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1
25 Jahre
Institut fürMikroelektronik
derTechnischen Universität Wien
Die ersten beiden Angehörigen
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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Martin Thurner
Dreidimensionale Modellierung von MOS
Transistoren
Oktober 1988
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Gerhard Hobler
Simulation der Ionenimplantation in
ein-, zwei- und dreidimensionalen
Strukturen
November 1988
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
3
Albert Seidl
Zweidimensionale Simulation der lokalen Oxidation von Silizium
November 1988
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Wolfgang Kausel
Zweidimensionale transiente Simulation
von Halbleiterbauelementen
Februar 1989
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Johannes Demel
JANAP - Ein Programm zur Simulation von
elektrischen Netzwerken
Oktober 1989
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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Gerd Nanz
Numerische Methoden in der
zweidimensionalen Halbleiterbauelement-
simulation
November 1989
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Peter Dickinger
Hochvolt DMOS Transistoren: Analyse
und Optimierung
Mai 1990
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Philipp Lindorfer
Numerische Simulation von Galliumarsenid
MESFETs
März 1991
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Otto Heinreichsberger
Transiente Simulation von Silizium-MOSFETs
März 1992
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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Hans Kosina
Simulation des Ladungstransportes in
elektronischen Bauelementen mit Hilfe
der Monte-Carlo-Methode
Mai 1992
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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Karl Wimmer
Two-Dimensional Nonplanar Process
Simulation
Mai 1993
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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Predrag Habaš
Analysis of Physical Effects in Small Silicon
MOS Devices
August 1993
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Hannes Stippel
Simulation der Ionen-Implantation
Oktober 1993
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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Hubert Pimingstorfer
Integration und Anwendung von
Simulatoren in der CMOS-Entwicklung
November 1993
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Hermann Brand
Thermoelektrizität und Hydrodynamik
Mai 1994
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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Claus Fischer
Bauelementsimulation in einer
computergestützten Entwurfsumgebung
Mai 1994
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Stefan Halama
The Viennese Integrated System for
Technology CAD Applications
Mai 1994
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Martin Stiftinger
Simulation und Modellierung von Hochvolt-DMOS-
Transistoren
Oktober 1994
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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Robert Bauer
Numerische Berechnung von Kapazitäten in
dreidimensionalen Verdrahtungsstrukturen
November 1994
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Franz Fasching
The Viennese Integrated System for
Technology CAD Applications
November 1994
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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Ernst Strasser
Simulation von Topographieprozessen
in der Halbleiterfertigung
November 1994
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Nadim Khalil
ULSI Characterization with Technology Computer-Aided
Design
Mai 1995
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Michael Hackel
Transport und Injektion von Ladungsträgern in
MOS-Strukturen mit der Monte-Carlo-Methode
August 1995
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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Ralf Deutschmann
Entwicklung eines physikalischen HFET-
Modells: Parameterextraktion
und Verifikation
August 1995
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Gerhard Rieger
Ein graphischer Editor für Entwurf von
Halbleiterbauteilen
Mai 1996
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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Thomas Simlinger
Simulation von Heterostruktur-
Feldeffekttransistoren
Mai 1996
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Helmut Puchner
Advanced Process Modeling for VLSI
Technology
Mai 1996
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Walter Bohmayr
Simulation der Ionenimplantation in
kristalline Siliziumstrukturen
September 1996
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
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Walter Tuppa
VMAKE A CASE-Oriented
Configuration Management Utility
Oktober 1996
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Christoph Wasshuber
About Single-Electron Devices and Circuits
Jänner 1997
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
21
Christoph Pichler
Integrated Semiconductor
Technology Analysis
März 1997
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
22
Christian Köpf
Modellierung des Elektronentransports in Verbindungshalbleiter-
legierungen
Oktober 1997
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Ernst Leitner
Diffusionsprozesse in dreidimensionalen
Strukturen
Dezember 1997
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
23
Goran Kaiblinger-Grujin
Physikalische Modellierung und
Monte-Carlo-Simulation der
Elektronenbeweglichkeit in Silizium
Dezember 1997
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Helmut Brech
Optimization of GaAsBased High Electron
Mobility Transistors by Numerical Simulation
März 1998
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
24
Heinrich Kirchauer
Photolithography Simulation
März 1998
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
25
Gerhard Schrom
Ultra-Low-Power CMOS Technology
Juni 1998
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Martin Knaipp
Modellierung von Temperatureinflüssen
in Halbleiterbauelementen
September 1998
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
26
Mustafa Radi
Three-Dimensional Simulation of Thermal
Oxidation
September 1998
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Rui Martins
On the Design of Very Low Power Integrated
Circuits
Dezember 1998
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
27
Klaus-Tibor Grasser
Mixed-Mode Device Simulation
Mai 1999
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Rudolf Strasser
Rigorous TCAD Investigations on Semiconductor
Fabrication Technology
Mai 1999
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
28
Martin Rottinger
Selected Simulations of Semiconductor
Structures
Mai 1999
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
29
Richard Plasun
Optimization of VLSI Semiconductor Devices
Mai 1999
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Robert Mlekus
Object-Oriented Algorithm and Model
Management in TCAD Applications
November 1999
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
30
Peter Fleischmann
Mesh Generation for Technology CAD in Three Dimensions
Dezember 1999
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Michael Stockinger
Optimization of Ultra-Low-Power CMOS
Transistors
Jänner 2000
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
31
Jürgen Lorenz
Diskretisierung und Gittergeneration für die
mehrdimensionale Simulation von
Implantation und Diffusion
Februar 2000
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Wolfgang Pyka
Feature Scale Modeling for Etching and
Deposition Processes in Semiconductor
Manufacturing
April 2000
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
32
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Andreas Hössinger
Simulation of Ion Implantation for ULSI
Technology
Juli 2000
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
33
Vassil Palankovski
Simulation of Heterojunction Bipolar
Transistors
Dezember 2000
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Klaus Dragosits
Modeling and Simulation of
Ferroelectric Devices
Jänner 2001
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
34
Rainer Sabelka
Dreidimensionale Finite Elemente Simulation
von Verdrahtungsstrukturen
auf Integrierten Schaltungen
Februar 2001
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Christian Troger
Modellierung von Quantisierungseffekten
in Feldeffekttransistoren
Mai 2001
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
35
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Rüdiger Quay
Analysis and Simulation of High Electron Mobility
Transistors
Juni 2001
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
36
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Christian Harlander
Numerische Berechnung von Induktivitäten in
dreidimensionalen Verdrahtungsstrukturen
November 2002
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
37
Markus Gritsch
Numerical Modeling of Silicon-on-Insulator
MOSFETs
November 2002
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Robert Klima
Three-Dimensional Device Simulation with
Minimos-NT
November 2002
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
38
Clemens Heitzinger
Simulation and Inverse Modeling of
Semiconductor Manufacturing
Processes
November 2002
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Thomas Binder
Rigorous Integration of Semiconductor Process and Device Simulators
November 2002
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
39
Rodrigo RodríguezTorres
Three-Dimensional Simulations of Split-
Drain MAGFETs
März 2003
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
40
Sergey Smirnov
Physical Modeling of Electron Transport in Strained Silicon and Silicon-Germanium
Dezember 2003
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Andreas Gehring
Simulation of Tunneling in Semiconductor
Devices
November 2003
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
41
Tesfaye Ayalew
SiC Semiconductor Devices - Technology,
Modeling, and Simulation
Jänner 2004
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Annual ReviewJune 2004
Technische Universität Wien
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
42
Jong Mun Park
Novel Power Devices for Smart Power
Applications
November 2004
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Robert Kosik
Numerical Challenges on the Road to
NanoTCAD
August 2004
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
43
Johann Cervenka
Three-Dimensional Mesh Generation for Device and Process
Simulation
Oktober 2004
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Hajdin Ceric
Numerical Techniques in Modern TCAD
April 2005
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
44
Stephan Wagner
Small Signal Device and Circuit Simulation
April 2005
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Annual ReviewJune 2005
Technische Universität Wien
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
45
Rainer Minixhofer
Integrating Technology Simulation into the
Semiconductor Manufacturing Environment
April 2006
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Annual ReviewJune 2006
Technische Universität Wien
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
46
Alireza Sheikholeslami
Topography Simulation of Deposition and Etching Processes
Oktober 2006
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Robert Wittmann
Miniaturization Problems in CMOS Technology:Investigation of Doping Profiles and Reliability
Februar 2007
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
47
Wilfried Wessner
Mesh Refinement Techniques for TCAD
Tools
Jänner 2007
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Christian Hollauer
Modeling of Thermal Oxidation and Stress
Effects
April 2007
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
48
Stephan-EnzoUngersböck
Advanced Modeling of Strained CMOS
Technology
April 2007
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Annual ReviewJune 2007
Technische Universität Wien
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
49
Stefan Holzer
Optimization for Enhanced Thermal Technology CAD
Purposes
Juni 2007
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Mahdi Pourfath
Numerical Study of Quantum Transport in
Carbon Nanotube-Based Transistors
Juli 2007
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
50
Robert Entner
Modeling and Simulation of Negative Bias
Temperature Instability
August 2007
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Siddhartha Dhar
Analytical Mobility Models for Strained
Silicon-Based Devices
August 2007
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
51
René Heinzl
Concepts for Scientific Computing
September 2007
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Martin Wagner
Simulation of Thermoelectric Devices
Dezember 2007
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
52
Alexandre Nentchev
Numerical Analysis and Simulation in
Microelectronics by Vector Finite Elements
Jänner 2008
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Ling Li
Charge Transport in Organic Semiconductor Materials and Devices
Februar 2008
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
53
Michael Spevak
On the Specification and the Assembly of
Discretized Differential Equations
März 2008
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Annual ReviewJune 2008
Technische Universität Wien
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
54
Gerhard Karlowatz
Advanced Monte Carlo Simulation for
Semiconductor Devices
Juli 2009
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
55
Martin-Thomas Vasicek
Advanced Macroscopic Transport Models
Oktober 2009
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Christian Poschalko
The Simulation of Emission from Printed Circuit Boards under a
Metallic Cover
November 2009
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
56
Otmar Ertl
Numerical Methods for Topography Simulation
Mai 2010
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Roberto Lacerda de Orio
ElectromigrationModeling and Simulation
Juni 2010
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
57
Thomas Windbacher
Engineering Gate Stacks for Field-Effect
Transistors
Juni 2010
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
58
Thomas Aichinger
On the Role of Hydrogen in Silicon
Device Degradation and Metalization Processing
September 2010
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Stanislav Vitanov
Simulation of High Electron Mobility
Transistors
Dezember 2010
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
59
Philipp Schwaha
Beyond Atavistic Structures in Scientific
Computing
Dezember 2010
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Goran Milovanovic
Numerical Simulation ofQuantum Cascade
Lasers
März 2011
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
60
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Philipp Hehenberger
Advanced Characterization of the
Bias Temperature Instability
Dezember 2011
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
61
Karl Rupp
Deterministic Numerical Solution of the
Boltzmann Transport Equation
Dezember 2011
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Wolfgang Gös
Hole Trapping and the Negative Bias
Temperature Instability
Dezember 2011
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
62
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Oliver Triebl
Reliability Issues in High Voltage Semiconductor
Devices
Oktober 2012
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
63
Lado Filipovic
Topography Simulation of Novel Processing
Techniques
Dezember 2012
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
Ivan Starkov
Comprehensive Physical Modeling of Hot-Carrier Induced Degradation
Jänner 2013
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
64
Franz Schanovsky
Atomistic Modeling in the Context of the Bias Temperature Instability
März 2013
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
21. Juni 2013 25 Jahre Institut für Mikroelektronik der TU Wien
