QuickView™ Software

Dynamische Schwingungsanalyse in Echtzeit

Live-Anzeige der DatenVerschiedene Triggermöglichkeiten Kontinuierliche Datenerfassung bei 5 kHz mit dem Laser Interferometer System ML10

Flexible DarstellungsmöglichkeitenOptionen für Positions-, Kippwinkel- und Geradheitsmessungen, Anzeige von Abstand, Geschwindigkeit und Beschleunigung

IntuitivEinfach zu bedienende SoftwareGrafische Symbole für Setup, Status und Datenanzeige

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Inhaltsverzeichnis• Einführung

• Anwendungsbeispiele

• Vorschubgeschwindigkeit – Genauigkeit und Gleichförmigkeit

• Drehschwingungen

• Dynamisches Kippen

• Step-Response Test

• Positionierverhalten

• Maschinenschwingungen

• Achsdynamik (Positionierung, Geschwindigkeit und Beschleunigung)

• Spezifikation und Hardware-Anforderungen

• Leistungsmerkmale

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EinführungQuickView™ ist ein neues, einfach zu verwendendes Softwaremodul für das bekannte Renishaw Laser Interferometer System ML10, mit dem man Dynamikdaten schnell und einfach erfassen, analysieren und speichern kann.

Die QuickView™ Software und das zugehörige DX10 Interface eröffnen dem Anwender folgende Messmöglichkeiten:• Echtzeitdarstellung der Messdaten in der

Oszilloskop-Darstellung • Datenaufnahme mit bis zu 5 kHz• Unterstützung der Standard-Optiken

für Positions-, Kippwinkel- und Geradheitsmessung

• Drei Modi zur Datenaufnahme (kontinuierliche Messung, Einzeltrigger, Mehrfachtrigger)

• Verschiedene Triggermöglichkeiten • Anzeige von Weg, Geschwindigkeit oder

Beschleunigung• Filter, einstellbar auf 0 ms, 1 ms, 2 ms, 5 ms

und 10 ms• Cursor zur Ermittlung von Amplitude,

Frequenz und Zeit• Manuelle Skalierungs- und Zoom-Funktionen• Automatische Skalierung

Eine separate Status Anzeige liefert alle wichtigen Laser- und Umgebungsdaten auf einen Blick. Kein Umschalten zwischen verschiedenen Anzeigemodulen. Alle Daten sind ständig sichtbar.

Die aufgezeichneten Daten können im CSV Format problemlos zur weiteren Bearbeitung in gängige Anwendungen wie MathCAD, Mathmatica oder Excel geladen werden. Selbstverständlich können die Daten auch von der Laser 10 Software für eine FFT Analyse geladen werden.

In Verbindung mit dem DX10 Interface, einem neuen PC Interface für das Laser Interferometer System, ermöglicht die QuickView™ Software die dynamische Analyse von Werkzeugmaschinen, Koordinatenmessgeräten und anderen dynamischen Komponenten und Strukturen.

Siehe “Spezifikationen” für weiter Details.

DX10 Interface (USB)

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Einführung

AnwendungsbeispieleMit seiner überragenden Absolutgenauigkeit von ± 0,7 µm/m und einer Auflösung von bis zu 1 Nanometer hat sich das Renishaw Laser Interferometer System ML10 als führendes System für die Überprüfung und Kalibrierung von Koordinatenmessgeräten und Werkzeugmaschinen bewiesen. Weltweit sind tausende dieser Systeme in unterschiedlichsten Industriezweigen und Anwendungen im Einsatz.

Laser Interferometer sind heutzutage gängige Messgeräte. Nicht nur für die Kalibrierung von Maschinenachsen, sondern auch als Hilfsmittel für die Untersuchung und Analyse während Entwicklungs- und Produktionsprozessen. Zunehmend verschärfte Qualitätsanforderungen, kontinuierliche Entwicklung immer schnellerer Bearbeitungsprozesse und die Forderung nach größerer Zuverlässigkeit und Wiederhol-genauigkeit haben diese Entwicklung beschleunigt.

Technologische Weiterentwicklungen in der Mikroelektronik, Biochemie, Halbleiterindustrie oder der digitalen Bildverarbeitung stellen zum Beispiel neue Anforderungen an die Positioniergenauigkeit und das dynamische Verhalten von Bestückungsautomaten, PCB Bearbeitungsstationen, Wafercuttern oder Positioniervorrichtungen.

Die Kenntnis des dynamischen Verhaltens von hochgenau positionierenden Maschinen ist häufig sehr wichtig. Hierzu gehören Beschleunigung, Geschwindigkeit, Vibration, Einschwingzeiten, Resonanzen und Dämpfungsverhalten. Diese Charakteristiken beeinflussen die Positioniergenauigkeit, Wiederholgenauigkeit, Oberflächengüte, Ausbringung und Verschleiß.

Aufgrund der Notwendigkeit das dynamische Maschinenverhalten in vielen Industriebereichen zu analysieren, wird sich die neue Renishaw QuickView™ Software umgehend als wichtiges und wertvolles Diagnose-Instrument etablieren.

Werkzeugmaschinen

Halbleiter

Forschung und Entwicklung

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Applications

Als ein Hilfsmittel für Konstruktion und Entwicklung kann QuickView™ ein nützliches Instrument sein um das dynamische Verhalten wie Resonanzfrequenz, Dämpfungswerte und zugehörige Muster struktureller Deformationen festzustellen.

Diese neue Software wurde entwickelt um die Leistungsfähigkeit des Renishaw Laser Interferometer Systems ML10 weiter zu steigern.

Mit seiner schnellen, leistungsstarken und flexiblen Analyse hilft QuickView™:• F&E Prozesse zu stärken, Produkte schneller

auf den Markt zu bringen • Produktionsprobleme zu diagnostizieren • Servicefähigkeit zu steigern

Die vielseitige Funktionalität von QuickView™ macht es zu einem idealen Software-Instrument für Werkzeugmaschinenentwickler, Hersteller von Antriebssystemen, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen oder wissenschaftliche Institute. Die einfache Handhabung wird durch die Icon gestützte Bedienung und die Oszilloskop-Darstellung der Messergebnisse gewährleistet.

Oszilloskope werden schon seit vielen Jahren von Elektroingenieuren eingesetzt um Strom- oder Spannungsschwankungen über einen Zeitabschnitt zu untersuchen. QuickView™ liefert die gleiche Leistungsfähigkeit für den Maschinenbauingenieur indem es Abweichungen von Positions- oder Winkelbewegungen, Geschwindigkeit oder Beschleunigungen im zeitlichen Verlauf darstellt.

In Kombination mit der Funktionalität der bekannten Laser 10 Software und der Software für die Spindelsteigungskompensation bietet Renishaw ein leistungsstarkes Paket aus Hard- und Software zur Erfüllung aller Kalibrier- und Messanforderungen im Präzisionsmaschinenbau.

Die folgenden Seiten zeigen einige Beispiele.

Inspektionsvorrichtung für Flachbildschirme (Foto mit freundlicher Genehmigung der Danaher Precision Inc.)

Kalibrierung eines Wafercutters (Foto mit freundlicher Genehmigung Manufacturing Technology Inc.)

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Anw

endungsbeispiele

Ziel der MessungDiese Messung wird angewandt, um die Genauigkeit und die Gleichförmigkeit einer programmierten Vorschubgeschwindigkeit festzustellen.

Eine konstante Vorschubgeschwindigkeit ist von entscheidender Wichtigkeit, wenn es darum geht Abtragsraten und Oberflächenbeschaffenheit zu optimieren.

MessaufbauDas Laser Interferometer System ML10 wird mit den Optiken für die Positionsmessung ausgerichtet.

Der Maschinensteuerung wird ein einfaches CNC-Programm für eine lineare Fahrbewegung eingegeben.

Die QuickView™ Software wird im Geschwindigkeitsmodus auf Positionsmessung eingestellt. Die vertikale Skalierung des Displays wird auf eine Größe entsprechend der Zielgeschwindigkeit gestellt. Grenzwertmarken können mit dem Cursor außerhalb der programmierten Vorschubgeschwindigkeit gesetzt werden.

Nachdem das CNC-Programm auf der Maschine aktiviert wurde kann mit der Datenaufnahme begonnen werden.

Das Beispiel zeigt eine programmierte Vorschubgeschwindigkeit von 10 m/min. Die zwei roten Linien zeigen Geschwindigkeiten von 1% über und unter der programmierten Geschwindigkeit.

In diesem Beispiel wurde die Zoom-Funktion aktiviert und der Geschwindigkeitsverlauf über 200 ms dargestellt.

Das zweite Besipiel zeigt eine Messung mit einem programmierten Vorschub von 1 m/min. Die Filterfunktion (10 Millisekunden) wurde aktiviert.

In diesem Beispiel wird die Geschwindigkeit über der Zeit über ein Intervall von 2 Sekunden dargestellt.

Beide Datensätze wurden über die freie Datenaufnahme erfasst. Die Messung wird über den Bediener gestartet.

Vorschubgeschwindigkeit - Genauigkeit und Gleichförmigkeit

Aufbau der Optiken

Geschwindigkeit über Zeit bei 1 m/min

Geschwindigkeit über Zeit bei 10 m/min

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Ziel der MessungMit dieser Messung können Drehschwingungen z.B. an einer geklemmten Rotationsachse ermittelt werden.

Die Drehsteifigkeit von A- und B-Achsen kann sowohl die Oberflächengüte als auch die Geometrie eines Werkstückes beeinflussen.

MessaufbauDas Laser Interferometer System ML10 wird mit den Optiken für die Winkelmessung auf der geklemmten Achse aufgebaut.

Für die Werkzeugmaschine wird kein Messprogramm benötigt, da die Messung lediglich die Güte der Klemmung im Betriebszustand ermitteln soll.

Die QuickView™ Software wird im Modus Winkelmessung gestartet.

Diese beiden Messungen zeigen die Drehschwingungen der geklemmten Achse.

Beide Grafiken zeigen das Schwingungsverhalten in einem Zeitabschnitt von 100 ms, einmal in der Darstellung µm/m und einmal in Winkelsekunden.

Alternativ kann auch die Drehschwingung in Grad dargestellt werden.

Beide Datensätze wurden im freien Datenaufnahmemodus erfasst. Der Start der Messung wird durch den Bediener ausgelöst.

Drehschwingungen

Aufbau der Optiken

Winkelabweichungen über der Zeit (µm/mm)

Winkelabweichungen über der Zeit (Winkelsekunden)

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Drehschw

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Ziel der MessungDieser Test dient der Ermittlung von Kipp- und Gierfehlern während der linearen Vor- und Rückbewegung.

Diese Messung bietet umfassende Informationen über vorhandene Drehschwingungen und laterales Spiel in Führungen und Lagern.

MessaufbauDas Laser Interferometer System ML10 wird zuerst mit den Optiken für die Positionsmessung und anschließend, für einen zweiten Messdurchlauf, mit den Optiken für Winkelmessung aufgebaut.Auf der Werkzeugmaschine wird ein einfaches CNC-Programm für eine mehrfache lineare Positionierung gestartet. Im Test unten wurde die Maschine so programmiert, dass sie um 100 mm mit 3.000 mm/min verfährt.

Die QuickView™ Software wurde im Abweichungsmodus zunächst auf Positionsmessung und im zweiten Messlauf auf Winkelaufnahme gestellt.

Nachdem das CNC-Programm auf der Maschine aktiviert wurde kann mit der Datenaufnahme begonnen werden.

Der erste Messung zeigt die Abweichung über zwei Zyklen der Maschinenbewegung, beginnend bei 0 mm auf 100 mm und zurück auf 0 mm.

Für diese Messung wurde die Software so eingestellt, dass die Datenaufnahme getriggert wird, sowie eine Abweichung größer als 0,001 mm festgestellt wird.

Der zweite Datensatz zeigt die Winkelab-weichungen in µm/m über den gleichen Messzyklus wie zuvor. Man kann erkennen, das die Maschine einen Winkelfehler von 25 µm/m (5 Winkelsekunden) hat, aber kein nennenswertes laterales Spiel (Kippen) aufweist.

Dynamisches Kippen

Aufbau der Optiken

Winkelabweichungen über der Zeit

Positionsmessung über der Zeit

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Ziel der MessungDiese Messung dient der Ermittlung der dynamischen Charakteristik durch Beobachtung der tatsächlichen Achsbewegung nach Vorgabe von kleinsten Inkrementen. Tatsächlich versucht man zu ermitteln, welches kleinste Schrittinkrement die Maschine bewegen kann. Ein ähnlicher Test ist auch im ASME Standard B5.54 definiert.

Dieser Test kann zudem Verschleißprobleme (Stick/Slip) an Führungen aufdecken.

MessaufbauDas Laser Interferometer System ML10 wird mit den Optiken für die Positionsmessung ausgerichtet.

Über das CNC-Programm wird die zu untersuchende Achse in 1 µm Schritten vorwärts bewegt.

Der Datensatz links zeigt das Ergebnis von zwei unterschiedlichen Tests.

Im ersten Test (oberes und mittleres Bild) bewegte sich die Maschinenachse 10 Schritte mit 1 µm über eine Zeit von 10 Sekunden.

Im zweiten Test (unteres Bild) wurde die Maschine programmiert um 5 Schritte mit 1 µm in positiver Richtung und 5 Schritte mit 1 µm in negativer Richtung zu fahren.

Die QuickView™ Software wird auf Positionsmessung eingestellt. Die Skalierung der Anzeige wird so gewählt, dass die erste und die letzte Position sichtbar sind. Die Zeitachse entspricht der geschätzten Dauer des Tests.

Der obere Datensatz enthält die Ergebnisse der ersten Messung und zeigt deutliches „Verschleifen” der Inkremente. Optimal wäre eine deutliche Treppenkurve.

Der untere Datensatz zeigt die Ergebnisse des zweiten Tests (positiv/negativ).Die starke Rückwärtsbewegung an der Hälfte der Messtrecke zeigt, das die Maschine eine Überkompensation beim Umkehrspiel erfahren hat.

Step-Response Test

Aufbau der Optiken

Positionsmessung über der Zeit (positiv/negativ)

Positionsmessung über der Zeit (Zoom)

Positionsmessung über der Zeit

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Step-Response Test

Ziel der MessungMit dieser Messung wird das Anfahren auf eine programmierte Position ermittelt.

Die Möglichkeit über Servo-Optimierungen das Einschwingverhalten einer Maschinenachse zu optimieren, kann entscheidend sein, um die Leistungsfähigkeit der Maschine zu optimieren. Besonders bei Pick-And-Place Anwendungen sind die Einschwingzeiten und Lageerreichung von großer Bedeutung.

Diese Messung kann für die Optimierung von Servo Controllern eingesetzt werden.

MessaufbauDas Laser Interferometer System ML10 wird mit den Optiken für die Positionsmessung ausgerichtet.

In die CNC-Steuerung wird ein einfaches Programm eingegeben, das die Achse auf eine definierte Position in der X- oder Y-Achse fährt.

Es wurden zwei Messungen ausgeführt. Eine mit einer Vorschubgeschwindigkeit von 1.000 mm/min und eine mit einem Vorschub von 27.000 mm/min. In beiden Fällen wurde eine Fahrbewegung um 100 mm programmiert.

Die QuickView™ Software wird auf Positionsmessung eingestellt. Der Datenaufnahmetrigger wurde so eingestellt, das die Datenaufnahme beginnt wenn die Position 99,9 erreicht wird. Die Skalierung wurde auf einen Wert um denTriggerpunkt gesetzt.

Im ersten Beispiel ist eine Schwankung der Maschinenpositionierung über einen Zeitraum von 200 ms dargestellt. Die Achse kommt etwas oberhalb der programmierten Position zum Stillstand.

Das zweite Beispiel zeigt über einen gleichen Zeitraum eine wesentlich größere Abweichung des Positionsregelverhaltens aufgrund der höheren Vorschubgeschwindigkeit.

Positionierverhalten

Aufbau der Optiken

Abweichung über der Zeit bei 1.000 mm/min

Abweichung über der Zeit bei 27.000 mm/min

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Ziel der MessungDieser Test dient der Feststellung von Schwingungen an beliebigen Maschinen oder Strukturen. Man kann sowohl maschineneigene Schwingungen als auch externe Schwingungen erfassen. Eine kontinuierliche Erfassung ist hilfreich bei der Feststellung von nur zeitweise oder kurzzeitig auftretenden Schwingungen.

Die Eliminierung von ungewünschten Schwingungen ist entscheidend, wenn an Werkzeugmaschinen eine hohe Oberflächengüte oder an Koordinatenmessgeräten eine hohe Wiederholgenauigkeit erreicht werden soll.

Mit dieser Messung kann Verschleiß oder Unwucht festgestellt werden.

MessaufbauDas Laser Interferometer System ML10 wird mit den Optiken für die Positionsmessung ausgerichtet.

Es sind keine CNC-Programme notwendig, da die Achse im Stillstand betrachtet wird.

Die QuickView™ Software wird auf Positionsmessung eingestellt. AC wird aktiviert um eine möglichst klare Darstellung der Schwingungen zu erreichen. Die kontinuierliche Datenaufnahme wird aktiviert um die Daten in Echtzeit sichtbar zu machen.

Die Messung erfolgt unter drei unterschiedlichen Bedingungen: bei ausgeschalteter Maschine, bei eingeschalteter Maschine mit geklemmter Spindel und mit einer Spindeldrehzahl von 5.000 min-1.

In der letzten Messung wurde der Cursor benutzt, um die Frequenz aus der Anzeige mit der Frequenz der Spindel zu vergleichen.

Maschinenschwingungen

Aufbau der Optiken

Abweichungen über der Zeit, Maschine an mit Spindeldrehzahl 5000 min-1

Abweichungen über der Zeit bei ausgeschalteter

Maschine

Abweichungen über der Zeit, Maschine an, Spindel im Stillstand

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Maschinenschw

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Ziel der MessungDieser Test dient der Ermittlung der dynamischen Charakteristik einer definierten Verfahrbewegung.

MessaufbauDas Laser Interferometer System ML10 wird mit den Optiken für die Positionsmessung ausgerichtet.

In die CNC-Steuerung wird ein einfaches Programm eingegeben, das die Achse auf eine definierte Position in der X- oder Y-Achse fährt.

Um die unten dargestellten Messergebnisse zu erhalten, wurde die Maschine so programmiert, dass sie um 100 mm verfährt.

Drei unterschiedliche Datensätze werden unter Verwendung der Optiken für Positionsmessungen aufgenommen. Für die erste Messung wir die QuickView™ Software auf den Positionsmodus gestellt, für die zweite Messung auf den Geschwindigkeitsmodus und für die abschließende Messung auf Beschleunigungsmodus.

Für alle drei Datenaufnahmen wurde der Einzeltrigger gewählt.

Für die Messung der Positionsabweichung wurde der Trigger auf 1 mm gestellt, was bedeutet, dass die Messung ab einer Bewegung von 1 mm erfasst wird.

Für den Geschwindigkeitsmodus wurde der Trigger auf 50 µm/s eingestellt.

Für den Beschleunigungsmodus wurde der Trigger auf 15 mm/s2 eingestellt.

(Die Triggerschwellen für Geschwindigkeit und Beschleunigung wurden anhand der zuvor ermittelten Ergebnisse einer kontinuierlichen Messung gewählt).

Die Zoom-Funktion kann eingesetzt werden, um die interessanten Bereiche innerhalb eines Datensatzes genauer zu betrachten.

Bewegungsmessung

Aufbau der Optiken

Beschleunigung über der Zeit

Weg über der Zeit

Geschwindigkeit über der Zeit

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Spezifikation und Hardware-AnforderungenDas QuickView™ Software Modul benötigt folgende Hardware-Umgebung zur fehlerfreien Funktion:

• Ein Renishaw Laser Interferometer System ML10 mit einer Firmware Version 3.5 oder höher• Ein Renishaw DX10 USB Interface • Einen Satz Interferometer-Messoptiken, Reflektoren und zugehöriges Montagematerial

(Magnethalter etc). Für dynamische Messungen sind Mini-Optiken erhältlich.

ComputerProzessor min. 1 GHz, Intel Pentium / Celeron FamilieArbeitsspeicher

Festplatte

256 MB RAM

20 GBBetriebssystem Windows XP (SP1 and SP2)Laufwerk CD-ROM für die SoftwareinstallationMonitor Auflösung min. 1024 x 768, SVGAInterface 1 freier USB PortBrowser Internet Explorer Version 4 oder höher (für das Online-Handbuch)Peripherie Tastatur und Maus oder Pointer

Genauigkeit Rauschen AuflösungPositionsoptik1

Positionsmessung ± 0,7 ppm ± 25 nm 1,24 nmGeschwindigkeitsmessung ± 0,01% ± 0,0 0,001 mm/sBeschleunigungsmessung ± 0,01% ± 0,25 m/s/s (0,025 g) 6 mm/s/s (0,001 g)Kippwinkeloptik2

Abweichung von der Position ± 0,6% ec 0,01 arcsecGeschwindigkeit ± 0,6% rcsec/s 10 arcsec/sBeschleunigung ± 0 200 deg/s/s 12 deg/s/sOptiken zu Geradheitsmessung (kurzer Bereich)3

Abweichung von der Position ± 450 nm 55 nmOptiken zur Geradheitsmess(lang)3

Abweichung von der Position ± 2,5% ± 4500 nm 550 nm

Hinweise:1 Die Spezifikation für die Positionsmessung basiert auf einer Geschwindigkeit von 0,25 m/s und einer Filterzeit von 1 ms 2 Die Spezifikation für die Winkelmessung basiert auf einer Drehgeschwindigkeit von 10 Grad/s und einer Filterzeit von 1 ms3

Die Spezifikation für die Geradheitsmessung basiert auf einer Meßgeschwindigkeit von 1 mm/s und einer Filterzeit von 1 msDer exakte Wert für das Rauschen ist abhängig vom der Filtereinstellung. Die einstellbaren Filterzeiten betragen 0, 1, 2, 5 und 10 ms

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DRAFT

DRAFTFTFTmm

0,03 m/s0,03 m/s± 0,25 m/s/s (0,025± 0,25 m/s/s (0,

± 0,1 arcsec± 0,6%% ± 75 arc75 a

± 0,6% ± 200± 20

± 0,5%± 0,5%ssung ssung

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Spezifikation

Meßoptionen: Position, Kippwinkel, Geradheit (kurz), Geradheit (lang)

Live Anzeige der Daten vom Laser ML10

Signalstärke-Anzeige

Materialtemperatur (bis zu 3 Sensoren)

Anzeige der Umgebungswerte der Kompensationseinheit EC10: Lufttemperatur, Luftdruck, Luftfeuchtigkeit

Meßarten: Abweichung, Geschwindigkeit, Beschleunigung

Filterauswahl: 0 ms, 1 ms, 2 ms, 5 ms und 10 ms

AC / DC Umschaltung

Vertikales Scrollen

Automatische Skalierung Die Software ändert die Skalierung der vertikalen Achse automatisch in die Displayebene

Manuelle Skalierungs-möglichkeit für die vertikale Achse

Manuelle Skalierungsmöglichkeit für die horizontale Achse

Buttons für Richtung, Nullen, Preset und Dezimalstellen

Wählbare Einheiten

QuickView™ software © 2004 Renishaw plc

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Einstellung für die vertikale Cursorposition. Anzeige des Cursors an/aus. Durch Eingabe eines Wertes kann die genaue Cursorposition festgelegt werden oder durch die Maus bestimmt werden

Einstellung für die horizontale Cursorposition. Anzeige des Cursors an/aus. Durch Eingabe eines Wertes kann die genaue Cursorposition festgelegt werden oder durch die Maus (durch Drag and Drop) bestimmt werden

Verlagerungsfunktionen: erlaubt die Verschiebung des Betrachtungsbereiches auf der aktuellen Datenanzeige

Rückgängig: führt zurück auf die vorherige Anzeige

Verschiedene Zoomfunktionen: erlaubt das Ein-und Auszoomen an gewünschter Position der momentanen Datenanzeige

Auswahl der Datenerfassungs-Modi. Dieser Button erlaubt die Wahl von kontinuierlicher Datenaufnahme, Einzel- und Mehrfachtrigger

Start / Stop SchalterGewählter Triggerwert

Echtzeit Datenanzeige 15

Leistungsmerkm

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Renishaw GmbH

Karl-Benz-Straße 1272124 Pliezhausen Deutschland

T +49 (0) 7127 981-0F +49 (0) 7127 88237E germany@renishaw.com

www.renishaw.de

Renishaw behält sich das Recht vor, technische Änderungen ohne Vorankündigung vorzunehmen© 2004 Renishaw plc

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Veröffentlicht: 11/04

Best. Nr. L-8003-2495

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