Wissensplattform Mikro-Nano-Integration

www.nanoteclearn.org

Es steht allen Unternehmen offen, diese Wissensplattform kostenlos zu nutzen.

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heidi.kroemker@tu-ilmenau.de

W issensplattform M ik ro-Nano-Integ ration

Das Unsichtbare sichtbar m achen

Nanotechnolog isches W issen hat eine hohe Inno-vationsg eschw indig k eit u nd ndet sich in w eiten Teilen nu r in internationalen w issenschaftlichen Veröffentlichu ng en w ieder. Die Erg ebnisse der Gru ndlag enforschu ng ieß en so oft nicht schnell g enu g in die Entw ick lu ng en der K M U ein. Es be-steht ein erheblicher Bedarf an Fachk räften m it nanotechnolog ischem W issen, die die Erk ennt-nisse der Gru ndlag enforschu ng qu ali ziert in Produ k te überführen k önnen.

G erade bei den Produ k tionsprozessen für die M ik ro-Nano-Integ ration stehen Fachk räfte vor neu en Herau sforderu ng en. Bestim m te Prozess- schritte sind w esentlich k ritischer als bisher u nd für die „u nsichtbaren A rbeitsobjek te“ sind neu e Q u alitätsk riterien notw endig .

Daher g reift die W issensplattform typische Frag estellu ng en au s dem A rbeitsalltag au f, die sich an Grenz ächen ab- spielen k önnen:

• W as g eschieht, w enn sich dünne Schichten eines M aterials im Prozess versehentlich anlag ern?• W ie beein u ssen sie den Folg eprozess?• W as bew irk t eine W echselw irk u ng m it einem M ediu m , das die Obe das die Ober äche anätzt u nd dessen Nanostru k tu r verändert?• W elche Effek te folg en au s einer Tem peratu rbehandlu ng ?

A u ch A rbeitsanw eisu ng en k önnen nu r m it einem nano- technolog ischen Gru ndverständnis situ ationsg erecht richtig au sg eführt w erden. Ein interak tiver Bildbetrachter von Rasterelek tronenm ik rosk op-A u fnahm en zeig t z. B., w elche Spu ren selbst ein Handschu h au f dem W afer hinterlässt.

DarüberDarüber hinau s g ibt es Tools zu m M essen u nd Verg leichen von M ik ro- u nd Nanostru k tu ren. Den physik alischen Hinter- g ru nd erschließ en sich die Fachk räfte m it interak tiven Form eln u nd leicht verständlichen, k u rzen Texten. Die neu e W issensplattform zu r M ik ro-Nano-Integ ration g eht au f diese Herau sforderu ng en ein u nter dem M otto „Das Unsichtbare sichtbar m achen“.

DieDie W issensplattform NanoTecLearn an der Technischen Universität Ilm enau w ird vom Bu ndesm inisteriu m für Bildu ng u nd Forschu ng g efördert.

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