Dichtheitsprüfgeräte / Leckdetektoren Dichthe · Dichthe PHOENIX Helium-Leckdetektoren Dichtheitsprüfgeräte / Leckdetektoren 270.00.01 Auszug aus dem Leybold Gesamtkatalog 2016

DichthePHOENIX Helium-Leckdetektoren

Dichtheitsprüfgeräte / Leckdetektoren

270.00.01Auszug aus dem Leybold Gesamtkatalog 2016Produkt-Kapitel Dichtheitsprüfgeräte / LeckdetektorenAusgabe Herbst 2016

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Leck

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leybold Leybold Gesamtkatalog Herbst 2016 3

Dichtheitsprüfgeräte / Leckdetektoren

Allgemeines

Applikation für Dichtheitsprüfgeräte und Leckdetektoren 4

Zubehör für Dichtheitsprüfgeräte und Leckdetektoren 5

Lecksuchtechnik – Dichtheitsprüfung 6

Methoden der Dichtheitsprüfung 7

Arbeitsweise und Eigenschaften der Helium-Leckdetektoren 9

Produkte

Helium-Leckdetektoren

PHOENIX L300i 12

PHOENIX L300i DRY 14

PHOENIX L300i MODUL 16

CART 300 für PHOENIX L300i 19

PHOENIX L500i 20

Sonderausführungen

PHOENIX L340i, mobiler Helium-Leckdetektor als Sitzarbeitsplatz 22

PHOENIX L320i Fab, mobiler Helium-Leckdetektor für erhöhte Reinheitsanforderungen 23

Zubehör

Fernbedienungen für Lecksuchgeräte RC 310 24

Testlecks für Vakuum- und Schnüffel-Anwendungen 26

Einschraub-Testlecks 28

Zubehör für PHOENIX L300i, PHOENIX L300i DRY, PHOENIX L300i MODUL und PHOENIX L500i 30

Helium-Schnüffler 32

Sonstiges

Anschlussflansche 34

Verbindungselemente 34

Inhalt

leyboldLeybold Gesamtkatalog Herbst 20164

Allgemeines

Applikation für Dichtheitsprüfgeräte und Leckdetektoren

Halbleiter-Fertigung n n n n n

Vakuum-Beschichtung n n n

Forschung und Entwicklung n n n n n n n

Chemie/Pharma n n n n n n n

Metallurgie/Ofenbau n n n

Lampen-/Röhren-Fertigung n n n n n

Automobil-Industrie n n n n n

Laser-Technik n n n

Teilchen-Beschleuniger n n n n

Analysen-Technik n n n n n n n

Anlagen mit Kryopumpen n n n n n n

Kälte-/Klima-Technik n n n n

Elektro-Technik n n n n n n

Maschinenbau n n n n

Kraftwerks-Technik n n n n

Anlagenbau n n n n

UHV-Anwendungen n n n n n n

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PHOENIX L3

00i M

ODUL

(öl

-frei)

ApplikationPHOENIX

L320

i Fab

PHOENIX L3

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PHOENIX L3

00i M

ODUL

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PHOENIX L3

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PHOENIX L3

00i D

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PHOENIX L5

00i


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Zubehör für Dichtheitsprüfgeräte und Leckdetektoren

Fernbedienung RC 310 734 n n n n n

Testleck 738 n n n n n n

Einschraub-Testleck 740 n n n n n n

Transportmittel 740 n n n n

Teilstrom-System 740 n n n

PC-Software LeakWare 742 n n n n n

Schnüffel-Leitung 744 n n n n n1) n

Auspuff-Filtersatz – standard standard standard

Schnittstelle – standard standard standard standard standard standard standard

Gasballast-Einrichtung – standard standard

Trigger-Relais-Karte – standard standard standard standard standard standard standard

1) Auf Anfrage

Seite

Pumpen

PHOENIX L3

00i

PHOENIX L3

00i D

RY

PHOENIX L3

00i M

ODUL

(öl

-frei)

PHOENIX L3

00i M

ODUL

(öl

-ged

ichtet

)

PHOENIX L3

20i F

ab

PHOENIX L3

40i

Zubehör

PHOENIX L5

00i


Vak

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103................100 10-1 10-2 10-3 10-4 10-5 10-6 10-7 10-8 10-9 10-10 10-11 10-12 mbar · l · s -1

Druckanstieg

Helium-Leckdetektor PHOENIX L500i



Helium-Leckdetektor PHOENIX L300i MODUL

Helium-Leckdetektor PHOENIX L300i DRY

Bläschen-Test

Druck-Abfall - Test


Lecksuchtechnik – Dichtheitsprüfung

Ob ein Bauteil oder eine Apparatur „dicht“ ist, hängt davon ab, welchem Zweck das Bauteil oder die Apparatur dienen und welche Undichtheit noch zulässig sein soll. Absolute Dichtheit gibt es nicht. Ein Bauteil gilt als tech-nisch dicht, wenn die Undichtheit unter einem für das Teil festgelegten Grenz-wert bleibt. Um Undichtheiten quantita-tiv erfassen zu können, wurde der Begriff „Leckrate“ mit dem Formelzei-chen „qL“ eingeführt. Für die Vakuum-technik wurde die Einheit der Leckrate mit mbar · l · s-1 festgelegt.

Eine Leckrate von 1 mbar · l · s-1 liegt vor, wenn in einem abgeschlossenen Behälter von 1 Liter Volumen in 1 Se-kunde der Druck um 1 mbar ansteigt bzw. bei Überdruck um 1 mbar abfällt.

Die in der Praxis zulässigen Leckraten von einigen 100 mbar · l · s-1 bis zu < 10-11 mbar · l · s-1 machen den Ge-brauch verschiedener Dichheits-Prüf-methoden und Dichtheits-Prüfgeräte erforderlich (siehe Abb.).

Neben der Feststellung der Gesamt-undichtheit interessiert in den meisten Fällen das Auffinden eines Lecks, um es gezielt und zeitsparend beseitigen zu können. Geräte zur lokalen Leck-suche werden Lecksucher oder Leck-

detektoren genannt. Mit den in diesem Produkt-Kapitel vorgestellten Leck-detektoren kann neben einer gezielten Lecksuche zum Teil auch die Bestim-mung der Gesamt l eckrate von Prüf-objekten vorgenommen werden.

Leckrate

Pa · m3 · s-1

1 mbar · l · s-1 (He)

1 atm · cm3 · s-1 *) = cm3 (STP) · s-1

1 Torr · l · s-1 *)

1 kg · h-1 Luft

1 g/a C2H2F4 (R 134a)

1 10 9,87

0,1 1 0,99

0,101 1,01 1

0,133 1,33 1,33

23,4 234 234

6,41 · 10-7 7,58 · 10-6 6,3 · 10-6

atm · cm3 · s-1 *) atm · cm3 · s-1 *) Pa · m3 · s-1 mbar · l · s-1 *) cm3 · s-1 *)

Übersicht der Leckraten-Nachweisbereiche

Leckrate

Pa · m3 · s-1

1 mbar · l · s-1 (He)

1 atm · cm3 · s-1 *) = cm3 (STP) · s-1

1 Torr · l · s-1 *)

1 kg · h-1 Luft

1 g/a C2H2F4 (R 134a)

*) Nach dem internationalen Einheitensystem ist nur Pa · m3 · s-1 zulässig

7,5 4,28 · 10-2 2,28 · 106

0,75 4,3 · 10-3 2,28 · 105

0,76 4,3 · 10-3 2,3 · 105

1 5,7 · 10-3 3,0 · 105

175 1 –

4,8 · 10-6 – 1

atm · cm3 · s-1 *) kg · h-1 g/a Torr · l s-1 *) Luft C2H2F4 (R 134a)

V · ∆p ∆t

qL = (mbar · l · s-1)


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Leck

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Zeit

Dru

ck

1

2

3

4

6

LDHELIUM

Zwei Hauptgruppen von Methoden sind zu unterscheiden, für die spezielle Geräte verfügbar sind:

Vakuum-Methoden

Hierbei wird der Prüfling evakuiert.

Druckverhältnisse innen/außen ist 0 : 1.

Überdruck-Methoden

Hier wird der Prüfling mit einem Test gas oder Testgasgemisch unter Überdruck gesetzt.

Druckverhältnis innen/außen ist > 1 : 1.

Zu beiden Methoden gibt es noch ver-schiedene, dem jeweiligen Zweck an ge passte Varianten.

Grundsätzliches

1. Kleinste Leckraten lassen sich nur nach der Un terdruck- oder Vakuum -Methode zuverlässig feststellen, wobei gilt: je kleiner die Leckrate, desto grö-ßer sind die Anforderungen an Sauber-heit und Endvakuum.

2. Prüflinge sollen nach Möglichkeit ihrer späteren Verwendung entspre-chend geprüft werden. D.h. Teile für Vakuumbetrieb sind nach der Vakuum-Methode und Teile für Überdruckbe-trieb nach der Überdruck-Methode zu prüfen.

Dichtheitsprüfung nach Vakuum-Methoden

(Vakuum im Prüflingsinnern)

Druckanstieg-Methode

Mit dieser Methode lässt sich nur die Gesamtleckrate ermitteln. Die Evaku-ierung des Prüflings erfolgt mit Hilfe ei -ner Vakuumpumpe oder eines Vakuum-Pumpsatzes. Durch ein Ventil wird das Prüfobjekt von der Pumpe getrennt. Der Druck wird dann, wie in der Abbil-dung gezeigt, zeitabhängig ansteigen. Kurve (a) zeigt den theoretischen Ver-lauf bei vorhandenem Leck. Kurve (b) zeigt einen Druckanstieg infolge Gas-abgabe der Oberflächen des Prüflings, der einem Sättigungs wert zustrebt. Hier kann bei zu kurz angesetzter Druckanstiegszeit irrtümlich auf eine Undichtheit geschlossen werden. Nach genügend langer An stiegs zeit – nach Knick der Kurve (b) – wird die Gasab-gabe so weit eliminiert, dass die Leck-rate bei bekanntem Prüfvolumen und gemessenem Druck anstieg während einer festgesetzten Anstiegszeit (siehe Formel auf der vorherigen Seite) be -rech net werden kann. Kurve (c) zeigt den in der Praxis tatsächlich vorkom-menden Verlauf, bei dem sich Gasab-gabe und Leckrate ad dieren. Die nach-weisbare Leckrate ist abhängig vom Prüfvolumen, dem er reichten Enddruck und der Gasabgabe des Prüflings. Die Methode ist an großvolumigen Prüf-objekten, im Fein- und Grobvakuum-bereich, zum Nachweis kleiner Leck-raten sehr zeitaufwendig.

Lokale Lecksuche

Der Prüfling wird mit einer Vakuum-pumpe (Hilfspumpe) so weit evakuiert, bis der für den Leckdetektor notwendi-ge Prüfdruck erreicht ist. Bei Verwen-dung eines Helium-Leckdetektors, übernimmt dessen Pumpsatz die wei-tere Evakuierung. Leckverdächtige Stellen des Prüflings werden dann mit einem feinen Testgasstrahl abgesprüht. In den Prüfling eindringendes Testgas wird von der Vakuumpumpe abge-pumpt und im Leckdetektor in ein elek-trisches Signal umgewandelt und ange-zeigt. Das Aufspüren kleinster Lecks und ihre Größenbestimmung ist mit relativ geringem Zeitaufwand möglich.

Integral-Methode

Ermitteln der Gesamt-Leckrate eines Prüflings.

Die Prüfanordnung ist die gleiche, wie vorher (lokale Lecksuche) beschrieben, jedoch wird der Prüfling nicht gezielt mit Testgas abgesprüht, sondern mit einer Hülle oder Kammer umgeben und diese mit Testgas gefüllt. Die ge samte äußere Oberfläche des Prüf lings hat dadurch Kontakt mit dem Testgas. Dringt Testgas durch Lecks in den Prüf- ling ein, wird unabhängig von der An -zahl der Lecks die Gesamtleck rate an -gezeigt. Mit Helium-Leckdetek toren kann der Heliumgehalt der Luft nach-gewiesen werden. Diese Möglich keit wird zum Grobleck-Nachweis genutzt.

Methoden der Dichtheitsprüfung

Lokale Lecksuche – Prüfling unter Vakuum (links) und Integral-Methode – Prüfling unter Vakuum (rechts)Druckanstieg in einem Behälter nach Abschalten der Pumpe; doppelt logarithmisch aufgetragen

2

3

4

LDHELIUM

1

5

a) Druckanstieg durch Undichtheitb) Druckanstieg durch Gasabgabe der Behälterwändec) beide Effekte gemeinsam

1 Prüfling 3 Testgasbehälter 5 Prüfhülle 2 Leckdetektor 4 Vakuumpumpe 6 Testgas-Sprühpistole


2

3

LDHELIUM

1

6

2

3

LDHELIUM

15

6

2

3

4

LDHELIUM

1

5

Dichtheitsprüfung nach Überdruck-Methoden

(Druck im Prüflingsinnern)

Druckabfall-Methode

Der Prüfling wird mit einem Gas (z.B. Luft oder Stickstoff) gefüllt und auf Prüfdruck gebracht. Mit Präzisions-manometern wird der evtl. Druckabfall während der Prüfzeit festgestellt. Die Methode ist einfach in der Anwen-dung, für Grob-Dichtheitsprüfungen gut geeignet und kann mit Differenzdruck -Messgeräten verfeinert werden. Durch Bestrei chen leckverdächtiger Stellen mit Seifenlösung o.ä. lassen sich Un -dichtheiten lokalisieren.

Lokale Lecksuche mit Leck-Detekto-ren – Schnüffeln

Der Prüfling wird mit dem Testgas bzw. Testgas/Luftgemisch gefüllt, auf das der Leckdetektor anspricht. Zur Leck-suche ist der Leckdetektor mit einem Schnüffler ausgerüstet, an dessen Schnüffelspitze Unterdruck herrscht. Führt man den Schnüffler an leckver-dächtigen Stellen des Prüflings entlang, wird das aus Lecks austretende Test-gas eingesaugt und dem Nach weis-system des Leckdetektors zugeführt. Nach Wandlung in elektrische Signale erfolgt die Anzeige am Leck detektor optisch und akustisch.

Integral-Methode – Hüllentest

Zur Bestimmung der Gesamtundicht-heit eines Prüflings unter Testgas-Über-druck wird dieser mit einer Hülle umge-ben, deren Volumen bekannt ist. Das

durch Lecks austretende Testgas rei-chert sich in der Hülle an. Nach einer festgesetzten Anreicherungszeit (Stand zeit) wird mit einem Schüffler die Konzentrationsänderung in der Hülle gemessen.

Der Leckdetektor sollte zuvor, durch Vergleichsmessung mit bekannter Test-gaskonzentration, kalibriert werden.

Die Leckrate kann mit der Formel für qL

errechnet werden, wobei V das Hüllen-volumen, ∆p die Partialdruck-Differenz des Testgases (Konzentrationsände-rung) und t die Akkumulationszeit ist.

Unsicherheit in der Volumenbestim -mung, undichte Hüllenhaut und falsch bemessene Standzeit etc. stellen eine exakte Leckratenbestimmung u.U. in Frage.

Integral-Methode – Vakuum-Hüllentest

Es handelt sich hierbei um eine Vari an -te zum vorher beschriebenen Hüllen-test mit erheblichen Vorteilen. Als Hülle dient eine Vakuumkammer, die mit ei ner Hilfspumpe evakuiert werden kann und an die ein Leckdetektor an -ge schlos sen wird. Durch Lecks austre-tendes Testgas wird vom Nachweis-system des Leckdetektors in Messsig nale gewandelt und sofort zur Anzeige gebracht. Nach Kalibrierung des Leck detektors mit einem Testleck kann die Gesamtleckrate quantitativ bestimmt werden.

Diese Methode erlaubt den Nachweis kleinster Undichtheiten und ist beson -

ders für automatisierte Industrie-Dicht- heitsprüfung geeignet.

Integral-Methode – Bombing-Test

Zur Prüfung hermetisch verschlossener Bauteile, wie Transistoren, IC-Gehäuse oder Schutzgasrelais; es ist eine Ab -wandlung des Vakuum-Hüllentests. Hierbei werden die zu prüfenden Teile in ein Druckgefäß gegeben, das mit Testgas – vorzugsweise Helium – ge füllt wird. Bei relativ hohem Testgas druck und einer Standzeit bis zu einigen Stun den soll im Innern von undichten Prüflingen eine Testgasanrei che rung er -reicht werden. Dieser Vorgang ist das eigentliche „Bombing“.

Zur Dichtheitsprüfung werden die Prüf-linge nach dem „Bombing“ in eine Vakuumkammer gebracht und, wie beim Vakuum-Hüllentest beschrieben, auf ihre Gesamtleckrate geprüft. Prüf-linge mit Grobleck verlieren beim Eva-kuieren der Vakuumkammer auf den er forderlichen Prüfdruck u.U. bereits ihre Testgaskonzentration, so dass sie bei der eigentlichen Dichtheitsprüfung mit dem Leckdetektor nicht als undicht erkannt werden. Der Dichtheitsprüfung in der Vakuumkammer geht deshalb in vielen Fällen ein „Bubble-Test“ voraus.

Die Methode erlaubt den Nachweis kleinster Leckraten und wird haupt -sächlich zur automatischen, industriel-len Dichtheitsprüfung eingesetzt. Be son ders an Bauteilen, die auf andere Weise nicht mit Gas gefüllt werden kön nen.

Lokale Lecksuche – Prüfling unter Testgas-Überdruck

Integral-Methode (Testgasanreicherung) – Prüfling unter Testgas-Überdruck

Integral-Methode – Prüfling unter Testgas-Überdruck

Erläuterungen zu den Abbildungen1 Prüfling 3 Testgasbehälter 5 Prüfhülle 2 Leckdetektor 4 Vakuumpumpe 6 Schnüffler


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Arbeitsweise und Eigenschaften der Helium-LeckdetektorenGrundsätzliche Arbeitsweise

Ein Helium-Leckdetektor erlaubt das Auffinden von Lecks und die quantitati-ve Bestimmung der Leckrate, d.h. des durch das Leck fließenden Gasstro-mes. Ein solcher Leck-Detektor ist da -her ein Heliumstrom-Messgerät.

In der Praxis erfüllt der Leckdetektor diese Aufgabe dadurch, dass er zu -nächst das zu prüfende Teil evakuiert, so dass durch die Druckdifferenz von außen Gas durch ein vorhandenes Leck eintreten kann. Falls man nun Helium vor dieses Leck bringt (z.B. mit einer entsprechenden Sprüh pistole), so fließt dieses ebenfalls durch das Leck und wird vom Leckdetektor abge-pumpt. Der dabei im Leckdetektor auf-tretende Helium-Partialdruck wird von einem Sektorfeld-Massenspektrometer ge messen und als Leckrate angezeigt. Diese wird im allgemeinen als Volu men -strom des Heliums (pV-Strom) an ge-geben.

Wesentliche Spezifikationen

Die beiden wesentlichen Eigenschaf-ten eines Leckdetektors sind sein Messbereich (Nachweisgrenzen) und sein Zeitverhalten (Ansprechzeit).

Der Messbereich ist begrenzt durch die kleinste und die größte nachweisbare Leckrate. Die kleinste nachweisbare Leckrate wird durch die Summe von Drift und Rauschen im empfindlichsten Messbereich definiert. Wobei üblicher-weise die Summe aus Rausch am pli-tude und Nullpunktdrift pro Minute gleich dieser kleinsten nachweisbaren Leck rate gesetzt werden. Bei Leck-detek toren ist die Drift so gering, dass die Rauschamplitude allein die Nach-weis grenze bestimmt.

Die größte nachweisbare Leckrate hängt stark vom verwendeten Verfah-ren ab. Vor allem durch das Gegen-stromverfahren und durch Teilstrom-betrieb (siehe Beschreibung weiter hin ten) lassen sich auch sehr große Leck raten mit einem empfindlichen Helium-Leckdetektor messen. Bei Leck detektoren ist zusätzlich auch durch mehrstufige, automatisch umge-schaltete Elektrometerverstärker die Möglichkeit zur Messung großer Leck-raten gegeben.

Für den praktischen Einsatz, insbeson-dere zur Lecklokalisierung, ist die An -sprechzeit von größter Bedeutung. Die-ses ist die Zeit, die vom Besprühen mit Helium bis zur Anzeige eines Mess wer-tes vergeht. Die Ansprechzeit ist min-destens durch die Zeitkonstante in der Elektronik der Messsignal aufberei tung gegeben, die bei Leckdetektoren im -mer weit unter 1 s liegt.

Bei der Lecksuche an Komponenten, die ausschließlich vom Leckdetektor gepumpt werden, ist das Helium-Saug-vermögen am Prüfling von entschei-dender Bedeutung. Dieses, vom Leck-detektor aufgebrachte Saugver mögen sorgt dafür, dass Helium, welches durch ein Leck eindringt, auch schnell im Leckdetektor nachweisbar ist. Das Volumen des zu prüfenden Teils ande-rerseits verzögert die Ein stellung des Heliumsignals. Die An sprechzeit ergibt sich durch die ein fache Formel:

Ansprechzeit für Helium tA = 3

(für 95% des Endwertes)

wobei V = Prüflingsvolumen SHe = Heliumsaugvermögen am Prüfling (bzw. am Einlass des Leckdetektors, falls dieser allein den Prüfling pumpt)

V

SHe


Hauptstrom-Verfahren

Das Hauptstrom-Verfahren war lange die klassische Arbeitsweise von Helium-Leckdetektoren, wird jedoch aufgrund seiner Nachteile kaum noch angewendet. Beim Hauptstrom- Verfahren fließt der gesamte Helium-strom durch das Hochvakuum system des Leckdetektors, wobei das Massen-spektrometer den Partialdruck des Heliums misst. Entscheidend ist der Einsatz einer Kühlfalle mit flüssigem Stickstoff im Gasstrom, um den stö ren-den Wasserdampf oder andere kon-den sierbare Gase im Vakuumsystem zu binden und dadurch überhaupt die nie drigen Arbeitsdrücke eines Massen-spektrometers < 10-4 mbar), trotz direkt angeschlossenem (evtl. verschmutz-tem) Prüfling, zu erreichen.

Vorteile des Hauptstrom-Verfahrens sind insbesondere:

– höchste Empfindlichkeit, d.h. niedrige Nachweisgrenze,

– kurze Ansprechzeiten durch großes Saug vermögen am Einlass.

Der gewichtige Nachteil dieses Verfahrens besteht jedoch darin, dass der komplette Gasfluss durch das Mas-senspektrometer geleitet wird und dadurch störende Partikel wie Staub und Wasserdampf in das Massenspek-trometer eindringen und dieses in sei-ner Funktionsweise beeinträchtigen.

Gegenstrom-Verfahren

Bei diesem Verfahren wird der Prüfling nicht an das Hochvakuum, sondern an das Vorvakuum (zwischen Turbo-Mole-kularpumpe und Vorpumpe) ange-schlossen, so dass der gesamte Gas-strom (insbesondere der Wasserdampf) nicht mehr zu einer Druckerhöhung im Massenspektrometer führt. Die Kühl-falle wird damit überflüssig!

Das Helium, das nun auch ins Vor-vakuum fließt, kann jedoch empfindlich nachgewiesen werden, da es auf Grund seiner hohen Teilchengeschwin-digkeit gegen die eigentliche Pump-richtung durch die Turbo-Molekular-pumpe ins Massenspektrometer ge langt. Die Empfindlichkeit dieser Ge- genstrom-Anordnung ist bei richtiger Kombination von Vorpumpen-Saugver-mögen und Heliumkompression der Turbo-Molekularpumpe genauso hoch, wie beim klassischen Hauptstrom-Prin-zip.

Die Vorteile des Gegenstrom-Verfah-rens sind insbesondere:

– kein flüssiger Stickstoff erforderlich,

– hohe Einlassdrücke (Prüflings-drücke) möglich.

Somit ist das Gegenstrom-Verfahren insbesondere zur mobilen Lecksuche an Anlagen geeignet. Für die Leck-suche an größeren Komponenten, wo eine kurze Ansprechzeit (d.h. hohes Saugver mögen) verlangt wird, ist eine zusätzliche Turbopumpstufe am Ein lass des Lecksuchers notwendig.

Teilstrom-Verfahren

Zur Erweiterung des Messbereiches in Richtung größerer Leckraten und zum Betrieb bei hohem Einlassdruck enthal-ten Helium-Leckdetektoren eine Teil-strom- oder Grobleck -Einrichtung. Diese besteht aus einem Drosselventil und einer Drehschieber-Vakuum-pumpe. Bei Drücken, die über dem normalen Einlassdruck liegen (Haupt-strom: über 10-2 mbar, Gegenstrom: über 10-1 mbar) oder bei großen Helium-Leck raten, wird das Einlass-ventil ge schlossen und der Hauptgas-strom fließt in die Teilstrompumpe, während nur ein kleiner Anteil über die Teilstrom drossel in den Leckdetektor gelangt. Hierdurch wird sowohl der Totaldruck als auch der Heliumdruck im Leck detektor in verarbeitbare Bereiche gebracht.

Um auch im Teilstrom quantitativ rich-tige Leckratenanzeigen zu erhalten, muss das Teilstromverhältnis, also der Anteil des tatsächlich gemessenen Gasstromes vom Gesamtgasstrom, bekannt und stabil sein.

Dieses wird bei Leckdetektoren durch die Teilstromdrossel erreicht, welche aus einem hochpräzise durchbohrten Rubin („Uhrenstein“) besteht. Hierdurch ist ohne zusätzliche Kalibrierung auch für Groblecks immer eine quantitativ richtige Leckratenanzeige sicherge-stellt.

Hauptstrom-Verfahren Gegenstrom-Verfahren Teilstrom-Verfahren


Prüf

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Leck

such

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Kalibrierung von Helium- Leckdetektoren mit Testlecks

Bei der Lecksuche erwartet man bei einem dichten Prüfling, dass der Leck-detektor keinen Ausschlag zeigt. Es ist dabei unbedingt auszuschließen, dass dies auf einer Funktionsstörung beruht. Daher sind Testlecks, d.h. künstliche Lecks, die eine bekannte Helium-Leck-rate abgeben, für eine sichere Aussage unerlässlich.

Um eine quantitativ richtige Leckraten-anzeige zu erhalten, muss außerdem die Empfindlichkeit eines Helium-Leck-detektors richtig abgeglichen werden. Auch hierzu wird ein Testleck benötigt.

Leybold bietet Helium-Testlecks ver-schiedener Bauart im Bereich von 10-9 bis 10-4 mbar · l · s-1 serienmäßig an. Alle Leckraten entsprechen den Stan-dards des DAkkS-Kalibrier dienstes, der

von der Physika lisch-Technischen-Bundes anstalt (PTB) getragen wird. Auf Wunsch kann jedes Helium-Test leck mit Heliumvorrat mit einem DAkkS-Kali-brierzertifikat ausgeliefert werden. Die Kalibrierung erfolgt bei der DAkkS-Kalibrier stelle für Vakuum, wel che die Leybold GmbH im Auftrag der PTB be treibt.


Vorteile für den Anwender

- Kleinste nachweisbare Leckrate

- Rasche Erholung für Helium

- Schnelle Betriebsbereitschaft

- Extrem kurze Reaktionszeit

- Ölfreies Gaseinlass-System

- Einer der kleinsten Helium-Leck-sucher der Welt

- Hohe Empfindlichkeit

- Schnelle Leckraten-Anzeige auch bei kleinen Leckraten

Typische Anwendungen

Dichtheitsprüfungen in

- Qualitätssicherung

- Automobil-Industrie

- Analysengeräte

- Anlagenbau

- Kraftwerks-Technik

- Forschung und Entwicklung

- Halbleiter-Industrie

- Hoch- und Ultra-Hochvakuum- Technik

- Ideales Werkzeug für die industrielle Serienprüfung – beispielsweise in der Kälte-/Klima-Industrie

Bei Verwendung der als Zubehör er-hältlichen Schnüffel-Leitungen ist der PHOENIX L300i als Schnüffel-Leckde-tektor einsetzbar.

In Verbindung mit einem Teilstrom-Sys-tem eignet er sich der PHOENIX L300i für die Lecksuche an großvolumigen Behältern.

Der PHOENIX L300i ist ein universell einsetzbarer portabler Helium-Leckde-tektor und gleichermaßen in der Serien-produktion als auch zum Service-Ein-satz geeignet.

Die robuste Konstruktion und die einfa-che Bedienung machen den PHOENIX L300i zum bedienungs-freundlichsten Leckdetektor seiner Klasse.

Helium-LeckdetektorPHOENIX L300i

PHOENIX L300i

Produkte

30,3

(11,

93)

457(179,92)438(172,44)

22(8,66)

495(194,88)

56,5

(22,

24)

438,

5(1

72,6

4)40

8,5

(160

,83)

314(123,62)

123,

3(4

8,54

)

282

(111

,02)

57(2

2,44

)

32(1

2,6)

56,5

(22,

05)

382

(150

,39)

207(81,5)

41,5(16,34)

282(111,02)

213(83,86)

49(19,29)

438,

5(1

72,6

4)

382

(150

,39)

38,5

(15,

16)

Maßzeichnung zum PHOENIX L300i (Rückseite) Maßzeichnung zum PHOENIX L300i (Seitenansicht und Unteransicht))


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Leck

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Technische Daten

Kleinste nachweisbare He-Leckrate Vakuumbetrieb mbar · l · s-1 Schnüffelbetrieb mbar · l · s-1

Max. nachweisbare Wasserstoff-Leckrate Vakuumbetrieb mbar · l · s-1 Schnüffelbetrieb mbar · l · s-1

Maßeinheiten (wählbar) Druck Leckrate Schnüffel-Modus

Leckraten-Anzeigenbereich mbar · l · s-1

Messbereiche

Max. Einlassdruck mbar

Saugvermögen während des Evakuierungsvorganges 50 Hz m3 · h-1 60 Hz m3 · h-1

Helium-Saugvermögen im Vakuummodus GROSS Modus l/s FINE Modus l/s

Zeitkonstante des Lecksignals (blindgeflanscht, 63% des Endwertes) s

Hochlaufzeit (nach dem Einschalten) min

Massenspektrometer

Ionenquelle

Nachweisbare Massen amu

Einlassflansch DN

Abmessungen (B x H x T) mm

Gewicht kg

Verfügbare Sprachen

≤ 5 · 10-12 < 7 · 10-9

≤ 1 · 10-8 < 1 · 10-7

mbar, Pa, atm, Torr

mbar · l · s-1, Pa · m3 · s-1, Torr · l · s-1, atm · cc · sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq

1 · 10-12 bis 1 · 10-1

12 Dekaden

15

2,5 3,0

0,4

> 3,1

< 1

≤ 2180° magnetisches Sektorfeld

2 Yttrium/Iridium-Langzeit-Katoden

2, 3 und 4

25 ISO-KF

495 x 456 x 314

40

Englisch, Deutsch, Chinesisch, Japanisch (Katakana), Russisch, Französisch, Italienisch, Spanisch, Polnisch, Koreanisch

Bestelldaten

PHOENIX L300i Euro-Version 230 V, 50/60 Hz, mbar-Anzeige, mit eingebautem Testleck TL 7

US-Version 115 V, 60 Hz, mbar-Anzeige, mit eingebautem Testleck TL 7

Japan-Version 100 V, 60 Hz, mbar-Anzeige, mit eingebautem Testleck TL 7

Teilstrom Pumpsatz (115-230 V)

PC-Software LeakWare

Weiteres Zubehör finden Sie im Abschnitt „Zubehör für PHOENIX L300i, PHOENIX L300i DRY und PHOENIX L300i MODUL“

Kat.-Nr.

250000V01

251000V01

251100V01

140 20

140 90

PHOENIX L300i

PHOENIX L300i


Tragbarer und trockener Helium-Leckdetektor PHOENIX L300i DRY


- Ölfreies „trockenes“ Pumpsystem

- Geringer Platzbedarf

- Schnelle Betriebsbereitschaft

- Extrem kurze Reaktionszeit

Der PHOENIX L300i DRY ist ein kom-pakter tragbarer Helium-Leckdetektor, der höchste Reinheits-Anforderungen er füllt.

Basierend auf der ausgereiften Technik des PHOENIX L300i, aber ausgestattet mit einem ölfreien Pump system, verei-nigt der PHOENIX L300i DRY höchste Rein heits-Anforderungen mit kleinen Abmes sungen.


Dichtheitsprüfungen mit hohen Rein-heits-Anforderungen, z.B.

- Halbleiter-Industrie - nach Reparaturen oder Wartungs- arbeiten - Produktion von Komponenten an HL-Anlagen

- Pharmazie/Medizintechnik

- Laser

PHOENIX L300i DRY

30,3

(11,

93)

457(179,92)438(172,44)

22(8,66)

495(194,88)

56,5

(22,

24)

438,

5(1

72,6

4)40

8,5

(160

,83)

314(123,62)

123,

3(4

8,54

)

282

(111

,02)

57(2

2,44

)

32(1

2,6)

56,5

(22,

05)

382

(150

,39)

207(81,5)

41,5(16,34)

282(111,02)

213(83,86)

49(19,29)

438,

5(1

72,6

4)

382

(150

,39)

38,5

(15,

16)

Maßzeichnung zum PHOENIX L300i DRY (Rückseite) Maßzeichnung zum PHOENIX L300i DRY(Seitenansicht und Unteransicht))


Prüf

gerä

te /

Leck

such

er

Bestelldaten

PHOENIX L300i DRY Euro-Version 230 V, 50 Hz, mbar-Anzeige, mit eingebautem Testleck TL 7

US-Version 115 V, 60 Hz, mbar-Anzeige, mit eingebautem Testleck TL 7

Japan-Version 100 V, 60 Hz, mbar-Anzeige, mit eingebautem Testleck TL 7

Teilstrom Pumpsatz (115-230 V)


Weiteres Zubehör finden Sie im Abschnitt „Zubehör für PHOENIX L300i, PHOENIX L300i DRY und PHOENIX L300i MODUL“

Kat.-Nr.

250001V01

251001V01

251101V01

140 20

140 90

Technische Daten

Kleinste nachweisbare He-Leckrate Vakuumbetrieb mbar · l · s-1 Schnüffelbetrieb mbar · l · s-1

Max. nachweisbare Wasserstoff-Leckrate Vakuumbetrieb mbar · l · s-1 Schnüffelbetrieb mbar · l · s-1



Messbereiche

Max. Einlassdruck mbar


Helium-Saugvermögen im Vakuummodus GROSS Modus l/s PRECISION Modus l/s FINE Modus l/s


Hochlaufzeit (nach dem Einschalten) min

Massenspektrometer

Ionenquelle


Einlassflansch DN


Gewicht kg


≤ 3 · 10-11 < 7 · 10-9

≤ 1 · 10-8 < 1 · 10-7

mbar, Pa, atm, Torr


1 · 10-11 bis 1 · 10-1

11 Dekaden

15

1,6 1,8

0,02 0,4

> 3,1

< 1

≤ 2180° magnetisches Sektorfeld


2, 3 und 4

25 ISO-KF

495 x 456 x 314

35,5


PHOENIX L300i DRY

PHOENIX L300i DRY


Mobiler und flexibler Helium-Leckdetektor PHOENIX L300i MODUL

Der PHOENIX L300i MODUL kombi-niert die hervorragenden Eigenschaften des PHOENIX L300i mit dem vakuum -tech nisch erforderlichen Pumpsystem.

Hieraus ergeben sich im Wesentlichen zwei Gruppen:

- Trockene, mobile Leckdetektoren mit wähl barer Saugleistung

- Ölgedichtete, mobile Leckdetek-toren mit großem Saugvermögen zum optimalen Preis-Leistungsver-hältnis

PHOENIX L300i MODUL mit öl-geschmierter Vorvakuumpumpe

Diese Kombination ist ein leistungsstar-ker Leckdetektor, dessen Saugver mö-gen der Anwendung angepasst ist.


- Preiswerter Leckdetektor

- Saugvermögen optimiert auf die Anwendung

- Rasche Ansprechzeit

- Kurze Erholzeit


- Schnelle Leckraten-Anzeige auch bei kleinen Leckraten


Alle Anwendungen, die kurze Takt zeiten und/oder größere Volumina beinhalten und außerdem Mobilität benötigen, wie:

- Automobil-Industrie

- Kälte-/Klima-Technik

- Ofenbau/Maschinenbau/Anlagen bau

- Verpackung

Das PHOENIX L300i MODUL ist das Grundgerät einer ganzen Familie von Leckdetektoren. Es basiert auf dem PHOENIX L300i, hat aber keine integrierte Vorvakuumpumpe und bietet so die höchste Flexibilität für verschie-dene Anwendungen. Die Vorvakuum-pumpe ist in Abhängigkeit der jeweili-gen Prozessanforderungen auszuwählen. Zum Beispiel für die Evakuierung von großen Vakuumkam-mern oder zur Erreichung von höheren Lecktestzyklen.

PHOENIX L300i MODUL mit trocken verdichtender Scroll-Pumpe

Diese Kombination ist ein trockener Leckdetektor mit hohen Leistungs-daten.


- Sehr hohes Saugvermögen, auch geeignet, um HL-Prozesskammern ohne eigenes Pumpsystem zu tes-ten

- Rasche Ansprechzeit

- Kurze Erholzeit (nach Helium-Ver-seuchung)

- Absolut trocken



Alle Anwendungen, für die hohe Rein-heits-Anforderungen im Prozess gelten, wie:

- Halbleiter-Industrie (Chip-Hersteller)

- Halbleiter-Industrie (Tool-Hersteller und Zulieferer)

- Reinstgas-Industrie

- Forschung und Entwicklung

- UHV-Anwendungen

PHOENIX L300i MODUL


Prüf

gerä

te /

Leck

such

er

Technische Daten

Kleinste nachweisbare He-Leckrate

Vakuumbetrieb mbar · l · s-1

Schnüffelbetrieb mbar · l · s-1

Max. nachweisbare Wasserstoff-Leckrate

Vakuumbetrieb mbar · l · s-1

Schnüffelbetrieb mbar · l · s-1

Max. zulässiger Einlassdruck mbar

mit Teilstrompumpsatz mbar

Saugvermögen während des

Evakuierungsvorganges mit Pumpe (50 Hz)

SOGEVAC SV 16 D m3 · h-1

SOGEVAC SV 28 BI m3 · h-1

SOGEVAC SV 40 BI m3 · h-1

TRIVAC D 16 B m3 · h-1

TRIVAC D 25 B m3 · h-1

SCROLLVAC SC 15 D m3 · h-1

SCROLLVAC SC 30 DL m3 · h-1

Saugvermögen für Helium

am Einlassflansch l/s

Zeitkonstante des Lecksignals

(blindgeflanscht, 63% des Endwertes) s


Maßeinheiten (wählbar)

Druck

Leckrate

Schnüffel-Modus

Zeit bis zur Betriebsbereitschaft min

Massenspektrometer

Ionenquelle


Testanschluss


Gewicht (ohne Pumpe) kg


1) Mit SCROLLVAC SC 30 DL2) Mit SCROLLVAC SC 15 D

≤ 5 · 10-11 ≤ 5 · 10-12 ≤ 8 · 10-12 1) / ≤ 5 · 10-11 2)

< 7 · 10-9 < 7 · 10-9 < 7 · 10-9

≤ 1 · 10-8 ≤ 1 · 10-8 ≤ 1 · 10-8

< 1 · 10-7 < 1 · 10-7 < 1 · 10-7

15 15 15

1000 1000 1000

14,5 – –

23 – –

40 – –

– 16 –

– 26 –

– – 13

– – 26

> 3,1 > 3,1 > 3,1

< 1 < 1 < 1

1 · 10-12 bis 1 · 10-1 1 · 10-12 bis 1 · 10-1 1 · 10-12 bis 1 · 10-1

mbar, Pa, atm, Torr mbar, Pa, atm, Torr mbar, Pa, atm, Torr

mbar · l · s-1, Pa · m3 · s-1, mbar · l · s-1, Pa · m3 · s-1, mbar · l · s-1, Pa · m3 · s-1,

Torr · l · s-1, Torr · l · s-1, Torr · l · s-1,

atm · cc · sec-1, sft3/yr atm · cc · sec-1, sft3/yr atm · cc · sec-1, sft3/yr

ppm, g/a eq, oz/yr eq ppm, g/a eq, oz/yr eq ppm, g/a eq, oz/yr eq

≤ 2 ≤ 2 ≤ 2

180° magn Sektorfeld 180° magn Sektorfeld 180° magn Sektorfeld

2 Yttrium/ 2 Yttrium/ 2 Yttrium/

Iridium-Langzeit-Katoden Iridium-Langzeit-Katoden Iridium-Langzeit-Katoden

2, 3 und 4 2, 3 und 4 2, 3 und 4

1 x DN 25 ISO-KF 1 x DN 25 ISO-KF 1 x DN 25 ISO-KF

495 x 456 x 314 495 x 456 x 314 495 x 456 x 314

30 30 30

Englisch, Deutsch, Chinesisch, Englisch, Deutsch, Chinesisch, Englisch, Deutsch, Chinesisch,

Japanisch (Katakana), Japanisch (Katakana), Japanisch (Katakana),

Russisch, Französisch, Russisch, Französisch, Russisch, Französisch,

Italienisch, Spanisch, Italienisch, Spanisch, Italienisch, Spanisch,

Polnisch, Koreanisch Polnisch, Koreanisch Polnisch, Koreanisch

PHOENIX L300i MODUL

mit 1-stufiger mit 2-stufiger mit Scroll-Pumpe

Drehschieber-Pumpe Drehschieber-Pumpe


Der Lieferumfang der nachfolgenden Katalog-Nummern beinhaltet lediglich die Einzel-Komponenten zur Selbst-montage.

Bestelldaten PHOENIX L300i MODULEuro-Version / 230 V, 50 Hz US-Version / 115 V, 60 Hz

Kat.-Nr. Kat.-Nr.

PHOENIX L300i MODUL

ohne Vorvakuumpumpe

100 bis 230 V / 50/60 Hz 250 002V01

ZubehörEmpfohlene Vorvakuumpumpen

SOGEVAC SV 16 D 960 186 V 960 186 V SOGEVAC SV 28 BI 960 277 960 278

SOGEVAC SV 40 BI 960 364 V -

TRIVAC D 16 B 113 25 912 65-1

TRIVAC D 25 B 113 35 912 75V001

SCROLLVAC SC 15 B 133 001 133 101

SCROLLVAC SC 30 DL 133 050 133 051

Weiteres Zubehör finden Sie im Abschnitt

„Zubehör für PHOENIX L300i,

PHOENIX L300i DRY und

PHOENIX L300i MODUL“


Prüf

gerä

te /

Leck

such

er

300 67153

153

1095999

647

191

729

537

40

125200

76

19

525

334

311

CART 300 (mit PHOENIX L300i)

CART 300 fürPHOENIX L300i

Technische Daten


Gewicht

ohne Leckdetektor und Pumpe, ca. kg

(hier als Beispiel mit Leckdetektor

und Scroll-Pumpe SCROLLVAC SC 30 DL)

525 x 1095 x 1024

50

CART 300

Maßzeichnung zum CART 300 (hier als Beispiel mit Leckdetektor und Scroll-Pumpe SCROLLVAC SC 30 DL)

Bestelldaten

CART 300

ohne E-Box

mit E-Box 230 V, Euro-Version

Kat.-Nr.

252 005 252 006

CART 300



- Absolut zuverlässige Leckerkennung

- Schnelle und reproduzierbare Prüf-ergebnisse

- Neues, innovatives Systemdesign für hohe Produktivität im Dauerbe-trieb

- Geeignet für Serienprüfung

- Rasche Evakuierung und schnelle Messbereitschaft bei geringer Ver-schmutzungsneigung

- Kompakte, mobile Einheit mit ergo-nomischer Arbeitsposition

- Einfacher und komfortabler Betrieb

- Schlafmodus/Aufwachfunktion

- Alle Anschlüsse leicht zugänglich an der Geräterückseite

- 3 Jahre Gewährleistung auf die Kathoden und die Ionenquelle


Qualitätssicherung von Bauteilen und Baugruppen aus den Industrieberei-chen

- Elektrotechnik (Durchführungen, Vakuumsensoren, Lampen und Transformatoren)

- Automobil-Industrie (Brennstoffleitungen, Getriebe)

- Kälte- und Klimatechnik

- Verpackungen (medizinische, pharmazeutische und Lebensmittelprodukte, Fässer)

- Forschung (Kernfusion, Weltraumsimulatoren, Teilchenbeschleuniger)

Überwachung und Steuerung

- Drahtloser Betrieb über WiFi

- Exklusive, ergonomisch gestaltete Tablet-Halterung (im Lieferumfang enthalten)

- Einfache Einrichtung und intuitive Bedienung durch die übersichtliche Touchscreen Steuerung

- Wählbare Betriebsart für maximale Flexibilität

- Messwerterfassung und Auslesen von Daten

Hochgeschwindigkeits-Lecksuche

- Ansprechzeit < 1 s

- Heliumsaugvermögen am Einlass von bis zu 50 l/s

- Extrem kurze Helium Erholzeit

- Effiziente Standby- und Timerfunk-tion für Zeit- und Energieersparnis

- Zuverlässige und reproduzierbare Testergebnisse

Der Helium-Lecksucher PHOENIX L500i eröffnet neue Dimensionen der Produktivität und Zuverlässigkeit für ihre Anwendung. Die Lecksucher der PHOENIX Serie sind die Lösung mit intelligenter Steuerung.

Helium-LeckdetektorPHOENIX L500i

PHOENIX L500i

630

345

315

999

1289

1028

DN63 ISO-K

Maßzeichnung zum PHOENIX L500i


Prüf

gerä

te /

Leck

such

er

Technische Daten

Kleinste nachweisbare He Leckrate (nach AVS 2.1 und EN 1518) mbar · l · s-1

Max. zulässiger Einlassdruck Qualitative Messung mbar Quantitative Messung mbar


Hochlaufzeit (bis zur Betriebsbereitschaft) min

Einlassflansch DN

Max. Helium-Saugvermögen am Einlassflansch l/s

Ansprechzeit s

Versorgungsspannungen 3 Phasen/N/PE, 50/60 Hz V

Gewicht kg

Abmessungen (L x B x H) mm






Massenspektrometer

Ionenquelle

< 5 · 10-12

1000 100

2, 3 und 4

< 3

63 ISO-K

50

< 1

200/208/380/400/460

385

999 x 630 x 1028

Englisch, Deutsch

mbar, Pa, atm, Torr


5 · 10-12 bis 1000

65 78

< 0,2

180° magnetisches Sektorfeld


PHOENIX L500i

Bestelldaten

Helium-Leckdetektor PHOENIX L500i Drehschieber-Vakuumpumpe gefüllt mit Mineralöl LVO 100 PFPE Öl LVO 400

Testleck TL 9 TL 8 TL 6 TL 4 TL 4-6

Reduzierstück DN 63 ISO-K / DN 40 ISO-KF

Gassprühpistole für Helium (einschließlich 5 m Schlauch)

Antistatik-Arbeitsplatte

Kat.-Nr.

503504V901 503504V902

144 08 165 57 155 66 155 65 155 80

887 40

165 55

optional

PHOENIX L500i


PHOENIX L340iMobiler Helium-Leckdetektor als Sitzarbeitsplatz


- Mobil ausgeführter, bequemer Sitz-arbeitsplatz

- Einfache Bedienung, identisch zu PHOENIX L300i

- Kompakte Abmessungen, da nur Standard-Komponenten wie PHOENIX L300i Modul oder TRIVAC D 25 B integriert sind

- Hohe Nachweisempfindlichkeit für Helium, daher sehr kleine Lecks de -tektierbar

- Schnelle Messbereitschaft

- Großes Saugvermögen durch se pa -rate Vorvakuumpumpe

Der PHOENIX L340i ist eine mobile Dicht heits-Prüfstation, ausgeführt als Sitzarbeitsplatz. Er wurde vorrangig für die Prüfung von Kleinserienteilen im Vakuum- oder Schnüffelmodus konzi-piert. Mit seinen geringen Grundab-messungen und der Ausstattung mit vier Rädern passt er durch jede Stan-dardtür.

Die integrierten Standardkomponenten bestehen aus dem PHOENIX L300i MODUL mit zweistufiger, ölgedichteter Drehschieberpumpe TRIVAC D 25 B sowie einem Leistungs- und Steuerteil.

PHOENIX L340i

Technische Daten

Kleinste nachweisbare He-Leckrate (Vakuumbetrieb) mbar · l · s-1

Max. nachweisbare He-Leckrate (Vakuumbetrieb) mbar · l · s-1

Anschlussflansch für Prüflinge DN

Saugvermögen während des Evakuierungsvorganges mit TRIVAC D 25 B (50 Hz) m3 · h-1 mit SCROLLVAC SC 30 DL m3 · h-1

Saugvermögen für Helium am Einlassflansch l/s

Zeitkonstante des Lecksignals (blindgeflanscht, 63 % des Endwertes) s


Abmessungen (B x H x T) mm Höhe der Arbeitsplatte mm


≤ 5 · 10-12

> 0,1

40 ISO-KF

ca 25 ca 25

> 2,5

< 1

< 2

780 x 1000 x 1000 750


PHOENIX L340i

Der PHOENIX L340i wird über das PHOENIX L300i Operator Panel be -dient, das zu diesem Zweck in die Front blende montiert wurde. Bedie-nung und technische Parameter des PHOENIX L340i können direkt vom PHOENIX L300i abgeleitet werden. Optional kann der PHOENIX L340i mit einem Auspufffilter AF 16-25 für die TRIVAC, mit einer trockenverdichten-den Vorpumpe SCROLLVAC SC 30 DL oder auch mit einer Fernbedienung aus gestattet werden.

PHOENIX L340i Kundenspezifischer PHOENIX L340

Kat.-Nr.

auf Anfrage auf Anfrage


Qualitätssicherung an

- Produkten der Einzel- und Klein- Serienfertigung

- Ausrüstung für Forschung und Ent -wicklung

Bestelldaten PHOENIX L340i


Prüf

gerä

te /

Leck

such

er

PHOENIX L320i FabMobiler Helium-Leckdetektor für erhöhte Reinheitsanforderungen


- Mobiler Leckdetektor in an sprechen-dem Design

- Kompakte Abmessungen

- Großes Saugvermögen durch se pa -rate Vorvakuumpumpe

- Geringe Partikelemission durch ein-geschlossene Vorvakuumpumpe

- Schnelle Messbereitschaft

- Hohe Nachweisempfindlichkeit für Helium, daher sehr kleine Lecks de -tektierbar

- Ausschließlich Standard-Komponen- ten integriert: bequemer Zugriff, ein-fache Wartung


Qualitätssicherung an

- Ausrüstung in Bereichen mit er höh -ten Reinheitsanforderungen

- Ausrüstung für Forschung und Ent -wick lung

- Produkten der Einzelfertigung

Der PHOENIX L320i Fab ist ein fahr-barer Helium-Leckdetektor, vorrangig kon zipiert für den Einsatz in Räumlich-keiten mit erhöhten Reinheitsanforde-rungen.

Als Nachweisgerät für die Helium-Leck-rate dient ein PHOENIX L300i MODUL, die Vorvakuumpumpe ist eine trocken-verdichtende SCROLLVAC SC 30 DL. Beide Hauptkomponenten des PHOENIX L320i Fab sind in einem an -sprechenden und platzsparenden Fahr-gestell untergebracht. Zur weitgehen-den Unterdrückung von Parti kel emis- sion befindet sich die Vorvakuum pum -pe in einem geschlossenen Ge häuse und wird von der Unterseite her mit Frischluft versorgt (Lüfter). Die Seiten-wände dieses Gehäuses sind leicht ab -nehmbar.

Der PHOENIX L320i Fab ist mit nützli-chen Details wie etwa einem Gasfla-schen halter, Aufhängungen für Schnüf-fel schlauch und Netzkabel sowie einem separaten Schalter für die Vorvakuum-pumpe ausgestattet.

PHOENIX L320i Fab

Technische Daten

Kleinste nachweisbare He-Leckrate (Vakuumbetrieb) mbar · l · s-1

Kleinste nachweisbare He-Leckrate (Schnüffelbetrieb) mbar · l · s-1

Anschlussflansch für Prüflinge DN

Max. nachweisbare He-Leckrate (Vakuumbetrieb) mbar · l · s-1

Saugvermögen während des Evakuierungsvorganges mit SCROLLVAC SC 30 DL m3 · h-1

Saugvermögen für Helium im Vakuummodus l/s

Zeitkonstante des Lecksignals (blindgeflanscht, 63 % des Endwertes) s




≤ 5 · 10-12

< 1 · 10-7

25 ISO-KF

> 0,1

ca 25

> 2,5

< 1

< 2

450 x 1200 x 1150


PHOENIX L320i Fab

PHOENIX L320i Fab Kundenspezifischer L320i Fab

Kat.-Nr.

auf Anfrage auf Anfrage

PHOENIX L320i Fab, mit abgenommener Seitenverkleidung

Technische Daten PHOENIX L320i Fab


Zubehör

RC 310 C / RC 310 WLFernbedienungen für Lecksuchgeräte


- Einfache Bedienung via Touch Screen Grafik-Display 3,5"

- Kabellose Übertragung bis 100 m, kabelgebundene Übertragung bis 34 m

- Datenausgabe zu Windows möglich

- Datensicherung auf internem 32 MB Daten logger oder USB-Stick mög-lich

- Verwendung mit oder ohne Kabel möglich

- Einstellbarer Alarm-Trigger

- Magnetische Halterung auf der Rückseite des Gerätes vorhanden

- Robustes Industrie-Design mit Schutz klasse IP 42

- Scrollfunktion für gemessene Daten (Option)

- USB-Anschluss für Daten-Transfer und Software-Updates

- Einstellbarer Lautsprecher und Kopf-hörer-Ausgang

- Suchfunktion (paging) via Ton-Signal

- Peakhold (Maximalwert-Anzeige)

- Erkennung von bis zu 10 Lecksu-chern gleichzeitig möglich


- Mobiler Einsatz mit einem tragbaren Lecksucher durch kabellose Verbin-dung

- Lecksuche bei/in: - Analysen-Technik - Medizintechnik - Solar-Technik - Forschung und Entwicklung - Vakuum-Zubehör - Zubehör in der Automobilindustrie - IT-Branche - Prozess-Industrie

Die Fernbedienung RC 310 im In dus -trie-Design (RC 310 WL kabellos und RC 310 C kabelgebunden) mit inte -griertem Datenspeicher erweitert die maximal mögliche Flexibilität während des Lecksuch-Prozesses. Die RC 310 WL ermöglicht eine kabel-lose Fernüberwachung bis zu einer Ent fernung von 100 Meter. Die RC 310 unterstützt die aktuellen Lecksucher der PHOENIX L300i-Serie sowie UL 200 und L 200-Typen.

Verschiedene farbige Anzeigen im Display auf der Fernbedienung

Fernbedienung RC 310 C mit Kabelverbindung Kabellose Fernbedienung RC 310 WL


Prüf

gerä

te /

Leck

such

er

Technische Daten

Display

Speicherkapazität interner Datenspeicher MB davon für Datenaufzeichnung verfügbar MB oder Memory-Stick

Betriebszeit Akku (nur RC 310 WL) (je nach Ladezustand) Stunden

Funkübertragung RC 310 WL, Reichweite im Freifeld m

HF-Ausgangsleistung (4 mW) dBm

Funkübertragung RC 310 WL, Sendefrequenz GHz

Audioalarmpegel in 1 m Abstand, max. dB(A)

Kopfhöreranschluss Stereo 3,5 mm Ohm

Zul. Betriebstemperatur °C

Ladenetzteil Netzspannung V Frequenzen Hz

Anschließbare Lecksucher

Erkennung von Lecksuchern


Weitere Sprachen möglich

Schutzklasse IP

Schutzgrad Ladenetzteil IP

Funk-Zulassungen RC 310 WL

Abmessung (L x B x H) mm

Gewicht RC 310 C, ca. kg RC 310 WL, ca. kg

TFT Grafik-Touch 1/4 VGA / 3,5"; 240 x 320 px

64 32

> 8

bis zu 100

+6

2,4

70

> 2 x 32

+5 bis +40

100 -240 (+/- 10%)

50/60

PHOENIX L300i-Serie, UL 200-Serie, L 200-Serie

bis zu 10

Englisch, Deutsch

Chinesisch, Japanisch (Katakana), Russisch, Französisch, Italienisch, Spanisch,

Polnisch und Koreanisch

42

56

CE, FCC, IC, TELEC, MIC, MII

210 x 90 x 45

0,4 0,5

RC 310

Bestelldaten

Fernbedienung RC 310 C, mit Kabelverbindung und 4 m Anschlussleitung

RC 310 WL, kabellos mit Ladenetzteil (für integrierten Akku) und Funktransmitter, mit Anschlussleitung (zusätzlich 4 m Anschlussleitung)

Zubehör Funktransmitter mit Anschlussleitung (zum Betrieb eines weiteren PHOENIX L300i)

Verlängerungsleitung, 10 m (max. 3 Verlängerungen möglich)

Kat.-Nr.

252 013 V01

252 014 V01

252 015 V01

140 22

RC 310


Testlecks für Vakuum- und Schnüffel- Anwendungen

Testlecks für Vakuum-Anwendungen

TL 4 und TL 6Testlecks ohne Gasvorrat (Typ Kapillar-leck) zur Empfindlichkeits- und Signal-ansprechzeit-Bestimmung bei der Vakuum-Lecksuche und zur Empfind-lichkeits-Bestimmung von Schnüfflern bei der Überdruck-Lecksuche. Nenn-leckraten-Bereiche 10-4 mbar · l · s-1 für TL 4 bzw. 10-6 mbar · l · s-1 für TL 6. Verwendbar für Helium. Ein Spülventil mit Schlauchwelle ermöglicht den schnellen Gasaustausch des Totvolu-mens.

TL 4-6Helium-Testleck (Kapillarleck) für Grob-lecks, im Bereich 10-4 bis 10-6 mbar · l · s-1 einstellbar mit austauschbarem Helium-Vorratsbehälter, Druckmano-meter und zwei Handventilen, zur Kali-brierung der Leckraten-Anzeige und Ab gleich von Helium-Massenspektro-metern im Vakuum-Bereich und zur Em pfindlichkeits-Bestimmung bei Schnüfflern im Überdruck-Bereich.

TL 4Helium-Testleck (Kapillarleck) mit wie-der befüllbarem Vorratsbehälter und einer Leckrate im Bereich 10-4 mbar · l · s-1. Spezielles Leck für die Verwen-dung im Vakuum.

TL 7 (Für Einbau in PHOENIX L300i)Helium-Testleck (Kapillarleck) mit Heli-um-Vorratsbehälter und Elektro-Mag-netventil. Leckraten-Bereich 10-7 mbar · l · s-1. Das Elektro-Mag net ventil erlaubt eine Ansteu erung über die Leck de tek-tor Soft ware.

TL 7Helium-Testleck (Kapillarleck) mit Helium-Vorratsbehälter, Handventil und He-Gasvorrat.

TL 8 und TL 9Helium-Testleck kalibriert auf eine Leck-rate im Bereich 10-8 mbar · l · s-1 (Heli-um-Leckrate) für TL 8 bzw. 10-9 mbar · l · s-1 für TL 9 mit Gasvorrat und Mem-bran-Handventil, zum Abgleich eines Helium-Massenspektrometers, zur Kali-brierung der Leckraten-Anzeige von Helium-Leckdetektoren und zur Mes-sung der Ansprechzeit bei größeren Volumina.

HinweisAlle Testlecks, mit Ausnahme des TL 4, sind nicht für die Verwendung im Vaku-um vorgesehen.


- Abnahmeprüfzeugnis (im Lieferumfang enthalten) gemäß DIN EN 10204-3.1

- Hohe Präzision

- Lange Lebensdauer

- Sehr geringe Temperaturabhängig-keit

- Ermittlung der Nennleckrate durch Vergleich gegen ein Testleck mit PTB 1)-Zertifikat

- DAkkS 2)-Zertifikat (optional), rück-führbar auf PTB

- Sonderausführungen für spezielle Anwendungen

Die Nennleckrate gilt nur, wenn das Testleck an eine Vakuumapparatur mit einem Druck < 1 mbar angeflanscht ist.

1) Physikalisch-Technische-Bundesanstalt 2) Deutsche Akkreditierungsstelle GmbH

Zum Massenspektrometer-Abgleich, zur Kalibrierung der Leckanzeige und zur Bestimmung von Ansprechzeiten in der Anlagenlecksuche müssen Ver-gleichs-Standards verwendet werden.

Testlecks


Prüf

gerä

te /

Leck

such

er

Bestelldaten

Technische Daten

TL 4, ohne He-Gasvorrat

TL 6, ohne He-Gasvorrat

TL 4-6, mit He-Gasvorrat

TL 4, mit He-Gasvorrat


TL 7, mit Handventil und He-Gasvorrat



S-TL 4, mit He-Gasvorrat



10-4 mbar · l · s-1 Vakuum und Schnüffler DN 16 ISO-KF

10-6 mbar · l · s-1 Vakuum und Schnüffler DN 16 ISO-KF

10-4 bis 10-6 mbar · l · s-1 Vakuum und Schnüffler DN 16 ISO-KF

10-4 mbar · l · s-1 Vakuum Austrittsöffnung

10-7 mbar · l · s-1 Vakuum (Einbau in PHOENIX L300i) Austrittsdüse

10-7 mbar · l · s-1 Vakuum DN 10 ISO-KF



10-4 mbar · l · s-1 Schnüffler Austrittsdüse



Leckratenbereich Lecksuchmethode Anschlussflansch

TL 4, ohne He-Gasvorrat 1)

TL 6, ohne He-Gasvorrat 1)

TL 4-6, mit He-Gasvorrat 1)

TL 7, mit He-Gasvorrat 1) für den Einbau in den PHOENIX L300i Fülldruck 2,9 bar

TL 7, mit Handventil und He-Gasvorrat 1)

TL 8, mit He-Gasvorrat 1)

TL 9, mit He-Gasvorrat 1)

S-TL 4, mit He-Gasvorrat 1)



Testleck-Satz für Kraftwerke 1000, 100, 10 mbar · l · s-1

Gummiblase mit Schlauchklemme

He-Druckdose, 1 l, 12 bar (für TL 4-6)

DAkkS-Kalibrierung für TL 7/8/9

Werks-Kalibrierung für He-Testlecks

1) Mit Werks-Prüfzeugnis

Kat.-Nr.

155 65

155 66

155 80

140 23 V01

142 10

165 57

144 08

122 37

122 38

122 39

115 16

890 11

252 001

154 15

154 16

Testleck

Testlecks für Schnüffel-Anwendungen

Diese Testlecks sind auf einen festen Wert innerhalb der typischen Leckrate eingestellt (siehe Bestelldaten). Der eingebaute Manometer überwacht den austauschbaren Kalibriergasvorrat.

Helium-TestlecksS-TL 4 bis S-TL 6 mit Leckraten von 10-4 bis 10-6 mbar · l · s-1.

Testleck-Satz für Kraftwerke

Drei Testlecks von 1000, 100 und 10 mbar · l · s-1 ermöglichen es auch bei den Umgebungsbedingungen von Kraftwerken eine Lecksuche mit Teil-strom-Verhältnissen auszuführen.


Einschraub-Testlecks

Testleck in Einschraub-Hülse

Dient als so genanntes Master-Test-leck für die Kontrolle der gesamten Helium-Dichtheits-Prüfanlage.

In der Regel werden zwei dichte Prüf-linge mit diesen Testlecks ausgerüstet. Diese gewährleisten die Ausschleu-sung der „Gut und Schlecht“-Teile.

Der kundenseitige Anschluss erfolgt über Schweißung oder Klebung der Einschraubhülse im Testobjekt.

Testleck in Stiftleck-Gehäuse

Dient als Kalibrierleck der gesamten Helium-Dichtheits-Prüfanlage ohne Ein-fluss eines Prüflings.

Die Prüfkammer wird dabei mit einem Dummy bestückt. Der Anschluss an die Prüfkammer erfolgt direkt über eine DN 10 ISO-KF -Verbindung. Testgas-seitig ist der Anschluss entweder über eine VCO-Kupplung oder eine Schlauch tülle für flexible Verbindungen möglich.

Die kundenseitigen Anschlüsse sind

- DN 16 ISO-KF zur Vakuumkammer

- Schlauchtülle ø 10 mm oder VCO-Kupplung ø 10 mm.

Testleck in Zylinder-Gehäuse

Dient zur Kontrolle der Empfindlichkeit einer Schnüffel-Einrichtung (vorzugs-weise als Schnüffel-Testleck).

Der Operator überprüft vor dem Test sowie nach dem Test die Empfindlich-keit im Rahmen einer Plausibilitäts-Überprüfung.

Der kundenseitige Anschluss ist eine VCO-Kupplung für ø 10 mm.

Diese Testlecks werden, abhängig von der Anwendung, als Master-Testleck direkt in den Prüfling eingebaut oder auch als ständige Einrichtung an der Prüfkammer eingesetzt.

Testleck in Einschraub-Hülse

Hersteller von Helium-Dichtheits-Prüf-anlagen benötigen für die Einrichtung und Kalibrierung ihrer Anlagen Test-lecks in verschiedenen Bauformen mit individuell eingestellten Leckraten.

Leybold bietet eine komplette Familie von Testlecks an, die den Anforderun-gen hinsichtlich der Bauform und erwünschter Leckrate gerecht werden.

Testleck in Stiftleck-Gehäuse Testleck in Zylinder-Gehäuse


- Als Master-Testleck direkt in das Test objekt eingebaut

- Direkter Einbau an die Prüfkammer

- Verwendung als Schnüffel-Testleck


- Verschiedene Bauformen für die individuelle Anpassung an Kunden-Anforderungen

- Einfache Bedienung

- Einfacher Einbau

- Ideale Einbaumaße

- Alle Testlecks werden grundsätzlich mit einem Qualitätszertifikat (Werks-prüfungs-Zeugnis) der eingestellten Leckrate ausgeliefert

1,0E-08

1,0E-07

1,0E-06

1,0E-05

1,0E-04

1,0E-03

1,0E-02

1,0E-01

1,0E+00

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

Leckratenvorgabe

mbarl/s

Leck

rate

qL

Druckvorgabe

Prüfdruck PV

bar

pmax = 7 bar

40 mm

M 3,55 mm

6 mm

9.5 mm


Prüf

gerä

te /

Leck

such

er

Bestelldaten 1)

Testleck

in Einschraub-Hülse

in Stiftleck-Gehäuse mit VCO-Kupplung

in Stiftleck-Gehäuse mit Schlauchtülle

in Zylinder-Gehäuse mit VCO-Kupplung

1) Bei der Bestellung bitte immer das Testleck über das Testleck-Formular spezifizieren und bei Bestellung den generierten Code angeben Testleck-Formular ggf anfordern

Kat.-Nr.

143 00

143 04

143 08

143 12

Testleck 1)

Leckratenwert in Abhängigkeit vom anliegenden Prüfdruck gegen 0 bar (> 7 bar auf Anfrage)

Testleck in Einschraub-Hülse Testleck in Stiftleck-Gehäuse mit Schlauchtülle

Testleck in Stiftleck-Gehäuse mit VCO-Kupplung Testleck in Zylinder-Gehäuse mit VCO-Kupplung


Zubehör für PHOENIX L300i, PHOENIX L300i DRY, PHOENIX L300i MODUL und PHOENIX L500i

Testgas-SprühpistoleDie Testgas-Sprühpistole mit PVC-Schlauch (Länge: 5 m) dient zum ge-zielten Absprühen leckverdächtiger Stellen mit Testgas.

Testgas-Sprühpistole

Teilstrom-System nur für PHOENIX L300i und PHOENIX L300i MODULmit den nachstehend aufgeführten Vor-teilen:

- Kürzere Reaktionszeit

- Messungsbeginn schon bei einem Einlassdruck von 1000 mbar

- Schnellere Belüftung von großen Prüflingen oder für die Lecksuche in der Massenproduktion.

Ausstattung: Ventilblock (mit Einlassventil, Flutventil, Bypass oder Spülventil) plus Feder-balg-Eckventil DN 25 ISO-KF aus Edel-stahl, elektromagnetische Antriebe, Fernsteuerung durch PHOENIX L300i.

Die Teilstrom-Systeme sind ohne Pum-pen lieferbar.

Ersatz-IonenquelleKomplettes Auswechselteil einschließ-lich zweier fest eingebauter Yttrium/ Iridium-Langzeit-Katoden.

10 m-Verlängerungs-LeitungBei der Verwendung von Verlänge-rungs-Leitungen lässt sich der PHOENIX L300i bis zu 34 m fernbe die-nen. Es dürfen maximal drei Verlängerungs-Leitungen (à 10 m) miteinander verbun-den werden.

Teilstrom-System ohne Pumpe Ersatz-Ionenquelle

Verlängerungs-Leitung

Transport-Koffer 300Zur stoßgeschützten Beförderung des PHOENIX L300i, mit stabilen Tragegrif-fen und Kunststoffrollen, separates Kof-ferteil für Lecksuch-Zubehör.

Transport-Koffer 300

PC-Software LeakWareDie Windows PC-Software dient zur Messwert-Erfassung, Dokumentation der Messergebnisse und Steuerung des Lecksuchers.

Hardware > 486 DX und 8 MB Ram Software Windows.



Prüf

gerä

te /

Leck

such

er

Bestelldaten

Transport-Koffer 300

Maße, einschließlich Rollen

571 x 955 x 433 mm (B x H x T)

Teilstrom-System 1)

für PHOENIX L300i und

PHOENIX L300i Modul

115 - 230 V / 50/60 Hz, ohne Pumpe

Auspuff-Filter AF 16-25,

für Teilstrom-System

Ersatz-Ionenquelle


10 m-Verlängerungs-Leitung für RC 310

Testgas-Sprühpistole

1) 5 Zentrierringe, 5 Spannringe und 1 Wellschlauch 1 m mit der Nennweite DN 25 ISO-KF sind enthalten

Kat.-Nr.

252 004V01

140 20

189 11

165 04

140 90

140 22

165 55

Zubehör


Helium-Schnüffler


Helium-Schnüffelleitung SL 300 und SL 301 für PHOENIX L300i

- Schnüffelleitung direkt an den Test-anschluss anflanschbar

- SL 300 Komfortable Helium -Schnüffellei-tung mit rotem und grünem Status LED und ZERO Drucktaster

- SL 301 Robuste und einfache Schnüffellei-tung in praktischem Transportkoffer

- Leichter Filterausbau

- Sehr kurze Ansprechzeit

- Extrem niedrige Nachweisgrenze < 1 · 10-7 mbar · l · s-1

- Feste Schnüffel-Spitze 120 mm

- Sehr robuste industrietaugliche Aus-führung

Helium-Schnüffler Quick-Test QT 100 für PHOENIX L300i

- Schnüffellecksuche für größere Ent-fernungen zwischen Prüfling und Leckdetektor

- Membranpumpe zum Absaugen des Testgases

- Kleinste nachweisbare Leckrate 1 · 10-6 mbar · l · s-1

- Kurze Ansprech- und Abkling zeiten

- Hohe Schnüffelgeschwindigkeit

- Schaltnetzteil, mit Versorgungs-spannungen von 100 - 230 V AC verwendbar

Helium-Schnüffler in Verbindung mit den Leckdetektoren finden Verwen-dung bei der Dichtheitsprüfung an Prüf lingen mit Helium-Überdruck. Neben der sehr genauen Lokalisierung undichter Stellen ist auch eine Leckra-tenbestimmung des austretenden Heli-ums möglich.

Helium-Schnüffelsonde SL 300 Helium-Schnüffler Quick-Test QT 100 mit Schnüffler


- Vorrats- und Transport-Behälter für Gase und Flüssigkeiten

- Gasversorgungssysteme

- Gasverdichter

- Komponenten der Kühl- und Kälte-Technik

- Wärmepumpe und Bauteile der Wärmerück gewinnungs-Technik

- Chemie-Produktionsanlagen

- Im Erdbereich verlegte Versor-gungs- und Telefonleitungen

- Kraftwerks-Kondensatoren und Tur-binen

- Fenster- und Türdichtungen von Karosserien, Kühlgeräten usw.

- Nachprüfung an Dichtheitsprüfan-lagen

- Messung von Heliumkonzentratio-nen von ppm bis %

- Alle mit Überdruck belastbaren Hohl körper

Helium-Schnüffelsonde SL 301 im Transport-Koffer


Prüf

gerä

te /

Leck

such

er

Bestelldaten

Technische Daten

Kleinste nachweisbare

Leckrate mbar · l · s-1

Einlassdruck mbar

Versorgungsspannung

Ansprechzeit für

SL 301 bei Leitungslänge

04 m s

10 m s

SL 300 bei Leitungslänge

05 m s

10 m s

20 m s

50 m s

Anschlussflansch DN

Gewicht kg

< 10-7 10-6

< 0,13 –

– 100-230 V, 50/60 Hz

< 1 –

< 4 –

< 1 1

< 5 –

– < 6

– 20

25 ISO-KF 25 ISO-KF

0,6 3,5

Helium-Schnüffelsonde mit

fester Schnüffel-Spitze 120 mm

SL 300

rote/grüne LED für ja/nein

„Zero“-Taste

4 m lang, gerader Griff

SL 301



Helium-Schnüffler Quick-Test QT 100

Schnüffelleitung zum QT 100

05 m

20 m

50 m

Ersatzteile für SL 301

Filtereinsatz, 2 Stück

Edelstahlrohr mit Kapillare

Kat.-Nr. Kat.-Nr.

252 003 –

252 025 V01 –

252 026 V01 –

– 155 94

– 140 08

– 140 09

– 121 83

ESLMSA-92097 –

E-LST-30 –

SL 300 / SL 301 QT 100

SL 300 / SL 301 QT 100


Sonstiges

Leckdetektor Helium-Schnüffler Testlecks

PHOENIX L300i – DN 25 ISO-KF

PHOENIX L300i DRY – DN 25 ISO-KF

PHOENIX L300i MODUL – DN 25 ISO-KF

Werden Teile mit derselben Nennweite miteinander verbunden, so ist nur ein Zentrierring und ein Spannring erforderlich

SL 300 – DN 25 ISO-KF TL 4 – DN 16 ISO-KF

QT – DN 25 ISO-KF TL 6 – DN 16 ISO-KF

ST 100 – DN 25 ISO-KF TL 4-6 – DN 16 ISO-KF

Anschlussflansche

Verbindungselemente

Bei Verbindung von Leckdetektor und Zubehör (Helium-Schnüffler und Testlecks) können folgende Reduzierungen und Bautei-le notwendig sein:

Reduzierung Reduzierstück Zentrierringe Spannringe

Edelstahl/FPM Aluminium

DN 25 ISO-KF / 16 ISO-KF



DN 63 ISO-K / 40 ISO-KF

1) Siehe Klammern für ISO-K -Flansche im Produkt-Kapitel „Flanschbauteile“

Kat.-Nr. Kat.-Nr. Kat.-Nr.

183 86 (Aluminium) oder DN 25 ISO-KF, 883 47 DN 20 / 25 ISO-KF 183 42

885 04 (Edelstahl) DN 16 ISO-KF, 883 46 DN 10 / 16 ISO-KF, 183 41

183 87 (Aluminium) oder DN 40 ISO-KF, 883 48 DN 32 / 40 ISO-KF, 183 43


183 89 (Aluminium) oder DN 40 ISO-KF, 883 48 DN 32 / 40 ISO-KF, 183 43


269 40 (Aluminium) oder DN 63 ISO-K, 887 03 DN 63 / 250 ISO-K, 1)


Zur Verbindung der Leckdetektoren mit Anlagen werden folgende Edelstahl-Metallschläuche empfohlen:

Nennweite Länge Bestelldaten

DN 16 ISO-KF

DN 16 ISO-KF

DN 25 ISO-KF

DN 25 ISO-KF

DN 40 ISO-KF

DN 40 ISO-KF

Weitere Verbindungselemente, wie z B Schnell-Spannringe und Bauteile finden Sie in unserem Produkt-Kapitel „Flanschbauteile“

Kat.-Nr.

1,0 m 868 01

0,5 m 867 91

1,0 m 868 03

0,5 m 867 93

1,0 m 868 05

0,5 m 867 95

Notizen


Prüf

gerä

te /

Leck

such

er

HeadquarterLeybold GmbHBonner Straße 498D-50968 KölnT: +49-(0)221-347-0F: +49-(0)[email protected]

DeutschlandLeybold GmbHSales, Service, Support Center (3SC)Bonner Straße 498D-50968 KölnT: +49-(0)221-347 1234F: +49-(0)221-347 [email protected]

Leybold GmbHVB NordNiederlassung BerlinIndustriestraße 10bD-12099 BerlinT: +49-(0)30-435 609 0F: +49-(0)30-435 609 [email protected]

Leybold GmbHVB SüdNiederlassung MünchenKarl-Hammerschmidt-Straße 34D-85609 Aschheim-DornachT: +49-(0)89-357 33 9-10F: +49-(0)89-357 33 [email protected]@leybold.com

Leybold Dresden GmbHService Competence CenterZur Wetterwarte 50, Haus 304D-01109 DresdenService:T: +49-(0)351-88 55 00F: +49-(0)351-88 55 [email protected]

EuropaBelgien

Leybold Nederland B.V.Belgisch bijkantoorLeuvensesteenweg 542-9AB-1930 ZaventemSales:T: +32-2-711 00 83F: +32-2-720 83 [email protected]:T: +32-2-711 00 82F: +32-2-720 83 [email protected]

Frankreich

Leybold France S.A.S.Parc du Technopolis, Bâtiment Beta3, Avenue du CanadaF-91940 Les Ulis cedexSales und Service:T: +33-1-69 82 48 00F: +33-1-69 07 57 [email protected]@leybold.com

Leybold France S.A.S.Valence Factory640, Rue A. BergèsB.P. 107F-26501 Bourg-lès-Valence CedexT: +33-4-75 82 33 00F: +33-4-75 82 92 [email protected]

Großbritannien

Leybold UK LTD.Unit 9Silverglade Business ParkLeatherhead RoadChessingtonSurrey (London)KT9 2QLSales:T: +44-13-7273 7300F: +44-13-7273 [email protected]:T: +44-13-7273 7320F: +44-13-7273 [email protected]

Italien

Leybold Italia S.r.l.Via Trasimeno 8I-20128 MailandSales:T: +39-02-27 22 31F: +39-02-27 20 96 [email protected]:T: +39-02-27 22 31F: +39-02-27 22 32 [email protected]

Niederlande

Leybold Nederland B.V.Floridadreef 102NL-3565 AM UtrechtSales und Service:T: +31-(30) 242 63 30F: +31-(30) 242 63 [email protected]@leybold.com

Schweiz

Leybold Schweiz AG, PfäffikonChurerstrasse 120CH-8808 PfäffikonLager- und Lieferanschrift:Riedthofstrasse 214CH-8105 RegensdorfSales:T: +41-44-308 40 50F: +41-44-302 43 [email protected]:T: +41-44-308 40 62F: +41-44-308 40 [email protected]

Spanien

Leybold Spain, S.A.C/. Huelva, 7E-08940 Cornellà de Llobregat(Barcelona)Sales:T: +34-93-666 43 11F: +34-93-666 43 [email protected]:T: +34-93-666 46 13F: +34-93-685 43 [email protected]

AmerikaUSA

Leybold USA Inc.5700 Mellon RoadUSA-Export, PA 15632T: +1-724-327-5700F: [email protected]:T: +1-724-327-5700F: +1-724-333-1217Service:T: +1-724-327-5700F: +1-724-325-3577

Brasilien

Leybold do Brasil Ltda.Rod. Vice-Prefeito Hermenegildo Tonolli,nº. 4413 - 6BDistrito IndustrialCEP 13.213-086 Jundiaí - SPSales und Service:T: +55 11 3395 3180F: +55 11 99467 [email protected]@leybold.com

AsienVolksrepublik China

Leybold (Tianjin)International Trade Co. Ltd.Beichen EconomicDevelopment Area (BEDA),No. 8 Western Shuangchen RoadTianjin 300400ChinaSales und Service:T: +86-22-2697 0808F: +86-22-2697 4061F: +86-22-2697 [email protected]@leybold.com

Indien

Leybold India Pvt Ltd.No. 82(P), 4th PhaseK.I.A.D.B. PlotBommasandra Industrial AreaBangalore - 560 099IndienSales und Service:T: +91-80-2783 9925F: +91-80-2783 [email protected]@leybold.com

Japan

Leybold Japan Co., Ltd.HeadquartersShin-Yokohama A.K.Bldg., 4th floor3-23-3, Shin-YokohamaKohoku-ku, Yokohama-shiKanawaga 222-0033JapanSales:T: +81-45-471-3330F: [email protected]

Leybold Japan Co., Ltd.Tsukuba Technical Service Center1959, Kami-yokobaTsukuba-shi, Ibaraki-shi 305-0854JapanService:T: +81-29 839 5480F: +81-29 839 [email protected]

Malaysia

Leybold MalaysiaLeybold Singapore Pte Ltd.No. 1 Jalan Hi-Tech 2/6Kulim Hi-Tech ParkKulim, Kedah DarulAman 09000MalaysiaSales and Service:T: +604 4020 222F: +604 4020 [email protected]@leybold.com

Süd Korea

Leybold Korea Ltd.3F. Jellzone 2 TowerJeongja-dong 159-4Bundang-gu Sungnam-siGyeonggi-doBundang 463-384, KoreaSales:T: +82-31 785 1367F: +82-31 785 [email protected]:623-7, Upsung-DongCheonan-SiChungcheongnam-DoKorea 330-290T: +82-41 589 3035F: +82-41 588 [email protected]

Singapur

Leybold Singapore Pte Ltd.8 Commonwealth Lane #01-01Singapore 149555SingaporeSales und Service:T: +65-6303 7030F: +65-6773 [email protected]@leybold.com

Taiwan

Leybold Taiwan Ltd.No 416-1, Sec. 3Chunghsin Rd., ChutungHsinchu County 310Taiwan, R.O.C.Sales und Service:T: +886-3-500 1688F: +886-3-583 [email protected]@leybold.com

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Dichtheitsprüfgeräte / Leckdetektoren Dichthe · Dichthe PHOENIX Helium-Leckdetektoren Dichtheitsprüfgeräte / Leckdetektoren 270.00.01 Auszug aus dem Leybold Gesamtkatalog 2016