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Verbundprojekt Greiferbaukasten für die Mikrosystemtechnik S. Fabian
2. Statusseminar 06.02.2003
piezosystem jena
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Mikromontageaufgaben in der Fertigung optischer Schalter
Ing. S. [email protected] jena.com
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piezosystem jena
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2. Statusseminar 06.02.2003
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Übersicht
direkte Fa ser-Fa serkopplungG lasnu ten zur F aserau fnahm e
Multim odeK erndurchm esser: 50-600µm
K opplung über optische B a uelem enteL insen un d P rism en fü r optim ale Koppelbedingu ngen
Singlem odeKerndurchm esser: 3 -10µm
Anw endung:S p ek troskop ie
op tisc h e M esssys tem eTe lek om m u n ika tion
FaserschalterB ew eg u n g m ik roop tis ch e r K om p on en ten u n d F asern
d u rch p iez oe lek trisch e B ieg ew an d le r
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Singlemode-Faserschalter• hohe Schaltgeschwindigkeit• geringe Koppelverluste• hohe Reproduzierbarkeit• wellenlängenabhängig
Fokusieroptik
Kollimations- optik
aktives Prisma
Ausgangs-faserarray
Eingangsfaser
Aktuator
passives Prisma
Fokusierlinsen
geschaltete Kanäle
Fasern
Fasern
FSS 1x4
FSS 4x4
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Multimode-Faserschalter• hohe Schaltgeschwindigkeit• minimale Koppelverluste• hohe Reproduzierbarkeit• wellenlängenunabhängig
1x3 Modul
1x3 Modul
1x3 Modul
1x3 Modul
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Grundprinzip Faserschalter MM
Antriebe (Bieger)
1x3 Trägermodul
Glasnuten zur Faseraufnahme
Position 1 Position 2 Position 3 Position 0
Breite (µm) Tiefe (µm) Breite (µm) Tiefe (µm) Breite (µm) Tiefe (µm)
300 300 400/400 300 400/300/400 300
400 400 600/600 400 600/300/600 400
600 600 800/800 600
Außenabmaße bei allen Typen gleich
1-er Nut 2-er Nut 3-er Nut
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Anforderungen an Greifsysteme FSM•Greifen von Glasnuten und Fasern
•Anpassung an die verschiedenen Nutgeometrien und Faserdurchmesser
•Zuführen zum Ablagepunkt
•Grobpositionierung / Feinpositionierung
•Sichtkontrolle bei Feinpositionierung der Glasnuten
•(computergesteuertes Ausrichten der Glasnuten in x,y und
z-Richtung über virtuelle Masken)
•Halten der Position (Klebung)
•Lösen des Greifers
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Nutmontage•Auswahl der Nutgeometrie•Overlay•Positionieren der 1. Glasnut•Klebung•Overlay unter Schaltbedingungen•Positionierung der 2. Glasnut•Klebung
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Fasermontage
• Greiferwahl nach Fasergeometrie
• Positionierung der Eingangsfaser(mittig in 1-er Nut)
• Klebung• Vorpositionieren der Ausgangsfaser• Feinpositionierung durch aktive Justage • Klebung
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Faserschalter
FSM 1x9 MM FSS 1x8 SM
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