Betriebsanleitung - docs.edwardsvacuum.comdocs.edwardsvacuum.com/P450-00-000/pages/Documentation/Instruction...Konformitätserklärung Wir, Edwards, Innovation Drive, Burgess Hill,

A746-02-882Issue A

Betriebsanleitung

Membranpumpen XDD 1 MKII/115/230 V und 24 V DC

Beschreibung Bestellnummer

XDD 1 115/230 V A746-02-983

XDD 1 24 V A746-02-991

Konformitätserklärung

Wir, Edwards, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, GB erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte, • Membranpumpe XDD1 für Wechselspannung (AC) A746-02-983* • Membranpumpe XDD1 für Wechselspannung (AC) A746-03-983* • Membranpumpe XDD1 für 24 V Gleichstrom (DC) A746-02-991# auf das bzw. auf die sich die vorliegende Erklärung bezieht, im Einklang steht bzw. stehen mit der (den) folgenden Norm(en) oder (einem) anderen normativen Dokument(en): EN1012-2:1996+A1:2009 Kompressoren und Vakuumpumpen. Sicherheitsanforderungen.

Vakuumpumpen EN61010-1:2010 Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-, Steuer-, Regel-

und Laborgeräte. Allgemeine Anforderungen EN61326-1:2013 Elektrische Mess-, Steuer- und Laborgeräte. EMV-Anforderungen. (Emissionsklasse A, Allgemeine Anforderungen Industriestörfestigkeit) C22.2 1010.1-92+A2:97* Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-, Steuer-, Regel-

und Laborgeräte − Teil 1: Allgemeine Anforderungen C22.2 61010-1-04+GI1# (R2009) UL61010A-1:2002 Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-, Steuer-, Regel-

und Laborgeräte − Teil 1: Allgemeine Anforderungen UL61010-1:2004 R10.08 EN50581:2012 Technische Dokumentation für die Prüfung elektrischer und

elektronischer Produkte im Einklang mit den Einschränkungen für gefährliche Substanzen

und alle einschlägigen Vorschriften erfüllen aus 2006/42/EG Maschinenrichtlinie 2014/35/EU Niederspannungsrichtlinie 2014/30/EU Richtlinie zur elektromagnetischen Verträglichkeit (EMV) 2011/65/EU Richtlinie zur Beschränkung der Verwendung bestimmter

gefährlicher Stoffe (RoHS) Hinweis: Diese Erklärung gilt für alle Produktseriennummern ab dem Unterzeichnungsdatum

dieser Erklärung. 11.05.2016, Burgess Hill

Mr Peter Meares Senior Technical Support Manager, General Vacuum

Datum und Ort

P200

-04-

800

DE

Issu

e E

Dieses Produkt wurde im Rahmen eines nach ISO9001:2008 zertifizierten Qualitätssicherungssystems hergestellt.

© Edwards Limited 2010. Alle Rechte vorbehalten. Seite iEdwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

InhaltA746-02-882 Issue A

Inhalt

Abschnitt Seite

1 Einleitung .......................................................................................... 1

1.1 Sicherheitshinweise ..................................................................................................... 1

2 Technische Daten ................................................................................. 7

3 Installation ....................................................................................... 11

3.1 Elektrischer Anschluss ..................................................................................................113.1.1 XDD1 mit spannungsumschaltbarem Motor .........................................................................113.1.2 XDD1, 24 V DC ...........................................................................................................123.2 Konfigurieren der internen Drehzahleinstellung der XDD1, 24 V DC ............................................133.3 Konfigurieren der XDD1 24 V DC für externe Analogregelung (0 - 10 V) der Drehzahl .......................133.4 Hinweise zur Motordrehzahl ..........................................................................................14

4 Nutzung und Betrieb ........................................................................... 15

4.1 Installieren in einem Vakuumsystem ................................................................................154.2 Vor dem Gebrauch ......................................................................................................154.3 Während des Betriebs ..................................................................................................154.3.1 Pumpen mit spannungsumschaltbarem Motor ......................................................................154.3.2 Pumpen mit Spannung 24 V DC .......................................................................................154.4 Abschalten ...............................................................................................................164.4.1 Kurzfristig ................................................................................................................164.4.2 Langfristig ................................................................................................................16

5 Wartung .......................................................................................... 17

5.1 Austauschen von Membranen und Ventilen .........................................................................175.1.1 Reinigen und Überprüfen der Pumpenköpfe ........................................................................205.1.2 Austauschen der Membran ............................................................................................225.1.3 Montieren der Pumpenköpfe ..........................................................................................245.1.4 Montieren der Anschlussteile .........................................................................................285.1.5 Wenn die Pumpe Ihren Enddruck nicht erreicht ...................................................................28

6 Lagerung und Entsorgung ...................................................................... 31

6.1 Lagerung .................................................................................................................316.2 Entsorgung ...............................................................................................................31

7 Ersatzteile und Zubehör ....................................................................... 33

7.1 Ersatzteilliste ............................................................................................................33

Bitte die HS-Formulare im Anhang dieses Handbuchs ausfüllen und Ihrer Rücksendung beilegen.

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2010

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Seite ii © Edwards Limited 2010. Alle Rechte vorbehalten.Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

Inhalt Abbildungen

Abbildung Seite

1 Gesamtansicht der XDD 1 mit spannungsumschaltbarem Motor .................................................. 42 Gesamtansicht der XDD 1, 24 V DC .................................................................................... 53 Maßzeichnung XDD 1 (spannungsumschaltbarer Motor) ............................................................ 94 Maßzeichnung XDD 1, 24 V DC ........................................................................................105 Einstellen der Versorgungsspannung .................................................................................116 Austauschen der Motorsicherung (spannungsumschaltbarer Motor) ............................................127 Interne Drehzahleinstellung ...........................................................................................138 Ansicht der zerlegten Teile des Pumpenkopfs .....................................................................199 Erforderliche Werkzeuge ..............................................................................................2010 Entfernen des Anschlussteils am Pumpenkopf .....................................................................2011 Entfernen des Griffs ....................................................................................................2112 Entfernen von Gehäuseabdeckung und Kopfabdeckung ..........................................................2113 Entfernen der Kopfabdeckung von der Gehäuseabdeckung ......................................................2214 Anheben der Membran .................................................................................................2315 Positionieren einer neuen Membran .................................................................................2316 Membranspannscheibe .................................................................................................2417 Montieren der Membraneinheit am Pleuel ..........................................................................2418 Positionieren der Membran ............................................................................................2519 Montieren von Kopfabdeckung und Ventilen .......................................................................2520 Schematische Darstellung des Pumpenkopfs mit Kopfabdeckungen ............................................2621 Schematische Darstellung des Pumpenkopfs mit Kopfabdeckungen und Ventilen ............................2622 Positionieren der Gehäuseabdeckung ...............................................................................2723 Montieren des Griffs ....................................................................................................2724 Montieren des Anschlussteils am Pumpenkopf .....................................................................28

Tabellen

Tabelle Seite

1 Elektrische Daten ........................................................................................................ 72 Leistungsdaten ........................................................................................................... 73 Daten für Betriebsumgebung und Lagerung ......................................................................... 74 Mechanische Daten ...................................................................................................... 85 Werkstoffdaten ........................................................................................................... 86 Pin-Belegung am Anschluss der Logik-Schnittstelle ...............................................................127 Fehlersuche ..............................................................................................................298 Ersatzteile ...............................................................................................................33

Warenzeichen

Viton® ist ein eingetragenes Warenzeichen von DuPont Dow Elastomers L.L.C.

© Edwards Limited 2010. Alle Rechte vorbehalten. Seite 1Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

EinleitungA746-02-882 Issue A

1 Einleitung

1.1 Sicherheitshinweise

Entfernen Sie sämtliches Verpackungsmaterial, nehmen Sie das Produkt aus der Verpackung, entfernen Sie die Schutzabdeckungen von den Einlass- und Auslassanschlüssen und kontrollieren Sie das Gerät. Weist das Gerät Beschädigungen auf, setzen Sie Ihren Lieferanten sowie das Transportunternehmen hiervon binnen drei Tagen schriftlich in Kenntnis; vermerken Sie dabei die Bestellnummer des Produkts, die Auftragsnummer sowie die Rechnungsnummer Ihres Lieferanten. Bewahren Sie das gesamte Verpackungsmaterial zur späteren Befundung auf.

Soll das Gerät nicht sofort zum Einsatz kommen, setzen Sie die Schutzabdeckungen wieder auf. Lagern Sie das Gerät unter geeigneten Bedingungen.

Lesen Sie sich diese Anleitung vor Aufstellung und Inbetriebnahme des Geräts aufmerksam durch, halten Sie sich an die darin gegebenen Anweisungen.

Transportieren Sie die Pumpe an dem daran angebrachten Handgriff oder der integrierten Tragemulde.

In diesem Dokument werden folgende Symbole verwendet:

WARNUNG

Betreiben Sie das Gerät auf keinen Fall, wenn es beschädigt ist.

Warnung – siehe beigefügte Dokumente.

Warnung – Trennen Sie das Gerät von der Netzspannung. – Stromschlaggefahr.

Warnung – heiße Oberflächen.

Warnung – Schutzausrüstung verwenden.

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Einleitung

Verwenden Sie das Gerät nur bestimmungsgemäß, d. h. zur Vakuumerzeugung.

Vermeiden Sie, dass ein Teil des menschlichen Körpers mit dem Vakuum in Berührung kommt.

Beachten Sie die Hinweise zu korrekten Vakuum- und elektrischen Anschlüssen.

Achten Sie darauf, dass die einzelnen Komponenten nur gemäß ihrer Auslegung und unter Einhaltung der Angaben in der Betriebsanleitung angeschlossen, kombiniert und betrieben werden.

Wenn das Gerät aus einer kalten Umgebung für den Betrieb in einen Innenraum gebracht wird, warten Sie, bis sich das Gerät an die wärmeren Temperaturen angepasst hat (achten Sie auf Kondenswasserbildung auf kalten Oberflächen).

Sorgen Sie für ausreichende Belüftung, wenn die Pumpe in ein Gehäuse eingebaut ist oder die Umgebungstemperatur höher ist.

Halten Sie alle einschlägigen Sicherheitsanforderungen (Vorschriften und Richtlinien) ein, und treffen Sie geeignete Sicherheitsmaßnahmen.

Stellen Sie eine standfeste, ebene Plattform für das Gerät bereit. Prüfen Sie, dass das zu evakuierende System mechanisch stabil ist und alle Anschlussteile sicher befestigt sind.

Hinweis: Flexible Elemente neigen dazu, sich beim Evakuieren zusammenzuziehen.

Aufgrund des hohen Verdichtungsverhältnisses der Pumpen besteht die Möglichkeit, dass am Auslassanschluss ein höherer Druck entsteht als der maximal zulässige Druck, der mit der mechanischen Stabilität des Systems vereinbar ist.

Stellen Sie sicher, dass die Konstruktionsweise des Systems ein Blockieren der Abgasleitung nicht zulässt:

Falls Intertgas angeschlossen ist, vermeiden Sie Überdruck von mehr als 0,2 bar.

Der Durchmesser von Einlass- und Auslassleitung sollte mindestens so groß sein wie der Durchmesser der Anschlussleitungen an der Pumpe.

Treffen Sie im Fall von Abweichungen geeignete Maßnahmen, z. B. Verwendung des Geräts im Freien, Installation in Höhen von mehr als 1.000 m über N. N., leitfähige Verschmutzung oder Feuchtigkeit.

WARNUNG

Halten Sie die maximal zulässigen Drücke und Druckdifferenzen ein, siehe Abschnitt 2, Technische Daten. Betreiben Sie die Pumpe nicht mit Überdruck am Einlass.

WARNUNG

Unterbinden Sie jede unkontrollierte Druckbeaufschlagung (stellen Sie z. B. sicher, dass die Abgasleitung nicht blockiert werden kann). Wenn Sie ein Abgas-Absperrventil installiert haben, müssen Sie dafür sorgen, dass das Gerät bei geschlossenem Ventil nicht betrieben werden kann. Berstgefahr!

WARNUNG

Achten Sie auf das Symbol „heiße Oberflächen“ auf dem Gerät. Treffen Sie geeignete Maßnahmen zur Vermeidung von Gefahren durch die Entstehung heißer Oberflächen oder elektrischer Funken.



Erforderlich ist ein manueller Reset. Schalten Sie die Pumpe aus, oder trennen Sie das Gerät von der Stromversorgung. Warten Sie ca. fünf Minuten, bevor Sie die Pumpe neu starten.

Aufgrund der Restleckrate des Geräts kann es zu einem Austausch von Gas, wenn auch nur in äußerst geringem Maße, zwischen der Umgebung und dem Vakuumsystem kommen.

Treffen Sie geeignete Maßnahmen, um eine Kontamination der gepumpten Stoffe oder der Umwelt zu verhindern.

Stellen Sie sicher, dass die Pumpe oder das Vakuumsystem im Fall einer Störung immer in einen sicheren Zustand zurückkehren.

Im Fall von Undichtigkeiten im Sammelrohr können gepumpte Stoffe in die Umgebung oder in das Pumpengehäuse oder in den Motor gelangen.

Halten Sie sich genau an alle Nutzungs-, Betriebs- und Wartungsanweisungen.

Ein Ausfall der Pumpe (z. B. wegen eines Stromausfalls) darf unter keinen Umständen zu einer kritischen, gefährlichen Situation führen.

Verwenden Sie nur Originalersatzteile und -zubehör.

Andernfalls könnten die Sicherheit und Leistung des Geräts sowie die elektromagnetische Verträglichkeit des Geräts vermindert sein.

WARNUNG

Die Pumpen eignen sich nicht zum Pumpen gefährlicher oder zündfähiger Gase oder explosiver oder zündfähiger Gasgemische. Achten Sie darauf, dass die Werkstoffe der benetzten Teile mit den gepumpten Stoffen kompatibel sind, siehe Abschnitt 2, Technische Daten. Treffen Sie geeignete Maßnahmen, um die Freisetzung von gefährlichen, zündfähigen, korrosiven oder umweltschädlichen Fluiden zu verhindern.Verwenden Sie für den Gasballast oder zum Belüften bei Bedarf Intertgas.Der Benutzer muss geeignete Vorsichtsmaßnahmen treffen, um jede Bildung zündfähiger Gemische in der Expansionskammer zu verhindern. Im Fall eines Risses in der Membran, bei mechanisch erzeugten Funken, heißen Oberflächen oder statischer Elektrizität können sich diese Gemische entzünden.Treffen Sie ausreichende Vorsichtsmaßnahmen, um Menschen vor den Folgen gefährlicher Stoffe (Chemikalien, Produkte der thermischen Zersetzung von Fluorelastomeren) zu schützen; tragen Sie geeignete Sicherheitskleidung und Schutzbrillen.Halten Sie sich bei der Entsorgung von Chemikalien an die geltenden Bestimmungen. Beachten Sie dabei, dass Chemikalien kontaminiert sein können.

WARNUNG

Pumpen mit spannungsumschaltbarem Motor: Der Motor wird von einem thermischen Ausschalter in der Wicklung abgeschaltet.

WARNUNG

Pumpen mit Spannung 24 V DC: Der Motor ist durch einen Temperaturfühler an der Platine geschützt (Strombegrenzung, wenn die Temperatur an der Platine höher als 70 °C) ist.Vermeiden Sie starke Wärmezufuhr (z. B. durch heiße Prozessgase).Sorgen Sie für ausreichenden Lufteinlass, wenn die Pumpe in einem Gehäuse installiert ist.

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Einleitung

Abbildung 1 - Gesamtansicht der XDD 1 mit spannungsumschaltbarem Motor

1. Griff (abnehmbar)2. Einlass (kleiner Flansch) DN16KF3. Pumpenfuß (verstellbar)4. Spannungswahlschalter

5. Sicherungsfassung6. Netzschalter7. Netzanschluss8. Auslass (Schalldämpfer)



Abbildung 2 - Gesamtansicht der XDD 1, 24 V DC

1. Abdeckung der Platine2. Einlass (kleiner Flansch) DN16KF3. 15-poliger D-Stecker4. Auslass (Schalldämpfer) an der unteren Seite5. Befestigungsschraube der Abdeckung

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Technische D

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2 Technische Daten

Tabelle 1 - Elektrische Daten

Parameter XDD1 115/230 V 50/60 Hz XDD1 24 V DC

Motorleistung kW 0,08 0,064

Maximal zulässiger Bereich der Versorgungsspannung (±10 %)

Achtung*

100 - 120 V 50/60 Hz200 - 230 V 50/60 Hz

* Spannungswahlschalter

24 V DC

Nennstrom max.:

100 - 120 V 50/60 Hz A 1,6 / 1,7 -

200 - 230 V 50/60 Hz A 0,8 / 0,85 -

24 V DC A - 7

Motorschutz Thermischer Ausschalter, manueller Reset

Temperaturfühler auf der Platine(Strombegrenzung)

Sicherung 20 mm x 5 mm, 250 V,2,5 A, Typ T

Tabelle 2 - Leistungsdaten

ParameterXDD1 115/230 V

50/60 HzXDD1 24 V DC

Saugvermögen (ISO 21360) m3/h 1,2 / 1,4 1,7 (2200 U/min)1,4 (1700 U/min)*

* Werkseitig eingestellt

Endvakuum (absolut) mbar 1,5 < 1,0 (700 U/min)

Drehzahl ohne Last min-1 1500 / 1800 100 - 2200

Maximale zulässiger Auslassdruck (absolut) bar 1,1

Maximale Druckdifferenz zwischen Einlass und Auslass bar 1,1

Tabelle 3 - Daten für Betriebsumgebung und Lagerung

Parameter XDD1 115/230 V XDD1 24 V DC

Schutzart IEC 529 IP 40 IP 20

Zulässige Umgebungstemperatur für Lagerung / Betrieb °C -10 bis +60 / +10 bis +40

Zulässige relative Luftfeuchtigkeit im Betrieb (nicht kondensierend)

% 30 bis 85

Maximale Betriebshöhe m 2000

Schadstoffklasse nach IEC-Norm 2

Schalldruckpegel dBA 45

Einsatzbereich Nur für den Betrieb in Innenräumen

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Technische D

aten

Tabelle 4 - Mechanische Daten

Parameter XDD1 115/230 V XDD1 24 V DC

Gewicht kg 6,7 4,1

Gesamtabmessungen Siehe Abbildung 3. Siehe Abbildung 4.

Einlassanschluss Kleiner Flansch DN16KF

Auslassanschluss Schalldämpfer G 1/8"

Tabelle 5 - Werkstoffdaten

Komponenten Benetzte Teile

Gehäuseabdeckung Aluminium

Kopfabdeckung Aluminium

Membranspannscheibe Aluminium

Ventil FPM (z. B. Viton®)

Membran Sandwich-Anordnung PTFE-FPM (z. B. Viton®)

Einlass (kleiner Flansch) Edelstahl

Auslass (Schalldämpfer) Aluminium / Silikonkautschuk

Schlauch PE

Anschlüsse Anodisiertes Aluminium


Technische D

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Abbildung 3 - Maßzeichnung XDD 1 (spannungsumschaltbarer Motor)

Einlass DN16KF

Auslass mit Schalldämpfer G 1/8"

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Technische D

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Abbildung 4 - Maßzeichnung XDD 1, 24 V DC


InstallationA746-02-882 Issue A

3 InstallationHinweis: Die folgenden Arbeiten müssen von einem in geeigneter Weise geschulten oder qualifizierten Techniker

ausgeführt werden.

3.1 Elektrischer Anschluss

3.1.1 XDD1 mit spannungsumschaltbarem Motor

VORSICHTVergewissern Sie sich, dass der Motor für Ihre Stromversorgung korrekt konfiguriert ist. Wenn Sie die Pumpe mit nicht korrekt für die Stromversorgung konfiguriertem Motor betreiben, führt dies zu Schäden am Motor.

VORSICHTVerstellen Sie den Spannungswahlschalter nicht, während die Pumpe an die Netzstromversorgung angeschlossen ist.

Abbildung 5 - Einstellen der Versorgungsspannung

1. Mit der Wahl von 115 wird eine Spannungsversorgung im Bereich von 100 V bis 120 V abgedeckt.

2. Mit der Wahl von 230 wird eine Spannungsversorgung im Bereich von 200 V bis 240 V abgedeckt.

Vergewissern Sie sich, dass die auf dem Spannungswahlschalter angegebene Spannung (Abbildung 5, Ziffer 1) der Spannung Ihrer Stromversorgung entspricht. Wenn dies nicht der Fall ist, müssen Sie die Konfiguration des Pumpenmotors mit Hilfe des Spannungswahlschalters so ändern, dass sie zu Ihrer Versorgungsspannung passt. Stellen Sie den Wahlschalter mit einem Schraubendreher auf die korrekte Spannung ein.

1. Spannungswahlschalter

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Installation

Abbildung 6 - Austauschen der Motorsicherung (spannungsumschaltbarer Motor)

1. Entfernen Sie vorsichtig die Sicherungsfassung an der Seite der Pumpe (siehe Abbildung 1, Ziffer 5).

2. Ersetzen Sie die defekte Sicherung mit einer 2,5-A-Sicherung des Typs, und befestigen Sie den Sicherungsträger wieder in der Fassung.

3.1.2 XDD1, 24 V DC

Die Pumpe wird werkseitig bei Anschluss an eine Stromversorgung mit 24 V DC (=/-10 %) auf ein konstantes Saugvermögen eingestellt. Die Pumpe kann auch über ein externes Analogsignal von 0 - 10 V gesteuert werden. Schließen Sie mit einem geeigneten Steckverbinder-Gegenstück (nicht im Lieferumfang) die Stromversorgung und Ihr Steuergerät an den Steckverbinder am Kabel der Logik-Schnittstelle an. Wenn Sie die elektrischen Anschlüsse an die XDD 1 herstellen, beachten Sie die ausführlichen Hinweise zu den Logik-Schnittstellenanschlüssen in Tabelle 6.

WARNUNG

Vergewissern Sie sich, dass die Elektroinstallation Ihrer mit Netzspannung betriebenen XDD1-Pumpe den nationalen und vor Ort geltenden Sicherheitsbestimmungen entspricht. Der Anschluss muss hinreichend abgesichert und mit Erdschluss versehen sein. Die elektrischen Daten finden Sie in Tabelle 1.

Tabelle 6 - Pin-Belegung am Anschluss der Logik-Schnittstelle

Pin Nr. Signal Verwendung

2 Steuerung / Überwachung: 0-V-Signal -

4 Identität XDD 1

9 Drehzahl (0 - 10 V) Zur Regelung der Motordrehzahl

8, 13, 14 Stromversorgung: 0 V Alle Pins für den Anschluss verwenden!

1, 6, 11 Stromversorgung 24 V Alle Pins für den Anschluss verwenden!


InstallationA746-02-882 Issue A

Abbildung 7 - Interne Drehzahleinstellung

3.2 Konfigurieren der internen Drehzahleinstellung der XDD1, 24 V DC

Es gibt zwei interne Drehzahleinstellungen. Gehen Sie bei der Einstellung der internen Drehzahlregelung wie folgt vor (siehe Abbildung 7).

Entfernen Sie die beiden Schrauben, mit denen die Abdeckung an der Platine befestigt ist (siehe Abbildung 2, Ziffer 1). Bewegen Sie die Abdeckung vorsichtig und nur so weit wie nötig. Drehen Sie das Potentiometer mit einem Schraubendreher in eine von zwei Positionen. Stellen Sie Position 2 für normale Drehzahl oder Position 3 ein, wenn maximaler Durchsatz erforderlich ist (siehe Abbildung 7). Montieren Sie die Abdeckung in umgekehrter Reihenfolge.

3.3 Konfigurieren der XDD1 24 V DC für externe Analogregelung (0 - 10 V) der Drehzahl

Entfernen Sie die beiden Schrauben, mit denen die Abdeckung an der Platine befestigt ist (siehe Abbildung 2, Ziffer 1). Bewegen Sie die Abdeckung vorsichtig und nur so weit wie nötig. Drehen Sie das Potentiometer mit einem Schraubendreher in Position 1 (siehe Abbildung 7). Montieren Sie die Abdeckung in umgekehrter Reihenfolge. Legen Sie zur Regelung der Motordrehzahl das externe Analogsignal von 0 - 10 V an.

Spannungseingang: analog 0 V....10 V

Hinweis: Nur Drehzahlen > 200 U/min ( > ~0,9 V) ergeben einen gleichmäßigen Lauf der Pumpe.

< 0,5 V : Pumpe ausgeschaltet

0,5 V bis 10 V : Linearer Anstieg der Motordrehzahl (~100 U/min bis 2200 U/min)

1. Potentiometereinstellung

Position 1 - Nulldrehzahl, Einstellung für externes MotordrehzahlsignalPosition 2 - normale Motordrehzahl 1700 U/min (Werkseinstellung)Position 3 - maximale Motordrehzahl 2200 U/min

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Installation

3.4 Hinweise zur Motordrehzahl

Wenn die Pumpe bei hohen Motordrehzahlen betrieben wird, erhöht dies den Pumpendurchsatz und führt auch dazu, dass die Pumpe mehr Wärme erzeugt. Sorgen Sie für ausreichende Belüftung, insbesondere wenn die Pumpe in geschlossenen Räumen oder in Gehäusen genutzt wird.

Wenn die Pumpe bei niedrigen Motordrehzahlen betrieben wird, erhöht dies die Endvakuumleistung; außerdem erhöht es die Lebensdauer der Membran und der Ventile.


Nutzung und Betrieb

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4 Nutzung und Betrieb

4.1 Installieren in einem Vakuumsystem

Die Einbaulage der Pumpe ist beliebig.

Vermeiden Sie Drosselverluste, indem Sie Anschlussleitungen mit großem Durchmesser verwenden. Halten Sie die Leitungen so kurz wie möglich.

Verringern Sie die Übertragung von Schwingungen, und vermeiden Sie Belastungen durch starre Leitungen. Fügen Sie elastische Schläuche oder flexible Elemente als Kupplungen zwischen der Pumpe und starren Leitungen ein.

Hinweis: Flexible Elemente neigen dazu, sich beim Evakuieren zusammenzuziehen.

Verwenden Sie ein geeignetes Ventil zur Trennung der Pumpe vom Vakuumsystem, damit sich die Pumpe vor dem Pumpen kondensierbarer Dämpfe erwärmen kann, oder zum Reinigen der Pumpe vor dem Abschalten.

Schließen Sie die Abgasleitung an eine geeignete Aufbereitung an, um ein Freisetzen von gefährlichen Gasen und Dämpfen in die Umgebungsluft zu vermeiden. Verwenden Sie einen Auslassabscheider, um zu verhindern, dass kontaminiertes Kondensat in die Pumpe zurückläuft.

4.2 Vor dem Gebrauch

Hinweis: Max. Umgebungstemperatur: 40 °C

Sorgen Sie für ausreichende Belüftung, wenn die Pumpe in ein Gehäuse eingebaut ist oder die Umgebungstemperatur höher ist. Halten Sie einen Mindestabstand von 20 cm zwischen Lüftern und Teilen in ihrer Umgebung ein.

Achten Sie bei der Montage auf Vakuumdichtigkeit. Prüfen Sie nach der Montage das gesamte System auf Lecks.

4.3 Während des Betriebs

VORSICHTStarten oder betreiben Sie die Pumpe nicht, wenn der Druck am Auslass höher als 1,1 bar absolut ist. Versuche, die Pumpe bei einem höheren Druck zu starten oder zu betreiben, können zum Blockieren oder zu Schäden am Motor führen.

Die Pumpe erreicht ihre Saugleistung, ihr Endvakuum und ihre Dampfkapazität erst bei Betriebstemperatur (nach ca. 15 Minuten).

Verhindern Sie Kondensation im Innenbereich und die Übertragung von Flüssigkeiten oder Staub. Wenn Flüssigkeiten in signifikanten Mengen gepumpt werden, führt dies zu Schäden an Membran und Ventilen.

4.3.1 Pumpen mit spannungsumschaltbarem Motor

Der Motor wird von einem thermischen Ausschalter in der Wicklung abgeschaltet. Erforderlich ist ein manueller Reset. Schalten Sie die Pumpe aus, oder trennen Sie das Gerät von der Stromversorgung. Warten Sie ca. fünf Minuten, bevor Sie die Pumpe neu starten. Ermitteln Sie die Ursache der Störung, und beseitigen Sie sie.

Hinweis: Nach einem Stromausfall startet die Pumpe wieder.

4.3.2 Pumpen mit Spannung 24 V DC

Der Motor ist durch einen Temperaturfühler an der Platine geschützt (Strombegrenzung, wenn die Temperatur an der Platine höher als 70 °C) ist.

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Nutzung und Betrieb

4.4 Abschalten

4.4.1 Kurzfristig

4.4.2 Langfristig

Treffen Sie die im Abschnitt über die kurzfristige Abschaltung beschriebenen Maßnahmen.

Trennen Sie die Pumpe von der übrigen Einrichtung.

Verschließen Sie Einlass- und Auslassanschluss (z. B. mit Transportabdeckungen).

Lagern Sie die Pumpe in einer trockenen Umgebung.

Fehler Maßnahme

War die Pumpe Kondensat ausgesetzt? Lassen Sie die Pumpe einige Minuten lang bei Atmosphärendruck mit offenem Einlass weiterlaufen.

War die Pumpe Medien ausgesetzt, die die Werkstoffe der Pumpe beschädigen oder Ablagerungen bilden können?

Überprüfen Sie die Pumpe, und reinigen Sie sie bei Bedarf.


Wartung

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5 WartungStellen Sie sicher, dass Wartungsarbeiten nur von hinreichend geschulten und beaufsichtigten Technikern durchgeführt werden. Stellen Sie sicher, dass der Wartungstechniker mit den Sicherheitsmaßnahmen im Zusammenhang mit dem vom Pumpsystem verarbeiteten Produkt vertraut ist und dass das Gerät nötigenfalls vor dem Beginn der Wartungsarbeiten dekontaminiert wird. Beachten Sie die örtlichen und nationalen Sicherheitsbestimmungen.

Zur Erfüllung der gesetzlichen Bestimmungen (Bestimmungen zu Arbeitsbedingungen, Gesundheit und Sicherheit, Arbeitssicherheitsgesetz und Umweltschutzbestimmungen) können an den Hersteller zurückgeschickte Vakuumpumpen, Komponenten und Messgeräte nur repariert werden, wenn dabei bestimmte Verfahren (siehe Abschnitt Rücksendungsverfahren von Edwards-Geräten (Formulare HS 1 und HS 2) eingehalten werden.

5.1 Austauschen von Membranen und Ventilen

Hinweis: Die Bilder der Pumpe können leicht abweichen. Dies hat keinen Einfluss auf den Austausch von Membran und Ventilen.

Alle Lager sind gekapselt und mit einem Langzeitschmierstoff gefüllt. Unter normalen Betriebsbedingungen sind diese Teile wartungsfrei.

Ventile und Membranen sind Verschleißteile. Wenn das Nenn-Endvakuum nicht mehr erreicht wird, müssen das Innere der Pumpe, die Membranen und Ventile gereinigt werden. Die Membranen und Ventile müssen auf Risse oder andere Schäden geprüft werden.

Je nach Einzelfall empfiehlt es sich ggf., die Pumpenköpfe regelmäßig zu kontrollieren und zu reinigen. Bei normalem Verschleiß beträgt die Lebensdauer von Membranen und Ventilen > 10000 Betriebsstunden.

VORSICHTVerhindern Sie Kondensation im Innenbereich und die Übertragung von Flüssigkeiten oder Staub. Wenn Flüssigkeiten in signifikanter Menge gepumpt werden, führt dies zu Schäden an Membran und Ventilen.

Wenn die Pumpe korrosiven Gasen oder Dampf ausgesetzt ist, oder im Fall von Ablagerungen sollte die Wartung häufig durchgeführt werden.

Hinweis: Eine regelmäßig Wartung erhöht die Lebensdauer der Pumpe und schützt zudem Mensch und Umwelt.

Lassen Sie ggf. Kondensat ab, vermeiden Sie die Freisetzung von Schadstoffen. Lassen Sie die Pumpe lange genug abkühlen.

WARNUNG

Bevor Sie mit der Wartung beginnen, belüften Sie das System, trennen Sie die Pumpe und andere Komponenten vom Vakuumsystem und der Stromversorgung, lassen Sie Kondensat ab, und lassen Sie die Pumpe lange genug abkühlen.Bevor Sie mit der Wartung beginnen, warten Sie zwei Minuten, nachdem Sie das Gerät vom Stromnetz getrennt haben, damit sich die Kondensatoren entladen können.

WARNUNG

Bitte lesen Sie den Abschnitt Austauschen von Membranen und Ventilen vollständig durch, bevor Sie mit der Wartung beginnen.

WARNUNG

Bevor Sie mit der Wartung beginnen, belüften Sie das System, und trennen Sie die Pumpe und andere Komponenten vom Vakuumsystem und der Stromversorgung.

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Wartung

VORSICHTStellen Sie sicher, dass die Pumpe nicht versehentlich in Betrieb gehen kann. Nehmen Sie die Pumpe niemals in Betrieb, wenn Abdeckungen oder andere Teile der Pumpe abgebaut sind. Betreiben Sie niemals eine defekte oder beschädigte Pumpe.

Stellen Sie sicher, dass der Wartungstechniker mit den Sicherheitsmaßnahmen im Zusammenhang mit den vom Pumpsystem verarbeiteten Produkten vertraut ist. Es könnte sein, dass die Pumpe mit den im Betrieb gepumpten Prozesschemikalien kontaminiert ist. Stellen Sie sicher, dass die Pumpe vor der Aufnahme von Wartungsarbeiten dekontaminiert wurde. Treffen Sie im Fall einer Kontamination entsprechende Vorsichtsmaßnahmen zum Schutz des Personals vor den Auswirkungen gefährlicher Stoffe.

WARNUNG

Tragen Sie geeignete Schutzkleidung, wenn Sie mit kontaminierten Komponenten in Berührung kommen.

WARNUNG

Verwenden Sie zum Reinigen oder zum Entfernen von Ablagerungen von den Ventilen und Membranen ein geeignetes Lösungsmittel. Bei der Verwendung von Lösungsmitteln müssen immer die örtlichen Gesundheits- und Sicherheitsbestimmungen eingehalten werden.


Wartung

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Abbildung 8 - Ansicht der zerlegten Teile des Pumpenkopfs

1. Gehäuseabdeckung2. VS-Dichtung3. Lagerflansch4. Gehäuse5. Pleuel6. Membranstützscheibe

7. Membran8. Membranspannscheibe mit Verbindungsschraube9. Kopfabdeckung10. Ventil11. VS-Dichtung

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Abbildung 9 - Erforderliche Werkzeuge

5.1.1 Reinigen und Überprüfen der Pumpenköpfe

Entfernen Sie mit dem Gabelschlüssel das Anschlussteil am Pumpenkopf. Nehmen Sie es zusammen mit dem Anschussschlauch ab.

Hinweis: Entfernen Sie den Lagerflansch (1) nicht.

Abbildung 10 - Entfernen des Anschlussteils am Pumpenkopf

1. Membranschlüssel SW 46 (im Wartungs-Kit enthalten)2. Maulschlüssel Größe 143. Innensechskantschlüssel Größe 4/54. Kreuzschlitzschraubendreher Größe 2

1. Lagerflansch


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Entfernen Sie die beiden Schrauben am Griff. Nehmen Sie sie zusammen mit dem Griff ab.

Abbildung 11 - Entfernen des Griffs

Entfernen Sie die sechs Innensechskantschrauben mit dem Innensechskantschlüssel vom Pumpenkopf, und nehmen Sie den oberen Teil des Gehäuses ab (Gehäuseabdeckung und Kopfabdeckung).

Abbildung 12 - Entfernen von Gehäuseabdeckung und Kopfabdeckung

WARNUNG

Entfernen Sie Teile niemals mit einem spitzen oder scharfkantigen Werkzeug (z. B. einem Schraubendreher). Wir empfehlen die Verwendung eines Gummihammers oder von Druckluft (die vorsichtig in den Anschluss geblasen wird).

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Wartung

1. Nehmen Sie die Kopfabdeckung von der Gehäuseabdeckung ab, und überprüfen Sie die Ventile. Notieren Sie die Position der Ventile, und entfernen Sie sie.

2. Tauschen Sie die Ventile bei Bedarf aus.

3. Entfernen Sie Ablagerungen bei Bedarf mit einem geeigneten Lösungsmittel.

4. Prüfen Sie die Membran auf Schäden, und tauschen Sie sie gegebenenfalls aus.

Abbildung 13 - Entfernen der Kopfabdeckung von der Gehäuseabdeckung

5.1.2 Austauschen der Membran

1. Heben Sie die Membran vorsichtig an.

2. Üben Sie Druck auf die Spannscheibe neben der Membran aus, um nötigenfalls das Pleuel in den oberen Umkehrpunkt zu bewegen.

3. Greifen Sie mit dem Membranschlüssel die Stützscheibe unter der Membran.

4. Üben Sie Druck auf die Membranspannscheibe aus, um die Membran in die Position des unteren Umkehrpunkts zu bringen. Drücken Sie den Membranschlüssel gegen die Membranspannscheibe, und schrauben Sie die Membranstützscheibe mit der Membran ab.

5. Wenn sich die alte Membran nur schwer von der Stützscheibe trennen lässt, tauchen Sie die Einheit in ein geeignetes Lösungsmittel, damit sich die beiden Teile leichter voneinander trennen.

WARNUNG

Verwenden Sie zum Anheben der Membran niemals ein spitzes oder scharfkantiges Werkzeug.


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Abbildung 14 - Anheben der Membran

VORSICHTPrüfen Sie, ob unter der Spannscheibe Unterlegscheiben vorhanden sind. Mischen Sie die Unterlegscheiben der verschiedenen Köpfe nicht. Achten Sie darauf, dass in den einzelnen Pumpenköpfen wieder die ursprüngliche Anzahl montiert wird.

6. Positionieren Sie die neue Membran zwischen der Membranspannscheibe mit Vierkantschraube und der Membranstützscheibe.

Hinweis: Die Membran muss mit der weißen PTFE-Seite zur Membranspannscheibe (zur Pumpkammer) zeigen.

Abbildung 15 - Positionieren einer neuen Membran

7. Heben Sie die Membran an der Seite an, und positionieren Sie sie sorgfältig mit der Membranspannscheibe und der Membranstützscheibe im Membranschlüssel.

VORSICHTVermeiden Sie Schäden an der Membran: Achten Sie darauf, dass in der Membran keine Risse entstehen, sodass helle Linien an der Oberseite der Membran auftreten.

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8. Kleinere Anzahl von Unterlegscheiben: Die Pumpe erreicht nicht das Endvakuum. Mehr Unterlegscheiben: Die Spannscheibe stößt gegen die Kopfabdeckung; Geräusche oder sogar Blockieren der Pumpe.

Abbildung 16 - Membranspannscheibe

5.1.3 Montieren der Pumpenköpfe

1. Achten Sie darauf, dass die Vierkantschraube der Membranspannscheibe korrekt in der Führungsöffnung der Membranstützscheibe sitzt.

2. Montieren Sie Membranspannscheibe, Membran und Membranstützscheibe an das Pleuel.

3. Positionieren Sie, sofern vorhanden, Unterlegscheiben zwischen Membranstützscheibe und Pleuel.

Abbildung 17 - Montieren der Membraneinheit am Pleuel

4. Bringen Sie die Membran in eine Position, in der die Membran mit dem Gehäuse in Kontakt und auf der Bohrung zentriert ist.

WARNUNG

Drehen oder verändern Sie die Gehäuseabdeckung nicht!


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Abbildung 18 - Positionieren der Membran

5. Montieren Sie Kopfabdeckung und Ventile. Überprüfen Sie die korrekte Position (siehe Abbildung 19 weiter unten).

Abbildung 19 - Montieren von Kopfabdeckung und Ventilen

VORSICHTHalten Sie sich in jedem Fall an die vorgegebene Position und Ausrichtung von Kopfabdeckungen und Ventilen.

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Abbildung 20 - Schematische Darstellung des Pumpenkopfs mit Kopfabdeckungen

Abbildung 21 - Schematische Darstellung des Pumpenkopfs mit Kopfabdeckungen und Ventilen

6. Positionieren Sie die Gehäuseabdeckung.

7. Bewegen Sie die Gehäuseabdeckung leicht, um sich zu vergewissern, dass die Kopfabdeckungen korrekt positioniert sind.

8. Schrauben Sie die sechs Innensechskantschrauben zur Befestigung der Gehäuseabdeckung kreuzweise erst leicht ein, ziehen Sie sie anschließend fest.

1. Ventile am Auslass (runde, zentrierte Öffnung unter dem Ventil)

2. Ventile am Einlass (nierenförmige Öffnung neben dem Ventil)


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Hinweis: Ziehen Sie die Schrauben erst fest, wenn die Kopfabdeckung mit dem Gehäuse Kontakt hat, max. Drehmoment 6 Nm.

Abbildung 22 - Positionieren der Gehäuseabdeckung

9. Montieren Sie den Griff mit den Schrauben, ziehen Sie die Schrauben fest.

Hinweis: Prüfen Sie die korrekte Position des Griffs über dem Schwerpunkt der Pumpe. Der Griff befindet sich in der korrekten Position, wenn das Ende des Griffs über dem Ende der Gehäuseabdeckung angeordnet ist.

Abbildung 23 - Montieren des Griffs

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5.1.4 Montieren der Anschlussteile

1. Bauen Sie mit dem Gabelschlüssel die Anschlussteile mit dem Anschlussschlauch wieder an die Pumpenköpfe an.

2. Fixieren Sie die Ringmutter, wenn Sie die Hohlschraube festziehen.

Abbildung 24 - Montieren des Anschlussteils am Pumpenkopf

5.1.5 Wenn die Pumpe Ihren Enddruck nicht erreicht

Wenn Membranen und Ventile ausgetauscht wurden, wird eine Einlaufzeit von mehreren Stunden benötigt, bevor die Pumpe ihr Endvakuum erreicht.

Wenn die Pumpe den Enddruck nicht erreicht:

Prüfen Sie die Verbindungsstücke zwischen Pumpenköpfen und Sammelleitungen auf Lecks.

Überprüfen Sie die Pumpenkammer bei Bedarf erneut.


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Tabelle 7 - Fehlersuche

Fehler Mögliche Ursache Abhilfemaßnahme

Pumpe startet nicht oder schaltet sofort ab.

Fehlt die Versorgungsspannung oder ist sie zu niedrig?

Prüfen Sie die Versorgungsspannung, oder schließen Sie sie an.

Nur Version für 24 V DC:Fehlt das Steuersignal für die Motordrehzahl?

Prüfen Sie das Steuersignal.

Ist der Druck in der Auslassleitung zu hoch?

Entfernen Sie eine Blockade in der Leitung, Öffnen Sie das Ventil.

Nur Pumpen mit spannungsumschaltbarem Motor: Ist der Motor überlastet?

Erforderlich ist ein manueller Reset.Schalten Sie die Pumpe aus, oder trennen Sie das Gerät von der Stromversorgung. Warten Sie ca. fünf Minuten, bevor Sie die Pumpe neu starten. Ermitteln Sie die Ursache der Störung, und beseitigen Sie sie.

Die Motorsicherung ist durchgebrannt.

Tauschen Sie die Sicherung aus (siehe Tabelle 1). Ermitteln und beseitigen Sie die Ursache der Störung.

Die Pumpe erreicht nicht den Enddruck oder das normale Saugvermögen.

Ist der Zentrierring nicht korrekt positioniert, oder liegt ein Leck in Leitung oder Vakuumsystem vor?

Prüfen Sie die Pumpe mit einer Vakuummessröhre direkt am Einlassanschluss der Pumpe, prüfen Sie Anschlüsse und Leitung.

Ist die Leitung lang und eng? Verwenden Sie eine Leitung mit größerem Durchmesser und möglichst kurzer Länge.

War die Pumpe Kondensat ausgesetzt?

Lassen Sie die Pumpe einige Minuten bei Atmosphärendruck laufen.

Haben sich im Innern der Pumpe Ablagerungen gebildet?

Reinigen und überprüfen Sie die Pumpenköpfe.

Sind Ventile oder Membran beschädigt?

Tauschen Sie Ventile und/oder Membranen aus.

Werden im Prozess Ausgasstoffe oder Dampf erzeugt?

Prüfen Sie die Prozessparameter.

Nur Version für 24 V DC:Ist die Pumpentemperatur zu hoch (reduzierte Motordrehzahl)?

Sorgen Sie für ausreichende Kühlung der Pumpe, oder reduzieren Sie den Einlassdruck.

Pumpe ist zu laut. Liegt am Einlassanschluss Atmosphären- oder Hochdruck vor?

Schließen Sie den Schlauch an den Pumpenauslass an.

Hat sich die Membranspannscheibe gelockert?

Führen Sie eine Wartung durch.

Keine der oben genannten Ursachen? Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten.

Pumpe festgefressen. Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten.

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Lagerung und EntsorgungA746-02-882 Issue A

6 Lagerung und Entsorgung

6.1 Lagerung

Verfahren Sie zum Einlagern der Pumpe wie folgt:

Schließen Sie das Absperrventil des Vakuumsystems, um ein Rückströmen in das Vakuumsystem zu verhindern. Schalten Sie die Pumpe mit dem Ein/Aus-Schalter am Motor aus. Trennen Sie die Pumpe von der Stromversorgung. Spülen Sie Ihr Vakuumsystem und die Pumpe mit Trockenstickstoff, und trennen Sie die Pumpe von Ihrem Vakuumsystem. Verschließen Sie Einlass- und Auslassöffnungen mit Schutzabdeckungen, achten Sie auf sichere Befestigung der Abdeckungen.

Lagern Sie die Pumpe bis zu einem erneuten Einsatz kühl und trocken.

6.2 Entsorgung

Entsorgen Sie die Pumpe und alle zu ihr gehörenden Komponenten sicher und in jedem Fall unter Einhaltung aller örtlichen und nationalen Sicherheits- und Umweltschutzbestimmungen. Seien Sie besonders vorsichtig bei Komponenten, die mit gefährlichen Prozessstoffen kontaminiert sind.

Verbrennen Sie Fluorelastomerdichtungen und O-Ringe nicht.

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Ersatzteile und ZubehörA746-02-882 Issue A

7 Ersatzteile und Zubehör

7.1 Ersatzteilliste

Tabelle 8 - Ersatzteile

Bestellnummer Beschreibung

A746-01-700 Ersatz-Einlassflansch, XDD1

A746-01-701 Ersatz-VS-Dichtung, XDD1

A746-01-702 Ersatz-Abgasschalldämpfer, XDD1

A746-01-800 Membranwartungs-Kit, XDD1

A746-01-703 Lüfterabdeckung weiß, XDD 1, 115/230 V, 50/60 Hz

A746-01-704 Motorabdeckung weiß, XDD 1, 24 V DC

A746-01-705 Schwingungsdämpfende Montagevorrichtung

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Betriebsanleitung - docs.edwardsvacuum.comdocs.edwardsvacuum.com/P450-00-000/pages/Documentation/Instruction...Konformitätserklärung Wir, Edwards, Innovation Drive, Burgess Hill,