenhalterung für eine optimale Positionierung und Genauigkeit ausgestattet.

UNENDLICHE KONFIGURATIONSMÖGLICHKEITEN FÜR DAS CT PRÄZISIONSSCANNEN

Konfigurierbare CT-Systeme

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Materialdurchdringung

Weitere geeignete Materialien:STAHL, KERAMIK, KOHLEFASER, HOLZ

KUNSTSTOFF 170 mm

ALUMINIUM 75 mm

EISEN 15 mm

Das MCT225 ermöglicht die effiziente Messung von innen- und außenliegenden Geometrien in einem einzigen zerstörungsfreien Prüfverfahren, ohne Referenzmessungen. Wir vereinen auf uns 50 Jahre Erfahrung in der Koordinatenmesstechnik und mehr als 30 Jahren Erfahrung in der Röntgentechnik und sind daher ein führender Anbieter von zuverlässiger CT-Messtechnik erster Qualität.

Absolute Genauigkeit Das MCT225-Prüfsystem wird mit Genauigkeitsstandards vorkalibriert, die auf das britische National Measurement Institute (NPL) rückführbar und gemäß der Richtlinie VDI/VDE 2630 „Computertomografie in der dimensionellen Messtechnik“ verifiziert sind. Die absolute Genauigkeit garantiert Messgenauigkeit, ohne zeitraubende vergleichende Aufnahmen oder Referenzmessungen durchführen zu müssen. Die Prüfobjekte werden einfach auf einem Drehtisch in der Kabine platziert und gemessen. Verschiedene wichtige Messfunktionen sorgen für Temperaturstabilität und gewährleisten, dass das MCT225 eine eindrucksvollen MPE von 9+L/50 µm erzielt.

Merkmale• Von Nikon Metrology entwickelte Mikrofokusröntgenröhre• Temperaturkontrollierte Kabine• Lineare Präzisionsführungen• Korrektur von Achsenverfahrfehlern• Flüssigkeitsgekühlte Röntgenquelle• Hochauflösende optische Wegmesssysteme• Hochauflösender 4 Megapixel-Detektor• Per Finite-Elemente-Analyse (FEA) optimierter Manipulator

ABSOLUTE GENAUIGKEIT FÜR INNENLIEGENDE MESSUNGEN

MCT225 für messtechnische CT-Anwendungen

F1 FahrzeugMehrteiliges Hydraulikteil

CT-VolumenRekonstruktion

Direktvergleichzum CAD-Modell

Schnitt einerInnengeometrie

Messprotokoll mit Form- und Lagetoleranz

Der CT-unterstützte Messprozess


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Die Montageverbindungen auf den kompakten und dicht besetzten Leiterplatten (PCBs) von heute werden durch die elektronischen Bauteile selbst verdeckt, sodass die Röntgentechnik die einzig realisierbare Messlösung ist. Der XT V 160 ist ein einfach bedienbares, kostengünstiges PCB-Prüfsystem hoher Qualität, das direkt auf den Bedarf von Fertigungsanlagen und Fehleranalyselaboren abgestimmt ist.

Im automatischen Betrieb können Objekte in der höchsten Durchsatzrate geprüft werden. Im manuellen Betrieb können die Bediener mithilfe der intuitiven Software und äußerst präzisen Steuerung der Prüfobjekte kleinste innenliegende Schäden und Mängel sichtbar machen und auswerten.

Merkmale• 160 kV Röntgenröhre von Nikon Metrology mit Brennfleckgröße im

Submikrometerbereich• Echter Neigungswinkel von 72° für die optimale Prüfung von BGAs• Schnelle Datenaufnahme und Bilder hoher Qualität• Große Ablage zum Laden mehrerer Schaltungen• Benutzerdefinierbare Makros zur Automatisierung der Messabläufe• Validierungsstation auf separatem Rechner optional erhältlich

Vorteile• Flexibilität kombiniert in einem einzige System

- Interaktive Anzeige - Vollautomatische Röntgenprüfung - CT-Option für die tiefergehende Analyse

• Maximale Vergrößerung unter jedem Blickwinkel (bis 72°)• Schneller Betrieb mit intuitiver Benutzeroberfläche und interaktiver

Joystick-Steuerung• Kostengünstige Wartung durch Open-Tube-Technologie (offene

Röntgenröhre)• Vollschutzsystem, das keine speziellen Schutzvorkehrungen oder

Strahlenschutzplaketten erfordert• Kleine Aufstellfläche

Anwendungen• Solder Reflow-Analyse• BGA Analyse• Lunkerberechnung (Solder Void)• Through Hole Vermessung und Untersuchung• Lunkermessung im Mikromontagebereich• Ballbond-Analyse• Stitchbond-Analyse• Mikro BGA / Chip on Chip-Analyse• Pad Array-Analyse• Erkennung und Analyse von kalten Lötstellen

EIN RÖNTGENINSPEKTIONSSYSTEM DER PREMIUMKLASSE

XT V 160

In allen Kombinationen von Drehungen, Neigungen und Vergrößerungen bleibt der für Sie interessante Bereich (ROI) in der Mitte des Sichtfelds fixiert

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Das XT V 130C ist ein sehr vielseitiges und kostengünstiges Röntgensystem, das in der Elektronik- und Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es verfügt über eine 130 kV/10 Watt Röntgenquelle aus dem Hause Nikon Metrology im Open-Tube-Design (offene, einfach zugängliche Röntgenröhre) mit integriertem Hochspannungsgenerator und ein hochauflösendes Bildgebungsverfahren.

Durch diverse Upgrades, die sowohl im Herstellerwerk als auch vor Ort stattfinden könnnen, kann der Nutzer das System für seine Anforderungen konfigurieren: ob eine leistungsstärkere Röntgenquelle, ein Drehtisch, Software für die automatisierte Inspektion, ein digitaler Flachbilddetektor oder Integration der zukunftssicheren CT-Technologie.

Einfacher Zugang zum Prüfbereich

Merkmale• 20-130 kV Nikon Metrology Mikrofokus-Röntgenröhre mit

2 µm-Merkmalserkennung• Messvolumen von 406 x 406 mm• Manipulator mit echtem 72°-Neigungswinkel zur einfachen Prüfung von

innenliegenden Merkmalen (Schrägansicht)• Schwenkbare Beladetür für einen einfachen Zugang zum Messvolumen• Einfache Zugänglichkeit der zu wartenden Systemkomponenten

Vorteile• Online-Bedienung mit intuitiver Joystick-Steuerung• Kostengünstige Wartung durch Open-Tube-Technologie (offene Röntgenröhre) • Vollschutzsystem erübrigt das Tragen von Schutzkleidung oder

Strahlenschutzplaketten • Geringe Aufstellfläche und niedriges Systemgericht erleichtern die Installation• CT-Option ist möglich

Anwendungen• Elektronische und elektrische Komponenten

- Prüfung/Auffinden von gebrochenen Verbindungen, erhöhten Lötverbindungen, Leitungsdurchgängen (Wire Sweep), Mikromontagen, Trockenverbindungen, Brücken-/Kurzschlussbildung, Lunkern, BGA usw.

• Bestückte und unbestückte PCBs - Anzeige von Oberflächendefekten, d.h. fehlausgerichteten Teilen,

porösen Durchgangslochverbindungen und Brücken - Detailprüfung von Durchgangsleitungen (Vias), Durchkontaktierung

und Mehrlagenausrichtung - Wafer-level Chip Scale Packages (WLCSP) - BGA- und CSP-Prüfung - Prüfung von bleifreien Lötverbindungen• Mikrosysteme (Micro-Electro/Opto-Mechanical Systems, MEMS,

MOEMS)• Kabel, Leitungssätze, Kunststoffe u.v.m.

Ein Neigungswinkel von bis zu 72° bietet hinreichende Flexibilität, um Verbindungsfehler schnell aufzuspüren

Dank der hervorragenden Vergrößerung kann der Bediener jeden Bereich von Interesse heranzoomen

VIELSEITIGES UND BEDIENERFREUNDLICHES SYSTEM ZUR QUALITÄTSKONTROLLE VON ELEKTRONISCHEN KOMPONENTEN

XT V 130CRÖNTGEN- UND CT-INSPEKTIONSSYSTEME

CT-Prüfung von LosenIn der Standardversion bietet die Software Inspect-X die Möglichkeit, Profile mit Scan- und Rekonstruktionsparametern zu speichern und gewährleistet somit die Wiederholgenauigkeit des gesamten CT-Verfahrens.

Vorteile• Keine Programmierkenntnisse erforderlich• Inspect-X lädt die passenden Programme für Analysen und Messprotokolle• Der Bediener hat Zeit für andere Aufgaben, wie beispielsweise die

Vorbereitung von Prüfobjekten

Halbautomatische CT-PrüfungBei halbautomatischen CT-Systemen sind das Laden des Bauteils oder die Bestückung eines Probenhalters mit mehreren Objekten die einzigen Vorgänge, die manuell ausgeführt werden. Alle übrigen Arbeitsschritte, wie das Scannen und die Auswertung von Gut-/Schlechtteilen erfolgen vollautomatisch.

Vorteile• Eine kundenspezifische, vereinfachte Benutzeroberfläche führt den

Bediener durch den kompletten Prozess• Werkstückerkennung per Strich- oder QR-Code-Lesegerät• Integration in die Produktionsdatenbank• Wiederholgenauer Prozess

CT-Prüfung direkt in der FertigungslinieDas Inline-CT-Prüfsystem ist eine 100%ige Messlösung für die vollautomatisierte Fertigungsumgebung, in der kritische Teile mit komplexen innenliegenden Geometrien geprüft werden müssen. Roboter laden bzw. entladen die Teile Förderbandern und positionieren sie über eine automatische Tür im CT-System.

Vorteile• Verbesserte Qualitätskontrolle• Gesteigerte Effizienz• Integration in Roboter- und Fördersysteme• Vollständige Rückführbarkeit

NIKON CT AUTOMATION – BEREIT FÜR DIE FERTIGUNG

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Die Steigerung der Produktqualität ist für Hersteller eine bedeutende Herausforderung. Mit einer hundertprozentigen Teileprüfung kann dieses Ziel erreicht werden. Die jüngsten Fortschritte in der Entwicklung hochauflösender, rotierender Highflux-Targets in Verbindung mit einfach automatisierbaren CT-Scanparametern und Analyseverfahren ermöglichen das Scannen, Rekonstruieren und die Auswertung von Prüfobjekten in weniger als zwei Minuten. Dadurch eröffnen sich Möglichkeiten für vielfältige Anwendungen in der Automatisierungstechnik, von der einfachen Qualitätsprüfung bis hin zur automatisierten CT-Prüfung mit vollständiger Integration in der Fertigungsstraße und Rückmeldungen zum Fertigungsprozess.

Die halbautomatische Messung ermöglicht die Automatisierung aller Aufgaben mit mehrfacher Teilebestückung.

Die Serienprüfung ermöglicht die Automatisierung mehrerer Scanvorgänge mit manueller Teilehandhabung.

Die Inline-Automatisierung ermöglicht eine vollständige Integration in Ihre

Fertigungslinie


3D-LASERSCANNER ADAPTIERT AUF KOORDINATENMESSGERÄTE

HANDGEFÜHRTES LASERSCANNEN

MULTI-SENSOR-MESSSOFTWARE

LC15Dx XC65Dx-LS MCAxH120L100

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Der L100 KMG-Laserscanner bietet die bestmögliche Kombination aus Geschwindigkeit, Präzision und Bedienerfreundlichkeit. Der L100 eignet sich sowohl für Oberflächen- als auch Merkmalsmessungen. Er liefert schnell präzise Daten und aufschlussreiche Teil-gegen-CAD-Prüfberichte, selbst bei Oberflächen, die spiegeln oder aus verschiedenen Werkstoffen bestehen.

Der L100 eignet sich ideal für die Prüfung großvolumiger Komponenten, bei denen die Produktivität vorrangig ist, ohne jedoch Zugeständnisse an die Genauigkeit machen zu müssen. Der L100 ist mit einem hochwertigen Nikon-Objektiv ausgestattet, das speziell für das Laserscannen optimiert wurde. Zusammen mit der hochauflösenden Digitalkamera wird eine Punktauflösung von 42 µm und die beste Datenqualität des Marktes erreicht. Damit ist die Erfassung kleinster Strukturen und die Messung schärferer Kanten möglich.

Vorteile von KMG-basierten Laserscannern• Bessere Einblicke in Abweichungen

- Messberichte über Oberflächen-/Profil-/Merkmalsvergleiche des Teils gegen CAD in Farbe bieten ausführliche Informationen zur Produktkonformität auf einen Blick

- Entscheidungen und Korrekturmaßnahmen können somit schneller getroffen werden

- Das Ergebnis sind weniger und schnellere Entwurfsüberarbeitungen und kürzere Vorlaufzeiten

- Ausfallzeiten in der Produktion werden dank einer schnelleren Fehlersuche minimiert

• Steigern Sie die Leistungsfähigkeit Ihres vorhandenen KMGs - Rüsten Sie Ihr vorhandenes System auf ein vielseitiges Multisensor-

KMG für berührungslose und taktile Messanwendungen nach - Rüsten Sie die Steuerung und Software von vorhandenen KMGs nach

Sie erhalten Nachrüstsätze für die meisten führenden KMG-Marken

• Gesteigerter Messdurchsatz - Laserscanner erfassen mehr Informationen in kürzerer Zeit- Schnellere Merkmalsmessung aufgrund weniger KMG-Bewegungen- Einfache CAD-basierte Offline-Programmierung spart Zeit bei der

Vorbereitung und Änderung von Messprogrammen

• Messen Sie kleine und weiche Teile - Messen Sie empfindliche Oberflächen, die nicht berührt werden

sollten- Keine Verformung von weichen Materialien wie Schaumstoffen,

Gummi, Membranen usw.- Scannen Sie beliebige Werkstoffe – Dunkle oder glänzende Teilen

bedürfen keiner besonderen Vorbehandlung

Der LC60Dx ist ein universell einsetzbarer Scanner für die Digitalisierung von Freiformflächen mit schwer zu scannenden Oberflächen. Wie alle anderen digitalen Scanner von Nikon ist der LC60Dx mit der leistungsstarken ESP-Technik (verbesserte Sensorperformance) ausgestattet. Sie regelt in Echtzeit die Laserintensität für jeden aufgenommenen Punkt und ermöglicht eine fortlaufende Anpassung an wechselnde Oberflächenmaterialien.

DIGITALE LASERSCANNER STEIGERN DIE MESSLEISTUNG

Digitale KMG-Laserscanner

L100 – Der ultimative KMG-Laserscanner der Produktivität und Präzision vereint

LC60Dx – Universell einsetzbarer digitaler Scanner

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Der vollständig digital arbeitende Nikon LC15Dx Scanner ermöglicht die 3D-Digitalisierung im Genauigkeitsbereich taktiler Messsysteme. Gleichzeitig bietet er den Vorteil, ein Vielfaches an Messpunkten erfassen zu können. Dank des hochwertigen Nikon-Objektivs erzielt der LC15Dx eine Messgenauigkeit von 1,9 µm und eine Genauigkeit von 3,9 µm in mit EN/10360-2 und -5 vergleichbaren Mehrfachtaster-Tests.

Mit seinem kleineren Sichtfeld eignet er sich ideal für die Digitalisierung kleiner oder detaillierter Objekte mit höherer Punktdichte und engeren Toleranzen.

Technische Daten

L100 LC15Dx LC60Dx XC65Dx XC65Dx-LS

Sichtfeld Ca. 100 x 60 mm 18 x 15 mm 60 x 60 mm 65 x 65 mm (3x) 65 x 65 mm (3x)

Antastabweichung (MPEP) 1

6,5 µm 1,9 µm 9 µm 12 µm 15 µm

Datenerfassungsrate (Punkte/s ca.)

200.000 70.000 77.000 3 x 25.000 3 x 25.000

Erweiterte Sensorleistung

ESP4 ESP3 ESP3 ESP3 ESP3

1 Nikon Metrology Test vergleichbar mit EN/ISO 10360-2

Durch die kreuzförmige Integration von drei Lasern erfasst der XC65Dx mit einem einzigen Scan die kompletten 3D-Details von Merkmalen, Kanten, Taschen, Rippen und Freiformflächen. Der Cross Scanner digitalisiert komplexe Elemente von drei Seiten und erfasst so die komplette 3D-Geometrie der Merkmale. Auf diese Weise werden Positionen und Abmessungen genau extrahiert.

Der XC65Dx-LS hat einen größeren Arbeitsabstand für die optimale Aufnahme von tief liegenden Taschen und Langlöchern sowie anderen schwer zugänglichen Merkmalen. Der Cross Scanner eignet sich zur Prüfung von Rohkarossen mit 2D- oder 3D-Merkmalen, Gussteilen (Motorblöcke) und komplexen Kunststoffformen usw.

VOLLE 3D-ERFASSUNG KOMPLEXER ELEMENTE UND OBERFLÄCHEN


LC15Dx – Holt den Genauigkeitsvorsprung taktiler Messsysteme ein

XC65Dx(-LS) Cross Scanner – für die produktive Merkmalsprüfung

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MMDx Scanner sind in Streifenbreiten von 50/100/200 mm erhältlich

Größere Bedienerfreundlichkeit beim Scannen mit dem ModelMaker H120

Merkmale

MODELMAKER H120• Blaulicht-Lasertechnik • Extrem scharfe Nikonlinsen• Streifenbreiten bis zu 120 mm• Extrem schnelle Bildrate von über 450 Hz• Scannergenauigkeit bis 7 µm (1σ) • Systemgenauigkeit in Kombination mit MCAx Gelenkmessarmen von bis zu 28 μm (2σ) • Die verbesserte Sensorleistung (ESP4) ermöglicht die Messung schwieriger Materialien,

wie Teilen aus Carbonfaser oder mit glänzenden schwarzen, reflektierende oder vielfarbigen Oberflächen.

ModelMaker MMDx• Streifenbreiten zwischen 50 und 200 mm erhältlich• Genauigkeit bis zu 10 µm (1σ)• Verbesserte Sensorleistung für das Scannen von Oberflächen mit unterschiedlichen

Strukturen und Reflexionsgraden

MCAx Gelenkarm• Für vielfältige Messaufgaben• Intuitive Software zum Scannen und Messen• Verfügbar in Längen zwischen 2 m und 4,5 m• Hochentwickelte Konstruktion: für die Luft- und Raumfahrt entwickelte Carbonfaser –

robust, sehr leicht, mit lebenslanger Garantie• Unbegrenzte Rotation aller Hauptachsen für einen uneingeschränkten Einsatz.

Anwendungen• Vollständige Prüfung des Teils gegen CAD• Prüfung geometrischer Elemente• Spalt- & Bündigkeitsmessung• Flächenrückführung (RE)• Fehlersuche direkt vor Ort• Input für schnelle Prototypenerstellung

EXTREM SCHNELLES SCANNEN UND DETAILTREUE OHNE KOMPROMISSE

Ortsunabhängige Scannen

Der manuelle Koordinatenmessarm MCAx ist ein präzises, zuverlässiges, bedienerfreundliches, mobiles 7-Achsen Messsystem. Er ist die perfekte Ergänzung zu den digitalen handgeführten ModelMaker Laserscannern. Er eignen sich ideal für mobile 3D-Messungen und Reverse- Engineering-Anwendungen.

Der ModelMaker H120 bietet Blaulicht-Lasertechnik, eine extrem schnelle Bildwiederholfrequenz, eine speziell von Nikon entwickelte Optik und Messfähigkeit an schwierigsten Materialien. Mit 2 000 Punkten pro Scanzeile können winzige Details an großen Flächen gemessen werden, selbst wenn die Zykluszeit ein kritischer Punkt ist. Eine punktweise Interpolation, um die Datendichte in die Höhe zu treiben, ist nicht erforderlich.

Das Einsteigermodell des ModelMaker MMDx bietet Streifenbreiten von 50 bis 200 mm, eine extrem schnelle Datenerfassung und ESP3 (verbesserte Sensorperformance), eine Funktion, die eine Digitalisierung nahezu aller glänzenden oder verschiedenfarbigen Oberflächen ohne besondere Vorbereitung ermöglicht.

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Focus-Software für Punktewolken unterstützt den digitalen Messprozess. Kernstück dieses Prozesses ist das 3D-Softwaremodul Inspection, das einfach verständliche CAD-Vergleiche und eine erweiterte Merkmalsprüfung ermöglicht. Darüber hinaus steuert Focus die Datenaufnahme des Laserscanners an KMGs und Gelenkmessarmen, einschließlich Offline-Vorbereitung zur Automatisierung von Scanaufgaben am KMG.

VorteileDie Focus Inspection Software deckt ein breites Spektrum an Messanwendungen ab und bietet eine sensationelle Performance, eine intuitive Benutzeroberfläche und standardisierte Makrofunktionen zur Automatisierung des gesamten Prüfprozesses.

• Bietet Bedienern und Konstrukteuren vollintegrierte Scanning- und Messfunktionen für Prüfvorgänge an KMGs und handgeführten Laserscannern

• Neue Multifunktionsleiste vereinfacht Prüfvorgänge• Intelligente Merkmalserkennung und Analysealgorithmen sorgen für hohe Produktivität und

schlüssige Ergebnisse• Zahlreiche Funktionen für die digitale Oberflächen- und Merkmalsprüfung• Leicht zu interpretierende und interaktive Berichterstellung für eine einfachere

Entscheidungsfindung• Automatisierung des Prüfprozesses ohne Programmierkenntnisse• Nutzen Sie 3D-Ergebnisse gemeinsam mit Ihren Kollegen und Kunden mit dem kostenlosen

Focus-Viewer

FOCUS-SOFTWARE FÜR PUNKTEWOLKEN

OberflächenprüfungDie Teil-gegen-CAD-Prüfung vergleicht die erfasst Punktewolke mit den CAD-Solldaten und verdeutlicht die geometrischen Abweichungen in einem Grafikbericht. Oberflächenprüfungen dienen dazu, das Rückfedern von Teilen und Phänomene wie Schrumpfen zu analysieren und sicherzustellen, dass die Teileform dem Entwurf entspricht.

• Komplette Teil-gegen-CAD-Prüfung• 2D- und 3D-Schnitte• Wandstärke, Kantenanalyse etc.• Benutzerdefinierte Fähnchen für eine eindeutige Interpretation

Prüfung von MerkmalenDie Überprüfung der Lage und Maßhaltigkeit zusammengesetzter Merkmale ist sehr wichtig, um die optimale Passung im späteren Verlauf des Zusammenbauprozesses sicherzustellen.

• Automatische und halbautomatische Merkmalserkennung - 2D-Merkmale: Oberflächenpunkt, Loch, Langloch, Ebene etc. - 3D Basiselemente: Zylinder, Kugel etc. - 3D erweiterte Elemente: T-Bolzen, Keilstift, Tannenbaum etc.

• Querschnittsprüfung von Bündigkeit & Spaltmaß an Zusammenbauteilen (Karosserie, Tür, Haube etc.) - Definition kundenspezifischer Bund- & Spaltlehren - Kombi-Stoßkante: Erstellung virtueller Kantenpunkte

• Importiert Form- und Lagetoleranzen aus Soll-CAD• Umfassende Funktionen, um Toleranzen zu

Form, Ausrichtung und Lage zu definieren• PTB-zertifizierte Algorithmen zur Merkmalsberechnung

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Focus Inspection

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Physical part Digital copyWide range of measurement solutions

for easy data collectionMulti-functionalanalysis software

Every step in the process has its own specifi c and user confi gurable icon sets

Updated compare fl y-outs simplify “go/no-go” inspection decisions

The enhanced 3D manipulation of objects makes CAD and point cloud analysis more intuitive and consistent

Focus point cloud softwareStreamlining CMM and handheld laser scanning inspection

NIKON METROLOGY NVGeldenaaksebaan 329B-3001 Leuven, Belgiumphone: +32 16 74 01 00 fax: +32 16 74 01 [email protected]

More offices and resellers at www.nikonmetrology.com

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NIKON CORPORATIONShinagawa Intercity Tower C, 2-15-3, Konan,Minato-ku, Tokyo 108-6290 JapanTelefon: +81-3-6433-3701 Fax: +81-3-6433-3784www.nikon.com/products/industrial-metrology/

NIKON INSTRUMENTS (SHANGHAI) CO. LTD.Tel.: +86 21 5836 0050Tel.: +86 10 5869 2255 (Beijing office)Tel.: +86 20 3882 0550 (Guangzhou office)

NIKON SINGAPORE PTE. LTD.Tel.: +65 6559 [email protected]

NIKON MALAYSIA SDN. BHD.Tel.: +60 3 7809 3609

NIKON INSTRUMENTS KOREA CO. LTD.Tel.: +82 2 2186 8400

ISO 14001 Certifiedfor NIKON CORPORATION

ISO 9001 Certifiedfor NIKON CORPORATIONMicroscope Solutions Business UnitIndustrial Metrology Business Unit

INTRODUCING FOCUS A WEALTH OF APPLICATIONS


THE DIGITAL INSPECTION PROCESS

Nikon Metrology solutions essentially feed critical geometric measurement data into today’s digital information streams that drive new product development and fabrication. Smart digital inspection solutions, such as Focus software and laser scanners, accurately and automatically digitize the complete geometry of freeform surfaces and features.

Digitizing components up-front and running inspection on the digital copies of the samples, streamlines metrology operations and embeds them into the digital CAD-centric development process. As a Digital Inspection Process provides more profound metrology insight, it is essential to improving and accelerating styling, tooling, prototyping and serial production.

Focus presents a clear, graphical UI where users will feel at ease immediately with direct access to most used functions. Focus offers tightly integrated data acquisition – via CMM or handheld scanners – and intelligent processing and reporting. Direct access to workfl ow selection, customization and automation facilitate the setup and execution of processing jobs. Focus drives seamlessly latest-generation Nikon Metrology CMM and handheld laser scanners, and supports many CMM and articulated arm brands

Sheet metal inspectionSheet metal and body panel inspection, mainly used in the automotive industry, is one of the target applications for Focus Inspection. Not only 3D forms need to be inspected, but also features, edges, and assemblies. Techniques including surface inspection and virtual matching, GD&T, and fl ush & gap analysis, complete a comprehensive toolbox for running your inspection job. Automation capabilities allow the process to be smoothly streamlined into standard processes, in-line or off-line.

Plastic molding inspectionPlastic injection molding is characterized by various material-dependent process behaviors: shrinkage due to cooling down, material fl ows, humidity absorption, etc. Therefore, a visual 3D inspection report is an indispensable tool to quickly detect any part imperfections. Whereas a scanner is ideal to inspect the outer surface, CT scanning is the ultimate solution when detailed insight into the inner structure is required.

Casting inspectionThe complete casting process is characterized by a strict inspection of the surface shape. Molds and sand cores as well as pre-series samples require detailed inspection to guarantee correct serial production. Serial production also needs sample-based preventive monitoring to detect wear early on in the process. CMM laser scanning and/or CT offer quick and complete 3D digital copies for

in-depth inspection. In case specifi c features need detail inspection, CMM laser scanners can be seamlessly integrated with touch probe point and scanning measurements.

Turbine blade inspectionTurbine Blade Inspection is a dedicated module in the Focus Inspection portfolio. The effi ciency of turbine blades is defi ned by their profi le, hole features, correct placement in the turbine, and uniformity of turbine blade wear. The Focus Turbine Blade Inspection module offers a wealth of functionalities for automatic inspection of series of blades.

Medical implantsWith medical devices, failure is not an option. For medical components, such as knee or hip implants and hearing aids, the as-built shape of the component is crucial for fast patient recovery and maximum comfort. By digitizing a patient-specifi c part, the entire geometry can be evaluated on the basis of graphic color diagrams

Focus_EN_0117-100.indd 1 20/02/17 16:37

Teil-gegen-CAD-Vergleich

Auswertung von Form- und Lagetoleranzen

Spalt- und Bündigkeitsprüfung

Protokollierung von Ausschnitten


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CMM-Manager, die Messsoftware für ausschließlich taktile Messaufgaben, ist Windows-basiert und bietet ein optimales Preis-Leistungs-Verhältnis. Die Software kann nahezu überall betrieben werden: ob auf manuellen, CNC gesteuerten und portablen KMGs. Bediener bewerkstelligen Messaufgaben schneller mit CMM-Manager, indem sie die Serienprüfung automatisieren oder lediglich einige Messpunkte vor Ort aufnehmen.

Diese aufgabenorientierte, selbsterklärende Software liefert schnelle Messergebnisse. Außerdem bietet sie u.a. Im CAD System folgende Funktionen: Click & Measure, Kollisionsbetrachtung, virtuelle Simulation, Echtzeitermittlung sowie RPS Ausrichtung. Durch die grafische Windows 7 Benutzeroberfläche – intuitive Icons, neue Multifunktionsleiste und grafische Tipps zur Werkzeugverwendung – ist CMM-Manager bedienerfreundlicher denn je.Merkmale

• CAD-basiertes grafisches Programmieren• Automatische Kollisionserkennung• Clevere Ausrichtungsfunktionen• Automatische Tastererkennung • Leapfrog-Bewegungen zur Erweiterung des Messvolumens für portable Messungen• Best Fit-Analyse für verbesserte Inspektionsgenauigkeit• Webfähige Grafikberichterstellung per Drag & Drop

Vorteile• Schnelle und genaue Messergebnisse stehen im Mittelpunkt• Bedienerfreundliche und doch umfassende Messsoftware• Ein einziges Softwarepaket für CNC-, manuelle und portable Messungen

Retrofit-Möglichkeiten• CNC oder manuelle KMG: Nikon Metrology, Sheffield, Mitutoyo, Brown & Sharpe,

DEA, Zeiss, Starrett, Numerex, Helmel, Wenzel, Renishaw• Umrüstungen portabler KMGs: MCA (I, II, x), optische KMG der K-Serie, Faro,

Romer/CimCore, Sheffield, Brown & Sharpe, Mitutoyo, Renishaw• iNEXIV Videomesssysteme

Schnelle Interpretation der Daten durch farblich hervorgehobene Geometrieabweichungen

CMM-Manager ist auch für iNEXIV Videomesssys-teme erhältlich

Bedienerfreundliche Software zur Messung komplexer Teile

UMFASSENDE FUNKTIONEN FÜR MANUELLE, CNC- UND PORTABLE KOORDINATENMESSGERÄTE

Messsoftware CMM-Manager

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INTEGRATION VON SOFTWARE ANDERER HERSTELLER

Nikon Metrology bietet Lösungen für die Integration einiger Messprogramme von anderen Herstellern. Anwender können unsere KMGs, Gelenkmessarme oder Laser Radar-Systeme daher mit der Software ihrer Wahl betreiben. Inwieweit die Software integrierbar ist, hängt von der Software selbst ab und beinhaltet Funktionen wie Online-/Offline-Programmierung, komplett native Erfassung, Prüfung gegen CAD/ohne CAD, Messung mit taktilem Messsystem oder Laserscanner. Die daraus resultierenden Messdaten werden mit speziellen Analyseprogrammen weiterverarbeitet.

Kompatible SoftwareKMG GELENKMESSARME OPTICAL KMG

Automatisiertes Laserscannen

Automatisiertes taktiles Messen

Handgeführtes Laserscannen

Handgeführtes taktiles Messen

Handgeführtes Laserscannen

Handgeführtes taktiles Messen

Camio ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ ✓

InnovMetric PolyWorks ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ ✓

Metrologic Metrolog X4 ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ ✓

3D Systems Geomagic ✓ ✓ ✓ ✓

Autodesk PowerInspect ✓ ✓ ✓ ✓

Verisurf X ✓ ✓ ✓ ✓ ✓

NRK SpatialAnalyzer ✓ ✓ ✓ ✓

LK Metrology CAMIO: Simulation des Scanpfades InnovMetric Polyworks: Teil-gegen-CAD-Vergleich


3D Systems Geomagic Metrologic Metrolog X4

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Nikon Metrology unterstützt die Kunden beim Einsatz von messtechnisch gesteuerten Fertigungsprozessen. Die produktionsintegrierte Messtechnik sammelt genaue Geometriedaten, um die Präzision und Geschwindigkeit der Konstruktions-, Fertigungs- und Zusammenbauprozesse kontinuierlich zu steigern.


LASER RADAR

KMG FÜR DEN EINSATZ IN DER WERKSTATTUMGEBUNG

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Laser Radar ist ein vielseitiges Messsystem, das berührungslose Messungen mit tatsächlich nur einem Systembediener ermöglicht. Durch die Möglichkeit der CNC-Programmierung ist es auch im vollständig mannlosen Betrieb einsetzbar. Laser Radar arbeitet mit einer patentierten Technologie, die nur das Rücksignal des milliardsten Teils des reflektierten Laserstrahls benötigt und eine direkte Flächen- und Merkmalerfassung bei bei hohen Datenraten ermöglicht. Kurz gesagt, das Laser Radar kommt ohne den aufwändigen Einsatz von optischen Targets, Retroreflektoren (SMR – Spherically mounted Retroreflectors) oder Handtastern aus. Messzeiten und Bedienungskosten werden daher erheblich reduziert. Das erklärt, warum Laser Radar in der Lage ist, dunkle diffuse und hochglänzende Werkstoffe und Oberflächenfinishs unter schwierigsten Einfallswinkeln zu messen.

Anwendungen• Inspektion von Flugzeugrümpfen, Tragflächen, Verbindungen

zwischen Tragfläche/Flugzeugkörper, Fahrwerksklappen und Düsentriebwerken

• Spalt- & Bündigkeitsprüfung an Düsentriebwerkverkleidungen• Automatisierte Messung von Nietlochpositionen• Formen-, Erstmuster- und Serienprüfung von Verbundteilen• Prüfung von großvolumigen Fertigteilen direkt am Messsystem• Maßhaltigkeitsprüfung an Schmiede- und Pressteilen, bevor das

Fräsverfahren startet • Messen von Turbinenschaufeln und Solarzellen• Hardware-Kontrolle an Raumteleskopen, Parabolantennen und

erhitzten Oberflächen

Merkmale• Messbereich für MV351 max. 50 m, MV330 max. 30 m • Mit bis zu 2.000 Punkten pro Sekunde schnelle Datenerfassung im Vision

Scan Prüfmodus • Genauigkeit ab 24 µm (2 m Abstand) • Leistungsstarke Funktionen für die Bohrloch- und Kantenmessung• Erweitertes Sichtfeld durch den Einsatz von Spiegelm• Alle Messdaten werden automatisch auf ein einziges angrenzendes

Koordinatensystem bezogen• Unterstützung verschiedenster Softwareprogramme für großvolumige

Messanwendungen

Vorteile• Höhere Produktivität durch schnelle Messzeiten und niedrige Bedienerkosten• Berührungslose Messung: ideal für weiche, empfindliche oder unzugängliche

Prüfobjekte• Sinkende Kosten und Wegfall von Bedienfehlern durch Automatisierung • Zuverlässige Entfernungsmessungen an Verbundwerkstoffen• Nahtlose Integration in den Messprozess

Das Laser Radar wird für das Messen großvolumiger Bauteile in Größenordnungen von der Flugzeugtür bis hin zum kompletten Flugzeug eingesetzt. Es ist kostensparend und verbessert gleichzeitig die Produkt- und Prozessqualität.

AUTOMATISIERTE, BERÜHRUNGSLOSE PRÜFUNG GROSSER OBJEKTE

Laser Radar MV331/351PRODUKTIONSINTEGRIERTE MESSTECHNIK / ROBOTERBASIERTE MESSTECHNIK

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Das auf Industrierobotern installierten Laser Radar ist ein innovativer Ansatz der Karosseriemessung.Dieses für die Fertigungsumgebung entwickelte System ermöglicht präzise Maßhaltigkeitsmessungen innerhalb des Fahrzeugkoordinatensystems und einen direkten Vergleich mit dem CAD-Modell, ohne eine Referenz zu benötigen. Anders als ein Horizonalarm-KMG führt es Hochgeschwindigkeitsmessungen durch, die auf einen kurzen Produktionszyklus abgestimmt sind. Gleichzeitig ist dies eine flexible Lösung, die sich problemlos an Änderungen im Modelldesign und in der Fertigungsplanung anpasst.

FERTIGUNGS-KMG FÜR DIE KAROSSERIEPRÜFUNG

Das an einem Roboter installierte Laser Radar ist eine einzigartige Alternative zu traditionellen Horizontalarm-KMGs

Merkmale wie Lochbohrungen, Langlöcher, Bolzen etc. werden automatisch mit einer Scangeschwindigkeit von 2.000 Punkten/s gemessen

Inline-Karosserieprüfung: An jeder Rohkarosse werden verschiedene Merkmale in der Taktzeit der Montagestraße geprüft. Nach einigen Durchgängen sind alle kritischen Merkmale vermessen.

Merkmale• Flexible, automatisierte Inspektion• Absolute Messungen im Fahrzeugkoordinatensystem• <0,1 mm Genauigkeit über das gesamte Fahrzeugvolumen• Ein großer Arbeitsabstand beugt Kollisionen vor• Vollständig (offline) programmierbar• Erhältlich als eigenständige oder roboterintegrierte Lösung

für den Einsatz im Messraum, außerhalb oder innerhalb in der Fertigungslinie

• Kompatibel mit Industrierobotern führender Hersteller• Anwendungssoftware führender Anbieter (Metrolog, Polyworks etc.) integrierbar

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Mit der Umstellung der Karosserieprüfung auf Qualität 4.0 entsteht ein vollautomatischer, berührungsloser und absolutgenauer Messprozess mit direkter Integration in die Fertigungslinie. Herkömmliche Prüfverfahren, wie Koordinatenmessgeräte (KMGs), werden durch neuere, automatisierte Ansätze ersetzt, wie Laser Radar-Systeme sie bieten. Je besser und einheitlicher die gelieferten Messdaten sind, desto engmaschiger kann eine Fertigungslinie überwacht werden. Dies gilt insbesondere für die Automobilindustrie, wo die gesteigerte Qualität und Wiederholpräzision sich in den Produktions-, Prototypen- und Vorserienphasen bemerkbar macht. Dadurch werden die Vorlaufzeiten für ein neues Fahrzeug deutlich verkürzt.

QUALITÄT 4.0 AUF DEM VORMARSCH

Teilemessung: Eine auf einem Lift installierte Laser Radar-Einheit prüft die Vorder- und Rückseiten mehrerer Bauteile auf Drehtischen.

Horizontalarm-KMG wird ersetzt: Eine roboter-installierte Laser Radar-Einheit misst sechs Mal schneller als ein herkömmliches Horizontalarm-KMG. Durch die deutlich schnellere Erfassung von Karosserie-Messdaten können mehr Rohkarossen geprüft werden und man erhält schneller Rückmeldungen zum Fertigungsprozess.

Messung neben der Montagestraße mit Drehtisch: Eine Karosserie wird von der Montagestraße auf einen Drehtisch geladen. Ein auf einem stationären Lift installiertes Laser Radar misst die Karosserie von verschiedenen Seiten.

Messung neben der Montagestraße: Eine Karosserie wird von der Montagestraße genommen und vollständig geprüft. Zwei oder vier Roboter gewährleisten höchste Messproduktivität. Nach der Prüfung wird die Karosserie wieder der Montagestraße zugeführt.

DIE KUNDENVORTEILEDa die Produktionszyklen immer kürzer und flexibler gestaltet werden müssen, sind die Automobilhersteller stets bestrebt, den Zeit- und Kostenaufwand zu reduzieren, ohne Abstriche bei der Qualität machen zu müssen. Das automatisierte Laser Radar an einem Roboter ist die richtige Lösung für die Messung von Fahrzeugkomponenten direkt in der Fertigungslinie, da es die Anforderungen nach flexiblen und absoluten Messungen erfüllt. Für Fahrzeughersteller bedeutet dies:

Kürzere Anlaufzeiten für neue Produktionslinien oder bei Modelländerungen: Während der Anlaufphase können die ursprünglich produzierten Fahrzeuge in kurzer Zeit vollständig gemessen und mit CAD verglichen werden. Bessere Einblicke in die Konformität der Produkte, gleichzeitig schnellere Abstimmung der Fertigungsprozesse.

Weniger Qualitätsprobleme: Durch die intensive Überwachung der Produktqualität lässt sich der Fertigungsprozess bei Abweichungen sofort korrigieren.

Zukunftssichere Daten: In absoluten Koordinaten erfasste Messwerte eignen sich am Besten für den digitalen Fertigungsprozess, in dem große Datenmengen als Grundlage für den Vergleich von Daten über längere Zeiträume verwendet werden. Sie verbessern den Einblick, die Entscheidungsfindung und Prozessautomation und beschleunigen gleichzeitig die Produktentwicklung.

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Der Einsatz von Präzisionsmessinstrumenten garantiert Qualitätssicherung auf höchstem Niveau innerhalb des gesamten Produktionsprozesses. Basierend auf der Erfahrung von Nikon im optischen Bereich setzen Videomesssysteme, Messmikroskope, Profilprojektoren und optische Komparatoren neue Standards für die Qualitätsprüfung, selbst für kleinste Messobjekte.

MESSINSTRUMENTE

VIDEOMESSSYSTEME

MESSMIKROSKOPE

PROFILPROJEKTOREN

DIGITALE LÄNGENMESSSYSTEME

AUTOKOLLIMATOREN

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Unter Einsatz einer optischen Mess- und Bildverarbeitungstechnik prüfen iNEXIV CNC Videomesssysteme automatisch die Maßhaltigkeit verschiedenster Präzisions- und Elektronikteile. Die Bilder der CCD Kamera und die Datenverarbeitung sorgen für eine präzise Kantenerkennung am Messobjekt und ermöglichen die Messung komplexer Formen

Das iNEXIV VMA-2520 ist ein neues Multisensor-Videomesssystem, das so leicht und kompakt ist, dass es in Fabrikumgebungen auf der Werkbank verwendet werden kann. Aufgrund seiner schnellen, vollautomatischen und hochpräzisen Funktionen eignet es sich ideal für eine Vielzahl von Anwendungen im Bereich industrieller Messung, Prüfung und Qualitätssicherung. Das iNEXIV, das für die Vermessung dreidimensionaler Proben entwickelt wurde, kann Messtaster aufnehmen und wartet mit der neuesten Bildverarbeitungssoftware, der neuen 10x-Zoom-Optik und einer Laser Autofokus-Option auf.

Die kostengünstige VMA-4540V/4540 Variante dagegen bietet ein größeres Messvolumen, sodass auch größere und höhere mechanische und elektronische Komponenten geprüft werden können. Während das VMA-4540V ausschließlich für Videomessungen konzipiert ist, kann das VMA-4540 System zusätzlich einen schaltenden Taster aufnehmen.

Das VMA-6555 eignet sich für die Vermessung großer Objekte (bis zu 650 x 550 x 200 mm) oder mehrerer kleiner Bauteile gleichzeitig. Es zeichnet sich durch ein optimales Preis-Leistungs-Verhältnis aus. Dies zeigt sich bei der Ausstattung: Der Systemkörper sowie die Führungslager sind identisch zu den High-End-Modellen. Das VMA-6555V ist ausschließlich für Videomessungen konzipiert, während das VMA-6555 System mit einem Taster ausgestattet ist.

Anwendungen• Mechanische Werkstücke (wie z.B. Metall- und Spritzgussteile) • Elektronische Baugruppen• Gussteile• Spritzgussformen• Medizinprodukte

Merkmale• Geringe Aufstellfläche und geringes Systemgewicht von nur

72 kg (VMA-2520)• Verfügbare Messbereiche:

- 250 x 200 mm Messweg in XY und 200 mm in Z (VMA-2520)- 450 x 400 mm Messweg in XY und 200 mm in Z (VMA-4540)- 650 x 550 mm Messweg in XY und 200 mm in Z (VMA-6555)

• Modernste VMA AutoMeasure-Software• Schneller und hochleistungsfähiger Laser-Autofokus (optional)• Multisensorfähig: optische Messaufnehmer, Laser und

schaltende Messtaster

Vorteile• Hohe Präzision durch weiße LED-Beleuchtung und den Einsatz

von Aluminiumlegierungen in der Konstruktion• Schnelle und präzise Messtischsteuerung für einen höheren

Messdurchsatz• Neue Zoomoptik, die 3D-Teilemessungen einfacher macht• Fortschrittliche Bildverarbeitungsalgorithmen und intelligente

Suchfunktionen

iNEXIV VMA-6555 Modell mit großem Messbereich AluminiumgussteiliNEXIV VMA-2520

MULTISENSORFÄHIGE CNC-VIDEOMESSSYSTEME

iNEXIV VMA-2520 / VMA-4540 / VMA-6555

iNEXIV VMA-4540

MESSINSTRUMENTE

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Die genaue Vermessung von hochentwickelten Produkten (d. h. Smartphones und Tablets) und die extrem schnelle Bildverarbeitungstechnik für die Massenproduktion sind in der Messtechnik zum Standard geworden. Diese NEXIV Systeme der nächsten Generation wurden speziell für die schnelle und präzise Maß- und Formkontrolle von hochdichten, mehrschichtigen Elektronikbauteilen entwickelt.

Merkmale• Laser-Autofokus, entwickelt zum Detektieren der Oberfläche von

dünnen, transparenten Werkstoffen.• 6 Modellvarianten optischer Zoomsysteme• 8-segmentige Ringbeleuchtung mit drei Neigungswinkeln• Gesteigerte Messgenauigkeit durch hochauflösendes Wegmesssystem • Das System ist in verschiedenen Größen erhältlich (VMZ-R3020,

VMZ-R4540, VMZ-R6555)• Bedienerfreundliche Benutzeroberfläche der Software: Jeder

Anwender kann das System einfach bedienen und automatisierte Messprogramme erstellen

Äußerst präzise und schnelle MessungenDas im Hause Nikon entwickelte Wegmesssystem ermöglicht eine höhere Genauigkeit beim Messen. Außerdem wurde die Gesamtmesszeit dank einer optimierten Bildübertragungstechnik und Änderungen an der Lichtquelle verkürzt.

Flexibilität beim MessenEine dritte Ringbeleuchtung wartet mit einer erweiterten Kantenerkennungsfunktion auf. Gleichzeitig wurde die Fähigkeit des Systems, transparente Bauteile messen zu können, durch den optimierten TTL (Through The Lens) Laser-Autofokus verbessert.

Größere BedienerfreundlichkeitDas Gerät ist nun deutlich schneller einsatzbereit, da jetzt mit nur wenigen Schritten Teaching-Dateien erstellt werden können. Das Hauptprogramm wurde durch die neue Funktion der „Anleitungsseite“ verbessert, die Lernprozesse vereinfacht und verständlicher macht.

8-segmentige Ringbeleuchtung mit drei NeigungswinkelnDie Auflicht-, Durchlicht- und Ringbeleuchtung arbeitet mit weißen LED-Lichtquellen und bietet Stabilität und Langlebigkeit.Ringbeleuchtung mit drei Neigungswinkeln für eine präzise Kantenerkennung.

Niedriger Neigungswinkel/langer Messabstand

37 °Messabstand: 50 mm 55 ° Messabstand:36 mm 78 ° Messabstand:10 mm

Hoher Neigungswinkel/kurzer Messabstand

Schützende Glasoberfläche

Substrat

Neuer Laser-Autofokus, entwickelt zum Detektieren der Oberfläche von dünnen, transparenten Werkstoffen. Der neue Sensor erkennt sowohl Ober- als auch Unterseiten.

VMZ-R3020

VMZ-R4540

VMZ-R6555

Neues 8-segmentige Ringbeleuchtung mit drei Neigungswinkeln für eine optimale Kantenerkennung

DIE NEUESTEN TECHNOLOGIEN DER RENOMMIERTEN NEXIV-BAUREIHE

NEXIV VMZ-R

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Das konfokale NEXIV Videomesssystem, das durch revolutionäre Multifunktionalität besticht, wurde auf Basis der marktführenden Erfahrung von Nikon im Bereich der Opto-Mechatronik (optische, mechanische und elektronische Technologien) entwickelt. Es umfasst konfokale Optiken für die schnelle und genaue Auswertung detaillierter 3D-Oberflächen und eine Hellfeld-Optik mit 15-fachem Zoom. In ein und demselben FOV können gleichzeitig 2D- und Höhenmessungen durchgeführt werden. Das konfokale NEXIV Videomesssystem kommt bei der Prüfung hochkomplexer Strukturen wie Kontaktierungshöhen (Bumps) an Halbleiterbauteilen der neusten Technologie, Prüfkarten, Lasermarkierungen auf Wafern und anderen anspruchsvollen Anwendungen optimal zum Einsatz.

Anwendungen• Kontaktierungshöhen an Halbleiterbauteilen der neuesten

Technologien• Prüfkarten• Optische Präzisionsteile (Mikrolinsen, Kontaktlinsen)• Lasermarkierungen auf Halbleiter-Wafern• MEMS• Drahtbonden

Merkmale• Simultane Weitwinkel-Höhenmessungen mit von Nikon entwickelter

konfokaler Optik• 2D-Messung mit Hellfeld-Zoomoptik in 15-facher Vergrößerung• Vollständige Kompatibilität für die Prüfung von 300 mm Wafern• Erhältlich in verschiedenen Größen: VMZ-K3040 und VMZ-K6555

In Z aufgenommene konfokale Bilder werden in Echtzeit in Form von 3D Konturgrafi-ken und tiefenscharfen (EDF – Extended Depth of Focus) Bildern rekonstruiert.

Betrachtung der Waferebenen von oben und 3D-Darstellung (Softwareoption)

Feine Kontaktierungsflecken und Muster auf Substraten

ERSTELLUNG VON 3D MESSUNGEN MITTELS KONFOKALER BILDER

KONFOKALES NEXIVMESSINSTRUMENTE

VMZ-K6555

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Die Messmikroskope von Nikon überzeugen durch Leistung, Bedienkomfort und eine beispiellose Flexibilität, wenn es um Upgrades und Erweiterungsmöglichkeiten geht. Die MM400/800 Serie liefert komplette digitale Kontrolle für ein Maximum an Messgenauigkeit in einem stetig in den Anforderungen wachsenden industriellen Umfeld. Messmikroskope sind hervorragend zur Inspektion und Messung von kleinen 2D- und 3D-Messobjekten geeignet.

Das MM-200 ist ein kompaktes und leichtgewichtiges Messmikroskop und wird zu einem optimalen Preis-Leistungs-Verhältnis angeboten. Testobjekte aus den verschiedensten Industriebereichen, ob aus Metall oder Kunststoff sowie Elektronikbauteile werden mit Präzision und Genauigkeit gemessen. Das Messmikroskop wird hauptsächlich in der Automobil- und Elektronikindustrie eingesetzt.

Anwendungen• Lab-on-a-Chip• MEMS• Kunststofffertigung (z. B. beim Spritzgussverfahren)• Medizinprodukte• Mikroelektronik und Optoelektronik• Mikrotooling• Oberflächenanalyse• Bruch- und Fehleranalyse

Verwandte Produkte• NEXIV und iNEXIV Videomesssysteme • Mikroskope für industrielle Anwendungen

Merkmale• Nikon Digitalkameras und E-Max Messsoftware nahtlos integrierbar• Leistungsstarke, weiße LED Beleuchtung als Grundausstattung für ein

optimal ausgeleuchtetes Sehfeld• Integrierte Schnittstelle vereinfacht die automatisierte Beleuchtung, XY- und

Z-Verfahrweg können von der Software E-Max aufgenommen werden• Optionaler TTL Laser-Autofokus• Messtische sind bis zu einer Größe von 300 x 200 mm für größere

Testobjekte erhältlich

Vorteile• Herausragende geometrische Datenverarbeitung und –sicherung • Benutzerfreundlichkeit durch verschiedene motorisierte Kontrollfunktionen

und das ergonomische Design• Aufnahme größerer Messtische durch verstärkten Korpus• Erweiterte Beobachungsverfahren durch den Einsatz von verschiedenen

Beleuchtungs- und Lichtquellenoptionen• Optional ist ein vollständig motorisiertes Hochleistungs-Messmikroskop mit

digitalen Bildverarbeitungsfunktionen erhältlich

PGA - Einfügestift Bildergebnis eines optimal ausgeleuchteten Sichtfelds

CCD Kunststoffzahnrad

MM-200

MM-800 Messmikroskop

MM-400

VERBINDEN DIGITALE BILDERFASSUNG UND INDUSTRIELLE MESSTECHNOLOGIE

Messmikroskope der Modellreihen MM-800/400/200

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V-20B

Die Profilprojektoren von Nikon wenden das optische Prüfprinzip auf die Inspektion von gefertigten Werkstücken an. Dabei wird die vergrößerte Abbildung des Testobjekts auf die Mattscheibe projiziert. Um allen Kundenanforderungen gerecht zu werden, wird der Profilprojektor mit einer Anzahl an verschiedenen Projektionslinsen geliefert. Jede Linse ist in puncto Vergrößerung, Arbeitsbereich und Sehfeld unterschiedlich.

Der V-20B hat einen großen effektiven Bildschirmdurchmesser von 500 mm. Sein herausragendes Auflichtbild und die hohe Genauigkeit ermöglichen das präzise Messen von Profilen, Oberflächen und größeren Werkstücken.Die Horizon-Reihe der Tisch-Komparatoren in horizontaler Bauweise liefert eine leistungsstarke, zuverlässige Beleuchtung für die Überprüfung und Messung von Oberflächen und Profilen.

Anwendungen• Profilerstellung (Werkstücke aus Metall oder Kunststoff)• Kontrolle von Oberflächenbeschaffenheiten• Kontrolle von Teilemerkmalen• Bruch- und Fehleranalysen

MF-1001/MF-501 Digimicro

Das MF-1001 und das MF-501 sind digitale Mikrometer, die Überprüfungen von Abmessungen, Breite und Tiefe per Kontaktmessung durchführen. Sie weisen eine Messlänge von 100 mm bzw. 50 mm und ihre Genauigkeit bei 20° C beträgt 1 µm. Für erhöhte Stabilität sind die Ständer in Keramik, Stahl oder Granit erhältlich. Ebenso stehen unterschiedlichste Tastspitzenkonfigurationen zur Verfügung, um maximale Vielseitigkeit zu gewährleisten.

Digitales Mikrometer MF-501Digitales Mikrometer MF-1001

V-12B

6B/6D Autokollimatoren

Die Autokollimatoren aus dem Hause Nikon Metrology messen und überprüfen die Parallelität von Endflächen, die Rechtwinkligkeit, Ebenheit oder Geradlinigkeit von Bewegungen (Richtungsprüfungen). Die Dunkelfeld-Ausführung eignet sich ideal für die Messung kleiner, flacher Spiegel. Die Hellfeld-Ausführung bedient sich der legendären Nikon Optik zur Beleuchtung von Oberflächendetails.

Anwendungsbereiche: Prüfung von Oberflächenenbenheiten, Fluchtungsprüfung von Komponenten mit reflektierenden Oberflächen (z.B. Pick-Up Linsen von CD Playern) sowie Winkel- und Schrittmessungen von beweglichen Maschinenkomponenten

Verwandte ProdukteFolgende Profilprojektoren stehen zur Auswahl: • V-20B (Durchmesser der Mattscheibe 500 mm)• V-12 B (Durchmesser der Mattscheibe 300 mm)• Horizon 16E (Durchmesser der Mattscheibe 400 mm, nur USA)

HÖCHSTE PRÄZISION UND LEISTUNG

Profilprojektoren, digitale Längenmesssysteme, Autokollimatoren

Profilprojektoren

MESSINSTRUMENTE

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Als ein weltweit führendes Unternehmen in optischen Technologien fertigt Nikon optische und digitale Mikroskopsysteme mit vielfältigen Einsatzmöglichkeiten, herausragender Leistung und hoher Produktivität.

MIKROSKOPE FÜR INDUSTRIELLE ANWENDUNGEN

STEREOMIKROSKOPE


RASTERELEKTRONENMIKROSKOPE SOFTWARE

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Die SMZ25 und SMZ18 Mikroskope revolutionieren die Stereomikroskopie. Die Vorteile: ein einzigartiger Vergrößerungsbereich, eine extrem leistungsfähige Optik, Bedienerfreundlichkeit und hohe Flexibilität durch den modularen Aufbau.

Die neue SMZ-Serie bietet eine große Funktionsvielfalt – von einfachen stereoskopischen Bildern bis hin zu komplexesten Beobachtungsverfahren in beispielloser Qualität.

Merkmale• Weltweit höchster Zoombereich (25:1 - SMZ25) und höchste Auflösung

in der SMZ-Serie (SMZ25)• Motorisierter Fokus und Zoom (SMZ25)• Extrem klare Bilder mit Fluoreszenz oder normaler Beleuchtung• Einfach zu bedienende LED DIA Basis mit OCC Beleuchtung (die

Methode der „Schrägbeleuchtung“ wurde von Nikon entwickelt)

• SMZ 25/18• SMZ 1270i/1270/800N• SMZ 745/745T • SMZ 445/460 • SMZ-2

Injektionsnadel UhrwerkLeiterplatte (Fluoreszenz)Leiterplatte (Hellfeld)

SMZ745TSMZ1270i

SMZ800N

EIN MEILENSTEIN FÜR DIE STEREOMIKROSKOPIE

Umfassende Auswahl an Stereomikroskopen

Das Stereomikroskop SMZ1270/SMZ1270i bietet den höchsten Zoomfaktor seiner Klasse. Das SMZ800N verfügt über eine herausragende Optik und hohe Bedienerfreundlichkeit.

Diese Stereomikroskope bestechen sowohl durch eine exzellente optische Performance mit weitem Vergrößerungsbereich, großem Zoombereich und hohem Auflösungsvermögen als auch Bedienkomfort. Die Bildbrillanz und verbesserte Bedienbarkeit ist Anwendern in vielen Bereichen – von medizinischen bis hin zu industriellen Anwendungen – von Nutzen.

Nikon Metrology bietet eine umfangreiche Auswahl an Stereomikroskopen mit vielfältigen Funktionen, vom kostengünstigen, ergonomischen Modell bis hin zur Variante für komplexe Untersuchungen. Folgende Modelle stehen zur Auswahl:


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Nikon Metrology bietet eine umfangreiche Auswahl an Industriemikroskopen für vielfältige Anwendungsbereiche, von Modellen in Grundausstattung bis zu äußerst hoch entwickelten Systemen für High-End-Prüfungen. Die Eclipse Serie umfasst optische und digitale Mikroskope, die sich durch vielseitige Einsatzmöglichkeiten, Leistungsfähigkeit und Produktivität auszeichnen.

Die kompakte Eclipse LV100N Serie bietet eine unübertroffene Optik und ErgonomieNikon Mikroskope der Eclipse Serie sind berühmt für ihre scharfen und kontrastreichen Bilder. Das LV100N liefert hellere Bilder bei geringerem Stromverbrauch und wirkt aufgrund der verminderten Wärmeabstrahlung der temperaturinduzierten Defokussierung entgegen.

LV150N für industrielle PrüfanwendungenDie Mikroskope der Eclipse LV150 Serie liefern hervorragende Ergebnisse bei der Prüfung von Halbleitern, Flachbildschirmen, IC Gehäusen, elektronischen Substraten, Werkstoffen, medizinischen Geräten und zahlreichen anderen Objekten.

L200N für die Prüfung von 200 mm Wafern und MaskenIn Verbindung mit dem CFI60-2, der legendären Optik aus dem Hause Nikon, und dem neuesten Beleuchtungssystem, bieten die Mikroskope dieser Baureihe hellere, kontrastreichere Bilder. Die L200 Serie ist besonders für die Inspektion von Wafern, Photomasken und Substraten geeignet.

L300N für die fehlerfreie Prüfung von großvolumigen LCDs und WafernKonfiguriert für 300 mm Wafer- und Maskeninspektion, erfüllt die Eclipse L300 Serie auch die Anforderungen für die Endkontrolle von Flachbildschirmen. Die L300 Baureihe ist mit der bewährten Nikon CFI60-2 Optik ausgestattet und bietet höchste Auflösung und Kontrast sowie bestmögliche Transmission.

Inverses, metallurgisches Mikroskop Eclipse MA200 / MA100NDas MA200 ist ein inverses, metallurgisches Mikroskop, das für die digitale Bildgebung und ergonomische Effizienz optimiert wurde. Dank seiner einzigartigen Boxenkonstruktion sind alle wichtigen Elemente leicht zugänglich: das Prüfobjekt auf dem Messtisch, der Objektivrevolver, die Filter und Schieber. Das System benötigt etwa 1/3 weniger Stellfläche als ein herkömmliches Modell. Das Eclipse MA100N ist ein kompaktes, inverses Mikroskop für die Hellfeldbeobachtung und einfache Polarisationsmikroskopie.

NWL200 Wafer Loader System für IC PrüfmikroskopeDer NWL200 Wafer Loader kann Wafer mit einer Dicke von 100 Mikrometer aufnehmen. Mit einem neuen Einspannsystem können die NWL200 Systeme zuverlässige Ladevorgänge ausführen und eignen sich für die Inspektion von Halbleitern der nächsten Generation.

Verwandte Produkte• Modulbauweise, erweiterbar mit zahlreichem Zubehör wie z.B. verschiedene

Kontrastverfahren, Linsen, Messtischen, Wafer Loadern, ganz auf die Bedürfnisse der Messaufgabe zugeschnitten

• Auswahl an speziellen Mikroskopvarianten für spezifische Inspektionsaufgaben (Polarisation und metallurgische Nutzung)

• Motorisierte Objektivrevolver und digitale Bildbearbeitung sind optional erhältlich

Eclipse L300NEclipse L200N

Eclipse LV100ND Eclipse LV150N

Eclipse MA200MA100N

Wafer-Einspannsystem NWL200

OPTISCHE UND TECHNOLOGISCHE INNOVATION DER SPITZEN-KLASSE

Industrielle Mikroskope der Eclipse Serie

OPTISCHE UND TECHNOLOGISCHE INNOVATION DER SPITZENKLASSE

Mikroskop-Kameras

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VLSI Standard-Schritthöhe: 8 nm Planarer SiC Wafer

HOCHGENAUE VERTIKALE AUFLÖSUNG VON 1 PICOMETER

Mikroskopsysteme der BW-S/D Serie für die Weißlichtinterferometerie

Kieselalgen Schaum

Das neue JCM-6000Plus „NeoScope™“ ist ein multifunktionales Table-Top Rasterelektronenmikroskop, das über Touchscreen bedienbar ist. Es stellt die Antwort auf die zunehmend wechselnden Anforderungen von Anwendern weltweit dar. Mit der hohen Auflösung und der ausgezeichneten Tiefenschärfe des leistungsstarken REMs ist das NeoScope in der Lage, eine schnelle Fehleranalyse von Proben zu liefern. Funktionen wie Auto Fokus, Auto Kontrast und Auto Helligkeit machen das NeoScope einfach zu bedienen. Proben können in weniger als drei Minuten eingeführt und analysiert werden. Die Probe muss in den meisten Fällen vorher nicht präpariert werden. Voreingestellte Settings können leicht wiederverwendet werden, um eine schnelle Automation des Inspektionsprozesses der verschiedenen Proben zu gewährleisten. Das NeoScope ermöglicht zwei verschiedene Betriebsmodi: Hochvakuum und Niedervakuum und bietet drei Einstellungen für die Betriebsspannung (5 kV, 10 kV, 15 kV).

NeoScope REM

DIE EINFACHHEIT OPTISCHER MIKROSKOPIE UND LEISTUNG EINES RASTERELEKTRONENMIKROSKOPS (REM) IN EINEM SYSTEM

NeoScope – das leistungsstarke Table-Top REM


Mikroskope der BW-S/D Serie eignen sich für die schnelle und präzise Messung von Oberflächenprofilen mit Höhenunterschieden vom Subnanobereich bis hin zu Millimetern. • Hohe Genauigkeit und Wiederholpräzision – Kalibrierung durch ein

8 nm oder 8 µm VLSI Standard-Stufenendmaß, zertifziert durch die US-amerikanische Akkreditierungsstelle NIST

• Hochpräzise/extrem schnelle Bilderfassung durch ein Interferenzobjektiv mit Strahlteiler

• 1 pm Höhenauflösung in 2,5- bis 100-facher Vergrößerung• Konfigurationsanalyse eines großen Bereichs dank Stitching-Funktion

(Zusammenführung mehrerer Bilder)• Sechs Modelle stehen zur Wahl – für unterschiedliche Einsatzzwecke

und Budgets

Software AutoMeasure (Messinstrumente)

Benutzerfreundliche Software für automatisierte MessungenAutoMeasure verfügt über ein intuitives Hilfemenü, eine anpassbare Benutzeroberfläche, einen Anwendungs- und Programmiermodus und ist in verschiedenen Landessprachen erhältlich.Die AutoMeasure Software wird auf den iNEXIV VMA und NEXIV VMZ-R Videomesssystemen betrieben.

Auto MeasureEyes (iNEXIV)Auto MeasureEyes ermöglicht die einfache Ausführung von Messprogrammen, die mit nur wenigen Klicks programmierbar sind. Die Software bietet außerdem umfassende Berichterstellungsfunktionen und somit tieferen Einblick in die Produktqualität.

Datenverarbeitungssoftware E-Max (Messinstrumente)

FOV (Field-of-View) Messungen mit fortschrittlicher digitaler BildverarbeitungstechnologieDie E-Max Messsoftware bietet die neueste Bildverarbeitungstechnologie. Sie wird für eine Vielzahl an Messaufgaben eingesetzt und kann in Verbindung mit Messmikroskopen und Profilprojektoren betrieben werden.

Software NIS-Elements

Bildanalyse und Bilddatenbanken, Steuerung von Mikroskop-Systemen Die Software NIS-Elements von Nikon setzt neue Standards für den Mikroskopmarkt, da sie in der Lage ist, Mikroskope, Kameras, Zubehör und Peripheriegeräte mit automatisierter Intelligenz und leistungsfähigen Funktionen für die Archivierung, Analyse und Visualisierung von Bildern zu verbinden. Die intuitive Bedieneroberfläche der Software vereinfacht Arbeitsabläufe und beschleunigt die Bilderfassungsrate. Gleichzeitig bietet sie vielfältige Funktionen wie Stitching (Zusammenfügen von Einzelbildern), Objektzählung und Volumendarstellung.

SOFTWARE – ÜBERBLICK

CMM-Manager für die iNEXIV

Erweiterte Möglichkeiten der MultisensormessungErweitern Sie die 3D-Messfähigkeit Ihrer taktilen und bildbasierten 3D-Messsysteme mit dem CMM-Manager, der nun auch für die Nikon iNEXIV erhältlich ist. Der CMM-Manager bietet eine aufgabenorientierte, selbsterklärende Messumgebung mit leistungsfähigen Funktionen für die Messung und Berichterstellung. Die Software zeichnet sich durch Funktionen aus, wie die CAD-basierte Definition von kollisionsfreien Tasterwegen, die virtuelle Simulation von Tasterwegen und die präzise taktile und optische Merkmalsmessung.

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Nikon Metrology bietet Messtechniklösungen gemäß ISO 9001/2000 und UKAS für unterschiedlichste Branchen und führende Kunden in einem globalen Markt und bedient sich dabei eines weltweiten Netzwerks von hervorragend ausgebildeten Messtechnikexperten. Die komplette Bandbreite des Kundendienstes umfasst den Helpdesk-Support, Schulungen, Wartungsprogramme, Nachrüstmöglichkeiten und Auftragsarbeiten, sodass unsere Kunden den maximalen Gewinn aus ihren Nikon Metrology-Lösungen erzielen oder ihre Messproblematiken in kürzester Zeit lösen können.

HELPDESKDirekthilfe – die Fähigkeiten und das technische Fachwissen, um Ihre Anwendungs-/Softwareprobleme durch spezielle Helpdesk-Techniker zu lösen.

MESSTECHNIK PRODUKTSCHULUNGEN/SEMINAREWissensdatenbank – Basierend auf langjähriger Erfahrung führt unser Fachpersonal bei uns im Haus oder vor Ort beim Kunden Software- und Hardwareschulungen und Seminare für Anfänger und Fortgeschrittene durch.

PROGRAMMIERBERATUNGOperative Unterstützung – hochqualifizierte Techniker liefern Werkstückprogramme oder Beratung beim Programmieren. Durch dieses Fachwissen können Sie die Zeiten für Ihre Produktprüfung verringern.

WARTUNG UND KALIBRIERUNGKundendienst – das Personal, die modernste Technologie und Logistik, um die Zuverlässigkeit, Laufzeit und Leistungsfähigkeit Ihres Systems zu maximieren.

LOHNMESSUNGENNikon Metrology bietet Lohnmessungen verschiedenster Art an. Das umfassende Produktportfolio enthält das richtige Werkzeug für jede Messaufgabe des Kunden. Zusätzlich zu Nikon Metrology eigenen Messdienstleistungen verfügt Nikon Metrology über ein ausgedehntes Netz an Nikon Metrology-Kundendienstzentren, die von Nikon Metrology für Lohnmessungen zertifiziert wurden.

• Messungen mit Laserscantechnik für Prüfungen des Teils gegen CAD oder die Flächenrückführung.

• Röntgen- oder CT-Messungen für Elektronik- oder industrielle Bauteile

AUF- UND NACHRÜSTUNGENEine Nachrüstung mit einem Nikon Metrology Scanner kann die Produktivität vorhandener KMGs steigern und ihre Einsatzmöglichkeiten erweitern. Passend für all Ihre derzeitigen und künftigen Bedürfnisse steht Ihnen ein komplettes Angebot an Scannern und Anwendungssoftware zur Verfügung.

KUNDEN

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