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4000Plus Mul t i f unk t i ons tes te r
Engineered for Excellence
www.nordsondage.com
Der Nordson DAGE 4000Plus ist der
fortschrittlichste Bondtester auf dem Markt
und bietet unübertroffene Messgenauigkeit
und Reproduzierbarkeit. Als eine
Entwicklung des Weltmarktführers in
Bondtest-Technologien, repräsentiert
der Nordson DAGE 4000Plus den
Industriestandard in Bondtests.
Umfangreiche Prüfmethoden
Traditionelle und neu aufkommende Testmethoden werden
mit einer Kombination aus Messdose, Werkzeug und
Werkstückhalterung im Kräftebereich von bis zu 500kg
beim Schertest, bis zu 100kg beim Pulltest und bis zu
50kg beim Pushtest optimal unterstützt.
xy-Tische
Der 160mm Maschinentisch ist bei der
Standardausstattung vorgesehen. Es steht jedoch
eine Reihe von weiteren Größen zur Auswahl. Auch
kundenspezifische Anfertigungen sind möglich.
Image Capture System - digitale Bilderfassung
Einfach und schnell einzurichten,
integriert in unmittelbarer Nähe zum Testkopf
um Prüfzyklen kurz zu halten. Ideal zur
Unterstützung von automatisiertem Testen.
Premium Applikationen
Leading The Way In Bond Testing
Unabhängig des Industriezweigs, wie z.B. der Halbleiterbranche, den weitläufigen Bereichen der Mikroelektronik wie Leistung, Hybrid und Automobil, den Premiumsparten Luft- und Raumfahrt, sowie der Medizintechnik - der Nordson DAGE 4000Plus bietet eine überragende Vielseitigkeit und Präzision, welche dem Anwender vollstes Vertrauen in seine Produkte schenkt. Dieses System beinhaltet unsere neuesten patentierten Bondtest Errungenschaften, beispielsweise eine spielfreie z-Achse. Der Nordson DAGE 4000Plus weist einen enormen Messbereich auf, welcher von 250mg bis 500kg reicht. Unzählige Standard- und Spezialapplikationen finden ihren Einsatz. Es ist hervorzuheben, dass der Nordson DAGE 4000Plus auf den langjährigen Erfolg des Dage Series 4000 aufbaut. Datenkorrelation zwischen den beiden Geräten sei versichert. Die neue Paragon™ Software ist optional auch für die Dage Series 4000 Multifunktionstester einsetzbar.
Bändchen (Ribbon) Pulltest – Eine umfassende
Auswahl an Testhaken und Pinzettengreifern
bietet für jede Bändchengeometrie die
optimale Testmethode.
Hot Bump/Pin Pull – Eine neue Messdose
macht diesen bahnbrechenden Test einfach in der
Durchführung. Diese Methode ist speziell für die
Evaluierung von PCB Basismaterial und Low
Profile Solder Bumps ideal.
First Bond Ball Pull von Kupferdraht und Pulltest
von Studs, Bumps und Pillars – erstmalig erlauben
Spezialpinzetten das sichere Greifen und damit
den Dehnungstest dieser wichtigen Verbindungen.
Fatigue Pull- und Schertest – Der Ermüdungstest
spielt eine herausragende Rolle bei der
Evaluierung der Zuverlässigkeit von
Lötverbindungen. Eine Kombination aus Software
Steuerung und Technik erlaubt Ermüdungstests
für den Pull- und Schermodus.
Passivierungs-Schertest – Eine ausgeklügelte
Softwaresteuerung befähigt das Spezialwerkzeug
in die Passivierung einzudringen und trotz der
schwierigen Gegebenheiten aussagekräftige
Ballschertests durchzuführen.
2 | Nordson DAGE 4000Plus
Pulltest SchertestDraht Ball
Bändchen Lotkugeln
Hot Bump/Pin Pull Standard Chip Schertest
Cold Bump Pull Kavitäts-Ballschertest
Kupferdraht Bonds, Studs und Pillars Passivierungs-Schertest
Stud Bump Low Profile Zone Shear
Vektor Wafer Bump
Ermüdungstests Ermüdungstests
Push Low Profile Chip Schertest
Pinzetten Peeltest High Force Chip Schertest
High Force Pull (bis 100kg) Beheizter Schertest
Vertikaler Stempelzugtest (Stud Pull) Horizontaler Stempelzugtest
Höchste Flexibilität Der Nordson DAGE 4000Plus bietet ultimative Vielseitigkeit und Flexibilität. Wählen Sie aus einer Palette von xy-Tischen mit Verfahrbereichen von bis zu 300mm pro Achse, einem einzigartigen Sortiment an Testverfahren, wie Pushtest bis 50kg, Pulltest bis 100kg und Schertest bis 200kg. Mittels einer genialen Vorrichtung sind sogar Schertests bis 500kg durchführbar. Ein umfangreiches Sortiment an Standard Werkzeugen gewährleistet eine breite Abdeckung für Standard- und Spezialapplikationen. Eine große Auswahl an optischen Hilfsmitteln hält für jeden Anspruch und jede Anforderung die beste Lösung bereit. Für den Großteil der Applikationen wird das Standard Grundgerät, mit seinem vertikalen Arbeitsbereich von 120mm, die richtige Wahl sein. Zum Test von größeren Baugruppen steht mit dem Nordson DAGE 4000Plus LE, ein weiteres System mit erweitertem vertikalem Arbeitsbereich von 200mm zur Verfügung.
Nordson DAGE 4000Plus | 3
Vertrauen in Ihre Messwerte
Servomotoren für bessere Kontrolle Durch die ausschließliche Verwendung von Servomotoren, gegenüber herkömmlich verwendeten Stepper Motoren, lässt sich die Testgeschwindigkeit unter Last exzellent kontrollieren und nachführen. Ebenfalls sind keine Auswirkungen durch
Vibrationen feststellbar.
Rückverfolgbarkeit der Daten Unter Einhaltung von internationalen Standards wird der 4000Plus kalibriert und bietet volle Rückführbarkeit und Datenintegrität beim Test Ihrer Produkte. Die Kalibrierung wird mit geeichten Gewichten der OIML Klasse M1 gemäß nationalen oder internationalen Standards durchgeführt. Alternativ stehen UKAS oder NIST Klasse 1 Gewichte
zur Verfügung.
Automatischer Parallelitätsangleich
des Scherwerkzeugs Die Parallelität zwischen Scherwerkzeug zur Chipkante ist beim Die-Schertest maßgeblich verantwortlich für reproduzierbare Messwerte. Selbstausrichtende Adapter sind optional für High Force Schermessdosen erhältlich um den Winkelfehler zu kompensieren.
Datenkorrelation Als oberstes Gebot hat Nordson DAGE bei der Entwicklung des 4000Plus die Datenkorrelation zwischen neuer Gerätegeneration und früheren Plattformen erachtet. Kunden der Dage Series 4000 und Series 5000 Bondtester können wir eine Vergleichbarkeit der Messdaten versichern. Uns ist bewusst, dass viele unserer Kunden die Werte ein und des gleichen Produkts auf mehreren Maschinen, entweder am gleichen oder an verschiedenen Standorten, zu ermitteln haben. Unsere Systeme liefern unverfälschte Daten und gewährleisten identische Konfigurationen und Testparameter.
Nordson DAGE hat zu diesem Zweck eine tiefgründige interne GR&R Studie zwischen der neuen und den früheren Plattformen durchgeführt. Die Hardware des 4000Plus ist ein Faktor, doch genau so essentiell ist das Zusammenspiel mit Paragon™, unserer neuen Bondtester Software. Import und Export Protokolle, sowie Datenbank Management Tools erlauben einen Datenstrom zwischen neuen, früheren und auch mehreren Systemen.
Integrität der Daten Der 4000Plus bietet eine außerordentliche Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit von Messwerten mit einer Systemgenauigkeit von ±0,1% des selektierten Messbereichs (Siehe detaillierte Spezifikationen).
Ultimative Step-Back Präzision Die Steuerung der Scherhöhe (Step-Back) ist der entscheidende Parameter für konstante Messwerte bei Schertest Applikationen.
Nordson DAGE hat eine einzigartige spielfreie z-Achse entwickelt und sich diese sogenannte “Anti-Backlash” Funktion patentieren lassen. Diese gewährleistet akkurat die Einhaltung der Scherhöhe innerhalb eines Mikrons über den ganzen Bereich der erhältlichen Schermessdosen hinweg. Darüber hinaus liefert die S25G Schermessdose für Ultra Fine Pitch Bonding eine Step-Back Genauigkeit der Superlative von ±0,25µm. Die Genauigkeitsangaben werden mit Lasermessmethoden qualifiziert. Ultimative Step-Back Präzision
Scherwerkzeug
Gold Ballbond
Passivierungsschicht
Silizium
4 | Nordson DAGE 4000Plus
Bedienungskomfort Größte Aufmerksamkeit wurde dem Design des 4000Plus gewidmet, nicht nur in optischer, sondern speziell in ergonomischer Hinsicht. Justierbare Arbeitshöhen, eine komfortable Mikroskop¬verstellung, sowie voll konfigurierbare und frei positionierbare Joysticks. Mit diesen Features wird höchste Bedienerfreundlichkeit erreicht, ein schneller Setup des Systems ermöglicht und eine angenehme Arbeitsumgebung geschaffen. Die SEMI S8 Richtlinien für Ergonomie wurden berücksichtigt und umgesetzt.
Wahl des Computers Der 4000Plus bietet die Möglichkeit entweder einen Desktop PC oder einen Laptop einzusetzen. Die Steuerung des Systems geschieht via USB Verbindung, welche höchste Flexibilität bei der Wahl des PCs mit sich bringt. Die Verwendung eines Laptops ist äußerst platzsparend und der mobile PC kann im Servicefall auch umgehend ersetzt werden. Es ist auch die Freiheit geboten, dass jeder Mitarbeiter seinen eigenen Laptop verwendet. Ortsgebundene Desktop Computer finden wohl in Produktionsumgebungen mit Netzwerkanbindung eher Bevorzugung.
Digitale Bilderfassung für die
gehobene Analyse Für alle Arten von Applikationen steht eine optional erhältliche Image Capture zur Verfügung, welche direkt hinter dem Messsystem im Grundgerät integriert ist. Mit ihr lassen sich zügig hochwertige Bilder aufnehmen und dank der hohen Vergrößerung zuverlässig Fehlermodi erkennen und zuweisen. Die softwaregesteuerte Formatänderung erlaubt spielend leicht ein schnelles Vermessen bei verschiedenen Vergrößerungen. Die Image Capture leistet unschätzbare Dienste bei der täglichen Arbeit. Sie unterstützt beim Bedienertraining und Findung der besten Testparameter, sowie bei tiefgründiger Bildanalyse mittels diversen Messfunktionen bis hin zur
Freihand Flächenmessung.
Das Borescope erlaubt einen Blick in Echtzeit auf das Werkzeug, mit einer Vergrößerung, welche weitaus höher ist als ein Stereozoom Mikroskope
es bieten kann. So lässt sich das Werkzeug sicher zur Prüfstelle ausrichten und der Fehlermode ist optimal erkennbar. Diese Endoskop ähnliche Kamera steht optional für den 4000Plus zur Verfügung und ist ideal für reproduzierbaren Schertest an kleinsten Geometrien.
Halbautomatischer Testablauf Mittels der Paragon Software lassen sich zügig halbautomatische Testroutinen für viele Applikationen erstellen. Das Programm führt den Bediener Schritt für Schritt durch die verschiedenen Masken und Optionen. Auf einfachem Wege lassen sich brauchbar Testabläufe automatisieren.
Gesteigerte Effizienz
Bildauschnitt des Borescope
Bildausschnitt der Image Capture
Nordson DAGE 4000Plus | 5
Materialprüfung
Nordson DAGE hat die Wünsche vieler Kunden nach weiteren Testmethoden aufgegriffen, wie z.B. der Materialprüfung. Der 4000Plus bietet neben 3- und 4-Punkt Biegetests auch noch weitere Materialprüfmethoden.
Normen und Standards
Cold Bump Pull/Hot Bump Pull JEITA EIAJ ET-7407
BGA Bump Scher JEDEC JESD22-B117A
Cold Bump Pull JEDEC JESD22-B115
AU Ball Scher JEDEC JESD22-B116
Ball Bond Scher ASTM F1269
Wire Pull DT/NDT MIL STD 883
Stud Pull MIL STD 883
Flip Chip Pull JEDEC JESD22-B109
Die Scher MIL STD 883
Der Nordson DAGE 4000Plus ist konform zu vielen Industriestandards:
4-Punkt Biegetest
Intelligente Software
Der 4000Plus macht sich Nordson DAGE’s nächster Generation Paragon™ Software zu Nutze. Paragon erstrahlt in modernster Softwarearchitektur, ist intuitiv in der Bedienerführung und bietet volle Flexibilität in der Konfiguration. Erweiterte Funktionalität wie automatische GR&R Kalkulation, Diagnosetools, sowie eine professionelle Datenbank mit leistungsfähiger Suchfunktion runden das Konzept ab. Interaktive Diagramme und personalisierte Reports erlauben eine Datenaufbereitung nach Ihren Wünschen. Paragon ist auch für die Modelle DAGE Series 4000 und Series 5000 mit Einschränkungen verfügbar.
Reduzierte Unterhaltskosten
Minimierte Ausfallzeiten Die solide Konstruktion des 4000Plus wurde in all ihren Aspekten hinsichtlich Zuverlässigkeit gründlich getestet. Ein neues ergonomisches Design der Messdosen erlaubt ein sicheres Handling beim Wechsel. Ein solider Werkzeugschutz bewahrt das Messsystem und das eingebaute Werkzeug vor Schäden. Der 4000Plus wird streng nach Richtlinien der ISO 9001: 2008 Norm gefertigt und erfüllt weitere Standards wie Machinery Safety Directive, Low Voltage Directive, EMC Compliance, SEMI Safety Guideline (S2 ESH), RoHS, sowie auch die UL Anforderungen.
Kompatibilität Der Grundsatz bei der Entwicklung des 4000Plus ist die Kontinuität. Viele der Zubehörteile des DAGE Series 4000 Multifunktionstester sind vorwärtskompatibel zu dem 4000Plus. So ist es gewährleistet, dass Sie vorhandene Komponenten weiter verwenden und selbst bestimmen können, was mit dem Grundgerät neu beschafft werden soll.
Nordson DAGE Paragon Bondtester Software
6 | Nordson DAGE 4000Plus
4000Plus Messdosen, xy-Maschinentische und z-Achse
Nordson DAGE bietet eine umfassende Auswahl an Messdosen für Standard und kundenspezifische Anwendungen. Eine 500kg High Force Schervorrichtung rundet das Programm nach oben hin ab. Die Liste schließt Weiterentwicklungen und kundenspezifische Anfertigungen nicht aus. Unsere erfahrenen Ingenieure stehen Ihnen mit Rat und Tat bei jeder Applikation zur Seite. Detaillierte Informationen werden gerne auf Anfrage zu den jeweiligen Messdosen zur Verfügung gestellt.
Pull - Wire Messbereiche Scher – Ball/Wedge Messbereiche
P25 25g, 10g, 5g S25 25g, 10g, 5g, 2g
P100KG 100kg, 50kg, 20kg, 10kg S5KGR 5kg, 2kg, 1kg, 400g
HB10KG 10kg, 5kg, 2.5kg, 1kg
PP50KG 50kg, 40kg, 20kg, 10kg
Pull – VektorVP250 250g, 100g, 50g, 25g
VP5KG 5kg, 2kg, 1kg, 400g
Push
Pull – Pinzetten/CBP Scher – Die/Zone/Stud PullT100 100g, 50g, 25g, 10g S50KG 50kg, 20kg, 10kg, 5kg
T1KG 1kg, 500g, 250g, 100g S200KG 200kg, 100kg, 50kg, 20kg
T5KG 5kg, 2.5kg, 1kg, 500g ZS50KG 50kg, 20kg, 10kg, 5kg
P100 100g, 50g, 25g, 10g S250 250g, 100g, 50g, 25g
P500 500g, 250g, 100g, 50g S250R 250g, 100g, 50g, 25g
P1KG 1kg, 500g, 250g, 100g S2.5KG 2.5kg, 1kg, 500g, 200g
P10KG 10kg, 5kg, 2.5kg, 1kg S5KG 5kg, 2kg, 1kg, 400g
xy-Maschinentische
Eine breite Palette an xy-Tischen deckt den Großteil der Anwendung ab. Kundenspezifische xy-Tische können nach Angabe von Verfahrbereich, Verfahrgeschwindigkeit und Maximalkraft konfiguriert und gefertigt werden.
Standard 160mm x 160mm für Kräfte bis max. 200kg
160mm x 160mm Achsen mit höchster Präzision bis max. 5kg
300mm x 210mm xy-Tisch mit integrierter Wafer Aufnahme
160mm x 160mm für High Speed Zone Shear Zone Shear: max. 20kg @ 50mm/s Testgeschwindigkeit
160mm x 160mm für High Force Zone Shear Zone Shear: max. 40kg @ 5mm/s Testgeschwindigkeit
z-Achse und maximale Arbeitshöhe
Der große Arbeitsbereich des 4000Plus-LE ist speziell für Automotive Anwendungen und Solarpanels gedacht. Spezielle Werkstückaufnahmen ermöglichen das Handhaben von großflächigen Modulen ohne ihnen Schaden zuzufügen. Für den Großteil der Applikationen wird das Standard Grundgerät 4000Plus genügen, doch wo immer es darauf ankommt große Baugruppen zu handeln, steht ein Gerät mit erweitertem Arbeitsbereich zur Verfügung.
4000Plus-Grundgerät 75mm z-Achsen Verfahrweg; 120mm max. Arbeitshöhe
4000Plus-LE-Grundgerät 75mm z-Achsen Verfahrweg; 200mm max. Arbeitshöhe
Spezifikationen
Abmessungen B= 630mm (inkl. Joystick links und rechts), T=600mm, H=830mm
Gewicht 85kg inkl. xy-Tisch
Stromversorgung 90-264VAC Einphasen Kaltgerätebuchse
Pneumatik 4 bar min., 6mm Aussendurchmesser Kunststoffschlauch. Einige Spezialapplikationen benötigen höheren Druck
Vakuum 500mm Hg (67kPa) min., 6mm Aussendurchmesser Kunststoffschlauch
Genauigkeiten
Messgenauigkeit des Gesamtsystems ±0,1% vom Endwert des gewählten Messbereichs (Siehe detaillierte Spezifikationen der Messdosen)
Schertest Step-Back Reproduzierbarkeit ±1,0μm über einen Bereich von 2mm in z-Richtung
S25 Step-Back Reproduzierbarkeit ±0,25μm über einen Bereich von 2mm in z-Richtung
Nordson DAGE 4000Plus | 7
Wir sind der Partner Ihres Vertrauens
Nordson DAGE ist der Marktführer von
preisgekrönten Test- und Inspektionssystemen
für zerstörende und nichtzerstörende mechanische
Prüfung von elektronischen Baugruppen. Unsere
Berufung ist erstklassigen Support für nationale
und internationale Organisationen zu liefern.
Gegründet 1961 mit Sitz in Aylesbury, UK,
gehört Nordson DAGE zur Nordson
Corporation, welche eigene Vertriebs- und
Serviceniederlassungen in mehr als 30
Ländern unterhält.
Nordson DAGE wird auch weiterhin großzügig
in Forschung und Entwicklung investieren um an
der Spitze der Bondtest Technologien zu bleiben.
Nordson DAGE ist bestens global aufgestellt und
wird als der Lieferant für Industrie Standards
angesehen.
Für weitere Informationen kontaktieren Sie
bitte Ihre lokale Nordson DAGE Niederlassung,
oder sprechen Sie mit Ihrem Nordson DAGE
Repräsentanten, welcher auf der Website www.
nordsondage.com zu finden ist.
www.nordsondage.com
Amerika Tel: +1 510 683 3930 email: sales@nordsondage.com
China Tel: +86 512 6665 2008 email: sales.ch@nordsondage.com
Deutschland Tel: +49 7021 950690 email: sales.de@nordsondage.com
Japan Tel: +81 432 995851 email: sales.jp@nordsondage.com
Südostasien Tel: +65 655 27533 email: sales.sg@nordsondage.com
Großbritannien Tel: +44 1296 317800 email: globalsales@nordsondage.com
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Wir behalten uns das Recht vor Spezifikationen ohne jegliche vorherige Ankündigung zu ändern. Copyright © Nordson DAGE. Andere erwähnte Produkte und Firmennamen sind Handelsmarken oder Handelsnamen der jeweiligen Firmen.
4000Plus Patent angemeldet.
BR-BT-4000Plus-DE-240610-V1.1
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