Kracík, P. - FRT GmbH Multisenzorová m pro automobilový ...gps.fme.vutbr.cz/STAH_INFO/2703_FRT_Automotive-6.pdfKracík, P. - FRT GmbH Multisenzorová měřicí technika pro automobilový

Kracík, P. - FRT GmbH Multisenzorová měřicí technika pro automobilový průmysl

Q & GPS; 01-03/2007 MTKJ Plzeň 03/2007 1

the art of metrology™

Multisenzorová měřicí technikapro automobilový průmysl

Fries Research & Technology GmbH (FRT) Bergisch Gladbach, Germany

www.frt-gmbh.com

FRT - Fries Research & Technology

Povrchováanalýza

Metrologickésystémy

Procesníkontrola


FRT, Fries Research & Technology GmbH, Friedrich-Ebert-Strasse, 51429 Bergisch Gladbach, GermanyPhone: +49 2204 842430, Fax: +49 2204 842431

Email: [email protected], Web: www.frt-gmbh.com

12 let FRT - 1995 / 2007


FRT globálně - prodej a servis


Topografie, profily

• drsnost, vlnitost• výška textury• radius křivky• úhel

FRT - typické měrné úlohy

Tloušt´ka vrstvy

• tenká vrstva• tlustá vrstva• multiplexní

vrstva• průběh tloušt´ky

Kontrola waferů

• TTV• průhyb• zvlnění

Obrazovévyhodnocení

• průměr• rozměr• textura

Automobily

FRT – hlavní průmyslové zaměření

Polovodičemikroelektronika

MEMS / Nano

Optika

Bartels Mikrotechnik

Created with novaPDF Printer (www.novaPDF.com). Please register to remove this message.

http://www.frt-gmbh.com

mailto:[email protected],

http://www.frt-gmbh.com

http://www.novapdf.com


Q & GPS; 01-03/2007 MTKJ Plzeň 03/2007 2

FRT multi-senzorové systémy


FRT – metrologické přístroje

MicroProf® mobile

MicroProf® 350

MicroProf® 200

FRT - TTV total thickness variation ( průběh tloušt´ky)


MFE - metrologie pro front end


FRT – most mezi metrem a nanometrem

12 inch wafer

mikrostruktura

FRT - aplikace v elektronice - solder bumps

koplanarita

topografie

profil


drsnost

průhyb




Q & GPS; 01-03/2007 MTKJ Plzeň 03/2007 3

FRT – měření ve válcích

FRT MicroProf® Cylinder

profily drsnost nosná křivka úhly honování

FRT – měření válců

topografie 1mm x 1mm

topografie5 mm x 5 mm

FRT – měření válců vlastnosti


• mobilita• bezkontaktní měření• rozlišení; vertikálně do 10 nm• rozlišení; laterálně do 2 µm• automatizované měření• samokalibrace• měrné úlohy:

• axiální profily (0°, 90°, 180°, 270°)• radiální profily• textury honování• měření opotřebování

• automatické vyhodnocování



profily 0°, 90°, 180°, 270°

drsnost



rozprostření úhlů při honovánínosná křivka (Abott)objem oleje ve struktuřeměření opotřebování

FRT – klikové,vačkové hřídele, a měření ložisek




Q & GPS; 01-03/2007 MTKJ Plzeň 03/2007 4

FRT - aplikace u automobilových ložisek


• Metrologická měření os, tyčí, ložisek (vnitřní a vnější povrch), těsnění, klikových a vačkových hřídelí, válcových povrchů v blocích atd.

• Měření drsnosti, textury, průhybu, objemů,nosné křivky atd.

FRT - aplikace u automobilových motorů

pumpy, bloky, motor

vačkováhřídel

vačkováhřídel

FRT - aplikace u automobilových motorů

těsnění

litina

FRT - aplikace u automobilových motorůRa: 1.257 µmRq: 1.527 µmRz(ISO): 9.082 µmRz(DIN): 8.371 µmRmax: 10.098 µmRp: 4.587 µmRv: 5.519 µmRt: 10.106 µmRsk: 0.403Rku: 2.647RPc: 94.392/cmRk: 3.792 µmRpk: 1.775 µmRvk: 0.944 µmMr1: 17.311 %Mr2: 95.928 %V0: 0.019 µm3/µm2

Profily a drsnost hřídelí, těsnění, bloků ...

FRT - aplikace v elektronice – tlustý film/ keramika


FRT - řešení v MEMS


Výška strukturyšířkadrsnostkontura




Q & GPS; 01-03/2007 MTKJ Plzeň 03/2007 5


FRT - mikrostruktury FRT – měření transparentních vrstev


SU-08 na waferuSU-08 na waferu

FRT - aplikace u automobilového interiéru



topografie 8 mm x 8 mm topografie 0,2 mm x 0,2 mm

Výška strukturyVýška struktury


sebekontrola dělníka



TTV - globální variace tloušt´ky, vestavěný airbag




Q & GPS; 01-03/2007 MTKJ Plzeň 03/2007 6



automatizace

FRT - aplikace u automobilové optiky a osvětlení

optikamikrooptikaasféry

FRT MicroProf® mobile

mobilní měřící přístroj

FRT - aplikace u automobilů - zákazníci· Audi AG· BMW AG· Robert Bosch GmbH· Benecke-Kaliko AG· DAIMLERCHRYSLER· Deuta Werke GmbH· Emitec GmbH· Eschmann-Stahl GmbH & Co. KG Texturing Group· Ford Werke AG· Hella KG Hueck & Co.· Intier Automotive Eybl Interiors GmbH· Osram Opto Semiconductors GmbH & Co. OHG· Peguform Werke GmbH· Rehau AG & Co.· Siemens VDO Automotive AG· Valeo Auto-Electric GmbH & Co. KG· Voestalpine Stahl GmbH· Volkswagen AG· Witte-Velbert GmbH & Co. KG

FRT zákazníci




Documents

Kracík, P. - FRT GmbH Multisenzorová m pro automobilový ...gps.fme.vutbr.cz/STAH_INFO/2703_FRT_Automotive-6.pdfKracík, P. - FRT GmbH Multisenzorová měřicí technika pro automobilový