BetriebsanleitungOperating InstructionsInstructions de service

TurbomolekularpumpenTurbomolecular PumpsPompe turbomoléculaire

TPH 062 / TPU 062 TPH 055

PM 800 260 BN/E (9702) N 3717

TPH 062TPU 062

TPH 055

2

Inhalt

Kurzanleitung (heraustrennbar)

1 Allgemeines1.1 Wichtige Hinweise1.2 Sicherheitsinstruktionen1.2.1 Sicherheitshinweise zum

Arbeiten mit der Turbomoleku-larpumpe

1.3 Sonstige Hinweise

2 Technische Daten2.1 Enddruck2.2 Saugvermögen2.3 Maßbild

3 Vorvakuumpumpen

4 Installation4.1 Hinweis zur Installation4.2 Hochvakuumanschluß4.2.1 Splitterschutz4.3 Vorvakuumanschluß4.4 Kühlung4.4.1 Wasserkühlung4.4.2 Luftkühlung4.4.2.1 Montage der Luftkühlung4.5 Flutanschluß4.6 Elektrischer Anschluß

5 Betrieb5.1 Einschalten5.1.1 Reset5.2 Heizen der Turbopumpe5.3 Abschalten5.4 Stillsetzen der Turbopumpe

6 Wartung6.1 Wechsel des

Betriebsmittelspeichers6.2 Reinigung der Turbopumpe6.2.1 Reinigung im unzerlegten

Zustand6.3 Prüfen des Antriebmotors6.3.1 Prüfen des Motors TPH/U 062

mit AntriebselektronikTCP121/380

6.3.2 Prüfen des Motors TPH/U 062ohne Antriebselektronik TCP

6.3.3 Prüfen des Motors TPH 055 mitAntriebselektronik TCP 015

6.4 Lagerwechsel

7 Service

8 Ersatzteile8.1 Ersatzteile Pumpe8.2 Ersatzteile Luftkühlung8.3 Ersatzteile Wasserkühlung

9 Zubehör

Contents

Abbreviated Instructions(detachable)

1 General1.1 Important Information1.2 Safety Instructions1.2.1 Working with the Turbomole-

cular Pump; Safety Information1.3 Other Information

2 Technical Data2.1 Final Pressure2.2 Volume Flow Rate2.3 Dimensions

3 Backing Pumps

4 Installation4.1 Notes on Installation4.2 High Vacuum Connection4.2.1 Splinter Shield4.3 Fore-Vacuum Connection4.4 Cooling4.4.1 Water Cooling4.4.2 Air Cooling4.4.2.1 Fitting the Air-Cooling Fan4.5 Venting Connection4.6 Electrical Connection

5 Operation5.1 Switching on Procedure5.1.1 Resetting5.2 Heating the Turbo Pump5.3 Switching off Procedure5.4 Shutting down the Turbo Pump

6 Maintenance6.1 Changing the Operating Fluid

Reservoir6.2 Cleaning the Turbo Pump6.2.1 Cleaning the Pump in fully

assembled Condition6.3 Testing the Drive Motor6.3.1 Testing the Motor TPH/U 062

with TCP 121/380 ElectronicDrive Unit

6.3.2 Testing the Motor TPH/U 062without TCP Electronic DriveUnit

6.3.3 Testing the Motor of the TPH 055 with TCP 015 ElectronicDrive Unit

6.4 Bearing Replacement

7 Service

8 Spare Parts8.1 Spare Parts for the Pump8.2 Spare Parts for Air Cooling8.3 Spare Parts for Water Cooling

9 Accessories

Table des matières

Instructions abrégées (détachable)

1 Généralités1.1 Indications importantes1.2 Instructions relatives à la

sécurité1.2.1 Instructions de sécurité pour le

travail avec la pompe turbo-moléculaire

1.3 Indications diverses

2 Fiche techniques2.1 Pression finale2.2 Capacité d’aspiration2.3 Encomprements

3 Pompes à vide primaire

4 Installation4.1 Indications relatives à

l’installation4.2 Raccord de vide élevé4.2.1 Pare-éclats4.3 Raccord de vide primaire4.4 Refroidissement4.4.1 Refroidissement à l’eau4.4.2 Refroidissement à l’air4.4.2.1 Montage du dispositif de

refroidissement à l’air4.5 Raccord de remise à l’air 4.6 Branchement électrique

5 Fonctionnement5.1 Mise en marche5.1.1 Reset5.2 Chauffage de la pompe turbo5.3 Déconnexion5.4 Mise à l’arrêt

6 Entretien6.1 Changement du réservoir de

fluide moteur6.2 Nettoyage de la pompe turbo6.2.1 Nettoyage sans démonter la

pompe6.3 Contrôle du moteur

d’entraînement6.3.1 Contrôle du moteur TPH/U 062

avec l’électroniqued’entraînement TCP 121/380

6.3.2 Contrôle du moteur TPH/U 062sans électronique d’entraîne-ment TCP

6.3.3 Contrôle du moteur TPH 055avec l’électroniqued´entraînement TCP 015

6.4 Remplacement du palier

7 Service après-vente

8 Pièces de rechange8.1 Pièces de rechange pompe8.2 Pièces de rechange

refroidissement à l’air8.3 Pièces de rechange

refroidissement à l’eau

9 Accessoires

KURZANLEITUNGfür TurbomolekularpumpenTPH/TPU 062, TPH 055

Diese Kurzanleitung ist nur gültig in Zusammen-hang mit der ausführlichen Betriebsanleitung.

- Blatt heraustrennen und bei der Pumpeaufbewahren.

INSTALLATION- Anschlußzubehör:

Antriebselektronik TCP 121 oder 380 und Anschluß-kabel bei TPH/U 062, Antriebselektronik TCP 015und Anschlußkabel bei TPH 055.

- Blindflansche erst unmittelbar vor Montageentfernen.

- Auf größtmögliche Sauberkeit achten!- Betriebsmittel ist eingefüllt!- HV Flansch-Belastung (drehmomentfrei!): max.

20 kg.- Einbaulage: vertikal bis horizontal (Abschnitt 4.2).- Je nach Einsatz, Turbopumpe verankern und

Splitterschutz verwenden (Abschnitt 4.2.1).- Vibrationsübertragung von Vorpumpe ausschließen.- Kühlungsart (Standard): Konvektion.- Umgebungstemperatur ≥ 30° C: Luftkühlung.- Umgebungstemperatur ≥ 35°C und bei beheizten

Pumpen: Wasserkühlung.- Anschluß Fluteinrichtungen: über Anschlußgewinde

G 1/8” (DN 10 ISO-KF-Bauteile mittels AdapterPM 006 702; siehe 4.5).

- Elektrischer Anschluß nach den örtlich geltendenBestimmungen; besondere Anforderungen: sieheAbschnitt 4.6.

BETRIEB- Alle erforderlichen Zusatzgeräte anschließen

(Abschnitt 4.3-4.6).

EINSCHALTEN Turbopumpe:- Schalter S1 am TCP drücken (siehe 5.1).

RESET:- über Spannungsunterbrechung ≥ 2 Sekunden z.B.

mit Schalter S1 (siehe Abschnitt 5.1).

HEIZEN der Pumpe:- Schalter S2 an der TCP drücken (siehe Abschnitt

5.2).

ABSCHALTEN der Pumpe:- Schalter S1 am TCP drücken. Bei Pfeiffer

Vorvakuumpumpen schließt HV-Sicherheitsventilautomatisch (siehe Abschnitt 4.3 und 5.3).

ABBREVIATED INSTRUCTIONSforTurbomolecular PumpsTPH/TPU 062, TPH 055

These abbreviated instructions are only validtogether with the detailed operating instructions.

- Take out this page and store it near the pump.

INSTALLATION- Connection accessories:

TCP 121 or 380 electronic drive unit and connectingcable for the TPH/U 062.TCP 015 electronic drive unit and connecting cablefor the TPH 055.

- Remove the blank flanges immediately beforeassembly.

- Utmost cleanliness is a must.- The operating fluid is already filled in!- HV flange loading (without torque!): max. 20 kg.- Mounting direction: from vertical to horizontal

(Section 4.2).- Depending on your application, anchor the turbo

pump and use the splinter shield (Section 4.2.1).- Prevent vibrations from being transmitted from the

backing pump.- Type of cooling (standard): convection.- Ambient temperature ≥ 30 °C: air cooling.- Ambient temperature ≥ 35 °C and heated pumps:

water cooling.- Connection of venting devices: via G 1/8” connecting

thread (DN 10 ISO-KF components via adapterPM 006 702; see 4.5).

- Electrical connection in accordance with the validlocal regulations; special requirements: see Section4.6.

OPERATION- Connect all required optional accessories (Section

4.3.4.6).

SWITCHING on the turbo pump:- Press the switch S1 on the TCP (see 5.2).

RESET:- by interrupting the voltage supply for ≥ 2 seconds,

e.g. by pressing switch S1 (Section 5.1).

HEATING the turbo pump:- Press switch S2 (Section 5.2).

SWITCHING OFF the turbo pump:- Press the switch S1 on the TCP. If Pfeiffer backing

pumps are used, the HV valve closes automatically(see 4.3 and 5.3).

INSTRUCTIONS ABREGEESpourpompes turbomoléculairesTPH/TPU 062, TPH 055

Ces instructions abrégées ne sont valables qu’enliai son avec les instructions de service détaillées.

- Enlever la feuille et la conserver à proximité de lapompe

INSTALLATION- Accessoires de raccordement:

commande d’entraînement TCP 121 ou 380 et câblede raccordement pour TPH/U 062, commande d’entraînement TCP 015 et câble deraccordement pour TPH 055.

- N’enlever les fausses brides que juste avant lemontage.

- Veiller à une propreté maximum!- Remplissage du fluide moteur effectué!- Charge de la bride de vide élevé (sans couple de ro-

tation): 20 kg maxi.- Position de montage: verticale à horizontale (para-

graphe 4.2).- Selon l’utilisation, ancrer la pompe turbo et utiliser

un pare-éclats (paragraphe 4.2.1).- Exclure toute transmission de vibrations par la

pompe primaire.- Mode de refroidissement (standard): convection.- Température ambiante ≥ 30°C: refroidissement à

l’air.- Température ambiante ≥ 35°C et pompes chauffées:

refroidissement à l’eau.- Raccordement d’équipements de remise à l’air: par

le biais du filetage de raccordement G 1/8”(composants DN 10 ISO-KF) avec adaptateurPM 006 702; voir 4.5).

- Branchement électrique conformément auxprescriptions valables localement; exigencesparticulières: voir paragraphe 4.6.

FONCTIONNEMENT- Raccorder tous les appareils supplémentaires

nécessaires (paragraphes 4.3 à 4.6).

MISE EN MARCHE de la pompe turbomoléculaire:- Appuyer sur le commutateur S1 de TCP (voir 5.1).

RESET:- par coupure de la tension ≥ 2 secondes, par ex.

avec le commutateur S1 (voir paragraphe 5.1).

CHAUFFAGE de la pompe:- Appuyer sur le commutateur SP2 de TCP (voir

paragraphe 5.2).

Mise à l’arrêt de la pompe:- Appuyer sur le commutateur S1 de TCP. Chez les

pompes à vide primaire Pfeiffer, la vanne de sûretéde vide élevé se ferme automatiquement (voirparagraphes 4.3 et 5.3).

TPH 062 TPH 055

FLUTEN TPH/U 062:- manuell:

mit Handventil 6 (siehe 4.5)- automatisch:

Bei Einsatz von TCP 120/121 oder 380 und TSF 012, automatischer Flutbeginn bei 35 % der Nenndrehzahl.

FLUTEN TPH 055:über Rezipient; Pumpe hat keinen Flutanschluß(siehe 4.5).

STILLSETZEN:- Pumpe abschalten, aus Anlage demontieren und

reinigen.- Betriebsmittelspeicher wechseln.- HV-Flansch verschließen, Pumpe evakuieren.- mit trockener Luft fluten.- Pumpe verschließen, für trockene Lagerung sorgen

(siehe Abschnitt 5.4).

INSTANDHALTUNGOberes Lager: Permanentmagnetlager -

wartungsfreiUnteres Lager: mit TL 011 geschmiertes Präzisions-

Kugellager mit Keramikkugeln, aus-tauschbar.

BETRIEBSMITTELWECHSEL für Kugellager:Zum Betriebsmittelwechsel muß der Betriebs-mittelspeicher komplett ausgetauscht werden(Abschnitt 6.1).Kein zusätzliches Betriebsmittel einfüllen!

REINIGUNG:- leichte Verschmutzung:: Reinigung in reinemAlkohol.

Achtung! Einschlägige Vor-schriften im Umgang mit Lösungsmitteln beachten(siehe 6.2).

- starke Verschmutzung: PFEIFFER-Service ver-ständigen (Abschnitt 6.2).

LAGERWECHSEL:Nur durch BALZERS-Sevice oder dafür geschultesPersonal (siehe 6.4).

EINSENDUNG ZUR REPARATUR:Wichtige Hinweise unter 1.1 und Abschnitt 6.5 beachten.

VENTING the TPH/U 062:- Manually:

by means of the manual valve 6 (see 4.5).- Automatically:

If a TCP 120/121 or 380 and TSF 012 are used,venting starts automatically at 35% of the ratedrotation speed.

VENTING the TPH 055:via the vacuum chamber, the pump has no ventingconnection (see 4.5).

SHUTTING DOWN:- Switch off the pump, remove from the system and

clean.- Change the operating fluid reservoir.- Close the HV flange, evacuate the pump.- Vent the pump with dry air.- Close the pump, store in a dry place (see 5.4).

MAINTENANCEUpper bearing: Permanent magnetic bearing -

maintenance-freeLower bearing: Precision ball bearing lubricated with

TL 011, with ceramic balls, replace-able.

CHANGING the operating fluid for ball bearings:To change the operating fluid, the operating fluidreservoir must be exchanged completely (6.1).Do no fill in any additional operating fluid!

CLEANING:- Light contamination:: Clean in pure alcohol.

Please note: relevant regulations concerning the handling of solvents must be observed (see 6.2).

- Severe contamination: Contact the Balzers Service (6.2).

BEARING REPLACEMENT:Only by Balzers service or by personnel who havebeen specially trained (see Section 6.4).

RETURNING FOR REPAIR:Please follow the instructions in Section 1.1 and 6.5.

REMISE A L’AIR TPH/U 062:- manuelle:

avec la vanne manuelle 6 (voir 4.5)- automatique:

en cas d’utilisation de TCP 120/121 ou 380 et deTSF 012, début de remise à l’air automatique à 35 %de la vitesse nominale.

REMISE A L’AIR TPH 055:par le biais d’un récipient, la pompe n’a pas deraccord de remise à l’air (voir 4.5).

IMMOBILISATION:- Déconnecter la pompe, la démonter de l’installation

et la nettoyer.- Remplacer le réservoir de fluide moteur.- Fermer la bride de vide élevé, vider la pompe.- Procéder à une remise à l’air sec.- Fermer la pompe, assurer un stockage au sec (voir

paragraphe 5.4).

ENTRETIENPalier supérieur: palier à aimant permanent - aucune

maintenance nécessairePalier inférieur: roulement à billes de précision

lubrifié avec TL 011 avec billes en céramique, remplaçable.

REMPLACEMENT du fluide moteur pour lesroulements à billes:Pour remplacer le fluide moteur, tout le réservoir defluide moteur doit être remplacé (paragraphe 6.1). Nepas rajouter de fluide moteur!

NETTOYAGE:- Encrassement léger: nettoyage dans l’alcool

purAttention! Aux prescriptions applicables á la manipulation du solvant (voir 6.2).

- Encrassement important: avertir le service après-vente Pfeiffer (paragraphe6.2).

REMPLACEMENT DES PALIERS:Seulement par le service après-vente BALZERS oudu personnel formé (Voir 6.4)..

EXPEDITION POUR LA REPARATION:Considérer les indications importantes dans 1.1 et 6.5.

Betriebsanleitung

für TurbomolekularpumpenTPH/TPU 062, TPH 055

1 Allgemeines

1.1 Wichtige HinweisePrüfen Sie sofort nach dem Auspacken,ob die Sendung mit den Angaben aufdem Lieferschein übereinstimmt.

Lesen Sie die Betriebsanleitung, bevorSie das Gerät in Betrieb nehmen. Be-folgen Sie die Anweisungen in allenPunkten.

Für Schäden und Betriebsstörungen,die aufgrund Nichtbeachtung der Be-triebsanleitung entstehen, übernehmenwir weder eine Haftung für Personen-oder Materialschäden noch Gewähr-leistung für Reparatur oder Ersatzunserer Produkte.

Alle Geräte entsprechen dem Gesetzüber technische Arbeitsmittel. DieBetriebsanleitung ist nach DIN 8418erstellt.

Wenn Sie selbst Reparatur- oderWartungsarbeiten an den Geräten vor-nehmen, die mit gesundheitsschäd-lichen Stoffen in Berührung gekommensind, dann beachten Sie die entsprech-enden Vorschriften.

Bei Geräten, die Sie an uns zu Repa-ratur- oder Wartungsarbeiten ein-schicken, beachten Sie folgendes:

– Kontaminierte Geräte (radioaktiv,chemisch etc.) sind vor der Ein-sendung entsprechend den Vor-schriften zu dekontaminieren.

– Zur Reparatur oder Wartung einge-hende Geräte müssen mit deutlichsichtbarem Vermerk “Frei vonSchadstoffen” versehen sein. Der-selbe Vermerk ist auch auf demLieferschein und dem Anschreibenanzubringen.

– Verwenden Sie bitte beigefügteErklärung.

Operating Instructions

forTurbomolecular PumpsTPH/TPU 062, TPH 055

1 General

1.1 Important InformationPlease check immediately afterunpacking that the contents of thedelivery consignment conforms to theinformation given on the delivery note.

Please read the operating instructionsbefore you operate the unit and followthem in all respects.

No liability will be accepted forpersonal injury nor material damagesin the event that damage orbreakdowns occur as a result of failureto comply with these operatinginstructions, neither will any guarantesrelating to repairs to or replacement ofour products apply.

All units comply with the FederalGerman Law concerning TechnicalImplements. The operating instructionscomply with the German IndustrialStandard DIN 8418.

If you perform repair or maintenancework on units which have come intocontact with substances which aredetrimental to health, please observethe relevant regulations.

If you return units to us for repair ormaintenance work, please follow theinstructions below:

– contaminated units (radioactively orchemically etc.) must bedecontaminated in accordance withthe radiation protection regulationsbefore they are returned.

– Units returned for repair ormaintenance must bear a clearlyvisible note “Free from harmfulsubstances”. This note must also beprovided on the delivery note andaccompanying letter.

– Please use the attached attestationdeclaration.

Instructions de service

pourpompes turbomoléculairesTPH/TPU 062, TPH 055

1 Généralités

1.1 Indications importantesA la réception de l’envoi, s’assurer audéballage que le contenu du (des) coliscorresponde bien aux articlesénumérés sur le bon de livraison.

Avant que de mettre l’appareil enservice, lire attentivement lesinstructions de service et s’y conformeren tous points.

Pour tout dommage et panne résultantde non respect des instructions deservice, nous déclinons touteresponsabilité pour les dommagescorporels ou matériels et n’accordonspas la garantie en cas de réparation oude remplacement de nos produits.

Tous les appareils correspondent à laloi sur le matériel technique. Lesinstructions de service sont rédigéesen concordance avec la norme DIN 8418.

L’utilisateur procède-t-il lui-même àdes travaux de réparation oud’entretien sur des appareils quiauraient été en contact avec desmatières toxiques, il est alors tenu derespecter les prescriptions afférentes.

Pour les appareils que vous nousrenvoyez pour réparation oumaintenance, prière d’observer lespoints suivants:

– Les appareils contaminés(radioactivement, chimiquement etc.)sont préalablement à décontamineren vertu de la législation contre lesémissions radioactives.

– Les appareils envoyés pourréparation ou maintenance doiventêtre pourvus d’une étiquette bienvisible certifiant qu’ils sont “exemptsde matières toxiques”. La mêmeindication est à apposer sur le bon delivraison et sur toute lacorrespondance afférente.

– Prière de n’utiliser à cet effet que leformulaire ci-joint.

3

– Sie haben die Möglichkeit, die Gerätedurch uns dekontaminieren zu lassen(ausgenommen sind radioaktiv kon-taminierte Geräte). Der Reparatur-auftrag ist dann entsprechend zuerweitern und die Prozeßgase, mitdenen das Gerät in Berührung war,sind anzugeben. Fehlen sie, sowerden sie von uns kostenpflichtigermittelt. Besondere Transportvor-schriften sind zu beachten.

– Wir werden eine Dekontaminationdurchführen und Ihnen berech-nen, wenn Sie den Vermerk “Frei vonSchadstoffen” am Gerät oder in denBegleitpapieren nicht angebrachthaben.

– “Schadstoffe” sind: Stoffe undZubereitungen gemäß EG-Richtlinievom 18.09.1979, Artikel 2.

Technische Änderungen behalten wiruns vor.

– You can have the unitsdecontaminated by us (exceptedare units with radioactivecontamination). In this case, therepair order must be extendedaccordingly, and the processgases with which the unit hascome into contact must be stated.If this information is missing, itwill be determined by us at extracost. Any special haulageregulations must be observed.

– We will carry out thedecontamination and invoice thiswork to you if you have notattached the note “Free fromharmful substances” to the unitor in the accompanying papers.

– “Harmful substances” are definedin European CommunityCountries as:

“materials and preparations inaccordance with the EECSpecification dated 18 September1979, Article 2”

and in the U.S.A. as.

“materials in accordance with theCode of Federal Regulations (CFR)49 Part 173.240 Definition andPreparation”.

Technical modifications reserved.

– Il vous est également loisible de nouslaisser le soin de décontaminer nous-mêmes ces appareils (exceptés lesappareils qui seraientradioactivement contaminés). Dansce cas, la commande est à spécifieren conséquence, avec indication desgaz ou matières toxiques aveclesquelles les appareils seraiententrés en contact. En l’absence decette indication, les frais résultant desanalyses à reconduire vous serontfacturés en sus. Prière également detenir compte des modalités detransport.

– En l’absence des indications “exemptde matières toxiques” sur l’appareilou sur les documentsd’accompagnement, nousprocéderons automatiquement à unedécontamination des appareilsretournés.

– Les “matières toxiques” sont cellesénumérées par l’article 2 de laprescription de la CE en date du 18Septembre 1979.

Modifications techniques réservées.

4

1

4

61

8

1

4

6

618

Fig. 2TPH 055

Fig. 1TPH 062

Fig. 1 und 21 HV-Flansch4 Vorvakuumflansch6 Flutanschluß8 Kühlwasseranschluß

61 Anschluß Antriebselektronik

1 HV flange4 Fore vacuum flange6 Venting connection8 Cooling water connection

61 Connection to electronic drive unit

1 Bride de vide élevé4 Bride de vide primaire6 Raccordement de remise à l´air8 Raccordement de l´eau de refroidissement

61 Connexion d’èlectronique d’èntraînement

1.2 Sicherheitsinstruk-

tionenDie Turbomolekular-pumpen sind nach demneuesten Stand der

Technik gebaut und betriebssicher.Von der Pumpe können aber Gefahrenausgehen, wenn sie vom Benutzerunsachgemäß oder zu nichtbestimmungsgemäßem Gebraucheingesetzt wird.

Bei nichtbestimmungsgemäßemEinsatz erlischt jeglicher Haftungs- undGewährleistungsanspruch!

Zur bestimmungsgemäßen Verwen-dung gehört auch die Einhaltung dervom Hersteller vorgeschriebenenInstallations-, Inbetriebnahme-,Betriebs- und Instandhaltungsvor-schriften.

– Bediener und Service-Personalmüssen die Betriebsanleitung desProduktes gelesen und verstandenhaben.

– Warnungen müssen beachtet undVorsichtsmaßregeln eingehaltenwerden.

– Das Bedienungs- und Service-Personal muß über alle Gefahreninformiert werden, die in Zusammen-hang mit der Turbopumpe auftretenkönnen. Das Personal muß in derLage sein, Gefahren zu erkennen undihnen entgegenzuwirken.

– Die Anwendung durch nichtautori-siertes Personal oder eine unvor-sichtige Handhabung kann zu einemerhöhten Gefahrenpotential führen.

– Bei allen Arbeiten, die Installation,Inbetriebnahme, Betrieb und Instand-haltung betreffen, sind die in denbeigefügten Betriebsanleitungenangegebenen Hinweise zu beachten.

– Es ist jede Arbeitsweise zu unter-lassen, die die Sicherheit desBedieners und der Pumpe beein-trächtigt.

– Eigenmächtige Umbauten und Verän-derungen, die die Sicherheit beein-flussen, sind nicht gestattet.

– Nach Elektromontage- und Elektroin-standhaltungsarbeiten sind alleSchutzmaßnahmen zu testen(Beispiel Schutzleitertest).

– Für den Betrieb der Anlage gelten dieörtlichen Sicherheits- und Unfall-verhütungsvorschriften.

– Unklarheiten bzgl. Sicherheit, Bedie-nung und Wartung können mit dernächsten PFEIFFER-Vertretung oderTochtergesellschaft abgeklärtwerden.

1.2 Safety InstructionsThe turbomolecularpump represents state-of- the- art technologyand optimum

operationally reliable. The user mayhowever be exposed to hazards if it isused improperly or for other than itsintended purpose.

If the pump is used for any other thanits intended purpose, all liability andwarranty claims will lapse!

Use for the intended purpose shall alsomean that the installation,commissioning, operating andmaintenance instructions of themanufacturer are to be complied with.

– Operating and service personnelmust have read and understood theoperating instructions for theproduct.

– All warnings must be observed andall precautions taken.

– The operating and service personnelmust be informed of all hazardswhich might occur in connection withthe turbo pump. Personnel must beable to recognize dangers and takepreventive measures.

– Any use by unauthorized personnelor careless handling may increasethe potential danger.

– The switch-off procedures describedin the attached operating instructionsmust be observed in all installation,commissioning, operating andmaintenance work.

– No operating modes must be usedwhich may affect the safety of theoperator and pump.

– All unauthorized modifications andalterations affecting the safety areprohibited.

– All safety protection measures mustbe tested upon completion ofelectrical installation and electricalmaintenance work (e.g. earthingresistance).

– All relevant local safety and accidentprevention regulations apply foroperation of the system.

– Any unclear points with regard tosafety, operation and maintenanceshould be clarified with your nearestPFEIFFER agency or subsidiary.

1.2 Instructions de

sécuritéLa pompe turbomolé-culaire a été construiteconformément à l’état le

plus récent de la technique etfonctionne de manière très fiable. Lapompe peut cependant être source dedangers si elle est utilisée de manièrenon conforme à sa destination ou demanière inadéquate.

Le droit à la garantie expire en casd’utilisation non conforme à la desti-nation!

Le respect des prescriptions d’installa-tion, de mise en service, de fonctionne-ment et d’entretien du fabricant faitpartie intégrante de l’utilisationconforme à la destination.

– Les conducteurs et le personnel duservice d’entretien doivent avoir lu etcompris les instructions de service duproduit.

– Les avertissements doivent être prisen compte et les mesures deprudence respectées.

– Le personnel de conduite etd’entretien doit être informé de tousles dangers pouvant émaner de lapompe turbo. Le personnel doit êtreen mesure de reconnaître les dangerset d’y faire face.

– L’utilisation par du personnel non au-torisé ou un maniement imprudentpeuvent accroître le danger potentiel.

– Pour tous les travaux, l’installation, lamise en service, le fonctionnement etl’entretien, les procédures de décon-nexion indiquées dans les instruc-tions de service ci-jointes doiventêtre respectées.

– Il faut s’abstenir de travailler d’unefaçon qui porte atteinte à la sécuritédu conducteur et de la pompe.

– Des transformations et modificationsde votre propre chef ayant uneinfluence la sécurité ne sont pasautorisées.

– Après des travaux de montage etd’entretien en électricité, toutes lesmesures de protection doivent êtretestées (par exemple le conducteurde protection).

– Les prescriptions locales de sécuritéet de prévention des accidents sontdans tous les cas valables pour lefonctionnement de l’installation.

– Les questions relatives à la sécurité,au maniement et à la maintenancepeuvent être résolues avec lereprésentant ou la filiale PFEIFFER lesplus proches.

5

1.2.1 Sicherheitshinweise zum Arbeitenmit der Turbomolekularpumpe

– Pumpe niemals mit offenem HV-Flansch betreiben. Verletzungsgefahrdurch rotierende Turbine und durchKontakt mit den gepumpten Medien(Prozeßgasen). Durch Hineinfallenvon Gegenständen kann die Pumpezerstört werden.

– Steckerverbindung zur Antriebselek-tronik nur bei gezogenem Netzsteckerund Stillstand der Pumpe lösen. Anden Kontakten können Spannungs-spitzen >100 V auftreten.

– Verbindungsleitungen von der Turbo-molekularpumpe zur Vorpumpe nurbei Stillstand der Anlage lösen umKontakt mit Prozeßgasen auszu-schließen.

– Vor der Demontage der Turbomole-kularpumpe aus der Anlage, Flutvor-gang wie unter 4.5 beschrieben,durchführen.

– Pumpe in die Anlage fest installieren.– Hinweise auf Gefahren, die durch

Kontakt mit gefährlichen Pumpme-dien entstehen können, sind vomBetreiber entsprechend mitzuteilen.Entsprechende Schutzmaßnahmensind vorzuschreiben.

1.3 Sonstige Hinweise– Turbopumpe, Verbindungskabel und

Antriebselektronik bilden mit einerentsprechenden Vorvakuumpumpe,eine betriebsfertiges System. DerLieferumfang entspricht jeweils derAbbildung in Fig. 1 und 2.

– Turbopumpen TPH und TPU sind imAufbau gleich. Sie unterscheiden sichlediglich im Ansaugflansch.

– Pumpen TPH: ISO-K/ISO-KF Flansche;– Pumpen TPU: CF-F Flansche.– Das Kugellager hat eine Umlauf-

schmierung.– Die Pumpen werden mit Betriebs-

mittelfüllung geliefert.– Serienmäßig sind die Pumpen kon-

vektionsgekühlt (siehe Abschnitt 4.4).– Sie können mit wenigen Handgriffen

auf Wasser-oder Luftkühlung umge-stellt werden.

– Gegen zu hohe Umgebungstempera-turen sind die Pumpen thermischgeschützt.

– Bei unzulässigen Temperaturen derLager, des Antriebs oder des Pum-pengehäuses wird die Antriebs-leistung bis auf Null zurückgeregelt.

1.2.1 Working with the TurbomolecularPump; Safety Information

– Never operate the pump with openHV flange because this may causeinjuries from the rotating turbine andcontact with vacuum with thepumped media (process gases).Objects falling into the pump cancause damage.

– Only uncouple the connection to theelectronic drive unit after you havedisconnected the mains plug and thepump is at standstill. Peak voltages of100 V may be present at the contacts.

– Only remove the connecting linesbetween the turbomolecular pumpand the backing pump when thesystem is at standstill so as to avoidany contact with process gases.

– Before you remove the turbo-molecular pump from the system, thepump must be vented as described in 4.5.

– Install the pump firmly in the system.– The user must provide information

on any danger that may arise fromcoming into contact with anyhazardous media to be pumped.Appropriate safety precautioninstructions must be provided.

1.3 Other Information– The turbo pump, connecting cable

and electronic drive unit form anoperational unit together with anappropriate backing pump. Thecontents of the consignment isshown in Fig. 1 and 2.

– The TPH and TPU turbo pumps are ofidentical design. They only differ intheir intake flange.

– TPH pumps: ISO-K/ISO-KF flanges;– TPU pumps: CF-F flanges.– The ball bearing has an oil-circulation

lubrication system.– The pumps are delivered with

operating fluid filling.– The pumps are convection-cooled as

standard (see Section 4.4).– They can easily be converted to

water or air cooling.– The pumps have thermistor

protection against excessive ambienttemperatures.

– When the bearing, drive or pumpcase temperatures are impermissiblyhigh, the drive power is reduced tozero.

1.2.1 Instructions de sécurité pour letravail avec la pompeturbomoléculaire

– Ne jamais utiliser la pompe avec labride de vide élevé ouverte. Il y adanger d’accident par la rotation dela turbine et par le contact avec desagents pompés (gaz de processus). Ily a danger de détérioration de lapompe par la chute d’objets.

– Démonter le connecteur del’électronique d’entraînementseulement lorsque le connecteurd’alimentation du réseau est enlevéet la pompe est à l’ arrêt. Des pointesde tension >100 V pourraient seproduire sur les contacts.

– Les raccordements de la pompeturbo à la pompe primaire nepeuvent être enlevés qu’à l’arrêt afind’éviter tout contact avec des gaz deprocessus.

– Avant le démontage de la pompeturbo du système, effectuer la remiseà l’air comme indiqué dans 4.5.

– Fixer la pompe dans l’installation,afin d’éviter des dangers dus á descouples.

– Les indications concernant lesdangers provenant de contacts avecdes agents pompés seront àcommuniquer par l’utilisateur. Parconsequént des mesures de sécuritéseront à prescrire par celui-ci.

1.3 Indications diverses– La pompe turbo, le câble de

raccordement et l’électroniqued’entraînement forment, avec unepompe à vide primairecorrespondante, une unité prête àfonctionner. Le volume de livraisonest respectivement conforme àl’illustration de la Fig. 1 et 2.

– Les pompe turbos TPH et TPU ont lamême structure. Seules leurs bridesd’aspiration sont différentes.

– Pompes TPH: brides ISO-K/ISO-KF;– Pompes TPU: brides CF-F.– Les pompes sont livrées remplies de

fluide moteur.– Les pompes de série sont refroidies

par convection (voir paragraphe 4.4).– Quelques manipulations suffisent

pour passer au refroidissement àl’eau ou à l’air.

– Les pompes disposent d’uneprotection thermique contre lestempératures ambiantes tropélevées.

– Lorsque la température des paliers,de l’entraînement ou du corps depompe n’est pas dans les limitesadmissibles, la puissanced’entraînement est réduite à zéro.

6

2 Technische Daten 2 Technical Data 2 Fiche techniqueTurbomolekularpumpe/Turbomolecular pump/Pompe turbomoléculaire TPH 062 TPH 062 TPH 055 TPH 055

TPU 062

Anschlußnennweite Nominal connection Diamètre nominal deof diameter raccordement

Eingang Inlet Entrée DN 40 ISO-KF DN 63 ISO-K/ DN 40 ISO-KF DN 63 ISO-KFDN 63 CF-F

Ausgang Outlet Sortie DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF

Saugvermögen für Volume flow rate for Capacité d’aspiration N2 N2 N2 l/s 30 56 30 55He He He l/s 40 52 35 48H2 H2 H2 l/s 34 45 30 40

Empfohlene Vorpumpe: Recommended backing Pompe primaire m3/h 1,5 1,5 1,5 1,5pump: recommandée:

Antriebselektronik Electronic drive unit Electronique d’entraînement TCP 121 / 380 TCP 015

Kompressionsver- Compression Taux dehältnis für ratio for compression pour

N2 N2 N2 1 · 108 1 · 108 1 · 106 1 · 106

He He He 7 · 103 7 · 103 6 · 102 6 · 102

H2 H2 H2 6 · 102 6 · 102 1 · 102 1 · 102

Theor. Enddruck Theoretical final Pression finale théor. mbar 10-11 10-11 10-10 10-10

pressureEnddruck 1) Final pressure 1) Pression finale 1) mbar <1 · 10-10 <1 · 10-10 - -Enddruck 1) Final pressure 1) Pression finale 1) mbar <1 · 10-9 <1 · 10-9 - -Enddruck 1) Final pressure 1) Pression finale 1) mbar <1 · 10-8 <1 · 10-8 <1 · 10-7 <1 · 10-7

Nenndrehzahl Rated rotation speed Vitesse nominale 1/min 90000 90000 90000 90000Stand-by Drehzahl Stand-by rotation Vitesse de ratation stand-by 1/min 60000 60000 60000 60000

Hochlaufzeit2) Run-up time2) Temps d’accélération2) min 2 2 3 3Betriebsmittel- Operating fluid Fluide moteur3) cm3 4 4 4 4füllung3) filling3)

Kühlart, Type of cooling, Mode de refroidissement, Konvektion/Convection/Convectionserienmäßig standard standardWassertemperatur Water temperature Température d l’eau pour ° C 5 - 25 5 - 25 5 - 25 5 - 25bei Kühlwasser- at cooling water raccord de refroidissement anschluß connection à l´eau

Kühlwasserbedarf Cooling water con- Consommation d´eau l/h 15 15 15 15bei Wasserkühlung sumption with water- de refroidissement pour

cooling refroidissement à l´eauZul. Umgebungs- Permissible ambient Température ambiante ° C 0 - 35 0 - 35 0 - 35 0 - 35temperatur bei temperature for admissible pourLuftkühlung air cooling refroidissement à l´air

Zulässiges Magnet- Permissible magnetic Champ magnétique mT 7 7 7 7feld, max.4) field, max.4) admissible, maxi.4)

Gewicht Weight Poids kg 3,6 3,6/3,8 3,6 3,6

7

1)For explanations, see 2.12)Up to 90 % of the rated rotation speed 3)Included in the operating fluid reservoir4)For higher magnetic fields, screening is

available on request

1)Explications au paragraphe 2.12)Jusqu’à 90 % de la vitesse nominale3)Dans le réservoir de fluide moteur4)En cas de champs magnétiques plus

puissants, bouclier sur demande

1)Erläuterungen unter 2.12)bis 90 % der Nenndrehzal 3)Im Betriebsmittelspeicher enthalten4)Bei stärkeren Magnetfeldern Abschirmung

auf Anfrage

Enddruck/ Vorpumpensystem Backing-pump combination Systéme de Dichtung für

Final pressure/ pompes primaires Ansaugflansch/

Pression finale Seal for

TPH/U 062 intake socket/

Joint pour bride d’aspiration

➀ 1·10-10 Zweistufige Drehschieber- Two-stage rotary vane Pompe à vide rota- Metall

vakuumpumpe vacuum pump and turbo tive à palettes à Metal

und Turbopumpe molecular pump deux étages et pompe Métallique

turbomoléculaire

➁ 1·10-9 Zweistufige Drehschieber- Two-stage rotary vane Pompe à vide rota- Metall

vakuumpumpe vacuum pump tive à palettes à Metal

deux étages Metalique

➂ 1·10-8 Zweistufige Drehschieber- Two-stage rotary vane Pompe à vide rota-

vakuumpumpe vacuum pump tive à palettes à Viton

deux étages

2.1 EnddruckUnter dem Enddruck von Turbomole-kularpumpen wird nach DIN 28 428 derDruck verstanden, der in einem Meß-dom 48 Stunden nach dem Ausheizenerreicht wird.

TPH 055Der Enddruck für die TurbopumpeTPH 055 liegt bei <1.10-6 mbar. Metall-dichtungen sind zum Erreichen nied-rigerer Enddrücke nicht einsetzbar, dadiese Turbopumpen nicht mit CF-FFlanschen versehen sind.

TPH/U 062Der Enddruck für die TurbopumpeTPH/U 062 liegt je nach verwendetemVorpumpensystem bei folgendenWerten:

8

2.1 Final PressureAccording to DIN 28 428, the finalpressure of turbomolecular pumps isthe pressure attained in a test dome 48 hours after baking-out.

TPH 055The final pressure of the TPH 055Turbo Pump is < 1.10-6 mbar. It is notpossible to use metal seals in order toobtain lower final pressures becausethese turbo pumps are not equippedwith CF-F flanges.

TPH/U 062Depending on the backing pumpsystem used, the final pressure of theTPH/U 062 Turbo Pump has thefollowing values:

2.1 Pression finalePar pression finale des pompesturbomoléculaires on entend,conformément à DIN 28 428, lapression atteinte dans un dôme demesure 48 heures après l’étuvage.

TPH 055La pression finale de la pompe turboTPH 055 est < 1.10-6 mbars. Il n’est paspossible d’utiliser des jointsmétalliques pour atteindre despressions finales basses, étant donnéque ces pompe turbos ne sont pasdotées de brides CF-F.

TPH/U 062Les valeurs de la pression finale de lapompe turboTPH/U 062 sont lessuivantes, en fonction du système depompes primaires utilisé:

Jede TPH/U 062 unterschreitetwährend der Endabnahme dieEnddruckwerte 2 und 3, wobei der Enddruck 3 ohne Ausheizen der Pumpeerreicht wird.

At final acceptance, the final pressureof each TPH/U 062 is better than theabove values 2 and 3, with the finalpressure 3 being attained withoutbaking out of the pump.

Chaque TPH/U 062 descend au-delàdes valeurs de pression finale 2 et 3pendant la réception finale, la pressionfinale 3 étant atteinte sans étuvage depompe.

9

2.2 Saugvermögen

Fig. 3Saugvermögen für N2 in Abhängigkeitvom Ansaugdruck p2

TPH/TPU 062 mit DN 63 ISO-K/CF-F und TPH 055 mitDN 63 ISO-K Flansch

2.3 Maßbild

Fig. 4TPH/U 062

2.2 Volume Flow Rate

Volume flow rate for N2 as a function ofthe intake pressure p2

TPH/TPU 062 with DN 63 ISO K/CF-Fflange,and TPH 055 with DN 63 ISO-Kflange

2.3 Dimensions

Fig. 5TPH 055

2.2 Capacité d’aspiration

Capacité d’aspiration pour N2 en fonctionde la pression d’aspiration p2

TPH/TPU 062 avec bride DN 63 ISO-K/CF-F et TPH 055 avec bride DN 63 ISO-K

2.3 Encombrements

Kühlwasseranschluß

Hochvakuumanschluß

Vorvakuumanschluß

Flutanschluß

Elektrischer Anschluß

Luftkühlung

Cooling water connection

High vacuum connection

Backing pump connection

Venting connection

Electrical connection

Air cooling

Raccord d’eau de refroidissement

Raccord de vide élevé

Raccord de vide primaire

Raccord de remise à l’air

Branchement électrique

Refroidissement par air

10-10

102

103

101

100

10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 10o

p2 [mbar]

S[l/s]

TPH 055TPH/U 062

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3 Vorvakuumpumpen

Als Vorvakuumpumpe empfehlen wirdie Drehschiebervakuumpumpe DUO 1,5 A oder je nach Anwendungeine Pumpe der ”B-Reihe” ausunserem Programm. Sie zeichnen sichaus durch:

– hohe Saugleistung– hohe Wasserdampf-Verträglichkeit– integriertes Hochvakuum-Sicherheits-

ventil.

4 Installation

4.1 Hinweise zur Installation– Die Turbopumpe wird mit Betriebs-

mittel-Füllung geliefert.– Blindflansche an Hoch- und Vorva-

kuumanschluß erst unmittelbar vorder Montage entfernen.

– Arbeiten die Turbopumpen in einemMagnetfeld bei Feldstärken über denin den technischen Daten angege-benen Werten, sind geeigneteAbschirmmaßnahmen vorzusehen(Abschirmgehäuse auf Anfrage).

4.2 HochvakuumanschlußAchtung!Bei verankerter Turbopumpe dürfenkeine Kräfte aus dem Rohrleitungs-system auf die Pumpe einwirken.

Beim Anschluß der Pumpe an denRezipienten ist zu beachten, daß derHochvakuum-Flansch bis max. 20 kgsenkrecht belastbar ist. Ein frei angeflanschter Rezipient darfkein Drehmoment auf den Flanschausüben (einseitige Belastung).

– Alle UHV-Teile müssen bei größterSauberkeit montiert werden.Unsaubere Bauelemente verlängerndie Auspumpzeit durch eine hoheDesorptionsrate.

– Die Pumpe kann in horizontaler bisvertikaler Einbaulage an den Rezi-pienten angeflanscht werden.

– Weicht die Einbaulage von der Verti-kalen ab, muß die Pumpe mit demVorvakuumanschluß 4 nach unteneingebaut werden. Eine maximaleAbweichung von 20° nach links oderrechts ist zulässig (Fig. 6).

– Bei der Verbindung Turbopumpe-Rezipient über einen Federungs-körper sollte die Pumpe verankertwerden.

– Zur Verankerung der Pumpe sind imUnterteil (Standfläche) vier Gewinde-löcher M5 vorhanden. Die Gewinde-löcher dienen auch zur Aufnahme derGummifüße.

3 Backing Pumps

We recommend that you use the DUO 1.5 A rotary vane vacuum pumpor depending on your application apump of series ”B” as the backingpump from our programme. Thesepumps are distinguished by:

– High volume flow rate– High water vapour compatibility– Integrated high-vacuum safety valve.

4 Installation

4.1 Notes for Installation– On delivery the turbo pump is filled

with operating fluid. – The blank flanges on the high and

fore-vacuum side should only beremoved immediately beforeinstallation of the pump.

– If the pump operates in a magneticfield with higher intensities thanthose given under ”Technical Data”,appropriate screening must beprovided (screening housing onrequest).

4.2 High Vacuum ConnectionAttention!No loads from the piping system mustact on the turbo pump if it is anchored.

When the pump is connected to thevacuum chamber, it must be taken intoconsideration that the high-vacuumflange can be loaded in verticaldirection to a maximum of 20 kg.The weight of an unsupported vacuumchamber must not exert any torque onthe flange (asymetric loading).

– All UHV components should beassembled under absolutely cleanconditions. Unclean componentsincrease the pumping-down time as aresult of the high desorption rate.

– The pump can be flanged to thevacuum chamber in any mountingdirection from horizontal to vertical.

– If the mounting direction deviatesfrom vertical, the pump has to beinstalled with the fore-vacuumconnection 4 facing downwards. Amaximum deviation of 20° to theright or left is admissible (Fig. 6).

– If the turbo pump is connected to thevacuum chamber via a bellows, thepump should be anchored.

– The bottom part (base) of the pumphas four threaded holes size M5 foranchoring. These holes can also beused for the rubber legs.

3 Pompes à vide primaire

Comme pompe à vide primaire, nousrecommandons la pompe à viderotative à palettes tournantes DUO 1,5 A ou, selon l’application, unepompe de la ”série B” de notreprogramme. Elles sont caractériséespar:

– une grande puissance d’aspiration– une grande résistance à la vapeur

d’eau– une vanne de sûreté de vide élevé

intégrée.

4 Installation

4.1 Indications relatives à l’installation– La pompe turbo est livrée remplie de

fluide moteur.– N’enlever les fausses brides des

raccords de vide élevé et primaireque juste avant le montage.

– Si les pompe turbos fonctionnentdans un champ magnétique dont lespuissances sont supérieures auxvaleurs indiquées dans les caractéri-stiques techniques, des mesures deblindage adaptées doivent êtreprévues (corps de blindage surdemande).

4.2 Raccord de vide élevéAttention!Si la pompe turbo est ancrée, aucuneforce émanant du système deconduites ne doit agir sur la pompe.

Lors du raccordement de la pompe aurécipient, il faut veiller à ce que la bridede vide élevé puisse subir une chargeverticale de 20 kg maxi.Un récipient bridé librement ne doitpas exercer de couple de rotation sur labride (charge unilatéral).

– Toutes les pièces d’ultravide doiventêtre montées á un endroit le pluspropre possible. Des élémentssouillés entraînent une augmentationdu temps de pompage due à un tauxde désorption élevé.

– La pompe peut être bridée aurécipient en position horizontale àverticale.

– Si la position de montage diverge dela verticale, la pompe doit êtremontée avec le raccord de videprimaire 4 dirigé vers le bas. Unedivergence maximale de 20° vers lagauche ou la droite est admissible(Fig. 6).

– Lorsque la turbopompe et le récipientsont reliés par un soufflet, la pompedevrait être ancrée.

– Pour ancrer la pompe, quatre trousfiletés M5 sont situés dans la partieinférieure (surface d’appui). Les trousfiletés servent également à accueillirles pieds en caoutchouc.

11

4.2.1 Splinter ShieldA splinter shield should be installed toprotect the pump against solid foreignmatter (with the screen bulge facingdownward; see Section 9, Accessories).The splinter shield has to be pressedinto the high-vacuum flange up to thestop on its outer ring. It decreases thevolume flow rate of the pump byapproximately 15 %.

4.3 Fore-vacuum ConnectionFig. 8

– All connections of the fore-vacuumline can be made using small-flangecomponents.

– In the case of rigid pipe connections,a bellows must be installed to reducethe transmission of vibrations fromthe backing pump.

– Components for the fore-vacuumconnection: see Section 9,Accessories.

– Further components are listed in thePFEIFFER catalog ”VacuumComponents”.

– In order to prevent the vacuumchamber from being vented via thebacking pump, a safety valve mustbe installed in the fore-vacuum line(see Section 9, Accessories).

– A high-vacuum safety valve isincorporated in the PFEIFFER backingpumps (see Section 3 on backingpumps).

4.2.1 Pare-éclatsUn pare-éclat devrait être mis en placepour protéger la pompe turbo contreles corps étrangers (courbure du tamisvers le haut, voir paragraphe 9 acces-soires). Le pare-éclats doit être enfoncédans la bride de vide élevé avecl’anneau extérieur jusqu’à la butée. Ilréduit la capacité d’aspiration d’env. 15 %.

4.3 Raccord de vide primaireFig. 8

– Tous les raccords de la conduite devide primaire peuvent être fabriquésavec des éléments de petites brides.

– En cas de raccords à tubes rigides, unsoufflet doit être monté afin d’amortirla transmission des vibrations de lapompe à vide primaire.

– Eléments pour le raccord du vide pré-alable: voir paragraphe 9,accessoires.

– D’autres pièces sont énumérées dansle catalogue PFEIFFER ”Composantspour la technique du vide”.

– Une soupape de sûreté doit êtremontée dans la conduite de videprimaire afin d’empêcher l’entréed’air dans le récipient par le biais dela pompe à vide primaire (voirparagraphe 9, accessoires).

– Une soupape de sûreté de vide élevéest intégrée aux pompes à videprimaire PFEIFFER (voir paragraphe 3pompe à vide primaire).

Fig. 71 Hochvakuumflansch Turbopumpe2 Splitterschutz3 Klemmfahne

1 High-vacuum flange turbo pump2 Splinter shield3 Clamping lug

1 Bride de vide élevé2 Pare-éclats3 Talon de serrage

Fig. 61 Hochvakuumflansch4 Vorvakuumflansch6 Flutanschluß

1 High vacuum flange4 Fore vacuum flange6 Venting connection

1 Bride de vide élevé4 Bride de vide primaire6 Raccord de remise à l’air

4.2.1 SplitterschutzZum Schutz der Turbopumpe gegenFremdkörper sollte ein Splitterschutzeingesetzt werden (Siebwölbung nachoben, siehe Abschnitt 9 Zubehör). DerSplitterschutz muß mit dem Außenringbis zum Anschlag in den Hochvakuum-flansch eingedrückt werden. Er verrin-gert das Saugvermögen um ca. 15 %.

4.3 VorvakuumanschlußFig. 8

– Alle Verbindungen der Vorvakuum-leitung können mit Kleinflansch-Bau-elementen hergestellt werden.

– Bei starren Rohrverbindungen ist einFederungskörper einzubauen, um dieÜbertragung der Vibration von derVorvakuumpumpe zu dämpfen.

– Bauelemente zum Vorvakuuman-schluß siehe Abschnitt 9, Zubehör.

– Weitere Bauteile sind im PFEIFFER-Katalog ”Komponenten für dieVakuumtechnik” aufgeführt.

– Um die Belüftung des Rezipientenüber die Vorvakuumpumpe zu ver-hindern, muß ein Sicherheitsventil indie Vorvakuumleitung eingebautwerden (siehe Abschnitt 9, Zubehör).

– In PFEIFFER-Vorvakuumpumpen istein Hochvakuum-Sicherheits-ventilintegriert (siehe Abschnitt 3,Vorvakuumpumpe).

1 3 2

12

4.4 Kühlung– Die Turbopumpe ist serienmäßig

konvektionsgekühlt und daher voneiner Wasser- oder Zwangsluft-kühlung unabhängig.

– Bei Umgebungstemperaturen bis35°C und bei beheizten Pumpen undSystemen sind die TurbopumpenTPH/TPU 062 und TPH 055 mit Luft-oder Wasserkühlung zu betreiben,über 35° C nur mit Wasserkühlung.

– Die Turbopumpe ist durch je einenPTC Widerstand in Motorwicklungund Pumpengehäuse thermisch ge-schützt. Wird an einem der beidenWiderstände die zulässige Tempe-ratur überschritten, reduziert dieAntriebselektronik die Antriebs-leistung (bis auf Null).

4.4.1 WasserkühlungFig. 9, Fig. 10

Die Korrosionsbeständigkeit derMetalle ist im allgemeinen auf einesehr dünne Oxidschicht zurückzu-führen, die an der Oberfläche einenpassiven Zustand aufrecht erhält. Dafürmuß ein Mindestgehalt an Sauerstoffvorhanden sein.

In geschlossenen Kühlsystemen mußdamit gerechnet werden, daß ohnebesondere Maßnahmen der Sauerstoff-gehalt unter die Mindestmenge ab-sinkt. Hier sollte bei der Rückkühlungdes Wassers für die Möglichkeitgenügender Sauerstoffaufnahmegesorgt werden.

In allen Fällen ist das Kühlwasser zufiltrieren, um Schmutz und organischeSchwebstoffe vom Kühlkreislauf fern-zuhalten. Es könnte sonst zu lokalenAblagerungen kommen, welche dieBildung von Lochfraß begünstigen.

– Die Pumpe kann durch das Kühl-wassernetz (Maximalüberdruck 6 bar)oder über ein Kühlaggregat 30 (TZK)versorgt werden.

4.4 Cooling– The turbo pump is convection-cooled

as standard; it is therefore indepen-dent of a water or ducted air coolingsystem.

– At ambient temperatures up to 35°Cand with heated pumps and systems,the TPH/TPU 062 and TPH 055 turbopumps must be operated with air orwater cooling, at temperatures above35°C with water cooling only.

– The turbo pump is thermallyprotected by PTC resistors in both themotor winding and pump case. If theadmissible temperature is exceededon one of the two resistors, theelectronic drive unit reduces the drivepower down to zero.

4.4.1 Water CoolingFig. 9, Fig. 10

The corrosion resistance of the metalscan generally be attributed to a verythin oxide film which maintains apassive state on the surface. For thispurpose, however, it is necessary thata minimum amount of oxygen isavailable.

In closed cooling systems it must betaken in consideration that the oxygencontent drops below the minimumquantity if no special measures aretaken. In this case, it should be ensuredthat sufficient oxygen can be absorbedwhen the water is recooled.

The cooling water must always befiltered to keep the cooling circuit freefrom dirt and organic suspendedmatter. Otherwise localized depositsmay occur which may cause pitting.

– Cooling water can be supplied to thepump either from the cooling watermains (maximum excess pressure 6 bar) or via a cooling unit 30 (TZK).

4.4 Refroidissement– La pompe turbo standard est

refroidie par convection, doncindépendante d’un refroidissementforcé à l’eau ou à l’air.

– Les pompe turbos TPH/TPU 062 etTPH 055 devront être refroidies à l’airou à l’eau si les températuresambiantes jusqu’à 35°C ou si lespompes et systèmes sont chauffés età l’eau seulement à plus de 35°C.

– La pompe turbo dispose d’uneprotection thermique par le biais derésistances à coefficient positif detempérature situées dans le bobinagedu moteur et le dans corps de lapompe.

4.4.1 Refroidissement à l’eauFig. 9, Fig. 10

La résistance à la corrosion des métauxest généralement due à une couched’oxyde très mince qui maintient unétat passif à la surface. Pour cela, uneteneur minimum en oxygène estnécessaire.

Dans les systèmes de refroidissementfermés, il faut s’attendre, en l’absencede mesures particulières, à ce que lateneur en oxygène n’atteigne plus laquantité minimum. Il faudrait ici, lorsdu refroidissement de retour de l’eau,assurer une absorption d’oxygènesuffisante.

Dans tous les cas l’eau de refroidisse-ment doit être filtrée afin d’empêcherla pénétration d’impuretés et dematières en suspension dans le circuitde refroidissement. Ces dernièrespourraient en effet être à l’origine dedépôts locaux qui favorisent laformation de piqûres de corrosion.

– La pompe peut être alimentée par leréseau d’eau de refroidissement(pression effective maximale 6 bars)ou par le biais d’un groupe derefroidissement 30 (TZK).

1

46

9

5

10

Fig.81 Hochvakuumflansch4 Vorvakuumflansch5 Vorvakuumpumpe6 Flutanschluß9 Vorvakuumleitung

10 Sicherheitsventil

1 High vacuum flange4 Fore vacuum flange5 Backing pump6 Venting connection9 Fore vacuum line

10 Safety valve

1 Bride de vide élevé4 Bride de vide primaire5 Pompe à vide primaire6 Raccordement de remise à l’air9 Conduite du vide primaire

10 Vanne de sûreté du vide élevé

13

Fig. 107 Kühlwasserwächter TCW8 Kühlwasseranschluß Turbopumpe29 Schmutzfänger30 Kühlaggregat TZK31 Anschluß Kühlwassernetz32 freier Abfluß

7 Cooling Water Monitor TCW8 Cooling water connection, turbo pump29 Dirt trap30 Cooling Unit TZK31 Connection of cooling water mains32 Open discharge

7 Contrôleur de l’eau de refroidissement TCW8 Raccords pour l’eau de refroidissement de la pompe

turbo29 Piège à impuretés30 Groupe refroidisseur TZK31 Raccordement de l’eau de refroidissement32 Ecoulement libre

56 578

29

7

30

31

32

46

Fig. 946 USIT-Ring56 Schlauchtülle57 Hohlschraube

46 USIT ring56 Hose nozzle57 Hollow core screw

46 Joint en USIT56 Douille de tuyau57 Boulon creux à filet femelle

Cooling water supply from themains:The dirt trap 29 (if applicable) must beinstalled in the supply system and theTCW cooling water monitor 7 in thereturn system.

Cooling water supply with coolingunit:Do not use a dirt trap 29. Install theTCW cooling water monitor 7 in thereturn system.

Accessories for cooling waterconnection see Section 9,Accessories.

Kühlwasserversorgung aus dem Netz:Der Schmutzfänger 29 ist im Vorlaufund der Kühlwasserwächter 7 (TCW)im Rücklauf einzusetzen (falls ver-wendet).

Kühlwasserversorgung mit Kühlaggregat:Keinen Schmutzfänger 29 verwenden,Kühlwasserwächter 7 (TCW) im Rück-lauf einsetzen.

Zubehör für Kühlwasseranschluß sieheAbschnitt 9, Zubehör.

Alimentation en eau derefroidissement par le réseau:le piège à impuretés 29 doit être mis enplace dans la conduite aller et lecontrôleur de l’eau de refroidisse-ment 7 (TCW) dans la conduite retour(le cas échéant).

Alimentation en eau derefroidissement par le biais d’ungroupe de refroidissement:Ne pas utiliser de piège à impuretés 29,mettre le contrôleur de l’eau derefroidissement 7 (TCW) en place dansla conduite retour.

Pour les accessoires de raccordementde l’eau de refroidissement, consulterle paragraphe 9, accessoires.

14

Um Korrosionsschäden zu vermeiden,sind folgende Anforderungen an dasKühlwasser einzuhalten:

Wasser filtriert, mechanisch rein,optisch klar, ohne Bodensatz, ohneTrübung, chemisch neutral.

Min. Sauerstoffgehalt 4 mg/kgMax. Chloridgehalt 100 mg/kgMax. Karbonat-Härte 10° dHMax. Kaliumpermanganat-verbrauch 10 mg/kgpH-Wert 7-9Vorlaufüberdruck max. 6 bar

Aggressive Kohlensäure undAmmoniak dürfen nicht nachweisbarsein.

Hinweis:Werden die aufgeführten Werte über-oder unterschritten und treten deshalbStörungen oder Schäden an den vonuns gelieferten Anlagen auf, sind wirvon jeglicher Haftung aufgrund solcherStörungen oder Schäden befreit.

4.4.2 Luftkühlung– Die Turbopumpe kann auf Luftküh-

lung umgestellt werden.– Die max. Umgebungstemperatur darf

bei Einsatz einer Luftkühlung 35°Cnicht überschreiten!

– An der Antriebselektronik TCP 121/380 und TCP 015 sindAnschlußmöglichkeiten für dieLuftkühlung vorgesehen. (die An-schlüsse sind nach den Schaltplänenin der Betriebsanleitung der Antriebs-elektronik vorzunehmen).

– Luftkühlung siehe 9 Zubehör.

4.4.2.1 Montage der LuftkühlungFig. 11

– Turbopumpe auf den Hochvakuum-flansch 1 stellen (Achtung, Dicht-fläche!) und Gummifüße 27 (sieheFig. 21) herausschrauben.

– Halter 12 so anschrauben, daß dieAnschraubfläche des Lüfters 51parallel zur Achse Vorvakuumflansch-Flutanschluß liegt.

– Luftkühlung an Halter 12 mit vierSchrauben (M5) 13 und Federrin-gen 14 an die Turbopumpe anschrau-ben.

Elektrischer Anschluß:Der elektrische Anschluß ist nach denSchaltplänen in der Betriebsanleitungder entsprechenden Antriebselektronikauszuführen.

To avoid corrosion damages, thefollowing requirements for the coolingwater must be met:

Water filtered, mechanically clean,optically clear, without deposits,without turbidity, chemically neutral.

Minimum oxygen cont 4 mg/kgMaximum chloride content 100 mg/kgMaximum carbonatehardness 10° dHMaximum consumption of potassium permanganate 10 mg/kgpH-value 7-9Supply excess pressure up to 6 bar

No aggressive carbon dioxide andammonia should be detectable.

Please note:If the actual values are above or belowthe values indicated above and iftrouble or damage occurs on thesystems delivered by us, we willassume no liability for such trouble ordamage.

4.4.2 Air Cooling– The turbo pump can be converted to

air cooling.– The maximum ambient temperature

must not exceed 35°C if air cooling isused.

– Connections for air cooling areprovided on the TCP 121/380 and TCP 015 electronic drive unit (theconnections must be made inaccordance with the wiring diagramin the operating instructions of theelectronic drive unit).

– For air cooling, please se Section 9,Accessories.

4.4.2.1 Installing the Air CoolingSystemFig. 11

– Place the turbo pump on highvacuum flange 1.(Take care of thesealing surface!). Unscrew rubberlegs 21 (see Fig. 21).

– Screw on holder 12 in such a waythat the screw-on surface of fan 51 ispositioned parallel to the axis of thefore-vacuum and venting connection.

– Screw air cooling onto the holder 12with four M5 screws 13 and springwashers 14 onto the turbopumpe.

Electrical connections:Eletrical connections shoud be carriedout as per the wiring diagram of theoperating instructions for the electronicdrive unit.

Afin d’éviter des dommages dus à lacorrosion, l’eau de refroidissement doitrépondre aux exigences suivantes:

eau filtrée, mécaniquement pure,optiquement claire, sans dépôts,nonbrouillée, chimiquement neutre.

Quantité d’oxygène min. 4 mg/kgQuantité de chlorures max. 100 mg/kgDureté de carbonate max. 10° dHConsommation en perman-ganate de potassium 10 mg/kgValeur pH 7-9Surpression de l’ amenéed’eau jusqu’à max. 6 bar

Ni gaz carbonique agressif ni ammon-iaque ne doivent être détectables.

Remarque:Si les valeurs mentionnées ne sont pasatteintes ou sont dépassées, entraînantdes défaillances ou des dommages desinstallations livrées par nos soins, noussommes dégagés de touteresponsabilité quant à ces défaillancesou dommages.

4.4.2 Refroidissement à l’air– La pompe turbo peut être commutée

sur le refroidissement à l’air.– La température ambiante maxi. lors

de l’utilisation d’un refroidissement àl’air ne doit pas excéder 35°C!

– Des possibilités de raccordementpour le refroidissement à l’air sontprévues sur les commandesd’entraînement TCP 121/380 et TCP 015 (les raccordements doiventêtre effectués conformément auxschémas des connexions desinstructions de service del’électronique d’entraînement).

– Refroidissement par air voir 9,accessoires.

4.4.2.1 Montage du dispositif derefroidissement à l’airFig. 11

– Poser la pompe turbo sur la bride devide élevé 1( Attention à la surfaced’étanchéité!). Dévisser les pieds encaoutchouc 27 (voir Fig. 21) desalésages filetés.

– Metre la vis sur le support 12 afin quela surface à visser du ventilateur 51soit parallel à l'axe de la bride devide primaire et raccordement deremise à l'air.

– Visser le refroidissement par air avecquatre vis 13 (M5) au support et lesrondelles ressorts 14 á la pompeturbo.

Branchement électrique:Le branchement doit être effectuéconformément aux schémasélectroniques des instructions deservice de l’électroniqued’entraînement.

15

4.5 FlutanschlußFig. 12

TPH/U 062Die Turbopumpe TPH/U 062 kannmanuell über die serienmäßige Ver-schlußschraube (G 1/8'') im Flutan-schluß geflutet werden. Es ist keinspezielles Hand-Flutventil erforderlich.Durch das Anschlußgewinde G 1/8'' istes möglich, mit handelsüblichen Bau-teilen Flutleitungen zu realisieren.

Vorhandene Flutventile TVF undStromausfallfluter TSF mit DN 10 ISO-KF-Anschluß können an den Pumpen mit dem Adapter PM 033 737-T eingesetzt werden.

Zum verzögerten, sicheren Fluten vonTurbopumpe und Rezipient kann einFlutsteuergerät TCF, ein Ventilsteuer-gerät TCV oder das TCP 121/TCP 380mit dem Flutventil TSF 012 eingesetztwerden.

Beim Einsatz eines Flutventils TSF 010wird die Turbopumpe direkt nacheinem Stromausfall oder Abschaltengeflutet.

4.5 Venting ConnectionFig. 12

TPH/U 062The TPH/U 062 turbo pump can bevented manually via the screw plug(G 1/8'') in the venting connection. Aspecial manual venting valve is notrequired. The G 1/8'' connecting threadallows venting lines to be built fromcommercially available components.

Existing TVF venting valves and TSFemergency venting valves with DN 10 ISO-KF connection can be used for pumps with an adapter PM 033 737-T.

A TCF Venting Control Unit, a TCVValve Control Unit, or the TCP 121/380with TSF 012 Venting Valve can beused for delayed safety venting of theturbo pump and vacuum chamber.

If a TSF 010 Venting Valve is employed,the turbo pump is vented immediatelyafter a power failure or after the pumpis switched off.

4.5 Raccord de remise à l’air Fig. 12

TPH/U 062La pompe turbo TPH/U 062 peut êtreremise à l’air manuellement par le biaisde la vis de fermeture standard (G 1/8'')située dans le raccord de remise à l’air.Une vanne de remise à l’air manuellespéciale n’est pas nécessaire. Grâce aufiletage du raccord G 1/8'', il estpossible de réaliser des conduites deremise à l’air avec des élémentsdisponibles dans le commerce.

Les vannes de remise à l’air TVF et les dispositifs de remise à l’air pourcoupures de courant TSF existantsmunis d’un raccord DN 10 ISO-KFpeuvent être utilisés sur les pompeséquipées d’un adaptateur PM 033 737-T.

Pour une remise à l’air temporisée etsûre de la pompe turbo et du récipient,un appareil de commande de remise àl’air TCF, un appareil de commande desoupape TCV ou le TCP 121/TCP 380avec la vanne de remise à l’air TSF 012peuvent être utilisés.

Si une vanne de remise à l’air TSF 010est utilisée, la pompe turbo estdirectement remise à l’air après unecoupure de courant ou unedéconnexion.

Fig. 1112 Halter13 Schraube14 Federring51 Ventilator52 Schwingungsdämpfer58 Schraube

13 Screw14 Spring washer12 Holder51 Fan52 Damper58 Screw

13 Boulon14 Rondelle à ressort12 Support 51 Ventilateur52 Amortisseur de vibrations58 Boulon

16

TPH 055La pompe turbo TPH 055 n’a pas deraccord de remise à l’air. Elle doit êtreremise à l’air côté vide élevé.La vanne de remise à l’air TSF 012 peutêtre associée au TCP 015 pour remettrela pompe turbo TPH 055 à l’air.

La temporisation de la remise à l’air estune fonction commune à TCP 015 et àTSF 012. La vanne de remise à l’air TSF 012 se ferme dès que TCP 015 estconnecté.

Après la déconnexion ou une coupurede courant, la vanne de remise à l’airTSF 012 est alimentée en courant par lemoteur d’entraînement de la pompeturbo en cours de ralentissement.Début de la remise à l’air à env. 30 %de la vitesse nominale. La vanne resteouverte après l’arrêt de la pompe.

Si les appareils suivants sontcombinés, la vanne de remise à l’airpeut être ouverte immédiatement oude manière temporisée:

1)Après la déconnexion de la pompe ou unecoupure de courant, la vanne de remise àl’air TSF 012 est alimentée en courant parle moteur d’entraînement de la pompeturbo en cours de ralentissement. Débutde la remise à l’air à env. 30 % (525 Hz) dela vitesse nominale.

2)Accessoires: paragraphe 93)avec TCS 3044)Pas en liaison avec TCP 015

TPH 055The TPH 055 turbo pump has noventing connection and must be ven-ted on the HV side.The TSF 012 Venting Valve can be usedin connection with the TCP 015 forventing of the TPH 055 turbo pump.

Delayed venting is a common functionof the TCP 015 and TSF 012. The TSF 012 Venting Valve closesimmediately after the TCP 015 hasbeen switched on.

After stopping of the pump or after apower failure, the TSF 012 VentingValve is supplied with power from thedrive motor of the slowing-down turbopump. Venting starts at approx. 30 %of the rated rotation speed. The valveremains open when the pump hascome to a standstill.

The venting valve can be openedimmediately or after a delay if thefollowing combinations are used:

1)After stopping of the pump or a powerfailure, the TSF 012 Venting Valve issupplied with power from the drive motorof the slowing-down turbo pump. Ventingstarts at approx. 30 % (525 Hz) of the ratedrotation speed.

2)Accessories, Section 93)with TCS 3044)not in connection with TCP 015

TPH 055Die Turbopumpe TPH 055 hat keinenFlutanschluß. Sie muß HV-seitiggeflutet werden.Das Flutventil TSF 012 kann in Verbin-dung mit TCP 015 zum Fluten derTurbopumpe TPH 055 eingesetztwerden.

Die Flutverzögerung ist eine gemein-same Funktion von TCP 015 und TSF 012. Beim Einschalten der TCP 015schließt das Flutventil TSF 012 sofort.

Nach dem Abschalten oder nachStromausfall wird das Flutventil TSF 012 vom Antriebsmotor derauslaufenden Pumpe mit Stromversorgt. Flutbeginn bei ca. 30 % derNenndrehzahl. Das Ventil bleibt nachStillstand der Pumpe offen.

Bei Einsatz folgender Gerätekombina-tionen kann, nach dem Abschaltenoder nach Stromausfall, das Flutventilsofort oder verzögert geöffnet werden:

Funktion / GerätekombinationFunction / Unit combinationFonction / Combinaison d’appareil

1)Nach dem Abschalten oder nach Strom-ausfall wird das Flutventil TSF 012 vomAntriebsmotor der auslaufenden Turbo-pumpe mit Strom versorgt. Flutbeginn beica. 30 % (525 Hz) der Nenndrehzahl.

2)Zubehör, Abschnitt 93)mit TCS 3044)nicht in Verbindung mit TCP 015

Fluten-sofort/verzögert Flutventil2) Steuergerät2) Antriebselektronik2)

Venting-immediately/delayed Venting valve2) Control unit2) Electronic drive unit2)

Remise à l’air immédiate/temporisée Vanne de remise à l’air2) Appareil de commande2) Electronique d’entraînement2)

verzögert1), Ventil bleibt offendelayed1), valve remains open TSF 012 TCP 121/380/015temporisée1), vanne reste ouverte

sofort, Ventil bleibt offen unabhängigimmediately, valve remains open TSF 010 independentimmédiate, vanne reste ouverte indépendante

verzögert, Ventil schließt wiederdelayed, valve closes again TVF 012 TCF/TCV 103 TCP 121/3803) 4)

temporisée, vanne se referme

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Fig. 126 Flutanschluß

15 TCF/TCV16 PVC-Schlauch17 Trockenvorlage TTV59 Flutventil TVF65 TCP

6 Venting connection15 TCF/TCV16 PVC hose17 Drier TTV59 Venting Valve TVF65 TCP

6 Raccord de remise à l’air15 TCF/TCV16 Tuyau en PVC17 Cartouche siccative TTV59 Vanne de remise à l’air TVF65 TCP

4.5.1 Einsatz von Flutventilen beiTPH/U 062

– Verschlußschraube aus dem Flutan-schluß 6 (G 1/8”) der Pumpeschrauben.

– Vorhandene Flutventile TVF oderStromausfallfluter TSF mit AnschlußDN 10 ISO-KF werden an die Turbo-pumpe mit dem FlutflanschDN 10 ISO-KF/G 1/8” montiert.

– Flutventile TVF oder Stromausfall-fluter TSF mit Anschluß G 1/8”werden in den Flutanschluß einge-schraubt.

– Trockenvorlage TTV an eine vorherbereitgestellte Haltevorrichtung an-schrauben.

– Schlauchverbindung zwischen Flut-ventil und Trockenvorlage herstellen.

– Der elektrische Anschluß erfolgt nachden jeweils gültigen Schaltplänen inder entsprechenden Betriebs-anleitung.

Bauteile zum Fluten siehe unter 9 Zubehör.

4.5.1 Use of Venting Valves for theTPH/U 062

– Unscrew the screw plug fromventing connection 6 (G 1/8”) of thepump.

– If you have Venting Valves TVF orTSF Emergency Venting Valves with DN 10 ISO-KF connection, screwthese to the turbo pump by means ofthe DN 10 ISO-KF/G 1/8” ventingflange.

– TVF Venting Valves or TSFEmergency Venting Valves with G 1/8” connection are screwed intothe venting connection.

– Screw the TTV Drier to a holderprovided in advance.

– Connect the hose between theventing valve and the drier.

– Make the electrical connection inaccordance with the applicablewiring diagrams in the respectiveoperating instructions.

For venting components please refer toSection 9, accessories.

4.5.1 Utilisation de vannes de remise àl’air pour TPH/U 052

– Dévisser la vis de fermeture duraccord de remise à l’air 6 (G 1/8”) dela pompe.

– Les vannes de remise à l’air TVFexistantes ou les dispositifs deremise à l’air TSF utilisés en cas decoupure de courant à raccord DN 10 ISO-KF sont montés sur lapompe turbo avec la bride de remiseà l’air DN 10 ISO-KF/G 1/8”.

– Les vannes de remise à l’air TVF oules dispositifs de remise à l’air pourcoupures de courant TSF à raccord G 1/8” sont vissés au raccord deremise à l’air.

– Visser la cartouche siccative TTV surun support préalablement mis enplace.

– Etablir la connexion entre la vanne deremise à l’air et la cartouche siccativeà l’aide d’un tuyau.

– Le branchement électrique esteffectué conformément aux schémasdes connexions respectivementvalables des instructions de servicecorrespondantes.

Composants pour la remise à l’air voirparagraphe, 9 accessoires.

18

Benennung/ Typ/ Betriebsanleitung/Description/ Type/ Operating Instructions/Dénomination Type Instructions de service

Antriebselektronik / Electronic drive unit / Electronique d’entraînement TCP 121 PM 800 166 BD,E,FTCP 380 PM 800 188 BD,E,FTCP 015 PM 800 230 BD,E,F

Kühlaggregat / Cooling unit / Système de refroidissement TZK 350 PM 800 034 BD,E,F

Kühlwasserwächter / Cooling water monitor / Contrôleur eau de refroidissement TCW 002 PM 800 133 BD,E,F

Flutventil / Venting valve / Vanne de remise à l’air TSF 012 PM 800 168 BD,E,FTSF 010 PM 800 032 BD,E,FTVF 012 PM 800 126 BD,E,F

Flutsteuergerät / Venting control unit / Appareil de commande de remise à l’air TCF 103/TCV 103 PM 800 196 BD,E,F

Trockenvorlage / Drier / Cartouche siccative TTV 001 PM 800 022 BD,E,F

Vorvakuum-Sicherheitsventil / Fore-vacuum safety valve / vanne de sécurité de vide primaire TVV 001 PM 800 263 BD,E,F

4.6 Electrical Connection of the Turbo

PumpElectrical connection must be made inaccordance with the valid local regu-lations. All wiring diagrams anddescriptions of the electricalconnection are contained in theoperating instructions for the electronicdrive units.

TPH/U 062Electrical connection of the turbo pumpis made to the 19-pin G box. Theconnection to the TCP 121/380 is madeby means of the 3m long connectingcable PM 011 232 -X (other lengthsupon request).

If PE conductor resistances < 0.1 Ω arerequired, the pump must be earthedseparately. When the turbo pump isinstalled at a distance from thepumping station and operated with alonger cable, an extra cable has to beinstalled at the earthing connection tothe customer’s earth (adjacent to the G box; identified by a PE symbol). Alabel bearing the PE symbol must befitted to the connection.

TPH 055Electrical connection of the pump ismade to the 8-pin G box. Theconnection to the TCP 015 is made bymeans of the 3 m long connectingcable PM 031 178 -X (other lengthsupon request).

4.7 Operating InstructionsThe following operating instructionsapply to the components listed:

4.6 Elektrischer Anschluß TurbopumpeDer elektrische Anschluß ist nach denörtlich geltenden Bestimmungendurchzuführen. In den Betriebsan-leitungen der Antriebselektroniken sindalle Schaltpläne und Beschreibungenzum elektrischen Anschluß enthalten.

TPH/U 062Der elektrische Anschluß der Turbo-pumpe erfolgt an der 19-poligen G-Dose. Die Verbindung zur TCP 121/380 wird mit dem 3m langenVerbindungskabel PM 011 232 -Xhergestellt (andere Längen aufAnfrage).

Werden Schutzleiter-Widerstände < 0,1 Ω gefordert, muß die Pumpeseparat geerdet werden. Beim Trennender Turbopumpe vom Pumpstand undBetrieb mit längerem Kabel, ist einzusätzliches Kabel zur bauseitigen Erde am Erdungsanschluß (neben der G-Dose; mit Schutzleitersymbolgekennzeichnet) anzubringen. DieAnschlußstelle muß mit einemSchildchen mit Schutzleitersymbolversehen werden.

TPH 055Der elektrische Anschluß der Pumpeerfolgt an der 8-poligen G-Dose. DieVerbindung zur TCP 015 wird mit dem3m langen Kabel PM 031 178 -X herge-stellt (andere Längen auf Anfrage).

4.7 BetriebsanleitungenZu den aufgeführten Komponentengehören folgende Betriebsanleitungen:

4.6 Branchement électrique de la

pompe turboLe branchement électrique doit êtreeffectué conformément auxprescriptions valables localement. Lesinstructions de service des électro-niques d’entraînements contiennenttous les schémas des connexions ettoutes les descriptions relatives aubranchement électrique.

TPH/U 062Le branchement électrique de lapompe turbo a lieu sur la contre-prise G à 19 pôles. La liaison avec TCP 121/380 est établie avec le câble deliaison PM 011 232-X longueur de 3m(autres longueurs sur demande).

Si des résistances < 0,1 Ω sont néces-saires pour le conducteur deprotection, la pompe doit être mise à laterre séparément. En cas de séparationde la pompe turbo du poste depompage et de fonctionnement avecun câble plus long, un câblesupplémentaire de mise à la terre doitêtre posé au niveau du raccord de miseà la terre chez l’exploitant (à côté de lacontre-prise G; indiqué par un symbolede conducteur de protection).L’emplacement de raccordement doitêtre muni d’une étiquette portant lesymbole du conducteur de protection.

TPH 55Le branchement électrique de lapompe est effectué sur la contre-prise G octopolaire. La liaison avec TCP 015 est établie avec le câble PM 031 178-X, longueur de 3 m (autreslongueurs sur demande).

4.7 Instuctions de serviceLes instructions de service suivantessont associées aux composants énumérées ci-dessus:

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5 Betrieb

5.1 Einschalten– Bei Wasserkühlung Kühlwasser ein-

schalten und Durchfluß kontrollieren.– Beim Einsatz eines Kühlaggregates

TZK 400 werden TZK und Turbo-pumpe eingeschaltet.

– Bei Luftkühlung läuft der Ventilator,bei Verdrahtung gemäß Schaltplan,mit dem Einschalten der Turbopum-pe an.

– Vorvakuumpumpe und Turbopumpean der Antriebselektronik mit TasterS1 einschalten.

– Heizung der Turbopumpe, falls instal-liert, mit Taster S2 einschalten (nurTCP 121/380).

– Der Hochlauf der Turbopumpe erfolgtautomatisch.

– Die Hochlaufzeit bis zum Drehzahl-schaltpunkt ist abhängig von derRezipientengröße.

– Bei blindgeflanschter Turbopumpewird die Nenndrehzahl nach zweiMinuten erreicht.

5.1.1 Reset

TPH/U 062 mit TCP 121 oder TCP 380:Bei Störung wird die Spannungsver-sorgung des Motors über Kontakt K2ausgeschaltet. Die Reset-Funktion wirdaktiviert durch:

– Wegnahme der Netzspannung füreine Zeit ≥ 2 Sekunden, z.B. mitNetzschalter S1.

– Betätigung eines extern angeschlos-senen ”Reset”-Tasters S3 für eineZeit ≥ 2 Sekunden.

Hinweis:Bei Aktivierung von ”Reset” mitexternem Reset-Taster muß die TCPmit Spannung versorgt sein!

TPH 055 mit TCP 015: Erkennt die TCP 015 einen Fehler, sowird der Motorstrom ausgeschaltet.Nach Beseitigung des Fehlers läuft diePumpe nicht selbstständig hoch. Derdazu notwendige “Reset” kann ausge-führt werden durch:

– Ausschalten über S1 für eine Zeit ≥ 5Sekunden.

– Remote-Eingang ”Fehler-Reset”,X5/b6 für eine Zeit ≥ 5 Sekundenmittels externem Schalter mit X5/z2(OV) verbinden.

– Senden eines entsprechenden Be-fehls über die Schnittstelle RS 232 C.

5 Operation

5.1 Switching on Procedure– With water cooling, start the cooling

water supply and check the flow.– If a TZK 400 Cooling Unit is used,

start the TZK and turbo pump.– With air cooling, the fan (if wired in

accordance with the wiring diagram)starts running when the turbo pumpis started.

– Start the backing pump and turbopump by pressing the switch S1 onthe electronic drive unit.

– Start the turbo pump heater (ifapplicable) by pressing the switch S2 (TCP 121/380 only).

– The pump accelerates automatically.– The run-up time needed until the

rotation speed switch-point isreached is a function of the size ofthe vacuum chamber.

– With blank-flanged turbo pump, therated rotation speed is reached after2 minutes.

5.1.1 Reset

TPH/U 062 with TCP 121 or TCP 380:In the event of a malfunction, thevoltage supply of the motor is switchedoff via contact K2. The reset function isactivated by:

– Disconnecting the mains voltage fora time ≥ 2 seconds, e.g. by pressingthe mains switch S1.

– Operating an externally connected”reset” pushbutton S3 for a time ≥ 2seconds.

Please note:If the ”reset” function is activated viaan external reset pushbutton, the TCPmust be supplied with power!

TPH 055 with TCP 015:When the TCP 015 detects a fault, themotor power is switched off. After thefault has been corrected, the pumpdoes not accelerate automatically. The”reset” command required for thismay be executed by:

– Switching off via S1 for a time ≥ 5seconds.

– Connecting the remote ”Fault reset”input, X5/b6 to X5/z2 (0 volt) for atime ≥ 5 seconds via an externalswitch.

- Transmitting a correspondingcommand via the RS 232 C Interface.

5 Fonctionnement

5.1 Mise en marche– En cas de refroidissement à l’eau,

connecter l’eau de refroidissement etcontrôler le débit.

– En cas d’utilisation d’un groupe derefroidissement TZK 400, TZK et lapompe turbo sont connectés.

– En cas de refroidissement à l’air, leventilateur démarre lorsque lapompe turbo est connectée si lecâblage est conforme au schéma desconnexions.

– Connecter la pompe de vide primaireet la pompe turbo sur la commanded’entraînement à l’aide du bouton-poussoir S1.

– Si le chauffage de la pompe turbo estinstallé, le connecter avec le bouton-poussoir S2 (TCP 121/380 seulement).

– L’accélération de la pompe turbo estautomatique.

– Le temps d’accélération jusqu’aupoint de commutation de la vitesseest fonction de la taille du récipient.

– Chez la pompe turbo à fausse bride,la vitesse nominale est atteinte aubout de 2 minutes.

5.1.1 Reset

TPH/U 062 avec TCP 121 ou TCP 380:En cas de défaillance, l’alimentation entension du moteur est déconnectée parle biais du contact K2. La fonction resetest activée par:

– la suppression de la tension deréseau durant plus de 2 secondes,par ex. avec l’interrupteur principalS1.

– l’actionnement d’un bouton-poussoir”reset” S3 à connexion externe pourune période ≥ 2 secondes.

Remarque:En cas d’activation de ”reset” avec unbouton-poussoir reset externe, la TCPdoit être alimentée en tension!

TPH 055 avec TCP 015:Si la TCP 015 détecte un défaut, le cou-rant du moteur est déconnecté. Aprèsélimination du défaut, la pompe n’ac-célère pas automatiquement. Le”reset” nécessaire à cet effet peut êtreeffectué:

– en déconnectant durant plus de 5secondes par le biais de S1,

– en reliant l’entrée à distance ”resetdéfauts” X5/b6 à X5/z2 (OV) durantplus de 5 secondes au moyen d’uncommutateur externe,

– en envoyant une instruction corres-pondantes par le biais de l’interfaceRS 232 C.

20

5.2 Heizen der TurbopumpeAchtung!Der Enddruck richtet sich nach der Sau-berkeit der Pumpe und der Apparatur.

Um den Enddruck in möglichst kurzerZeit zu erreichen, ist es zweckmäßig,Turbopumpe und Apparatur zu heizen.Ist der Rezipient direkt angeflanscht,muß darauf geachtet werden, daß dieTemperatur des Hochvakuumflanschesbeim Heizen der Apparatur und derPumpe 120°C nicht überschreitet.

Wird der Rezipient höher als 200°C ge-heizt, muß die Wärmestrahlung vomRezipienten auf den Pumpenrotor ver-hindert werden (z.B. mit einem Strah-lungsschild). Die Heizdauer für Pumpeund Rezipient richtet sich nach demVerschmutzungsgrad und dem ge-wünschten Enddruck. Sie sollte wegender Aufheizzeit des Rotors mindestens4 Stunden betragen.

Heizmanschette siehe Zubehör.

5.3 Abschalten– Turbopumpe an der Antriebselek-

tronik ausschalten.– Vakuum-Sicherheitsventil in Vorva-

kuumleitung schließen. BeiPFEIFFER-Vorvakuumpumpenschließt das Sicherheitsventil beimAusschal-ten der Vorvakuumpumpeautoma-tisch.

TPH/U 062:– Bei Einsatz eines TCP 121 oder 380

mit TSF 012 erfolgt das Fluten auto-matisch bei ca. 30 % der Nenndreh-zahl.

Bei Wasserkühlung: – Nach dem Abschalten Kühlwasser-

zufuhr absperren.

Besonders bei geöffneter Turbopumpeund hoher Luftfeuchtigkeit können sichKondensate an den gekühlten Flächenniederschlagen.

TPH 055:– Pumpe nach Ausschalten über den

HV-Flansch fluten.

5.2 Heating the Turbo PumpImportant:The final pressure is a function of thecleanliness of the pump and apparatus.

In order to attain the final pressure asrapidly as possible, it is practical toheat the turbo pump and apparatus. Ifthe vacuum chamber is directly flangedon, it must be ensured that the tem-perature of the high-vacuum flangedoes not exceed 120°C when theapparatus and the pump are heated.

If the vacuum chamber is heated to atemperature above 200°C, the heatmust be prevented from radiating fromthe vacuum chamber to the pump rotor(e.g. by means of a radiation screen).The heating time for the pump andvacuum chamber depends on thedegree of contamination and the finalpressure desired. Due to the heating-up time of the rotor, it should be atleast 4 hours.

Heating jacket see accessories.

5.3 Switching off Procedure– Switch off the turbo pump on the

electronic drive unit.– Close the vacuum safety valve in the

fore-vacuum line. When PFEIFFER-backing pumps are used, the safetyvalve closes automatically when thebacking pump is switched off.

TPH/U 062:– If a TCP 121 or 380 is used together

with a TSF 012, venting is performedautomatically at approx. 30 % of therated rotation speed.

With water cooling:– Shut off the cooling water supply

after switching off.

Condensate may settle on the cooledsurfaces, particularly with open turbopump and a high humidity.

TPH 055:– Vent the pump after switching off via

the HV flange.

5.2 Chauffage de la pompe turboAttention!La pression finale est une fonction dela propreté de la pompe et del’appareillage.

Pour atteindre la pression finale le plusrapidement possible, il est utile dechauffer la pompe turbo et l’appa-reillage. Si le récipient est bridédirectement, il faut veiller à ce que latempérature de la bride de vide élevéne dépasse pas 120°C lors du chauf-fage de l’appareillage et de la pompe.

Si le récipient est chauffé à plus de200°C, le rayonnement thermique durécipient sur le rotor de la pompe doitêtre empêché (par ex. à l’aide d’unécran protecteur). La durée dechauffage de la pompe et du récipientest une fonction du degré de salissureet de la pression finale souhaitée. Elledevrait être de 4 heures minimum àcause de la durée d’échauffement durotor.

Chemise chauffante voir accessoires.

5.3 Mise à l’arrêt– Déconnecter la pompe turbo sur la

commande d’entraînement.– Fermer la vanne de sûreté élevé de la

conduite de vide primaire. Chez lespompes de vide primaire PFEIFFER-lavanne de sûreté se fermeautomatiquement lors de ladéconnexion de la pompe de videprimaire.

TPH/U 062:– En cas d’utilisation d’un TCP 121 ou

380 avec TSF 012, la remise à l’air alieu automatiquement à env. 30 % dela vitesse nominale.

En cas de refroidissement à l’eau:– Fermer l’alimentation en eau de

refroidissement près la déconnexion.

Des condensats peuvent se déposersur les surfaces refroidies, surtoutlorsque la pompe turbo est ouverte etl’hygrométrie élevée.

TPH 055:– Remettre la pompe à l’air via la bride

de vide élevé après la déconnexion.

21

5.4 Stillsetzen der TurbopumpeZum Stillsetzen der Turbopumpe überlängere Zeit ist folgendes zu beachten:

– Bei der Turbopumpe ist ein Wechseldes Betriebsmittelspeichers durchzu-führen (siehe 6.1).

Hinweis:Die Gebrauchsfähigkeit des Betriebs-mittels TL 011 beträgt ohne Betrieb2 Jahre.

– Hochvakuumflansch der Turbo-pumpe verschließen und Pumpe überVorvakuumflansch evakuieren.

– Turbopumpe mit trockener Luftfluten.

– Vorvakuumanschluß verschließen.– Pumpe senkrecht auf den Gummi-

füßen lagern.– In Räumen mit feuchter oder aggres-

siver Atmosphäre ist die Turbopum-pe zusammen mit einem BeutelTrockenmittel, z.B. Silicagel, in einenPlastikbeutel einzuschweißen

5.4 Shutting down the Turbo PumpFor extended shutdowns of the turbopump, the following must be observed:

– The operating fluid reservoir must bechanged on the turbo pump (see 6.1).

Please note:The usability of the TL 011 oil is2 years if the pump is not operated.

– Close the high-vacuum flange of theturbo pump and evacuate the pumpvia the fore-vacuum flange.

– Vent the turbo pump with dry air.– Close the fore-vacuum connection.– Store the pump in vertical position

on its rubber legs.– In rooms with a moist or aggressive

atmosphere, the turbo pump must besealed in a plastic bag, together witha bag of desiccant, e.g. silicagel.

5.4 Arrêt de la pompe turboLorsque la pompe turbo doit êtrearrêtée pour une période prolongée, ilfaut veiller à ce qui suit:

– Le réservoir de fluide moteur de lapompe turbo doit être remplacé (voir6.1).

Remarque:le fluide moteur TL 011 est utilisabledurant 2 ans lorsque la pompe n’estpas en fonctionnement.

– Fermer la bride de vide élevé de lapompe turbo et vider la pompe via labride de vide primaire.

– Effectuer une remise à l’air sec de lapompe turbo.

– Fermer le raccord de vide primaire.– Placer la pompe verticalement sur

les pieds en caoutchouc.– Dans les locaux à l’atmosphère

humide ou agressive, la pompe turbodoit être mise avec un sachet dedessicateur dans un sachet enplastique qui sera soudé.

Notizen / Notes

22

6 Wartung

Achtung!Die Turbopumpe muß frei von Schad-stoffen sein „ Wichtige Hinweise“unter 1.1 beachten!

6.1 Wechseln des Betriebsmittel-

speichersFig. 13, Fig. 14

Das System zur Schmierung des Kugel-lagers ist bei Lieferung der Turbo-pumpen mit Betriebsmittel TL 011gefüllt. Ein Wechsel des Betriebsmittel-speichers ist mindestens jährlich vor-zunehmen (bei extremer Belastungoder unreinen Prozessen entsprechendhäufiger).

Es muß immer der kompletteBetriebsmittelspeicher gewechseltwerden!

– Pumpe abschalten und auf Atmos-phärendruck fluten.

– Wenn nötig, Turbopumpe aus derAnlage demontieren.

– Verschlußsdeckel an der Unterseiteherausschrauben (Fig. 13).

– Betriebsmittelspeicher (Filzscheiben)entnehmen (Fig. 14) und entsprech-end den Vorschriften entsorgen.

– Verunreinigungen an Pumpe undVerschlußdeckel mit einem sauberen,fusselfreien Tuch beseitigen.

– Neuen Speicher (siehe 7 Ersatzteile)mit Pinzette einsetzen (benötigteBetriebsmittelmenge ist eingefüllt).

– Verschlußdeckel montieren.

Fig. 13Verschlußdeckel herausschraubenRemove locking coverDévisser le couvercle de fermeture

6 Maintenance

Caution:The turbo pump must be free of harm-ful substances. Follow the instructionsin Section 1.1 „Important Information“.

6.1 Changing the Operating Fluid

ReservoirFig. 13, Fig. 14

The ball bearing lubrication system isfilled with TL 011 oil at delivery of theturbo pumps. The operating fluidreservoir must be changed at leastonce a year (or at shorter intervals inthe case of extreme operating con-ditions or unclean processes).

Always change the completeoperating fluid reservoir as follows.

– Switch off the pump and vent it toatmospheric pressure.

– If necessary, remove the turbo pumpfrom the system.

– Unscrew the locking cover at thebottom (Fig. 13).

– Remove the operating fluid reservoir(felt discs; Fig. 14) and dispose of it inaccordance with the valid regulat-ions.

– Clean the pump and screw cap fromdirt with a clean lint-free cloth.

– Insert a new reservoir (see Section 7,spare parts) with tweezers (the requi-red operating fluid quantity is alreadyfilled in).

– Fit the locking cover.

Fig. 14Betriebsmittelspeicher entnehmenRemove operating fluid reservoirEnlever le réservoir de fluide moteur

6 Entretien

Attention!La pompe turbo doit être exempte deproduits nocifs. Considérer les„Indications importantes“ dans 1.1!

6.1 Changement du réservoir de fluide

moteurFig. 13, Fig. 14

Le système de lubrification duroulement à billes est livré rempli defluide moteur TL 011. Le réservoir defluide moteur doit être remplacé aumoins une fois par an (plus souvent encas de sollicitation extrême ou deprocessus contenant des impuretés).

Il faut toujours remplacer le réservoircomplet de fluide moteur:

– Déconnecter la pompe et remettre àl’air à la pression atmosphérique.

– Si nécessaire, démonter la pompeturbo du système.

– Dévisser le couvercle de fermeturesituée sur le côté inférieur (Fig. 13).

– Enlever le réservoir de fluide moteur(rondelles en feutre; Fig. 14) et lemettre au rebut conformément auxprescriptions.

– Oter les impuretés de la pompe et ducouvercle de fermeture à l’aide d’unchiffon propre et non pelucheux.

– Insérer le nouveau réservoir (voirpièces de rechange 7) (rempli de laquantité de fluide moteur nécessaire)à l’aide d’une pincette.

– Monter le couvercle de fermeture.

23

6.2 Reinigung der TurbopumpeEin Zeichen für die Verschmutzung derPumpe ist, wenn der gewünschteArbeitsdruck nicht mehr in der übli-chen Zeit erreicht wird, obwohl sich dieLeck- und Desorptionsrate nicht ver-ändert hat.

Bei leichter Verschmutzung, z.B. durchBetriebsmittelniederschläge, kann diePumpe in unzerlegtem Zustand mitreinem Alkohol gereinigt werden (siehe6.2.1). Handelt es sich jedoch umschwerlösliche Medien oder liegt eineextreme Verschmutzung vor, muß diePumpe vollkommen demontiertwerden. Hierzu sollte grundsätzlich derPFEIFFER-Service herangezogenwerden, damit die Gewähr füreinwandfreie Funktion gegeben ist.

6.2.1 Reinigung in unzerlegtemZustandFig. 15

– Pumpe abschalten und auf Atmo-sphärendruck fluten.

– Pumpe aus der Anlage demontieren.– Wenn vorhanden, Heizmanschette

abnehmen. – Betriebsmittelspeicher entnehmen

(siehe 6.1).– Pumpe senkrecht, mit Hochvakuum-

flansch nach unten, in passendenBehälter stellen.

– Reinigungsmittel (reiner Alkohol) inden Behälter füllen, bis Vorvakuum-flansch der Pumpe eingetaucht ist.

Achtung!Die gesetzlichen und lokalenBestimmungen im Umgang mitLösungsmitteln sind einzuhalten.

– Reinigungsmittel ca. 5 - 10 Minuteneinwirken lassen.

– Pumpe in dieser Zeit mehrmals lang-sam heben und senken, so daß anden Stator- und Rotorscheiben eineSpülung stattfindet.

– Vorgang mit neuem Reinigungsmittelmindestens einmal wiederholen.

– Pumpe aus dem Bad herausnehmen.– Zur Entleerung der Reinigungsmittel-

reste aus dem Magnetlager, Pumpemehrmals langsam von senkrechterPosition (bezogen auf den Hochva-kuumflansch oben) um 180˚ kippen.

– Pumpe ca. 30 Minuten mit Hochva-kuumflansch nach unten auf einenRost oder ähnliches stellen. AchtungDichtfläche!

6.2 Cleaning the Turbo PumpIt is a sign of contamination if thepump does not attain its workingpressure in the usual time despiteunchanged rate of leak and desorption.

In case of slight contamination, e.g. bypump fluid deposits, the turbo pumpcan be cleaned with pure alcohol inassembled condition (see Section6.2.1). However, if contamination hasbeen caused by insoluble media or issevere, the turbo pump must becompletely dismantled. For this,“PFEIFFER Service” should always becalled, to ensure troublefreefunctioning of the pump.

6.2.1 Cleaning in fully assembledConditionFig. 15

– Switch off the turbo pump, vent toatmospheric pressure.

– Remove pump from the system.– If applicable, remove heating jacket.– Remove operating fluid reservoir (see

Section 6.1).– Place pump vertically, high vacuum

flange down, in a suitable container.– Fill cleaning agent (pure alcohol) into

the container until the fore-vacuumflange of the pump is covered.

Important:All regulations regarding the handlingof solvents must be observed.

– Allow the cleaning agent to work forabout 5 - 10 minutes.

– During this time slowly raise andlower the pump several times so thatthe stator and rotor discs are flushed.

– Repeat the process with freshcleaning agent at least once.

– Remove pump from the bath.– To remove cleaning agent residues

from the magnetic bearings, slowlytilt the pump several times from thevertical (relative to the high vacuumflange up) by 180˚.

– Allow the pump to stand for about 30minutes on a grid or the like with thehigh vacuum flange down. Caution:sealed surface.

6.2 Nettoyage de la pompe turboLe degré de salissure de la pompeturbo vous sera signalé lorsque lapression de travail souhaitée ne serapas atteinte dans les temps habituelles,bien que les taux de fuite et dedésorption restent inchangés.

Pour des salissures légères par ex., pardes dépôts de fluide moteur, la pompeturbo, non démontée, peut êtrenettoyée avec de l’alcool pur (voir6.2.1). Mais s’il s’agit d’agentsdifficilement solubles ou de fortessalissures, la pompe turbo devra êtrecomplètement démontée. Dans ce cas,il faudra absolument faire appel auservice après-vente PFEIFFER, afin degarantir un parfait fonctionnement.

6.2.1 Nettoyage sans démontageFig. 15

– Mettre la pompe à l’arrêt, remettre àl’air sur la pression atmosphérique.

– Démonter la pompe de l’installation.– Enlever la chemise chauffage si

existante. – Enlever le réservoir de fluide moteur

(voir 6.1).– Placer la pompe turbo verticalement,

avec la bride de vide élevé vers le basdans un récipient approprié.

– Remplir le récipient avec du produitde nettoyage (alcool pur) jusqu’à cela bride de vide primaire soittotalement recouverte.

Attention! Les spécifications concernant lalégislation locale en vigueur sur lesproduits solubles doivent êtrerespectées.

– Laisser agir le produit de nettoyageenv. 5 - 10 minutes.

– Pendant ce temps soulever et baisserdoucement la pompe turbo plusieursfois, pour rincer les disques stator etrotor.

– Répéter ce procédé deux fois de plusen renouvelant le produit denettoyage.

– Sortir la pompe turbo du bain.– Afin de vider le reste de produit de

nettoyage des paliers à aimants,basculer la pompe turbo de 180˚doucement de la verticale (parrapport à la bride de vide élevésupérieure) plusieurs fois.

– Placer la pompe turbo env. 30 minu-tes sur une grille ou similaire avec labride vers le bas. Attention à lasurface étanche!

24

Fig. 1518 Flüssigkeitsspiegel, max.19 Reinigungsmittel20 Behälter

18 Liquid level, max.19 Cleaning agent20 Container

18 Niveau maxi. de liquide19 Produit de nettoyage20 Récipient

– Raccorder la pompe turbo avec lesbrides de vide élevé obturées à lapompe primaire et évacuer jusqu’àenv. 10-1 mbar, afin d’aspirer lesrestes de produits de nettoyage.Ne pas mettre la pompe turbo enmarche!

– Aérer la pompe et monter le nouveauréservoir de fluide moteur.

– Remonter la pompe dans le système.

Remarque:Lors du premier processusd’évacuation, le temps de pompage estplus long à cause des restes de produitde nettoyage.

– Connect the pump with the highvacuum blank flange to a backingpump and evacuate to approx. 10-1 mbar so that any cleaning agentresidues are sucked away.Do not switch on the turbo pump atthis stage.

– Vent the pump and fit new operatingfluid reservoir.

– Re-fit pump into the system.

Please note:Initial evacuation takes longer owing tothe effect of cleaning agent residues.

– Pumpe mit blindgeflanschtem Hoch-vakuumflansch an die Vorpumpeanschließen und bis 10-1mbar eva-kuieren, um Reinigungsmittelrück-stände abzusaugen. Turbopumpe hierbei nicht einschal-ten!

– Pumpe belüften und neuen Betriebs-mittelspeicher einsetzen.

– Pumpe wieder in die Anlagemontieren.

Hinweis:Beim ersten Evakuierungsvorgang ist die Pumpzeit, bedingt durchReinigungsmittelreste, länger.

25

6.3 Contrôle du moteur d’entraînementRemarque:Le moteur d´entraînement de la pompepeut être équipé des sondes de Hall ouavec des CI-Hall.

TPH/U 062

Sondes de Hall

TPH 055

6.3 Prüfen des Antriebmotors Hinweis:Der Antriebsmotor der Turbopumpekann mit Hallsonden oder mit Hall-IC’sausgestattet sein.

TPH/U 062

Hallsonden

TPH 055

Test des Testing the drive Test de l’entraînement Widerstände/Resistances/Antriebes bei 20°C at 20°C à 20°C Résistances

A-B Motorspulen Motor coils Bobines de moteur 0,9 Ω

A-C Motorspulen Motor coils Bobines de moteur 0,9 Ω

D-F Temperatursensoren Temperature sensors Capteurs de température ≈ 150 Ω

F-H Drehzahlbrücke (1500 Hz) Rotation speed bridge (1500 Hz) Pont de rotation (1500 Hz) 0 Ω

6.3 Testing the Drive MotorPlease note:The turbo pump drive motor can beequipped with Hall probes or Hall ICs.

TPH/U 062

Hall probes

TPH 055

Test des Testing the drive Test de l’entraînement Widerstände/Resistances/Antriebes bei 20°C at 20°C à 20°C Résistances

G-F Hallsondenpfad Hall probe path Trajet de courant dessondes de Hall 100 Ω ≤ R ≤ 200 Ω

L-H Hallsondenausgang 1 Hall probe output 1 Sortie 1 des sondes deHall ca. 40 Ω (20 Ω...55 Ω)

J-K Hallsondenausgang 2 Hall probe output 2 Sortie 2 des sondes deHall ca. 40 Ω (20 Ω...55 Ω)

F-M Temperatursensoren Temperature sensors Capteurs de température 100 Ω ≤ R ≤ 300 Ω

E-AE-BE-C Motorspulen Motor coils Bobines de moteur 0,7 ΩE-D

N-P RF TPH/TPU 062 0 Ω

Hall-IC’s Hall ICs CI-Hall

Test des Testing the drive Test de l’entraînement Widerstände/Resistances/Antriebes bei 20°C at 20°C à 20°C Résistances

G-F Hall-IC-Versorgung Hall IC-feed Alimentation Hall-CI ––––––

L-H Hall-IC-Ausgang 1 Hall IC-output 1 Sortie 1 des sondes deHall-CI ca. 22 Ω

L-K Hall-IC-Mitte Hall IC-center Centre Hall-CI 0 Ω

L-J Hall-IC-Ausgang 2 Hall IC-output 2 Sortie 2 des sondes deHall-CI ca. 22 Ω

F-M Temperatursensoren Temperature sensors Capteurs de température 100 Ω ≤ R ≤ 300 Ω

E-AE-BE-C Motorspulen Motor coils Bobines de moteur 0,7 ΩE-D

N-P RF TPH/TPU 062 0 Ω

26

Fig. 17TPH/U 062, TPH 055 mit Hall-IC (Motoreinphasig)

6.3.1 Prüfen des Motors TPH/U 062mit Antriebselektronik TCP 121/380

Achtung! Hallsondenspannungen sind nichtpotentialfrei. 0-V-Verbindung zumOszilloskop entfernen. Nie beideHallsondenspannungen gleichzeitigmessen.

6.3.2 Prüfen des Motors TPH/U 062ohne Antriebselektronik

– Mit Meß- und Prüfadapter undexternem Netzgerät.

– Hallsonden oder Hall-IC’s mit Kon-stantstrom 40 mA an Stecker G und Fspeisen (+Pol an G).

– Rotor von Hand drehen. – Hallspannung mit Oszilloskop oder

Drehspulinstrument messen (G=b5;F=b6).

6.3.3 Prüfen des Motors TPH 055 mitAntriebselektronik TCP 015

Am Meß- und Prüfadapter kann dasHall-Signal mit dem Oszilloskop ge-messen werden.Punkt F ist 0 V (Masse). Rechtecksignal 0 V und 5 V zwischen den Punkten Fund G (ggfs. Rotor von Hand drehen).

6.3.1 Testing the Motor of theTPH/U 062 with TCP 121/380Electronic Drive Unit

Attention!Hall probe voltages are not potential-free. Disconnect the 0 V connection tothe oscilloscope. Never measure thetwo Hall probe voltages simultane-ously.

6.3.2 Testing the Motor of the TPH/U 062 without ElectronicDrive Unit

– With measuring and test adapter andexternal power supply.

– Supply the Hall probes or Hall ICswith a constant current of 40 mA atplugs G and F (+-pole at G).

– Turn the rotor by hand. – Measure the Hall voltage with an

oscilloscope or moving-coil voltmeter(G=b5; F=b6).

6.3.3 Testing the Motor of the TPH 055 with TCP 015 ElectronicDrive Unit

The Hall probe signal can be measuredat the measuring and test adapter bymeans of an oscilloscope.Point F = 0 V (ground). 0 V and 5 Vrectangular pulse signal betweenpoints F and G (if necessary, turn therotor by hand).

ca. 300 mV ssL-H und/and/etJ-K

5 VG-F

Fig. 16TPH/U 062 mit Hall-Sonden (Motorzweiphasig)

TPH/U 062 with Hall probes (Motor doublephase)

TPH/U 062 avec sondes de Hall (moteurbiphasè)

TPH/U 062, TPH 055 avec CI Hall (moteurde monophasé)

6.3.1 Contrôle du moteur TPH/U 062avec l’électroniqued’entraînement TCP 121/380

Attention!Les tensions des sondes de Hall nesont pas exemptes de potentiel.Enlever la connexion de 0 V avecl’oscilloscope. Ne jamais mesurer latension des deux sondes de Hall enmême temps.

6.3.2 Contrôle du moteur TPH/U 062sans electronique d’entraînement

– Avec adaptateur de mesure et decontrôle et unité d’alimentationexterne.

– Alimenter les sondes de Hall ou lesCI-Hall avec du courant constant de40 mA par l’intermédiaire des prisesmâles G et F (pôle + sur G).

– Tourner le rotor à la main. – Mesurer la tension de Hall avec un

oscilloscope ou un appareilmagnétoélectrique (G=b5; F=b6).

6.3.3 Contrôle du moteur TPH 055avec l’électroniqued’entraînement TCP 015

Le signal de Hall peut être mesuré avecl’oscilloscope sur l’adaptateur demesure et de contrôle.Le point F correspond à 0 V (masse).Signal rectangulaire 0 V et 5 V entre lespoints F et G (le cas échéant tourner lerotor à la main).

TPH/U 062, TPH 055 with Hall IC (motorsingle phase)

ca. 300 mV ssL-H und/and/etL-J

Fig. 18TPH/U 062, TPH 055 mit Hall-IC (Motorzweiphasig)

TPH/U 062, TPH 055 with Hall IC (Motordouble phase)

TPH/U 062, TPH 055 avec CI Hall (moteurbiphasè)

ca. 3,8-4,4 V DCF

L

27

1 grau grey gris2 gelb yellow jaune3 schwarz black noir4 weiß white blanc5 blau blue bleu6 grün green vert7 rot red rouge8 grün/ green/ vert/

gelb yellow jaune9 braun brown marron

Hall-IC

UGN3077

+ - HallA-B = 0,9ΩA-C = 0,9Ω

F-D = <200Ω

Fig. 20Anschlußschema TPH 055

1 gelb yellow jaune2 blau blue bleu3 rosa pink rose4 grau grey gris5 grün green vert6 braun brown brun7 weiß white blanc8 rot red rouge

Fig. 19Anschlußschema TPH/U 062

1) Hallsensorschaltung– Hallsonden oder– Hall-IC’s mit Anpaßschaltung

2) bei Hall-IC’s

Wiring diagram TPH/U 062

1) Hall probe switching– Hall probes or– Hall ICs with interface

2) with Hall ICs

Schéma de branchement TPH/U 062

1) Circuit pour sondes de Hall– Sondes de Hall ou– CI Hall avec circuit interface

2) avec CI Hall

Wiring diagram TPH 055 Schéma de branchement TPH 055

TPH/U 062

TCP 015

TPH 055

28

6.4 LagerwechselEin Wechsel des motorseitigen Kugel-lagers ist vor Ort durch den PFEIFFER-Service möglich.

Für das Wechseln des Lagers unddessen exakte Einstellung ist speziellesWerkzeug notwendig.

Ein Wechsel des Lagers muß ingeeigneten, staubarmen Räumendurchgeführt werden.

Bei kundenseitiger Durchführung desLagerwechsels muß das beauftragtePersonal eine entsprechendePFEIFFER-Schulung absolviert haben.

Bitte wenden Sie sich an unsereVertretungen oder Tochtergesell-schaften.

7 Service

Nehmen Sie bitte unseren Service inAnspruch!Sollte wider Erwarten ein Schaden anIhrer Pumpe auftreten, haben Sieverschiedene Möglichkeiten, IhreAnlagen-Verfügbarkeit aufrecht zuerhalten:– Pumpe vor Ort durch den PFEIFFER-

Service reparieren lassen;

– Pumpe zur Reparatur insStammwerk einsenden;

– Pumpe durch neuwertigeAustauschpumpe ersetzen.

Genauere Informationen erhalten Sievon Ihrer PFEIFFER-Vetretung.

Vor dem Einsenden:– Deutlich sichtbar Vermerk

anbringen: “Frei von Schad-stoffen”(auf eingesandten Geräten undzusätzlich auf Lieferschein undAnschreiben).

“Schadstoffe” sind Stoffe undZubereitungen entsprechend derGefahrstoff-Verordnung in derderzeitigen Fassung.Fehlt der Vermerk, führt PFEIFFERkostenpflichtig eine Dekontaminationdurch. Dies gilt auch, wenn derBetreiber keine Möglichkeit zurordnungsgemäßen Dekontaminationhat. Mikrobiologisch, explosiv oderradioaktiv kontaminierte Gerätewerden grundsätzlich nichtangenommen.

Erklärung zur Kontamination ausfüllen– In jedem Fall eine Kopie der

"Erklärung zur Kontaminierung"sorgfältig und wahrheitsgemäßausfüllen.

– Vollständig ausgefüllte Kopie demGerät beifügen; zusätzlichesExemplar direkt an den zuständigenPFEIFFER Service schicken.

Bei allen Fragen oder Unklarheitenbezüglich Kontaminierung wenden Siesich bitte an die nächste PFEIFFER-Vertretung.

5.4 Changement de paliersUn changement des roulements àbilles côté moteur est possible surplace par le service après-ventePFEIFFER.

Pour le changement des paliers et leursréglages précis, des outils spéciauxsont nécessaires.

Un changement de paliers doit êtreeffectué dans un local appropriéexempt de poussière.

Si le changement de paliers esteffectué par le client, le personneleffectuant ces travaux devra avoir suiviun stage de formation approprié.

Nous vous prions de consultez à cesujet nos représentants ou nos filiales.

7 Service après-vente

Prenez notre service après-vente enconsidération!Si des défauts se présentaient, vousavez plusieurs possibilités afin de tenirvotre système en état de marche:– Faire réparer votre pompe sur place

par le service après-vente PFEIFFER;– Expédier votre pompe en nos usines

pour la réparation;– Remplacer votre pompe par une

pompe de rechange neuve.

Votre représentant PFEIFFER vousdonnera de plus amples informations.

Avant l’expédition:– Les appareils envoyés doivent être

pourvus d'une étiquette bien visible"exempt de matières toxiques" (lamême indication est àapposer sur le bon de livraison etsur toute la correspondanceafférente.)

Les "matières toxiques" sont lesmatières et préparations suivant lesprescriptions concernant les produitsdangereux dans la version la plusrécente.En l'absence des indications "exemptde matières toxiques" sur l'appareil ousur les documents d'accompagnement,PFEIFFER procédera automatiquementà vos frais à une décontamination desappareils retournés. Ce qui estégalement valable si l'utilisateur nepossède aucune possibilité pourprocéder lui-même à ladécontamination.Les appareils contaminés,radioactivement, microbiologiquementet explosivement ne seront jamaisacceptés.

Remplir le formulaire concernant lacontamination– Dans tous les cas remplir

soigneusement et scrupuleusementune copie du "Formulaire decontamination".

– Joindre la copie rempliecorrectement à l’appareil, envoyer un exemplairesupplémentaire directement auservice après-vente PFEIFFERconcerné.

Pour toutes les informationscomplémentaires concernant ladécontamination, nous vous prions devous adresser à votre représentantPFEIFFER le plus proche.

6.4 Bearing ChangeOn the spot motor side ball bearingchanges can be carried out byPFEIFFER service technicians.

Bearing changes and the relatedmeticulous settings require specialtools.

Bearings may only be changed inappropriate, dust-free rooms.

Customers may only carry out theirown bearing changes providing theirtechnicians have completed thenecessary PFEIFFER training course.

Our local representatives or salessubsidiary company would be pleasedto help you if you need any advice.

7 Service Information

Do Make Use Of Our Service FacilitiesIn the event that repairs are necessarya number of options are available toyou to ensure any system down time iskept to a minimum:– Have the pump repaired on the spot

by our PFEIFFER Service Engineers;– Return the pump to the

manufacturer for repairs;– Replace with a new value pump.

Local PFEIFFER representatives canprovide full details.

Before returning:– Please attach a clearly visible notice

"Free of harmful substances" (bothon the unit and also on the deliverynote and any accompanying letters).

"Harmful substances" are defined inthe current, local regula- tions; in theU.S.A. as "materials in accordance withthe Code of Federal Regulations (CFR)49 Part 173.240 Definition andPreparation".We will carry out the decontaminationand invoice this work to you if youhave not attached this note. This alsoapplies where the operator does nothave the facilities to carry out thedecontamination work. Units which arecontaminated microbiologically,explosively or radioactively cannot beaccepted as a matter of principle.

Fill Out The Contamination Declaration– In every case the "Contamination

Declaration" must be completeddiligently and truthfully.

– A copy of the completed declarationmust accompany the unit; anyadditional copies must be sent toyour local PFEIFFER Service Center.

Please get in touch with your localPFEIFFER representatives if there areany questions regardingcontamination.

29

Ersatzteilliste / Spare parts list / Pièces de rechangePM 800 260 BD,E,FFig. 21

Pos. Benennung / Title / Désignation Stück Nr.Item pieces Nr.Pos. pièces No.

- Dichtungssatz/Set of seals/Jeu de joints TPH/U 062 1 PM 043 257-TDichtungssatz/Set of seals/Jeu de joints TPH 055 1 PM 043 477 -T

27 Gummifuß/Rubber leg/Pied en caoutchouc 4 P 3695 700 ZD34 Betriebsmittelspeicher/Operating fluid reservoir/

Réservoir de fluide moteur 1 PM 033 759-T35 O-Ring/O-ring/Joint torique 32x3 1 P 4070 542 PP38 O-Ring/O-ring/Joint torique 24,8x1,5 1 P 4070 417 PP

43 Belüftungsschraube/Venting screw/Vis de ventilation TPH/U 062 1 PM 033 30244 Quad-Ring/Quad-ring/Joint en Quad TPH/U 062 1 P 4081 630 C47 Heizmanschette/Heating jacket/Chemise chauffante TPH/U 062 1 PM 043 326

49 Dichtung/Seal/Joint TPH 055/TPH 062 DN 63 ISO 1 BP 213 194 -T49 Cu-Dichtung/Cu-seal/Joint Cu TPU 062 DN 63 CF-F 1 BN 845 037 -T50 Dichtung/Seal/Joint DN 16 ISO-KF 1 BP 213 315 -T

- Ersatzteilpaket I (Lagerwechsel) TPH/U 062 1 PM 428 010 -TSpare parts package I (bearing replacement) TPH/U 062Paquet de pièces de rechange I (remplacement des paliers) TPH/U 062

- Ersatzteilpaket I (Lagerwechsel) TPH 055 1 PM 458 010 -TSpare parts package I (bearing replacement) TPH 055Paquet de pièces de rechange I (remplacement des paliers) TPH 055

8 Pièces de rechange

Attention!Veuillez indiquer sur la demande deprix ou la commande pour pièces derechange le type et le numéro defabrique.

8.1 Pièces de rechange pompe

8 Spare Parts

Attention!When inquiring about or orderingspare parts, please indicate type andserial number.

8.1 Spare Parts for the Pump

8 Ersatzteile

Achtung! Bei Ersatzteilanfragen oder Bestellung,Typ und Gerätenummer angeben.

8.1 Ersatzteile Pumpe

Beware!Decontaminate units beforereturning or possible disposal. Donot return any units which aremicrobiologically, explosively orradioactively contaminated.

Returning Contaminated UnitsIf contaminated have to be returned formaintenance/repair, the followinginstructions concerning shipping mustbe followed:– Neutralise the pump by flushing

with nitrogen or dry air.– Seal all openings to the air.– Seal pump or unit in suitable

protective foil.– Ship units only in appropriate

transport containers.

Please Note:Repair orders are carried out accordingto our general conditions of sale andsupply. If repairs are necessary, pleasesend the pump to your nearestPFEIFFER Service Center.

Contact Addresses And Telephone

HotlineContact addresses and telephonenumbers can be found on the backcover of these operating instructions.

Warnung!Kontaminierte Geräte vor der Einsen-dung oder vor einer eventuellenEntsorgung dekontaminieren!Mikrobiologisch, explosiv oderradioaktiv kontaminierte Pumpen nichtversenden!

Kontaminierte Geräte versendenMüssen kontaminierte Geräte zurWartung/Reparatur eingesandt werden,bitte folgende Versandvorschrifteneinhalten:– Pumpe neutralisieren durch Spülen

mit Stickstoff oder trockener Luft.– Alle Öffnungen luftdicht

verschließen.– Pumpe oder Gerät in geeignete

Schutzfolie einschweißen.– Gerät nur in geeigneten, stabilen

Transportbehältern einschicken.

Hinweis:Reparaturaufträge werden nurentsprechend unseren allgemeinenLieferbedingungen durchgeführt. Isteine Reparatur notwendig, senden Siebitte die Pumpe an Ihre nächste PFEIFFER Servicestelle.

Kontaktadressen und Service-HotlineKontaktadressen und Ihre Service-Hotline finden Sie auf der Rückseitedieser Anleitung.

Avertissement!Décontaminer les appareils contaminésavant l'expédition ou avant uneévacuation éventuelle! Ne pas expédierde pompes radioactivement,microbiologiquement et explosivementcontaminées!

Expédition des appareils contaminésSi des appareils contaminés doiventêtre renvoyés pour l’entretien ou laréparation, nous vous prionsabsolument de respecter lesprescriptions concernant l'expédition:– Neutraliser la pompe par le rinçage

avec de l'azote ou de l'air sec.– Fermer toutes les ouvertures

hermétiquement à l’air.– Souder la pompe ou l'appareil dans

un plastique de protectionapproprié.

– Expédier l'appareil dans uncontainer de transport approprié etsolide.

Remarque:Les commandes de réparation serontexclusivement faites selon nosconditions générales de livraison. Siune réparation est nécessaire, veuillezexpédier votre pompe à notre serviceaprès-vente PFEIFFER le plus proche.

Adresses de contact et services HotlineVous trouverez les adresses de contactde nos services Hotline au dos de cesinstructions de service.

30

Fig. 21

49

47

44

43

34

35

50

38

27

31

8.2 Ersatzteile Luftkühlung 8.2 Spare Parts for Air Cooling 8.2 Pièces de rechange refroidissement

à l’air

Ersatzteiliste/Spare parts list/Pièces de rechange

Luftkühlung/air cooling/ refroidissement par airFig. 22

Pos. Benennung / Title / Désignation Stück Nr.Item Pieces Nr.Pos. Pièces No.

- Satz Luftkühlung/Set of air cooling/ Jeu de refroidissement par air 115 V 50/60 Hz 1 PM Z01 120

- Satz Luftkühlung/ Set of air cooling/Jeu de refroidissement par air 230 V 50/60 Hz 1 PM Z01 121

51 Lüfter/Fan/Ventilateur 115 V 50/60 Hz 1 PM 006 209-R51 Lüfter/Fan/Ventilateur 230 V 50/60 Hz 1 PM 006 229-R52 Schwingungsdämpfer/Damper/Amortisseur de vibrations 8 x 8 M3 3 P 3695 702 QE

Fig. 22

Ersatzteilliste/ Spare parts list/Pièces de rechangeWasserkühlung/water cooling/refroidissement à l’eauFig. 23

Pos. Benennung / Title / Désignation Stück Nr.Item Pieces Nr.Pos. Pièces No.

46 USIT-Ring/USIT ring/Joint en USIT 12,7/18x1,5 4 P 3529 14256 Schlauchtülle/Hose nipple/Olive de tuyau 2 PM 003 02557 Hohlschraube/Hollow screw/Boulon creux à filet femelle 2 N 4140 837 A

Fig. 23

57

46

56

8.3 Ersatzteile Wasserkühlung 8.3 Spare Parts for Water Cooling 8.3 Pièces de rechange refroidissement

à l’eau

32

9 Zubehör 9 Accessories 9 Accessoires

Bauteile zum Kühlen Cooling components Composants pour le refroidissement

Bausatz für Luftkühlung Air cooling set Set de refroidissement 115 V, 50/60 Hz PM Z01 120par air 230 V, 50/60 Hz PM Z01 121

Kühlaggregat TZK 400 Cooling Unit TZK 400 Système de refroidissement TZK 400 230 V; 50 Hz PM Z01 245

110 V; 50/60 Hz PM Z01 246Kühlwasserwächter Cooling Water Monitor Contrôleur d´eau de 110 V, 50/60 Hz PM C00 131TCW 002 TCW 002 refroidissement TCW 002 220 V, 50/60 Hz PM C00 130

240 V, 50/60 Hz PM C00 132Anschlußgarnitur zu Connection set for Jeu de raccordement pour PM 006 802 -TTCW 002 TCW 002 TCW 002Anschlußgarnitur für Connection set for Jeu de raccordement pour PM 006 802 -TKühlwasser cooling water refroidissement par eauSchmutzfänger Dirt tramp Collecteur impuretés R 3/8“ P 4161 300 2R

Bauteile zum Fluten Venting components Composants pour la remise à l´air

Flutsteuergerät TCF 103 Venting Control Unit TCF 103 Appareil de commande pour 110/220-240 V, PM C01 356la remise à l´air TCF 103 50/60 Hz

(TPH/U 062)Flut- und Ventilsteuer- Venting and Valve Appareil de commande de 110/220-240 V, PM C01 366gerät TCV 103 Control Unit TCV 103 remise à l´air et de 50/60 Hz

pilotage vanne TCV 103 (TPH/U 062)

Flutventil1) Venting valve1) Vanne de remise à l´air1)Nach Druckabbau offen Open after pressure reduction Après suppression de G 1/8“ PM Z01 082TVF 012 TVF 012 la pression ouverte TVF 012 (TPH/U 062)Nach Druckabbau Closed after pressure Après suppression de la G 1/8“ PM Z01 087geschlossen reduction pression fermée (TPH/U 062)

TVF 012 TVF 012 TVF 012

Stromausfallfluter Power Failure Venting Vanne de remise à l´air 110 V, 60 Hz PM Z01 110TSF 010 Unit TSF 010 en cas de panne de G 1/8“

courant TSF 010 (TPH/U 062)110 V, 60 Hz PM Z01 017DN 10 ISO-KF(TPH 055)220 V, 50/60 Hz PM Z01 111G 1/8“(TPH/U 062)220 V, 50/60 Hz PM Z01 010DN 10 ISO-KF(TPH 055)240 V, 50/60 Hz PM Z01 112G 1/8“(TPH/U 062)240 V, 50/60 Hz PM Z01 016DN 10 ISO-KF(TPH 055)

Flutventil TSF 012 Venting Valve TSF 012 Vanne de remise à G 1/8“ PM Z01 106l´air TSF 012 (TPH/U 062)

DN 10 ISO-KF PM Z01 1052)

(TPH 055)

Trockenvorlage TTV 0013) Drier TTV 0013) Cartouche siccative TTV 0013) PM Z00 121Flutflansch Venting flange Bride de remise à l´air DN 10 ISO-KF PM 033 737 -T

(TPH/U 062)

Pumpstandsteuergeräte Pumping station control unit Appareil de commandede groupe de pompage

TCS 303 100-240 V, PM C01 50250/60 Hz(TPH/U 062)

TCS 304 R 100-240 V, PM C01 5374)

208-415 V,50/60 Hz(TPH/U 062)

TCS 015 110-220 V, PM C01 58650/60 Hz(TPH 055)

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Weiteres Zubehör Additional accessories Accessoires additionnels

Antriebselektronik Electronic drive unit Electronique d´entraînementTPH/U 062 TCP 121 PM C01 475

TCP 380 PM C01 490TPH 055 TCP 015 PM C01 593

Heizmanschette Heating jacket Chemise chauffante 115/230 V PM 043 443 -T

Verbindungskabel Connecting cable turbo Câble de raccordement TPH 055 PM 031 178 -XTurbopumpe-TCP (3 m) 5) pump-TCP (3 m) 5) pompe turbo-TCP (3 m) 5) TPH/U 062 PM 011 232 -X

Schutzgitter Protective grid Grille de protection DN 63 PM 006 597 -R

Splitterschutz Splinter shield Pare-éclats DN 40 PM 006 375 -XDN 63 PM 006 376 -X

Dämpfungskörper Silencer Amortisseur DN 63 PM 006 800 -XTPH TPH TPH DN 40 PM 006 799 -XTPU TPU TPU DN 63 PM 006 801 -X

CU-Dichtung (10Stck.) CU seal (10 pieces) Joint CU (10 pièces) DN 63 CF BN 845 037 -TDichtring Sealing ring Bague d´étanchéité DN 63 ISO BP 213 195 -TÜberwurfflansch Collar flange Bride tournante DN 63 ISO BN 845 070 -T

Schraubensatz Set of screws Jeu de vis DN 63 CF BN 845 012 -T

1) Nur in Verbindung mit TCF 103 oderTCV 103 1) Only in connection with TCF 103 or TCV 103 1) Seulement en liaison avec TCF 103 ou TCV 1032) Einbau HV-seitig 2) Mounting on HV-side 2) Installation côté de vide élevé3) Mit Zeolith gefüllt 3) Filled with zeolite 3) Rempli avec zéolithe4) Bei 208-415 V ist ein Thermistorprint 4) Thermistor print PM 021 721 -X 4) Pour 208-415 V un circuit imprimé à

PM 021 721 -X erforderlich is required for 208-415 V thermistance PM 021 721 -X est nécessaire5) Andere Längen auf Anfrage 5) Other lengths available on request 5) pAutres longueurs sur demande